DE19616402C2 - Vorrichtung zum Behandeln von Substraten in einem Fluid-Behälter - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten, insbesondere Halbleiterwafern, in einem Fluid-Behälter mit den Merkmalen des Anspruchs 1.

Es sind Vorrichtungen aus der US 5 275 184 oder der auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden DE 44 13 077 A1 be­ kannt, bei der ein Fluid über eine Einlaßöffnung bzw. ei­ nen Diffusor in das Fluid-Becken eingeleitet und über ei­ nen Überlauf am oberen Ende aus ihm ausströmt. Bei Ver­ wendung einer einzigen Zuströmöffnung am Boden des Fluid­ behälters ist die pro Zeiteinheit einströmende Menge so­ wie die Geschwindigkeit des einströmenden Fluids be­ grenzt. Insbesondere ist es damit nicht möglich, im Be­ hälter gleichmäßige Strömungsverhältnisse zu erreichen, um die im Fluid-Becken zu behandelnden Substrate oder Wa­ fer über die gesamte Substratbreite oder -fläche hinweg gleichmäßig mit dem Fluid zu beaufschlagen bzw. zu umspü­ len. Bei Verwendung eines Diffusors ist es zwar möglich, das einströmende Fluid im Fluid-Behälter besser über die Fluidfläche hinweg zu verteilen, die pro Zeiteinheit ein­ strömende Fluid-Menge und insbesondere auch die Einström­ geschwindigkeit des Fluids ist bei der Verwendung von Diffusoren aber stark beschränkt.

Aus JP 5-267263 A, JP 6-208984 A, US 5 000 795, JP 6-196466 A, JP 5-267262 A oder JP 4-80924 A sind Vorrichtungen zur Substratbehandlung in einem Fluid- Behälter bekannt, bei denen ein Düsensystem mit mehreren Düsen zum Einleiten eines Fluids vorgesehen sind. Die Dü­ sen sind auf einem Behälterboden verteilt angeordnet, um die Fluidverteilung über die Bodenfläche hinweg zu ver­ bessern. Die Fluid-Strömung erfolgt dabei im wesentlichen parallel zu den Seitenwänden von unten nach oben, wobei die Substrate in einigen Fällen in Substratbehältern, so­ genannten Kassetten, gehalten werden, mit denen die Sub­ strate in den Fluidbehälter eingesetzt und herausgehoben werden. Die Strömungsrichtung bei den bekannten Vorrich­ tungen ist parallel zu den senkrechten Wänden des Fluid­ behälters gerichtet. Um eine Strömungskomponente in einem Winkel zu den Fluidbehälterwänden zu erhalten, ist bei der Vorrichtung gemäß der JP 5-267263 A ein runder Behälterboden vorgesehen, in dem die Düsen ausgebildet sind. Ein derartiger Behälterboden ist jedoch fertigungs­ technisch außerordentlich kompliziert und kostenintensiv, weil für die Behälterwandungen üblicherweise Quarz ver­ wendet wird. Gemäß einer weiteren, aus der JP 5-267263 A und der JP 6-208984 A bekannten Vorrichtung sind Düsen vorgesehen, die im unteren Bereich des Fluidbehälters in einem Winkel zur Senkrechten das Behandlungsfluid ab­ strahlen. Abgesehen davon, daß dafür zusätzliche Düsen angeordnet und befestigt werden müssen, ist die genaue winkelmäßige Ausrichtung der Düsen kompliziert, ganz zu schweigen davon, daß für die Anbringung derartiger Düsen im Fluidbehälter ein erheblicher Raumbedarf besteht, der im Hinblick auf die sehr teuren Fluid-Materialien bzw. den hohen Aufwand bei der Wiederaufbereitung der Behand­ lungsfluids unerwünscht ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Vorrich­ tung zum Behandeln von Substraten in einem Fluid-Behälter zu schaffen, die kostengünstig herstellbar ist, optimale Strömungsverhältnisse im Fluidbehälter aufweist, und große Umwälz- bzw. Fließgeschwindigkeiten zuläßt.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Aufgrund mehrerer Düsen ist es möglich, das Fluid mit den gewünschten Strömungsverhältnissen bzw. zum Erreichen ge­ wünschter Strömungsverhältnisse im Fluid-Behälter einströmen zu lassen, so daß der gesamte zu behandelnde Sub­ stratbereich gleichmäßig von dem Fluid umspült und be­ aufschlagt wird. Durch die Verwendung von Düsen zur Ein­ leitung des Fluids ist es auch möglich, das Fluid mit ho­ hen Einströmgeschwindigkeiten und hohen Durchflußmengen pro Zeiteinheit in den Fluid-Behälter einzubringen und in ihm strömen zu lassen, so daß bei Aufrechterhaltung eines laminaren Stromes hohe Fließgeschwindigkeiten erreicht werden. Dadurch wird nicht nur die Behandlung der Sub­ strate verbessert, sondern auch der Behandlungsvorgang verkürzt, so daß die Produktivität der Vorrichtung erhöht wird.

