[go: up one dir, main page]

DE19532105A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung sowie Verfahren zur Herstellung einer mit einer Barriere versehenen Elektrode für diese Barrierenentladung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung sowie Verfahren zur Herstellung einer mit einer Barriere versehenen Elektrode für diese Barrierenentladung

Info

Publication number
DE19532105A1
DE19532105A1 DE19532105A DE19532105A DE19532105A1 DE 19532105 A1 DE19532105 A1 DE 19532105A1 DE 19532105 A DE19532105 A DE 19532105A DE 19532105 A DE19532105 A DE 19532105A DE 19532105 A1 DE19532105 A1 DE 19532105A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrode
workpiece
barrier
workpiece surface
electrically insulating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19532105A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19532105C2 (de
Inventor
Klaus Pochner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority to DE19532105A priority Critical patent/DE19532105C2/de
Publication of DE19532105A1 publication Critical patent/DE19532105A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19532105C2 publication Critical patent/DE19532105C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T19/00Devices providing for corona discharge
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/14Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by electrical means
    • B05D3/141Plasma treatment
    • B05D3/142Pretreatment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/10Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23GCLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G5/00Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32348Dielectric barrier discharge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431Constructional details of the reactor
    • H01J37/32532Electrodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

Technisches Gebiet
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung für die Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung einer mit einer elektrisch isolierenden Barriere versehenen Elektrode für eine direkte Barrierenentladung, mit der ein Werkstück behandelt werden soll.
Die Erfindung findet in allen Gebieten der Technik Anwendung, in denen Oberflächen von Werkstücken zu aktivieren oder zu reinigen sind, beispielsweise vor einer Weiterverarbeitung.
Die Herstellung gewalzter oder tiefgezogener Metallflächen erfordert den Einsatz von Ölen oder Fetten aus aromatischen und aliphatischen Bestandteilen. Unmittelbar nach der Herstellung verbleibt je nach Prozeßführung und Oberflächenbeschaffenheit des Materials eine Ölschicht von typisch 20-200 mg/m² zurück. Für eine Weiterverarbeitung der Materialien durch Lackieren, Beschichten, Verkleben oder Schweißen ist es erforderlich, daß ihre Oberfläche vom vorgesehenen Zusatzmaterial benetzbar ist. Dazu muß die Metalloberfläche weitgehend entfettet werden. Angestrebt werden Ölbeläge unter 4 mg/m².
Auch bei der Herstellung von Metall- oder Kunststoffverpackungen für den Lebensmittelbereich ist aus hygienischen Gründen eine Entfettung bis unter 0.5 mg/m² erforderlich. Zusätzlich wird häufig eine Entkeimung oder Sterilisierung gewünscht.
Viele spritzgegossene Kunststoffe eignen sich unmittelbar nach Herstellung nicht zum Verkleben, Beschichten oder Metallisieren. Ursache sind häufig Reste von Trennmitteln aus dem Spritzprozeß. Darüber hinaus sind Kunststoffe mit polaren Oberflächen auch im Reinzustand nicht benetzbar, können also nicht oder nur mit schlechter Haftung beschichtet oder lackiert werden. Aus der Literatur (Neue Verpackung 12/93, S. 14-18) ist es bekannt, Oberflächen mittels einer direkten Barrierenentladung zu reinigen oder zu modifizieren. Dazu wird bei metallischen Werkstücken zwischen diesem als erster Elektrode und einer zweiten Elektrode eine hochfrequente Hochspannung (typisch 5-15 kV, 50Hz-1MHz, vorzugsweise 50-300 kHz) angelegt. Falls das Werkstück aus elektrisch isolierendem Material besteht, ist das Werkstück mit einer Hilfselektrode als erster Elektrode zu versehen. Wichtig für die Ausbildung einer Barrierenentladung ist dabei, daß sich zwischen den beiden Elektroden wenigstens eine sogenannte dielektrische Barriere (ein Isolator) befindet. Bei metallischen Werkstücken wird der Isolator hierzu auf der zweiten Elektrode werkstückseitig vorgesehen. Wenn das Werkstück selbst schon ein Isolator ist, kann ein zusätzlicher Isolator entfallen. Bei einem gleichmäßigen Abstand zwischen der Werkstückoberfläche und der gegenüberliegenden Barriere oder Elektrode und einem Gasdruck im Bereich einer Atmosphäre bildet sich die Gasentladung dann in Form vieler homogen verteilter Filamente aus.
