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DE1567844A1 - Methode zur Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid - Google Patents

Methode zur Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid

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Publication number
DE1567844A1
DE1567844A1 DE19651567844 DE1567844A DE1567844A1 DE 1567844 A1 DE1567844 A1 DE 1567844A1 DE 19651567844 DE19651567844 DE 19651567844 DE 1567844 A DE1567844 A DE 1567844A DE 1567844 A1 DE1567844 A1 DE 1567844A1
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DE
Germany
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aluminum
powder
aluminum nitride
mixture
temperature
Prior art date
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Pending
Application number
DE19651567844
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English (en)
Inventor
Katsutoshi Komeya
Yosiaki Matsuki
Shigetomo Matsuo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Publication of DE1567844A1 publication Critical patent/DE1567844A1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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Description

Br. Expl.
567844
PATENTINGENIEURE F. W. HE M M E 8 J-CH ■ G E R D M O I L E R · P. G R O 5 S E f W / y _ _
9.8.1965 rau-lis
Tokyo Shibaura Electric Qo. Ltd., Kawasaki-shi, Japan
Methode zur Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid ~
Die Erfindung betrifft eine Methode zur Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid sowie spezieller eine Methode zur Herstellung gesinterten Aluminium-Nitrids aus einer Mischung von Aluminium- und Aluminium-Nitridpulver .
Obwohl Aluminium-Nitrid sich bei Verdampfen bei einer Temperatur von 245O0C ohne Übergang in eine flüssige Phase zersetzt, besitzt es eine thermische Konduktiv!tat von 0,053 cal/em/see 0 bei 600 C, was zwei- oder dreimal größer ist als die von Tonerde, so daß es überlegene Hochtemperaturbeständigkeit und einen geringeren thermischen Expansionskoeffizienten als andere keramische Substanzen aufweist. Daraus ergibt sich, daß Aluminium-Nitrid eine gute thermische Stoßbeanspruchbarkeit aufweist und widerstandsfähig ist gegenüber einer plötzlichen Abkühlung von 2200 C auf Raumtemperatur. Hinsichtlich seiner Stabilität ist es relativ stabil gegen Erwärmen auf hohe Temperaturen und zwar nicht nur in Stickstoffatmosphäre und anderen Edelgasatmosphären, sondern auch in Wasserstoffatmosphäre. Es zeigt beispielsweise eine Oxyda,tion von nur 0,3$,wenn es auf 1400 C für drei Stunden in Luftatmosphäre erhitzt wird und nur 10$, wenn es auf 170O0O über vier Stunden erhitzt wird. Darüberhinaus wird Aluminium-Nitrid nicht durch Säuren und geschmolzene Metalle angegriffen und hat eine besonders hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber geschmolzenem Aluminium. Ferner sind seine elektrischen Isolierungseigenschaften und die dielektrische Konstante besonders hoch im Hochfrequenzbereich und sein dielektrischer
0098/43/ 1 457 - E 2 -
Ί b ö 7 8 20791
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Verlustfaktor ist extrem niedrig, wodurch ein konstanter
q Wert von 0,03 bei einer Frequenz von 10 Hz und einer
Temperatur unterhalb 5000C aufrechterhalten wird. In Anbetracht dieser überlegenen Eigenschaften hat Aluminium-Nitrid eine breite Anwendung als wärmebeständiges Material, elektrisches Isoliermaterial, Dielektrikum für hohe Temperaturen, Schmelztiegel für Silizium, Germanium, Gallium, Aluminium, Glas und ähnliche Materialien, Schmelztiegel für die Verdampfung von Aluminium und ähnlichen Zwecken.
In Abhängigkeit von der speziellen Anwendung war es bisher üblich, Aluminium-Nitridpulver in die gewünschte Ausbildungsform zu formen und dann das geformte Erzeugnis in einer Stickstoffatmosphäre zu sintern, wodurch man eine gesinterte Masse von Aluminium-Nitrid erhielt» Da jedoch Aluminium-Nitridnicht in eine flüssige Phase eintritt bei gewöhnlichem Druck, sondern sich nur durch die Bindekraft infolge fester Diffusion miteinander abbindet, ist die gesinterte Masse zerbrechlich. Als Folge davon ist es erforderlich, die Sinterbehandlung bei relativ hohen Temperaturen und über eine relativ lange Zeitdauer auszuführen. Ferner treten bei gesinterten Massen in der Praxis viele Probleme auf, wie niedrige Dichte, niedrige Festigkeit und hohe Porosität. Als Spezialverfahren ist ein Verfahren vorgeschlagen worden, bei dem Aluminium-Nitridpulver unter Hitze pressgeformt wurde und dann der Sinterung unterworfen wurde, doch ist diese Methode kompliziert.