Gemäß der Erfindung ist unter dem Boden des Fluid-Behäl­ ters ein Fluid-Zuführraum vorgesehen, mit dem die Düsen in Verbindung stehen. Dabei ist der Fluid-Zuführraum in Teilräume für einzelne Düsen und/oder Düsengruppen unter­ teilt. Der Fluid-Zuführraum unterhalb des Behälter-Bodens ist in Form eines Zwischenraums zwischen einem doppelten Boden ausgebildet.

Gemäß der Erfindung weisen wenigstens einige Düsen unter­ schiedliche Abstrahlwinkel und/oder -formen auf. Die Ab­ strahlformen der Düsen können vorzugsweise kegelförmig, aber auch fächerförmig sein, so daß die Einleitung des Fluids je nach den Gegebenheiten des Einzelfalles und der Lage der Düsen im Hinblick auf eine gleichmäßige, lamina­ re Strömung im Fluid-Behälter und eine gleichmäßige Be­ aufschlagung der Substrate mit dem Fluid optimierbar ist.

Die Düsen sind vorteilhafterweise zu Düsengruppen zusam­ mengefaßt, die vorzugsweise an unterschiedlichen Bodenbe­ reichen des Behälters angeordnet sind. Vorteilhaft ist es, wenn eine Düsengruppe im mittleren Bereich und je­ weils eine Düsengruppe in den beiden Außenbereichen vor­ gesehen ist, wobei die Dichte und Anzahl der Düsen in den einzelnen Bereichen unterschiedlich gewählt sein kann.

Vorteilhaft ist es auch, wenn die einzelnen Düsen und/oder Düsengruppen voneinander getrennte Fluid-Versor­ gungseinrichtungen aufweisen, so daß die Düsen mit unter­ schiedlichem Fluid-Druck beaufschlagbar sind.

Die Düsen sind auf dem Boden des Fluid-Behälters vorzugs­ weise matrixartig verteilt angeordnet. Auf diese Weise ergibt sich eine gleichmäßige Verteilung der Fluid-Zufuhr über die gesamte Fläche des Fluid-Behälters hinweg und insbesondere ist es auch möglich, in den Randbereichen gute Strömungsverhältnisse zu schaffen.

Vorzugsweise ist der Boden des Fluid-Behälters geneigt, und fällt jeweils zur Mitte, etwa zu einer Mittellinie oder zu einem Mittelpunkt des Fluid-Behälters hin ab. Auf diese Weise kann der Fluid-Behälter bei Ablassen des Fluids nach unten schnell und vollständig entleert wer­ den. Durch die Neigung des Bodens kann das Behältervolu­ men darüber hinaus verringert werden, sodaß die teuren und in ihrer Wiederaufbereitung aufwendigen Behandlungs­ fluids, wie beispielsweise Spülfluids oder dergleichen, in kleineren Mengen eingesetzt zu werden brauchen, ohne daß dadurch die Qualität des Behandlungsvorgangs leidet. Ein weiterer Vorteil des zur Mitte des Fluidbehälters hin abfallenden Bodens besteht insbesondere auch darin, daß die im Fluidboden vorgesehenen oder ausgebildeten Düsen oder Fluid-Eintrittsöffnungen das Behandlungsfluid durch die Neigung des Bodens selbst in einem dem Neigungswinkel des Bodens entsprechenden Winkel zur Senkrechten auf die Substrate, beispielsweise Wafer, gelangt, was für die Behandlung, insbesondere für die Reinigung und Spülung der Wafer von Vorteil ist, weil das Fluid dadurch nicht nur parallel an den senkrecht im Fluid Behälter angeord­ neten Wafer vorbei strömt, sondern auch auf seitliche Flächen der Wafer auftritt.