Durch Einwirkung der direkt im Kontakt mit der zu behandelnden Oberfläche stehenden Filamente kann bereits nach sehr kurzer Zeit die gewünschte Reinigungswirkung erreicht werden. Voraussetzung für eine gleichmäßige Behandlung ist jedoch, daß auf der gesamten Fläche Filamente mit konstanter Dichte verteilt sind. Dies ist nur bei konstantem Elektrodenabstand im Bereich einiger Millimeter möglich. Bekannte Verfahren und Vorrichtungen zur Erzeugung einer direkten Barrierenentladung verwenden als Elektroden Rohre oder ebene Platten aus Quarzglas oder Keramik mit einer Metallelektrode hinter dem Isolator, Die häufig zusätzlich mit einer Wasserkühlung versehen ist, mit denen aber lediglich ebene Werkstücke behandelt werden können.
Darstellung der Erfindung
Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit der auch dreidimensionale Werkstücke, insbesondere Werkstücke mit einer komplex geformten Oberfläche, mit einer direkten Barrierenentladung behandelt werden können. Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Herstellungsverfahren für die Elektroden dieser Barrierenentladung anzugeben.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt hinsichtlich des Verfahrens mit den Merkmalen der nebengeordneten Ansprüche 1 oder 6 und hinsichtlich der Vorrichtung mit den Merkmalen der nebengeordneten Ansprüche 13 und 18. Die Lösung der weiteren Aufgabe durch ein Herstellungsverfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 21. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen 2-5, 7-12, 14-17, 19-20 und 22-27 angegeben.
Der wesentliche Vorteil der Erfindung liegt darin, daß auch komplex geformte Werkstücke in einem Arbeitsgang einer direkten Barrierenentladung ausgesetzt werden können. Eingesetzt wird dazu eine Elektrode, die durch Abformung des Werkstückes hergestellt wurde, wobei nur die Elektrode, nur die Barriere oder beides abgeformt wurde. Besonders vorteilhaft ist die Ausgestaltung der Erfindung gemäß den Unteransprüchen 4 und 15, denn neben den als Dielektrikum in Barrieren-Entladungen üblicherweise verwendeten Werkstoffen Glas, Quarz oder Keramik weist insbesondere thermoplastischer Kunststoff deutliche fertigungstechnische Vorteile auf. Die Herstellung derartiger Elektroden ist gemessen an der Herstellung von Tiefziehformen unkompliziert und kostengünstig, so daß ihr Einsatz auch an Maschinen mit häufig wechselnder Werkstückgeometrie möglich und wirtschaftlich sinnvoll ist.
Mit einer entsprechend der Werkstückoberfläche abgeformten Elektrode (mit oder ohne Barriere) ist die gleichzeitige Behandlung des gesamten Werkstückes und damit eine kurze Taktzeit möglich. Alternativ dazu kann bei Werkstücken mit großer Längenausdehnung und fester Querschnittskontur die Elektrode nur zweidimensional ausgeformt und in Längsrichtung über das Werkstück (z. B. T- Träger, Strangpreßprofile) bewegt werden.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, während des Abformvorganges zwischen Werkstück und Thermoplast eine weitere Platte aus thermoplastischem Kunststoff zu legen, deren Dicke die Weite des späteren Spaltes bestimmt. So kann auf einfache Weise ein Spalt konstanter Weite erhalten werden. Bei Erwärmung der Thermoplasten über ihren Erweichungspunkt findet ein Fließen in die vom Werkstück vorgegebene Form statt, das gegebenenfalls durch einen Druckunterschied (Saugen oder Blasen) zwischen Vorder- und Rückseite beschleunigt werden kann. Nach Erkalten werden die beiden Kunststofformteile vom Werkstück abgenommen; die Zwischenschicht wird verworfen und das obere Kunststoffteil wird zur Herstellung der Elektrode verwendet.