Eines der Aufgaben der Erfindung ist die Schaffung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid von hoher Dichte und hoher Festigkeit aus einer Mischung von Aluminium-Nitrid- und Aluminium-Pulver.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung liegt in der Herstellung
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I bb
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- E 3 -
einer gesinterten Masse von Aluminium-Fitrid aus einer Mischung von Aluminium-Nitrid- und Aluminium-Pulver, welche im hohen Maße als wärmebeständiges Material, elektrische Isolatoren, Dielektrika für Hochtemperaturen oder Schmelztiegel für Metalle, Glas und ähnliche Materialien verwendbar ist.
009843/1457 S
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-51 -
Die Erfindung ist gekennzeichnet durch die Stufen der Herstellung einer Mischung von Aluminium-Nitrid-Pulver und Aluminiumpulver, der Erwärmung der genannten Pulvermischung in einer Stickstoffatmosphäre zur Ausschmelzung des Aluminiums in der Mischung, wodurch die Aluminium-Nitrid-Teilchen miteinander abbinden; der weiter fortgesetzten Erwärmung der Mischung in der Stickstoffatmosphäre und der Erhöhung der Erwärmungstemperatur auf einen Wert, bei dem eine Sekundärnitrierung des geschmolzenen Aluminiums auftritt, wodurch die genannte Pulvermischung gesintert wird.
Wenn eine Mischung, bestehend aus einem geeigneten Anteil von Aluminium-Nitrid-Pulver und metallischem Aluminiumpulver, in geeigneter Weise geformt und dann in einer Stickstoffatmosphäre erwärmt wird, schmilzt zunächst das metallische Aluminiumpulver, eines der Bestandteile der Mischung, und fließt in die Zwischenräume zwischen den Aluminiüm-Nitridteilchen und füllt diese aus in dem Maße wie die Sinterbehandlung in der Stickstoffatmosphäre fortschreitet. Genauer gesagt, wirkt das Aluminiumpulver nicht nur als Binder, sondern füllt auch die Zwischenräume oder Luftspalten der Mischung, wodurch die Porosität im hohen Maße herabgesetzt wird. Andererseits wird mit Steigerung der Erwärmungstemperatur das geschmolzene Aluminium, das die Zwischenräume zwischen den Aluminium-Nitridljeilchen ausgefüllt hat, allmählich nitriert bei einer Temperatur von ca. 10000C, wodurch sich sekundäres Aluminium-Nitrid bildet. Durch die Diffusion des Stickstoffgases wird somit das in der Mischung enthaltene Aluminium allmählich nitriert, ausgehend von dem oberflächlichen Teil, bis schließlich das meiste Aluminium in der Mischung völlig nitriert ist durch eine Sinterbehandlung bis auf ca. 15o0°C, wodurch eine gesinterte Masse erzeugt wird, die im wesentlichen aus Aluminium-Nitrid besteht.
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Obwohl es keine "besondere Begrenzung für die Teilchengröße des Pulvers des Ausgangsmaterials gibt, stellte sich eine Teilchengröße im Bereich von 1000 Maschen bis einige Mikron als besonders geeignet heraus. Die Proportion der beiden Bestandteile kann 80 bis 20$ Aluminium-Nitrid-Pulver und 20 bis 80$ Aluminiumpulver betragen, wobei es sich versteht, daß die richtige Proportion in Abhängigkeit von der besonderen beabsichtigten Anwendung des Produktes gewählt werden muß» Um beispielsweise eine gesinterte Masse zur Verwendung als Schmelztiegel zu erhalten, bei der eine relativ hohe mechanische Festigkeit gewünscht wird, wird der Anteil des Aluminiumpulvers erhöht, wohingegen bei An-r Wendungen, bei denen die Festigkeitsforderung nicht so bedeutend ist, der Anteil des Aluminiums herabgesetzt werden kann.