Zusätzlich zu den Düsen können Freispül-Öffnungen zum Freispülen der Düsen vorgesehen werden, die vorteilhafterweise ebenfalls maxtrixförmig angeordnet sind und sich zwischen den Düsen befinden. Auf diese Weise ist es möglich, auch die Zwi­ schenräume zwischen den Düsen und die toten Winkel frei­ zuspülen. Die Freispül-Öffnungen stehen dabei vorteilhaf­ terweise ebenfalls wie die Düsen mit dem darunterliegen­ den Fluid-Zuführraum in Verbindung.

Zum schnellen Ablassen des Fluids ist im Fluid-Behälter, und dort insbesondere in der Mitte bzw. in der Mittelli­ nie, eine verschließbare Öffnung vorgesehen, die einen großen Durchmesser aufweist. Im Falle eines Stromausfalls oder einer sonstigen Unregelmäßigkeit, aber auch im Zu­ sammenhang mit gängigen Verfahrensschritten ist es auf diese Weise möglich, die im Fluid-Behälter befindlichen Substrate schnell von dem Behandlungs-Medium, beispiels­ weise ätzenden Substanzen, zu befreien. Zur Aufnahme des schnell abgelassenen Fluids ist vorzugsweise unterhalb des Fluidbeckens ein Auffangbehälter vorgesehen.

Eine weitere Ausführungsform der Erfindung besteht darin, zusätzlich zu oder statt den Düsen auf dem Behälter-Boden Düsen an den Seitenwänden des Fluid-Behälters vorzusehen, um auf diese Weise auch seitlich oder im Bereich des Übergangs des Fluid-Bodens zu den Seitenwänden Fluid in den Fluid-Behälter einzuleiten, damit die Strömungsverhältnisse weiter verbessert oder dadurch das Umwälzvolu­ men erhöht werden bzw. wird.

Gemäß einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung sind Düsen und/oder Düsengruppen für unter­ schiedliche Fluids vorgesehen. Die einzelnen Düsen und/oder Düsengruppen für unterschiedliche Gruppen sind dabei auch hinsichtlich der Zuleitungen und Pumpen von­ einander getrennt, so daß die unterschiedlichen Fluids, etwa unterschiedliche Chemikalien, durch Düsen- und/oder Düsengruppen eingeleitet werden, die den Chemikalien zu­ geordnet sind. Auf diese Weise ist ein Fluid-Wechsel schnell und ohne die Gefahr einer Vermischung möglich, da an die jeweiligen Düsen immer nur die diesen Düsen zuge­ ordneten Fluids gelangen.

Beim Betrieb der Vorrichtung können zusätzlich zu den über die Düsen eingeleiteten Fluids weitere Fluids, beispielsweise zusätzliche Chemikalien, Gase, Ozon, Wasser usw. in den Fluid-Behälter eingeleitet werden. Insbesondere zur zusätzlichen Einleitung von Chemikalien, Gasen, Ozon oder Wasser ist im Fluid-Behälter wenigstens ein Diffusor vorgesehen.

Sehr vorteilhaft ist auch eine Ausführungsform der Erfin­ dung, bei der Sprühdüsen im oberen Bereich des Fluid-Be­ hälters, etwa an den Seitenwänden angeordnet sind, die zur Reinigung des Fluid-Behälters und/oder dazu dienen, die Substrate zwischen unterschiedlichen im selben Fluid- Behälter ablaufenden Verfahren, etwa zwischen dem Ätzpro­ zess, dem Reinigungsprozess und dem Trocknungsvorgang zu befeuchten bzw. naß zu halten. Vorzugsweise können hier­ für Aerosole, Wasser, sonstige Chemikaliendämpfe einge­ sprüht werden, oder aber auch Fluids von unten in den Fluid-Behälter eingeleitet werden.