Als elektrischer Leiter kann eine auf die Rückseite des Kunststoffes aufgebrachte Metall- oder Halbleiterschicht, eine weiche Metallfolie oder ein Metallnetz, oder eine Schüttung aus feinkörnigem elektrisch leitfähigem Granulat dienen. Falls die Elektrode durch Wasser gekühlt werden soll, wird auf der Rückseite der Barriere ein Gehäuse zur Aufnahme des Kühlwassers vorgesehen. Dann genügen als Elektroden auch Metallkontakte, die die Form des Thermoplasten nur grob nachbilden, da das Wasser aufgrund seiner Leitfähigkeit und seiner dielektrischen Eigenschaften (hohe Permittivität) einen ausreichenden elektrischen Kontakt herstellen kann.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Nachfolgend wird die Erfindung in verschiedenen Ausführungsbeispielen und anhand der Abb. 1a-3c näher beschrieben. Es zeigen:
Abb. 1a schematische Darstellung des grundlegenden Aufbaus für eine Barrierenentladung,
Abb. 1b direkte Barrierenentladung bei einer Metallfolie,
Abb. 2 direkte Barrierenentladung bei einem komplex geformten Werkstück,
Abb. 3a, b Herstellung einer erfindungsgemäßen mit einer elektrisch isolierenden Barriere versehenen Elektrode komplexer Form,
Abb. 3c fertige Elektrode komplexer Form mit einer Barriere mit Gehäuse zur Kühlflüssigkeitsaufnahme.
Bester Weg zur Ausführung der Erfindung
Ohne Einschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen, die sich auf elektrisch leitfähige Werkstücke beziehen, näher erläutert werden.
Abb. 1a zeigt schematisch den zur Erzeugung einer Barrierenentladung erforderlichen Aufbau. Zwischen zwei elektrisch leitfähigen Elektroden 1, 2 wird mindestens eine elektrisch isolierende Barriere 3 mit typisch 1-2 mm Dicke eingebracht. Bei Anregung mit einem hochfrequenten Hochspannungsgenerator 4 mit Wechselspannung von 5-15 kV und 50-300 kHz bildet sich im Entladungsspalt 5 eine Gasentladung aus. Diese ist aus vielen, hier nur symbolisch dargestellten, Filamenten 6 zusammengesetzt, die homogen über die gesamte Elektrodenfläche verteilt sind. In Abb. 1b ist eine Abwandlung, die sog. direkte Barrierenentladung dargestellt, bei der eine zu behandelnde Metallfolie 2a als eine der Elektroden eingesetzt wird. Die Filamente 6 greifen dann unmittelbar an der Folienoberfläche an, was eine besonders effiziente Behandlung ermöglicht.
Für die Behandlung eines komplex geformten Werkstückes 2b wird eine besonders busgeformte Elektrodenanordnung 1b, 3b eingesetzt, wie sie in Abb. 2 dargestellt ist. Die Elektrodenanordnung wird hier von einem der Werkstückform entsprechend ausgearbeiteten Dielektrikum 3b gebildet, das auf seiner dem Werkstück abgewandten Seite eine elektrisch leitfähige Schicht 1b trägt. Bei konstanter Spaltbreite und nicht zu kleinem Krümmungsradius sind die Entladungsfilamente 6 auch auf der nichtebenen Oberfläche annähernd homogen verteilt.
Die Verfahrensschritte zur Herstellung einer erfindungsgemäßen mit einer elektrisch isolierenden Barriere versehenen Elektrode komplexer Form werden in Abb. 3 gezeigt. Zunächst werden zwei Schichten eines Thermoplasten 3c, 7 auf das Werkstück 2b aufgelegt (Abb. 3a) und plastisch abgeformt (Abb. 3b). Die untere Lage des Thermoplasten 7 dient als Abstandshalter während des Abformvorganges und wird danach entfernt. Auf der dem Werkstück abgewandten Seite der Barriere wird anschließend eine elektrisch leitfähige Schicht aufgebracht. Abb. 3c zeigt eine fertige Elektrode, die hier jedoch zusätzlich mit einer Wasserkühlung versehen ist. Dazu wird ein beliebig geformtes Gehäuse 8 mit Kühlwasserzu- 8a und -ableitungen 8b mit dem ausgeformten Dielektrikum 3c verbunden. Zur elektrischen Zuführung vom Generator 4 dient ein engmaschiges Drahtnetz 1c, das aufgrund der elektrischen Leitfähigkeit und Permittivität des Kühlwassers die Elektrodenform nur grob nachzubilden braucht.
Bezugszeichenliste
1 erste Elektrode mit
1b elektrisch leitfähiger Schicht
1c Drahtnetz
2 zweite, metallische Elektrode, insbesondere
2a Metallfolie
2b Werkstück
3 elektrisch isolierende Barriere, speziell
3b dem Werkstück nachgebildete Barriere
3c Barriere vor und nach der Abformung
4 Wechselspannungsgenerator
5 Entladungsspalt
6 Entladungsfilamente
7 thermoplastische Zusatzschicht
8 Kühlflüssigkeitsgehäuse mit
8a Kühlflüssigkeitszuleitung
8b Kühlflüssigkeitsableitung.

