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DE19920184C2 - Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, sowie Reflektanz-Meßsonde - Google Patents

Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, sowie Reflektanz-Meßsonde

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DE19920184C2
DE19920184C2 DE19920184A DE19920184A DE19920184C2 DE 19920184 C2 DE19920184 C2 DE 19920184C2 DE 19920184 A DE19920184 A DE 19920184A DE 19920184 A DE19920184 A DE 19920184A DE 19920184 C2 DE19920184 C2 DE 19920184C2
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Germany
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lens
receiver
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plane
radiation
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Klaus-Henrik Mittenzwey
Gert Sinn
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Optosens Optische Spektroskopie und Sensortechnik GmbH
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Optosens Optische Spektroskopie und Sensortechnik GmbH
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, sowie eine Reflektanz-Meßsonde.
Die Erfindung kann auf dem Gebiet der Analytik, Umwelt-, Qualitäts- und Prozeßüberwa­ chung, Spektroskopie, Remissions- und Reflexionsmessung eingesetzt werden.
Die Reflektanz einer undurchsichtigen und nicht selbstleuchtenden Probenoberfläche setzt sich aus der diffusen Remission und der specularen Reflexion zusammen. Eine Oberfläche ist matt, wenn die diffuse Remission dominiert. Bei einer glänzenden Oberfläche hat die speculare Reflexion einen wesentlichen Einfluß.
(a) Remission
Die Remission R ist die diffuse Reflexion von Strahlung an Materie (Probe). Die Remission wird durch die Streufähigkeit (Streukoeffizient S) und Absorptionsfähigkeit (Absorptions­ koeffizient K) der Probe bestimmt. Zur mathematischen Beschreibung der Remission dient die Theorie von Kubelka und Munk. Danach ist die Kubelka-Munk-Funktion F, die aus der gemessenen diffusen Reflexion berechnet wird, dem Quotienten aus Absorptions- und Streukoeffizient proportional,
F ~ K/S (1).
Remissionsmessungen werden beispielsweise eingesetzt zur Feststellung des physiologischen Zustandes von Vegetation, Ermittlung von Feuchte und Struktur von Böden, Ermittlung der Farbe von Kunststoffen.
(b) Reflexion
Bei der specularen Reflexionsspektroskopie wird die von einer Oberfläche oder Grenzfläche direkt reflektierte Strahlung analysiert (Reflexionsgesetz), die Auskunft über das spektrale Reflexionsvermögen liefert. Die speculare Reflexion RG ist u. a. von der Brechzahl n der Probe abhängig. Da in vielen Fällen die Probe absorbiert, wird die für die Reflexion maßge­ bliche Brechzahl neben der Brechkraft auch von dem Absorptionsvermögen der Probe be­ stimmt. Die Brechzahl setzt sich aus einem Realteil und einem Imaginärteil zusammen (komplexe Zahl):
RG = ((n - 1)/(n + 1))2 (2)
mit n = nReal + nImaginär. Die Formel (2) ist eine vereinfachte Darstellung für die Grenzfläche Luft/Probe bei senkrechter Einstrahlung. Die Brechzahl wird praktisch als Realteil goniometrisch oder interferometrisch ermittelt.
Reflexionsmessungen werden beispielsweise eingesetzt zur Ermittlung des Zuckergehaltes in Flüssigkeiten, Kontrolle von Mischungsverhältnissen binärer Systeme, Ermittlung des Glanzes von Lack, Papier und Kunststoffen.
Aus der DE 196 37 131 A1 ist eine Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere eines elektrooptischen Anzeigeelementes, bekannt. Aus der EP 0758083 A2 und EP 0818675 A2 ist jeweils ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erfassung spektraler Remissionen bekannt. Aus der WO 96/34258, der EP 0837318 A2, der EP 0772345 A2 und der EP 0837313 A2 ist jeweils eine Farbmessvorrichtung bekannt. Nachteilig bei all diesen Verfahren und Vorrichtungen ist, daß mit ihnen nicht in einfacher Weise die gleichzeitige Ermittlung der diffusen und specularen Reflexion insbesondere undurchsichtiger Proben möglich ist.