Vorzugsweise weist der Fluid-Behälter eine Substrat-Auf­ nahmevorrichtung auf, die vorteilhafterweise drei Halte­ rungsbereiche für die Halterung der Substrate umfaßt. Im Gegensatz zur Verwendung von Substratkassetten wird die Strömung des Behandlungsfluids von unten nach oben nicht oder wesentlich weniger gestört, sodaß der Behandlungs­ vorgang besser abläuft und keine bzw. weniger tote Winkel für das Behandlungsfluid auftreten. Durch die Halterung der Substrate an drei Stellen ist eine definierte Lage der Substrate sichergestellt, ohne daß Führungen im Fluid-Becken erforderlich sind. Die Substrat-Aufnahmevor­ richtung ist vorzugsweise anheb- und absenkbar. Vorteil­ haft ist es dabei, wenn wenigstens ein Halterungsbereich ein messerartiger Steg ist, der quer zur Steglängsrich­ tung Schlitze zur Aufnahme der Substrat-Randbereiche auf­ weist. Vorzugsweise ist wenigstens ein Halterungsbereich relativ gegenüber wenigstens einem anderen Halterungsbe­ reich in senkrechter Richtung bewegbar. Um Wiederholungen zu vermeiden, wird bezüglich dieses Merkmals auf die deutsche Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen P 196 15 108.2 und die nicht vorveröffentlichte DE 195 46 990 A1 derselben Anmelderin verwiesen, die zur Vermeidung von Wiederholungen insofern zum Gegenstand der vorliegenden Anmeldung gemacht werden.

Vorteilhafterweise weist die Substrat-Aufnahmevorrichtung nur einen Halterungsbereich, etwa einen messerartigen Steg auf, wobei in bzw. auf der Innenfläche wenigstens einer Seitenwand des Fluid-Behälters Führungen für die Substrate vorgesehen sind. Diese Ausführungsform hat neben der Verminderung von toten Winkeln und Verwirbe­ lungen des hochströmenden Behandlungsfluids den Vorteil, daß im Fluid-Becken für die Substrat-Aufnahmevorrichtung kein oder nur ein geringer Raumbedarf besteht, so daß das Behälter-Volumen und damit das Chemikalien-Volumen klein bleibt und die Prozesskosten, die in erheblichem Maße vom Verbrauch der Chemikalien abhängen, kleingehalten werden können. Die Führungen werden durch Schlitze, vorzugsweise jedoch durch Stege, Stifte und/oder Noppen gebildet, die gegenüber Schlitzen den Vorteil haben, daß sie einfacher und schneller gesäubert und - falls erforderlich - ge­ trocknet werden können. Beim Verdrängen eines Fluids durch ein anderes oder beim Umfüllen des Fluid-Behälters bleibt in den Schlitzen relativ viel Fluid haften und verunreinigt das nachfolgend eingeleitete Fluid.

Vorteilhafterweise weisen die Innenflächen der Seiten­ wände des Fluid-Behälters Bereiche ohne Führungen auf. Ohne die sichere Führung und Halterung der Substrate im Fluid-Behälter zum Beeinträchtigen sind die Bereiche der Innenflächen ohne Führungen zu den Bereichen der Innenflächen mit Führungen versetzt angeordnet. Wenn beispielsweise in einem Bereich der Innenfläche Führungen vorgesehen sind, sind Führungen auf der gegenüberlie­ genden Innenfläche nicht erforderlich, da Führungen auf einer Seite ausreichen. An den führungsfreien Bereichen der Innenflächen sind vorzugsweise Einlaßöffnungen, Sprühdüsen, Diffusoren, Ultraviolett-Lichtquellen und/oder Megasonic-Abstrahlvorrichtungen vorgesehen.