Claims (27)

1. Verfahren zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken, mit einer direkten Barrierenentladung, wobei der zu behandelnden Werkstückoberfläche gegenüberliegend eine Elektrode angeordnet wird, die werkstückseitig eine elektrisch isolierende Barriere aufweist, und wobei wenigstens die Barriere auf ihrer dem Werkstück zugewandten Oberfläche eine Form aufweist, die der zu behandelnden Werkstückoberfläche nachgebildet ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der zu behandelnden Werkstückoberfläche und der Barriere ein Abstand von kleiner als 10 mm eingehalten wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch isolierende Barriere aus einem Kunststoff besteht.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Kunststoff um einen Thermoplasten handelt.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß während der Behandlung eine Temperatur eingehalten wird, die unterhalb der Erweichungstemperatur des Thermoplasten liegt.
6. Verfahren zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken, die aus elektrisch isolierendem Material bestehen, mit einer direkten Barrierenentladung, wobei das Werkstück mit einer ersten Elektrode als Hilfselektrode versehen wird, wobei der zu behandelnden Werkstückoberfläche gegenüberliegend eine zweite Elektrode angeordnet wird, die auf ihrer dem Werkstück zugewandten Oberfläche eine Form aufweist, die der zu behandelnden Werkstückoberfläche nachgebildet ist.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der zu behandelnden Werkstückoberfläche und der zweiten Elektrode ein Abstand von kleiner als 10 mm eingehalten wird.
8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß als zweite Elektrode eine Metallfolie verwendet wird, die von der zu behandelnden Werkstückoberfläche abgeformt und versteift worden ist.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Behandlung bei Atmosphärendruck erfolgt.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Barrierenentladung mit einer Wechselspannung im Bereich von 5-15 kV und einer Frequenz im Bereich von 50Hz-1MHz, vorzugsweise 50-300 kHz angeregt wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens die der Werkstückoberfläche gegenüberliegende Elektrode während der Behandlung des Werkstücks gekühlt wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die der Werkstückoberfläche gegenüberliegende Elektrode mit einer Flüssigkeit von hoher elektrischer Permittivität, insbesondere Wasser, in Verbindung steht.
13. Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung, wobei der zu behandelnden Werkstückoberfläche gegenüberliegend eine Elektrode vorgesehen ist, die werkstückseitig eine elektrisch isolierende Barriere aufweist, und wobei wenigstens die Barriere auf ihrer dem Werkstück zugewandten Oberfläche eine Form aufweist, die der zu behandelnden Werkstückoberfläche nachgebildet ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch isolierende Barriere aus einem Kunststoff besteht.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem Kunststoff um einen Thermoplasten handelt.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur Kühlung der Elektrode vorgesehen sind.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode teilweise aus Metall und teilweise aus einer Flüssigkeit mit hoher elektrischer Permittivität, insbesondere Wasser, besteht.
18. Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken, die aus elektrisch isolierendem Material bestehen, mit einer direkten Barrierenentladung, wobei das Werkstück mit einer ersten Elektrode als Hilfselektrode versehen ist, wobei der zu behandelnden Werkstückoberfläche gegenüberliegend und von ihr beabstandet eine zweite Elektrode vorgesehen ist, die der zu behandelnden Werkstückoberfläche nachgebildet ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der zweiten Elektrode um eine Metallfolie handelt, die von der zu behandelnden Werkstückoberfläche abgeformt und versteift worden ist.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß zur Anregung der Barrierenentladung ein Wechselspannungsgenerator vorgesehen ist, mit dem eine Wechselspannung im Bereich von 5-15 kV bei einer Frequenz von 50Hz-1MHz, vorzugsweise 50-300kHz erzeugt werden kann.
21. Verfahren zur Herstellung einer mit einer elektrisch isolierenden Barriere versehenen Elektrode für eine direkte Barrierenentladung, mit der ein Werkstück behandelt werden soll, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch isolierende Barriere vom Werkstück abgeformt wird.
22. Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch isolierende Barriere aus thermoplastischem Material besteht und die Abformung bei einer Temperatur oberhalb der Erweichungstemperatur des thermoplastischen Materials erfolgt.
23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß während der Abformung die elektrisch isolierende Barriere mit Druck beaufschlagt wird.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Abformung eine Zwischenschicht verwendet und mitverformt wird, deren Dicke dem für die Behandlung vorgesehenen Abstand zwischen der Werkstückoberfläche und der Barriere entspricht.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Barriere auf der der Werkstückoberfläche abgewandten Seite mit einem Gehäuse zur Aufnahme eines Kühlmittels versehen wird.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der abzuformenden Barriere um eine bereits verwendete Barriere handelt, die erneut abgeformt wird.
27. Verfahren nach einem der Ansprüche 21 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Barriere aus einem Grundstoff erzeugt wird, der aus verwendeten und zerkleinerten, insbesondere aus zermahlten, Barrieren besteht.
DE19532105A 1994-08-30 1995-08-30 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung sowie Verfahren zur Herstellung einer mit einer Barriere versehenen Elektrode für diese Barrierenentladung Expired - Lifetime DE19532105C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19532105A DE19532105C2 (de) 1994-08-30 1995-08-30 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung sowie Verfahren zur Herstellung einer mit einer Barriere versehenen Elektrode für diese Barrierenentladung