Aufgabe der Erfindung ist daher die Entwicklung eines einfachen Verfahrens und einer einfachen Reflektanz-Meßsonde zur gleichzeitigen Ermittlung der diffus und specular reflek­ tierten Anteile insbesondere undurchsichtiger Proben. Die Meßsonde soll multifunktional und für verschiedene Betriebsweisen geeignet sein: Auflage-Sonde für Festkörper, Durchfluß­ kammer-Meßsonde für Flüssigkeiten, Tauchkammer-Meßsonde für Flüssigkeiten mit grund­ sätzlicher Eignung für den Prozeßbetrieb.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt mit dem Verfahren gemäß Anspruch 1 und der Reflektanz- Meßsonde gemäß Anspruch 2.
Folgende Definitionen werden bei der Erläuterung der Erfindung verwendet:
Empfängerebene: Ebene, in der die lichtempfindlichen Flächen der Empfänger (4, 5) sowie die Endflächen (6a) (Lichtaustrittsflächen) der Lichtwellenleiter (6) angeordnet sind.
Optikebene: Ebene, in der abbildende Elemente angeordnet sind. Parallel zur Empfänger­ ebene.
Meßgerade: Linie, entlang derer die Komponenten Sensorkopf (1) - Tubus (2) - Probe (3) angeordnet sind.
Empfängergerade: Linie, entlang derer die beiden Empfänger (4, 5) und die Lichtwellenlei­ terendflächen (6a) angeordnet sind, wobei die Linie durch die Flächenmittelpunkte der Empfänger (4, 5) verläuft. Diese Linie verläuft dabei auch durch den Flächenmittelpunkt der Fläche zwischen beiden Empfängern (4, 5) - an diesem Flächenmittelpunkt bzw. in dessen Umgebung sind die Endflächen der Lichtwellenleiter (6) lokalisiert.
Gemäß dem Verfahren nach Anspruch 1 wird Strahlung definierter Wellenlänge in den Raum zwischen Empfänger- und Optikebene, z. B. über Lichtaustrittsflächen von Lichtwellenleiter, eingekoppelt (Einkoppelstrahlung). Diese aus der Empfängerebene kommende Einkoppel­ strahlung breitet sich in Richtung der Optikebene aus und trifft auf ein abbildendes Element in der Optikebene. Dieses Element kann z. B. eine Linse sein. Linse und Strahlungsquelle sind so zueinander ausgerichtet, daß die Einkoppelstrahlung nach Passieren der Linse parallelisiert ist. Die Parallelstrahlung trifft auf die zu untersuchende Probe, z. B. eine feste und undurch­ sichtige Oberfläche, die vorzugsweise in unmittelbarer Nähe der Linse lokalisiert ist. Die von der Probe specular reflektierte Strahlung IS und ein Teil der von der Probe diffus remittierten Strahlung ID durchdringen entgegen der Einfallsrichtung der Einkoppelstrahlung die Linse und gelangen auf die in der Empfängerebene lokalisierten optoelektronischen Empfänger. Dabei wird die IS auf einen der beiden Empfänger gerichtet. Das gelingt beispielsweise dadurch, daß die divergente Strahlungsquelle (Lichtwellenleiterendflächen) und die Empfängerebene in der Brennebene der Linse angeordnet sind. Die Strahlungsquelle befindet sich dabei außerhalb der optischen Achse der Linse. Es entsteht ein umgekehrtes Bild der Strahlungsquelle in der Empfängerebene. An diesem Bildort ist der eine Empfänger lokalisiert und registriert die von der Probe specular reflektierte Strahlung IS. Die diffus remittierte Strahlung ID gelangt dagegen auf beide Empfänger. Das gelingt beispielsweise dadurch, daß die Probe ausreichend nah an der Linse lokalisiert ist, so daß die Linse keine abbildende Wirkung auf ID ausübt. Damit werden der eine Empfänger mit der Summe E1 = IS + ID und der andere Empfänger mit E2 = ID beaufschlagt. Diese beiden Gleichungen bilden ein Gleichungssystem, das nach den beiden gesuchten Größen IS und ID aufgelöst werden kann. IS und ID können somit separat, in einem Meßvorgang, ermittelt werden.