Es ist die Möglichkeit gegeben, eine über das Fluid- Becken bringbare Haube zu verwenden, die wenigstens eine Fluid-Einlaßöffnung, insbesondere zum Einlassen eines Fluids für den Trocknungsvorgang nach dem MARANGONI- Prinzip, aufweist. Um Wiederholungen zu dieser Aus­ führungsform zu vermeiden, wird insbesondere auf die DE 44 13 077 A1 sowie die auf dieselbe Anmelderin zurückgehenden deutschen Patentanmeldungen mit den, Aktenzeichen P 195 00 239.3, P 196 15 108.2 und P 196 15 970.9 verwiesen, die insofern zum Gegenstand der vorliegenden Anmeldung gemacht werden.

Vorteilhaft ist weiterhin die Verwendung einer Heiz- und/oder Kühleinrichtung zum Erwärmen und/oder Kühlen des Fluids im Fluid-Behälter, mit der die Fluid-Temperatur auf einen wählbaren, optimalen Wert einstellbar ist. Auch ist die Verwendung einer Ultraviolett-Lichtquelle vor­ teilhaft, die am Boden und/oder an den Seitenwänden des Fluid-Behälters angeordnet ist.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung be­ steht darin, einen Substrat-Niederhalter etwa in Form ei­ ner Halteleiste vorzusehen, die auf den oberen Randbe­ reich der Substrate auflegbar ist. Um Wiederholungen hierzu zu vermeiden, wird auf die auf dieselbe Anmelderin zurückgehende deutsche Patentanmeldung mit dem Akten­ zeichen P 196 15 970.9, angemeldet am 22. April 1996, verwiesen, die insofern zum Inhalt der vorliegenden Anmeldung gemacht wird.

Vorteilhaft ist weiterhin eine Magasonic-Abstrahlvorrich­ tung, die vorzugsweise in Form eines Megasonic-Trans­ ducers im Fluid-Behälter integriert ist bzw. sind. Ein vorteilhafter Anbringungsort ist dafür die vom Boden und den Seitenwänden gebildeten Ecken des Fluid-Behälters, wobei die Abstrahlrichtung bezüglich der Horizontalen vorzugsweise 45° beträgt.

Da mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung der Behälter sehr schnell gefüllt werden kann, und eine starke Düsen­ wirkung beim Einbringen des Fluids in den Behälter auf­ tritt, ist insbesondere eine Vorrichtung zum Abdecken des Fluid-Behälters vorteilhaft, die verhindert, daß Fluid in Form von Spritzern in eine vorhandene Haube gelangt, die vorzugsweise für den Trocknungsvorgang eingesetzt wird.

Die Vorrichtung kann mit einer Fluid-Aufbereitungsein­ richtung verbunden werden, in der Fluids oder Fluid­ mischungen aufgefangen und aufbereitet werden, so daß sie wiederverwendet werden können und vor­ zugsweise in den Fluid-Behälter rückgeführt werden.

Vorteilhaft ist weiterhin eine Trenn-Anlage, in der die in der Abluft enthaltenen alkalischen und Säuredämpfe ge­ trennt werden können.

Insbesondere für die Behandlungs- und Spülvorgänge ist es vorteilhaft, wenn die Substrate im Fluid-Behälter gedreht werden können. Dafür ist vorzugsweise eine Vorrichtung vorgesehen, die die Substrate im Fluid-Behälter dreht.

Es ist vorteilhaft, die Fluids bei der Verwendung von Fluid-Mischungen vor dem Einbringen in den Fluid-Behälter vorzumischen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Figuren erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Querschnitt,

Fig. 2 die in der Fig. 1 gezeigte Vorrichtung in Aufsicht bzw. mit Blickrichtung von oben in den Fluid-Behälter, und

Fig. 3 einen Querschnitt entlang einer Querschnitts­ fläche, die gegenüber der Querschnittsfläche der in Fig. 1 gezeigten Darstellung um 90° gedreht ist.