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4430772 1994-08-30
DE19532105A DE19532105C2 (de) 1994-08-30 1995-08-30 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung sowie Verfahren zur Herstellung einer mit einer Barriere versehenen Elektrode für diese Barrierenentladung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19532105A1 true DE19532105A1 (de) 1996-03-07
DE19532105C2 DE19532105C2 (de) 2002-11-14

Family

ID=6526928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19532105A Expired - Lifetime DE19532105C2 (de) 1994-08-30 1995-08-30 Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung sowie Verfahren zur Herstellung einer mit einer Barriere versehenen Elektrode für diese Barrierenentladung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE19532105C2 (de)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998049368A1 (de) * 1997-04-26 1998-11-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zur reinigung und aktivierung von elektrisch leitenden strukturen und platinenoberflächen
WO2008069766A3 (en) * 2006-12-05 2008-08-07 Faculty Of Mathematics Physics Apparatus and method for surface finishing of metals and metalloids, metal oxides and metalloid oxides, and metal nitrides and metalloid nitrides
DE102007033701A1 (de) * 2007-07-14 2009-01-22 Xtreme Technologies Gmbh Verfahren und Anordnung zur Reinigung von optischen Oberflächen in plasmabasierten Strahlungsquellen
US20130072859A1 (en) * 2007-04-23 2013-03-21 Cold Plasma Medical Technologies, Inc. Cold Plasma Treatment Devices and Associated Methods
ITBO20130087A1 (it) * 2013-02-28 2014-08-29 Univ Bologna Alma Mater Dispositivo e metodo di generazione di plasma freddo
WO2015095810A1 (en) * 2013-12-20 2015-06-25 Cold Plasma Medical Technologies, Inc. System for plasma treatment using directional dielectric barrier discharge energy system
US9330890B2 (en) 2011-06-23 2016-05-03 Cinogy Gmbh Electrode arrangement for a dielectrically limited gas discharge
US9345120B2 (en) 2012-08-07 2016-05-17 CYNOGY GmbH Electrode arrangement for a barrier plasma
US10039927B2 (en) 2007-04-23 2018-08-07 Plasmology4, Inc. Cold plasma treatment devices and associated methods
US10399723B2 (en) 2015-03-11 2019-09-03 Plasmology4, Inc. Container treatment system

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202007019099U1 (de) * 2007-03-17 2010-08-05 Je Plasmaconsult Gmbh Vorrichtung zur Plasmabehandlung
DE102007030915A1 (de) * 2007-07-03 2009-01-22 Cinogy Gmbh Vorrichtung zur Behandlung von Oberflächen mit einem mittels einer Elektrode über ein Feststoff-Dielektrikum durch eine dielektrische behinderte Gasentladung erzeugten Plasma
DE102009060627B4 (de) 2009-12-24 2014-06-05 Cinogy Gmbh Elektrodenanordnung für eine dielektrisch behinderte Plasmabehandlung
DE102010003284A1 (de) * 2010-03-25 2011-09-29 Dot Gmbh Verfahren zur chemischen Aktivierung von Arbeitsgasen in abgeschlossenen Volumina