Zur Durchführung dieses Verfahrens wird eine Vorrichtung vorgestellt. Gemäß Abb. 1 sind ein Sensorkopf (1), ein zylindrischer Tubus (2) und die zu untersuchende Probe (3) nacheinander auf der gemeinsamen Meßgeraden angeordnet. Der Sensorkopf enthält zwei optoelektronische Empfänger (4, 5), Lichtwellenleiter (6) zur Einkopplung von Strahlung in den Tubus und einen optischen Filter (7) zur Unterdrückung von störendem Umgebungslicht. Die Lichtwellenleiter sind zum einen mit im Sensorkopf lokalisierten Strahlungsquellen optisch verbunden. Zum anderen können auch externe Strahlungsquellen über Lichtwellenlei­ ter mit dem Sensorkopf verbunden werden. Der Tubus dient der Aufnahme des Sensorkopfes und einer Linse (8). Die zu untersuchende Probe ist in unmittelbarer Nähe des Tubus lokali­ siert.
Die lichtempfindlichen Flächen der Empfänger (4, 5) liegen in der gemeinsamen Empfänger­ ebene. Die Empfänger weisen einen definierten Abstand zueinander auf. Die Empfänger liegen mit ihren Flächenmittelpunkten auf der gemeinsamen Empfängergeraden. Diese Gerade ist senkrecht zur Meßgeraden ausgerichtet. Dabei steht die Meßgerade senkrecht auf der Empfängerebene. Zwischen den beiden Empfängern sind Endflächen von Lichtwellenleitern (6) angeordnet, die Strahlung in den Tubus einkoppeln. Es können ein einziger oder mehrere Lichtwellenleiter angeordnet sein. Die Endflächen der Lichtwellenleiter liegen in der Empfän­ gerebene. Dabei können diese vorzugsweise im Mittelpunkt des Raumes zwischen beiden Empfängern bzw. in dessen Umgebung lokalisiert sein. Der optische Filter (7) ist direkt am Sensorkopf montiert und befindet sich somit in unmittelbarer Nähe des Empfängerebene. Der Filter ist für das Licht der Strahlungsquellen und für das Reflektanzlicht durchlässig und soll Strahlung anderer Wellenlängen blocken. Damit wird die auf die Empfänger fallende Intensität von Umgebungsstrahlung oder Fremdlicht reduziert. Anstelle der Lichtwellenleite­ rendflächen können auch Strahlungsquellen direkt angeordnet werden.
Der Tubus (2) ist hohl, also optisch durchlässig. Der Tubus ist mit seiner einen Seite am Sensorkopf lichtdicht montiert. Die andere Seite nimmt eine Linse (8) auf, deren Abstand von den Lichtwellenleitern und Empfängern der Brennweite entspricht. Das heißt, die Empfänger­ ebene liegt in der Brennebene dieser Linse. Die Linse wird von den Lichtwellenleitern mit Einkoppelstrahlung und die Empfänger mit Probenstrahlung (Reflektanz der Probe (3)) beauf­ schlagt. Die Linse gibt Parallelstrahlung auf die zu untersuchende Probe. Die optische Achse (9) der Linse steht senkrecht auf der Empfängerebene.
Der Linse (8) ist die zu untersuchende Probe (3) in definierter Weise vorgelagert. Es werden grundsätzlich zwei Fälle unterschieden. Im ersten Fall ist die zu untersuchende Probe in einem definierten Abstand von der Linse entfernt (einige mm bis cm). Im zweiten Fall sind Probe und Linse direkt miteinander kontaktiert. Diese beiden Fälle werden weiter unten näher erläutert (Ansprüche 3 bis 6).
Beim Meßvorgang wird die Probe (3) über die Linse (8) mit Parallelstrahlung beaufschlagt. Dabei ist die Probenoberfläche parallel zur Empfängerfläche angeordnet bzw. m. a. W. die optische Achse der Linse steht senkrecht auf der Probenoberfläche. Die auf die Probe treffende Strahlung wird entsprechend den spektralen Absorptions- und Streueigenschaften der Probe verändert. Es entsteht das Reflektanzlicht der Probe, von dem ein Teil durch die Linse (8) auf die Empfängerebene mit den Empfängern (4, 5) gelangt. Dabei treffen auf den einen Empfänger ausschließlich Photonen der diffusen Remission und auf den anderen Empfänger Photonen der diffusen Remission und specularen Reflexion. Dazu ist die optische Achse (9) der Linse (8) zu den Lichtwellenleiterendflächen (6a) in der Weise versetzt angeordnet, daß diese zwar die Empfängergerade durchstößt, aber entlang dieser Geraden zu einem der beiden Empfänger (4 oder 5) verschoben ist. Die optische Achse (9) durchstößt also nicht den Mittelpunkt des Raumes zwischen den beiden Empfängern. Da die Empfänger in der Brennebene der Linse lokalisiert sind, werden die von der Probe ausgehenden specula­ ren Reflexe in der Brennebene abgebildet. Wegen der Versetzung der Linse passiert die Abbildung jenseits der optischen Achse auf einem der beiden Empfänger. Die Signale der beiden Empfänger werden miteinander verknüpft und so diffuse Remission und speculare Reflexion in einfacher Weise ermittelt.