Wie aus den Figuren ersichtlich ist, weist der Fluid-Be­ hälter 1 der erfindunsgemäßen Vorrichtung einen Boden 2 und Seitenwände 3 auf. Auf den in Fig. 1 gegenüberlie­ genden Seitenwänden 3 sind Schlitze 4 vorgesehen, in de­ nen Substrat-Scheiben 5 geführt sind, und die auf einer Substrat-Aufnahmevorrichtung 6 stehen, die mittels einer nicht dargestellten Antriebsvorrichtung in vertikaler Richtung beweglich ist und die Wafer 5 in den Fluid-Be­ hälter 1 absenkt und aus ihm herausfährt. Die Substrat- Aufnahmevorrichtung 6 besteht bei dem dargestellten Aus­ führungsbeispiel aus einem messerartigen Steg mit Schlit­ zen oder Kerben, die entsprechend dem Abstand zwischen den Führungsschlitzen 4 in den einander gegenüberliegen­ den Seitenwänden 3 beabstandet sind.

Wie am besten aus Fig. 1 ersichtlich ist, ist der Boden 2 auf beiden Seiten einer Mittellinie nach innen geneigt, so daß ein Fluid bei Entleerung des Behälters 1 in der Mitte nach unten ausströmt.

Der Boden 2 weist eine Vielzahl von Düsen 7 auf, die ma­ trixförmig angeordnet sind, wie dies am besten aus Fig. 3 zu ersehen ist. Die Düsen weisen unterschiedliche Dü­ senaustritts- bzw. Abstrahlwinkel 8, 9 auf, wie dies in Fig. 1 eingezeichnet ist. Aufgrund der unterschiedlichen Abstrahlwinkel bzw. aufgrund der unterschiedlichen Ab­ strahlformen ergibt sich eine gute, gleichmäßige laminare Strömung über das gesamte Fluid-Behälterprofil hinweg und die Substrate 5 werden über die gesamte Breite hinweg gleichmäßig mit dem aus den Düsen 7 austretenden Fluid beaufschlagt.

Aus Fig. 1 ist ersichtlich, daß unterhalb des Bodens 2 Hohlräume 12, 13, 14, 15 ausgebildet sind, die nach unten durch eine Abschlußplatte 16 abgeschlossen sind. Über die Hohlräume 12 bis 15 wird das Fluid den mit den jeweiligen Hohlräumen in Verbindung stehenden Düsen 7 zugeleitet.

Zwischen den Düsen 7 sind im Boden 2 Freispül-Öffnungen 18 vorgesehen, die entsprechend Fig. 2 ebenfalls matrix­ förmig auf dem Boden 2 des Fluid-Behälters 1 verteilt sind. Die Freispül-Öffnungen 18 spülen die Bereiche des Bodens 2 zwischen den Düsen 7 frei und stehen ebenfalls für die Fluid-Zufuhr mit entsprechenden Fluid-Zuführräu­ men 12 bis 15 unterhalb des Bodens 2 in Verbindung.

Wie Fig. 1 zeigt, ist in der Mitte des Bodens 2 eine Öffnung 19 für das schnelle Ablassen des im Fluid-Behäl­ ter 1 befindlichen Fluids vorgesehen, etwa dann, wenn ein Stromausfall eintritt und/oder die sich im Fluid-Behälter 1 befindenden Substrate 5 schnell aus der Fluid-Umgebung, beispielsweise einem Ätz-Medium, befreit werden müssen. Bei Öffnen eines Verschlusses 20 wird das Fluid innerhalb eines kleinen Zeitraums in einen nicht dargestellten, un­ ter dem Fluid-Behälter 1 angeordneten Auffangbehälter entleert.

Die Substrat-Aufnahmevorrichtung 6 befindet sich im Be­ reich oberhalb des Verschlusses 20 teilweise innerhalb des Bodens 2 und ragt nur zu einem geringen Teil über die Düsenöffnungen nach oben hinaus. Dadurch ist innerhalb des Fluid-Behälters 1 nur wenig zusätzlicher Raum für die Substrat-Aufnahmevorrichtung erforderlich, so daß das Fluid-Volumen im Fluid-Behälter 1 klein gehalten werden kann.