DE102016118569A1 (de) * 2016-09-30 2018-04-05 Cinogy Gmbh Elektrodenanordnung zur Ausbildung einer dielektrisch behinderten Plasmaentladung

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2750372A1 (de) * 1976-11-10 1978-05-11 Onoda Cement Co Ltd Elektrostatisches beschichtungsverfahren

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2750372A1 (de) * 1976-11-10 1978-05-11 Onoda Cement Co Ltd Elektrostatisches beschichtungsverfahren

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
EBERT, H.: Elektrochemie, Grundlagen und Anwen- dungsmöglichkeiten, 2. Aufl., Vogel-Verlag 1979, S. 168-172 *

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1998049368A1 (de) * 1997-04-26 1998-11-05 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zur reinigung und aktivierung von elektrisch leitenden strukturen und platinenoberflächen
WO2008069766A3 (en) * 2006-12-05 2008-08-07 Faculty Of Mathematics Physics Apparatus and method for surface finishing of metals and metalloids, metal oxides and metalloid oxides, and metal nitrides and metalloid nitrides
US20130072859A1 (en) * 2007-04-23 2013-03-21 Cold Plasma Medical Technologies, Inc. Cold Plasma Treatment Devices and Associated Methods
US10039927B2 (en) 2007-04-23 2018-08-07 Plasmology4, Inc. Cold plasma treatment devices and associated methods
US9418820B2 (en) * 2007-04-23 2016-08-16 Plasmology4, Inc. Cold plasma treatment devices and associated methods
DE102007033701A1 (de) * 2007-07-14 2009-01-22 Xtreme Technologies Gmbh Verfahren und Anordnung zur Reinigung von optischen Oberflächen in plasmabasierten Strahlungsquellen
US8147647B2 (en) 2007-07-14 2012-04-03 Xtreme Technologies Gmbh Method and arrangement for cleaning optical surfaces in plasma-based radiation sources
US9330890B2 (en) 2011-06-23 2016-05-03 Cinogy Gmbh Electrode arrangement for a dielectrically limited gas discharge
US9345120B2 (en) 2012-08-07 2016-05-17 CYNOGY GmbH Electrode arrangement for a barrier plasma
WO2014132216A1 (en) 2013-02-28 2014-09-04 Alma Mater Studiorum - Universita' Di Bologna Device and method for generating cold plasma.
ITBO20130087A1 (it) * 2013-02-28 2014-08-29 Univ Bologna Alma Mater Dispositivo e metodo di generazione di plasma freddo
WO2015095810A1 (en) * 2013-12-20 2015-06-25 Cold Plasma Medical Technologies, Inc. System for plasma treatment using directional dielectric barrier discharge energy system
US9437401B2 (en) 2013-12-20 2016-09-06 Plasmology4, Inc. System and method for plasma treatment using directional dielectric barrier discharge energy system
US10170281B2 (en) 2013-12-20 2019-01-01 Plasmology4, Inc. System and method for plasma treatment using directional dielectric barrier discharge energy system
US10399723B2 (en) 2015-03-11 2019-09-03 Plasmology4, Inc. Container treatment system