Bei der Formung der'Mischung der Pulver des Ausgangsmaterials kann ein geeigneter Binder wie Polyvinyl-Alkohol oder festes PolyäthylenTGrlykol und ähnliche Substanzen (wie sie beispielsweise von der Carbide and Carbon Oo. in USA unter der Handelsbezeichnung Carbowax verkauft werden) der Mischung der Rohmaterialpulver zugesetzt, mit dieser vermischt und dann geformt werden. Wenn jedoch solch ein Binder verwendet wird, ist es am besten, das geformte Erzeugnis bei Raumtemperatur zu trocknen und es dann zu erwärmen und zu . trocknen bei einer Temperatur im Bereiche von 200 C bis 30O0O im Vakuum,in einer Stickstoffatmosphäre oder in einer Edelgasatmosphäre, um Oxydation des Aluminiums zu verhindern. Durch dieses Verfahren wird das Bindemittel vor der Nitrierung des Aluminiums ausgedampft.
Die Sinterstufe umfaßt eine anfängliche Sinterstufe, bei der das Aluminiumpulver in der Mischung der Pulver des Ausgangsmaterials geschmolzen wird, wodurch die Teilchen des ·
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Aluminium-Nitrids miteinander abbinden, sowie eine spätere Sinterstufe, bei der das Aluminium nitriert wird, wodurch sekundäres Aluminium-Nitrid entsteht. Im allgemeinen wird die anfängliche Sinterstufe ausgeführt, indem die Temperatur auf ca. 10000C oder höher, ausgehend von Raumtemperatur, gesteigert wird, während die spätere Sinterstufe ausgeführt wird, indem auf eine Temperatur von ca. 10000G bis ca. 1500°0 erwärmt wird (eine Temperatur über 15000C kann angewendet werden, solange diese unterhalb der Zer-Setzungstemperatur für Aluminium-Nitrid liegt) sowie erforderlichenfalls durch allmähliche Steigerung der Temperatur in geeignetem Ausmaß. Die Temperatur und die Zeitdauer für die Sinterung werden in Abhängigkeit von der Zusammensetzung der Mischung der Ausgangsmaterial-Pulver, der Ausbildungsform der geformten Körper und sonstiger Faktoren gewählte Genauer gesagt, ist es vorzuziehen, die spätere Sinterstufenzeit zu verlängern in Fällen, in denen der Gehalt an Aluminiumpulver hoch ist, der geformte Körper massiv ist oder die Dicke des geformten Körpers groß ist. Andererseits kann die spätere Sinterstufenzeit herabgesetzt werden in Fällen, in denen der Aluminiumgehalt gering ist oder der geformte Körper klein oder dünn ist. Ferner ist es in Fällen, in denen der Aluminiumgehalt hoch ist, notwendig, die anfängliche Sinterstufendauer herabzusetzen, um zu verhindern, daß das Aluminiumpulver schmilzt, wodurch die. Pulvermischung flüssig gemacht wird.
Das Verfahren zur Sinterung ist nicht begrenzt auf das speziell oben erwähnte Verfahren, sondern kann auch durchgeführt werden bei den sogenannten Heiß-Pressverfahren, bei dem die Mischung der Rohmaterial-Pulver oder eines primär erschmolzenen Artikels in eine Kohlenstofform gepackt und dann unter Druck in einer Stickstoffatmosphäre erwärmt wird.
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Aluminium—Mitrid-Pulver,eines der bei dieser Erfindung verwendeten Rohmaterialien, ist bisher durch folgendes Verfahren hergestellt worden. Bei einer Methode wurde eine Mischung von Aluminiumoxyd und Kohlenstoff auf eine Temperatur über 18000C in einer Stickstoffatmosphäre erhitzt, wodurch man Aluminium-Nitrid-Pulver erhielt. Bei einer . anderen Methode wurde ein Pulver aus metallischem Aluminium auf eint Temperatur über 8000C in einer Stickstoff- oder Amoniakatmosphäre erwärmt· Bei der ersteren Methode gibt es verschiedene Schwierigkeiten an der Reaktionsvorrichtung, da bei diesem Verfahren eine hohe Temperatur von mehr als -M 18oo°C benötigt wird. Während die letztgenannte Methode für Laboratoriumszwecke ausreichend ist, ist es notwendig, eine große Menge von Pulver aus metallischem Aluminium bei einer Temperatur oberhalb 80O0C zu erwärmen, wenn man eine große Menge von Aluminium-Nitrid-Pulver in industriellem Ausmaß erhalten will. Da der Schmelzpunkt des metallischen Aluminiums etwa 6600C beträgt, ist Kohäsion und Schmelzung von Aluminium-Pulver bei einer niedrigen Temperatur nicht vermeidbar, wodurch eine starke Herabsetzung im reaktionsfähigen Oberfläohenber eich entsteht, wodurch die notwendige Zeit zur Durchführung der Nitrierungsreaktion verlängert Wird· Darüberhinaus hat das so gewonnene Aluminium-Nitrid-Pulver keinen gleichmäßigen Nitrierungsgrad. Ferner besteht ™ Explosionsgefahr infolge der hohen Aktivität des metallischen Aluminium-Pulvers, speziell wenn es in großen Mengen behandelt wird. .