Auf der Oberseite der Seitenwände 3 befinden sich Über­ lauf-Öffnungen 21, über die das von unten einströmende Fluid abfließt.

Die Erfindung wurde zuvor anhand eines bevorzugten Aus­ führungsbeispiels erläutert. Dem Fachmann sind jedoch zahlreiche Abwandlungen und Ausgestaltungen möglich, ohne daß dadurch der Erfindungsgedanke verlassen wird. Bei­ spielsweise ist über dem Fluid-Behälter 1 eine Haube an­ bringbar, oder es sind an den Seitenwänden 3 des Fluid- Behälters 1, beispielsweise im oberen Bereich, Sprühdüsen zum Reinigen des Beckens oder zum Besprühen der Substrate 5 zwischen den einzelnen Verfahrensschritten und Behandlungsprozessen vorgesehen. Auch ist der Einsatz von Me­ gasonic-Transducern, von Ultraviolett-Lichtquellen oder von Vorrichtungen zum Drehen der Wafer 5 im Fluid-Behäl­ ter 1 möglich, wie dies zuvor bereits beschrieben wurde.

Claims (18)

1. Vorrichtung zum Behandeln von Substraten (5), insbesondere Halblei­ tersubstraten, in einem Fluid-Behälter (1), mit einem Düsensystem mit mehreren Düsen (7) zum Einleiten eines Fluids, wobei die Düsen (7) verteilt auf einem Behälter-Boden (2) angeordnet sind, wobei unter dem Boden (2) des Fluid-Behälters (1) ein Fluid-Zuführraum (12, 13, 14, 15) vorgesehen ist, der durch einen Zwischenraum zwischen einem doppel­ ten Boden (2, 16) gebildet ist, und der in Fluid-Teilräume (12, 13, 14, 15) für einzelne Düsen (7) und/oder Düsengruppen unterteilt ist und mit denen die Düsen (7) in Verbindung stehen, und wobei wenigstens eini­ ge Düsen (7) unterschiedliche Abstrahlwinkel und/oder Abstrahlformen (8, 9) aufweisen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Düse (7) eine fächerförmige Abstrahlform aufweist.

3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß wenigstens eine Düse (7) eine kegelförmige Ab­ strahlform aufweist.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Düsen (7) zu Düsengruppen zusammengefaßt sind.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Düsengruppen an unterschiedlichen Boden- Bereichen des Fluid-Behälters (1) angeordnet sind.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine Düsengruppe im mittleren Bereich und jeweils eine Düsengruppe in den beiden Außenbereichen des Bodens (2) vor­ gesehen ist.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß einzelne Düsen (7) und/oder einzelne Düsengruppen voneinander getrennte Fluid-Versorgungseinrichtungen aufweisen.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Boden des Fluid-Behälters (1) geneigt ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden (2) jeweils zur Mitte des Fluid-Behälters (1) hin abfällt.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeich­ net durch eine Öffnung (19) zum schnellen Ablassen des Fluids aus dem Fluid-Behälter (1).

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ferner Düsen (7) an den Seitenwänden (3) des Fluid- Behälters (1) vorgesehen sind.

12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß Zuleitungen zu den für unterschiedliche Fluids vor­ gesehene Düsen (7) und/oder Düsengruppen jeweils getrennt vonein­ ander vorgesehen sind.

13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeich­ net durch eine Vorrichtung zum Abdecken des Fluid-Behälters (1).

14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeich­ net durch wenigstens eine Substrat-Halteleiste, die im oberen Randbe­ reich auf den Substraten (5) aufliegt.

15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeich­ net durch Ultraviolett-Lichtquellen, die am Boden (2) und/oder an den Seitenwänden (3) des Fluid-Behälters (1) angeordnet sind.

16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeich­ net durch wenigstens eine Megasonic-Abstrahl-Vorrichtung.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Me­ gasonic-Abstrahl-Vorrichtung in den vom Boden (2) und den Seiten­ wänden (3) gebildeten Ecken des Fluid-Behälters (1) angeordnet ist.

18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeich­ net durch eine die Substrate (5) im Fluid-Behälter (1) drehende Vor­ richtung.