Also Published As

Publication number Publication date
DE19532105C2 (de) 2002-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19532105C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von dreidimensionalen Werkstücken mit einer direkten Barrierenentladung sowie Verfahren zur Herstellung einer mit einer Barriere versehenen Elektrode für diese Barrierenentladung
DE2750372C2 (de) Verfahren zur elektrostatischen Beschichtung und Vorrichtung dazu
DE102005005359B4 (de) Verfahren zum Kaltgasspritzen
DE2358989A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum andruecken einer polymerfolie an eine sich bewegende oberflaeche
DE3416405A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur oberflaechenbehandlung von folienbahnen
DE10116502B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung eines Plasmastrahls
DE1295113B (de) Vorrichtung zum Praegen eines Musters auf ein dielektrisches Plattenmaterial
DE3219538A1 (de) Vorrichtung zur elektrischen vorbehandlung von nichtleitenden folien
DE3302161C2 (de)
EP1513625B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung der äusseren oberfläche eines metalldrahts, insbesondere als beschichtungsvorbehandlung
EP0250798B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von Adhäsionskräften an den Oberflächen von aus Kunststoff hergestellten Hohlkörpern
DE3537614C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Vorbehandlung fuer das ein- oder mehrfache Beschichten von inneren Oberflaechen eines offenen Hohlkoerpers aus Kunststoff durch elektrische Koronaentladung
DE69313211T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Coronabehandlung
DE69720760T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum transferieren von zusätzlichem material auf die oberfläche eines beweglichen materialnetzes
DE3535696C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur partiellen Beschichtung eines Kunststoffteiles
EP0893535A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung der inneren Oberfläche von porösen bewegten Bahnen durch elektrische Entladungen im Bereich von Atmosphärendruck
DE3208590A1 (de) Coronavorrichtung mit gleichzeitiger gasbeaufschlagung
DE19648999A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Behandlung von Oberflächen mittels Hochdruckplasma
EP1149189A2 (de) Verfahren zur herstellung einer selbsttragenden metallfolie
DE2427474B2 (de) Metallisches Bauteil für elektrische Maschinen o.dgl. Geräte, insbesondere Transformatoren, und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102010024086A1 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen Plasmabehandlung und/oder Plasmabeschichtung eines Materialstücks
DE102005001158B4 (de) Barrierenentladungselektroden mit Kühlung und Vorrichtung mit einer solchen Barrierenentladungselektrode
WO2002083586A1 (de) Verfahren zur verminderung der verklebungsneigung bei der heissformgebung von glas
DE2222300C3 (de) Koronareaktorkern
DE1222241B (de) Verfahren zur Behandlung der Oberflaechen von Metallfolien

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8125 Change of the main classification

Ipc: H05H 1/46

D2 Grant after examination
8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)
R071 Expiry of right