Im folgenden werden zwei verschiedene Einsatzfälle dokumentiert. In dem einen Fall ist die Probe (3) in einem definierten Abstand von der Linse (8) entfernt (Anspruch 3 und 4). Hierbei kann der Sensor in einiger Entfernung von der Probe (z. B. Schüttgut) befestigt werden ohne dabei die Probe zu berühren. Oder der Tubus (2) kann in einen Aufnahmeblock montiert werden, der gleichzeitig als Auflage auf der Probenoberfläche dient (z. B. plane Festkörperflächen). Darüberhinaus kann der Tubus selbst als Auflage ausgebildet sein. Der Auflage- bzw. Aufnahmeblock berührt die Probe. Die Linse (8) hat keinen Kontakt zur Ober­ fläche. Die Linse (8) im Tubus (2) ist eine Bikonvexlinse, die die Probe mit Parallelstrahlung beaufschlagt, die diffuse Remission auf beide Empfänger (4, 5) richtet und die die speculare Reflexion auf nur einen Empfänger abbildet. In den Aufnahmeblock kann zusätzlich ein Planfenster eingesetzt werden, was bei der Untersuchung von Flüssigkeiten (oder Gase) hilfreich ist.
In dem anderen Fall ist die Linse (8) direkt mit der Probe (3) kontaktiert (Anspruch 5 und 6). Das ist insbesondere bei der Untersuchung von flüssigen Medien günstig. Dabei ist der Tubus (2) in einem Aufnahmeblock befestigt. Ein solcher Aufnahmeblock kann beispielsweise ein marktübliches Rohr-T-Stück sein, das zwei Öffnungen für die hindurchfließende Flüssig­ keit und eine Öffnung zur Aufnahme des Sensors aufweist. Die Linse (8) ist eine Plankon­ vexlinse, wobei die plane Seite der zu untersuchenden Flüssigkeit zugewandt ist. Die Planseite und die Flüssigkeit bilden eine gemeinsame plane Grenzfläche festflüssig. Dabei wird von dieser Grenzfläche specular reflektierte Strahlung auf einen der beiden Empfänger gelenkt, wo die Lichtwellenleiterendflächen (6a) durch die Linse (8) abgebildet werden. Dieser Empfänger wird außerdem mit diffuser Remission beaufschlagt. Der andere Empfänger registriert ausschließlich diffuse Remission. Die Linse (8) hat in diesem Fall neben einer abbildenden Funktion auch die Aufgabe, die reflektierende Probenoberfläche zu gestalten. Praktische Anwendung: + synchrone Erfassung von Absorption, Streuung und Brechzahl von Flüssigkeiten + Erfassung von Farbe und Glanz fester Oberflächen.
Die Lichtwellenleiter (6) können in einer Zeile, zentrisch oder in mehreren übereinanderlie­ genden Lagen angeordnet sein. Jeder einzelne Lichtwellenleiter wird separat von einer Strahlungsquelle mit Strahlung versorgt. Das können z. B. Leuchtemitterdioden LED sein, die sich im Sensorkopf (1) befinden. Dabei werden die Strahlungsquellen nacheinander Licht in die Lichtwellenleiter (6) einkoppeln, so daß stets nur eine Strahlungsquelle definierter Wellenlänge aktiv ist. Über einen Anschluß mit Lichtwellenleiter kann auch eine externe Strahlungsquelle an den Sensorkopf angeschlossen werden. Anstelle der Lichtwellenleiter kann am Ort der Lichtwellenleiterendflächen auch direkt eine Strahlungsquelle montiert sein (z. B. eine LED).
Der vorgestellte Reflektanzsensor läßt sich nicht nur für undurchsichtige Proben verwenden. Unter bestimmtem Bedingungen und Voraussetzungen ist der Sensor grundsätzlich auch für Proben geeignet, bei denen die Strahlung tiefer in das Probenvolumen eindringt.

Claims (7)

1. Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, gekennzeichnet dadurch, daß Strahlung in den Raum zwischen einer, aus mindestens zwei Empfängerflächen von mindestens zwei optoelektronischen Empfängern gebildeten Empfängerebene und einer, aus mindestens einem abbildenden Element bestehenden und zur Empfängerebene parallelen Optikebene von der Empfängerebene aus von einem Ort außerhalb der optischen Achse eingekoppelt wird, diese Einkoppelstrahlung das abbildende Element beaufschlagt und durch­ dringt, die Einkoppelstrahlung durch das abbildende Element parallelisiert wird und auf die Probe trifft, die von der Probe specular reflektierte Strahlung IS und die diffus remittierte Strahlung ID das abbildende Element entgegen der Einfallsrichtung der Einkoppelstrahlung durchdringen, die Strahlung IS durch das abbildende Element auf einen der in der Empfän­ gerebene lokalisierten Empfänger trifft, die Strahlung ID auf beide Empfänger trifft, so daß der eine Empfänger ausschließlich mit ID und der andere Empfänger mit ID und IS beauf­ schlagt wird, und daß ID und IS über ein Gleichungssystem bestehend aus zwei Gleichungen separat ermittelt werden.
2. Reflektanz-Meßsonde für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, mit Strahlungsquellen, optoelektronischen Empfängern, Lichtwellenleiter, Filter und Linse, gekennzeichnet dadurch,
daß ein Sensorkopf (1) mit Empfänger (4, 5), Filter (7) und Strahlungsquellen mit Licht­ wellenleitern (6), ein Tubus (2) mit Linse (8) sowie eine zu untersuchende Probe (3) nachein­ ander auf einer gemeinsamen Meßgeraden angeordnet sind,
daß im Sensorkopf (1) zwei optoelektronische Empfänger (4, 5) mit ihren Empfängerflächen in einer gemeinsamen Empfängerebene lokalisiert sind und sich dabei mit den Empfänger­ flächenmittelpunkten auf einer gemeinsamen und zur Meßgeraden senkrecht ausgerichteten Empfängergeraden befinden und die Meßgerade senkrecht auf der Empfängerebene steht,
daß zwischen beiden Empfängern (4, 5) die Endflächen (6a) der Lichtwellenleiter (6) angeordnet sind, wobei die Lichtwellenleiterendflächen in der Empfängerebene liegen und ein Filter (7) zur Unterdrückung von Umgebungslicht in unmittelbarer Nähe vor der Empfänger­ ebene montiert ist,
daß der Tubus (2) mit der einen Stirnseite am Sensorkopf (1) montiert ist, die andere Stirnsei­ te eine Linse (8) aufnimmt, so daß sich Empfängerebene und Optikebene mit Linse (8) im Innern des Tubus (2) gegenüberstehen, wobei die optische Achse (9) der Linse (8) senkrecht auf der Empfängerebene steht und die Empfängerebene in der Brennebene der Linse (8) lokalisiert ist,
daß der Linse (8) die zu untersuchende Probe (3) vorgelagert ist, wobei Linse (8) und Probe (3) einen definierten Abstand aufweisen oder die Probe (3) mit der Linse (8) direkt kon­ taktiert ist, sowie die Probenoberfläche parallel zur Optikebene ausgerichtet ist,
und daß zur separaten Erfassung von diffuser Remission und specularer Reflexion die opti­ sche Achse (9) der Linse (8) die Empfängergerade durchstößt und die Lichtwellenleiterend­ flächen (6a) außerhalb der optischen Achse (9) derart angeordnet sind, daß der eine Empfän­ ger mit specularer Reflexion plus diffuser Remission und der andere Empfänger ausschließ­ lich mit diffuser Remission der Probe (3) beaufschlagt ist.
3. Reflektanz-Meßsonde nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß die im Tubus (2) lokalisierte Linse (8) eine Bikonvexlinse und der Tubus an einen Auf­ nahmeblock linsenseitig montierbar ist, der einen definierten und konstanten Abstand der Linse zur Probe realisiert.
4. Reflektanz-Meßsonde nach Anspruch 3, gekennzeichnet dadurch, daß im Fall einer flüssigen Probe zwischen Linse (8) und Probe (3) ein Schutzfenster an­ geordnet ist, das mit der Probe direkt kontaktiert ist.
5. Reflektanz-Meßsonde nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß die im Tubus (2) lokalisierte Linse (8) eine Plankonvexlinse und der Tubus an einen Aufnahmeblock linsenseitig montierbar ist, der einen direkten Kontakt der Linse mit der Probe realisiert.
6. Reflektanz-Meßsonde nach Anspruch 5, gekennzeichnet dadurch, daß die Planseite der Plankonvexlinse direkt mit der Probe kontaktiert ist.
7. Reflektanz-Meßsonde nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß über die Lichtwellenleiter (6) Licht verschiedener Wellenlängen nacheinander die Probe (3) beaufschlagt oder anstelle der Lichtwellenleiterendflächen (6a) eine Strahlungsquelle angeordnet ist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7349096B2 (en) 2003-02-28 2008-03-25 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Scatterometer and a method for observing a surface
CN105393106A (zh) * 2013-04-06 2016-03-09 罗姆有限责任公司 用于测量样品的散射的设备

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004018754B4 (de) * 2004-04-17 2012-10-18 Optosens Optische Spektroskopie Und Sensortechnik Gmbh Vorrichtung für die Messung der Lichtstreuung und Lichtabsorption von Proben
DE102008017433B4 (de) 2008-04-03 2010-04-08 Krohne Optosens Gmbh Vorrichtung zur Messung der Streuung und/oder Absorption und/oder Refraktion einer Probe
DK2278361T3 (da) 2009-07-23 2014-04-22 Sick Ag Optoelectronic sensor

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996034258A1 (en) * 1995-04-28 1996-10-31 Chipper 2000 (Isle Of Man) Limited Colour detection method
EP0758083A2 (de) * 1995-08-05 1997-02-12 Balzers und Leybold Deutschland Holding AG Verfahren und Vorrichtung zur spektralen Remissions- und Transmissionsmessung
EP0772345A2 (de) * 1995-11-01 1997-05-07 Xerox Corporation Vorrichtung zur Kolorimetrie, Glanz und Ausrichtungsrückkopplung in einer Farbdruckanlage
EP0818675A2 (de) * 1996-07-13 1998-01-14 MAN Roland Druckmaschinen AG Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung spektraler Remissionen
DE19637131A1 (de) * 1996-09-12 1998-03-26 Autronic Melchers Gmbh Einrichtung zum Beurteilen von Reflexionsverhalten
EP0837313A2 (de) * 1996-10-21 1998-04-22 Dr. Bruno Lange GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Farbmessung
EP0837318A2 (de) * 1996-10-21 1998-04-22 Dr. Bruno Lange GmbH Farbmessvorrichtung

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996034258A1 (en) * 1995-04-28 1996-10-31 Chipper 2000 (Isle Of Man) Limited Colour detection method
EP0758083A2 (de) * 1995-08-05 1997-02-12 Balzers und Leybold Deutschland Holding AG Verfahren und Vorrichtung zur spektralen Remissions- und Transmissionsmessung
EP0772345A2 (de) * 1995-11-01 1997-05-07 Xerox Corporation Vorrichtung zur Kolorimetrie, Glanz und Ausrichtungsrückkopplung in einer Farbdruckanlage
EP0818675A2 (de) * 1996-07-13 1998-01-14 MAN Roland Druckmaschinen AG Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung spektraler Remissionen
DE19637131A1 (de) * 1996-09-12 1998-03-26 Autronic Melchers Gmbh Einrichtung zum Beurteilen von Reflexionsverhalten
EP0837313A2 (de) * 1996-10-21 1998-04-22 Dr. Bruno Lange GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Farbmessung
EP0837318A2 (de) * 1996-10-21 1998-04-22 Dr. Bruno Lange GmbH Farbmessvorrichtung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7349096B2 (en) 2003-02-28 2008-03-25 Koninklijke Philips Electronics, N.V. Scatterometer and a method for observing a surface
CN105393106A (zh) * 2013-04-06 2016-03-09 罗姆有限责任公司 用于测量样品的散射的设备
CN105393106B (zh) * 2013-04-06 2020-02-21 罗姆有限责任公司 用于测量样品的散射的设备

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Publication number Publication date
DE19920184A1 (de) 2000-11-30

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