Die Erfindung gestattet beim Vergleich mit früheren Methoden zur Herstellung von Aluminium-Nitrid-Pulver als Ausgangsmaterial, die viele Schwierigkeiten mit sich brachten, eine wirtschaftliche industrielle Produktion von Aluminium-Nitrid-Pulver. Man ist mit ihr in der Lage, Aluminium-Nltrid-Pulver herzustellen, das geeignet ist als Rohmaterial
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und zwar indem die gesinterte Masse von Aluminium-Nitrid, welche nach der Methode der Erfindung hergestellt ist, mittels einer geeigneten Vorrichtung pulverisiert wird. Um die Pulverisierung der gesinterten Masse leicht zu machen, ist es wesentlich, daß das metallische Aluminiumpulver über das Aluminium-Nitrid-Pulver gut verstreut wird, wodurch die Kohäsion des metallischen Aluminium-Pulvers in der Mischung der Ausgangsmaterial-Pulver infolge Erwärmung verhindert wird. Wenn die Mischung der Rohmaterialpulver unter einem gewissen Druck vorgeformt wird und dann die Erwärmungstemperatur zur Durchführung der Nitrierungsreaktion erhöht wird, ist es vorteilhaft, darauf zu achten, daß kein übermäßiger Druck zur Anwendung kommt.
Die gesinterte Masse von Aluminium-Nitrid, hergestellt nach der Methode der Erfindung, weist geringe Porosität und eine hohe mechanische Festigkeit auf. Da die gesintere Masse im wesentlichen aus Aluminium-Nitrid besteht, ist därüberhinaus ihre Wärmebeständigkeit, elektrische Isolierfähigkeit und sonstige Eigenschaften ausgezeichnet. Demzufolge kann diese gesintere Masse als gewöhnliches wärmebeständiges Material, elektrisches Isoliermaterial und Dielektrika für hohe Temperaturen verwendet werden. Ferner ist infolge ihrer geringen Porosität und hohen mechanischen Festigkeit diese gesinterte Masse .ebenfalls geeignet zur Verwendung als Schmelztiegel oder Kessel für Metalle wie beispielsweise Aluminium oder auch für Glas.
Wie oben beschrieben, kann die gesinterte Masse, die nach der Methode der Erfindung hergestellt ist, ebenfalls in vorteilhafter Weise für die industrielle Produktion von Aluminium-Nitrid-Pulver verwendet werden, welches eines der Ausgangsmaterialien für dieses Verfahren darstellt. Da eine Mischung, bestehend aus einem geeigneten Anteil von
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Aluniinium-lTitrid-Pulver und metallischem Aluminium-Pulver, als Ausgangsmaterial verwendet wird, wirkt das Aluminium-ITitrid-Pulver als Verdünnungsmittel, wodurch in wirksamer Weise die Kohäsion der metallischen Aluminiumpartikel in einer Stickstoffatmosphäre infolge Erwärmung und Reduktion in dem Reaktiönsbereich infolge Schmelzung verhindert wird. Darüberhinaus ist man in der Lage, Aluminium-Nitrid-Pulver mit gleichförmiger Nitrierung durch ein einfaches Verfahren zu gewinnen, ohne daß Explosionsgefahr besteht.
, Die nachfolgenden spezifischen Beispiele sind zur Erläuterung gegeben und sollen nicht als begrenzend angesehen werden, was Umfang und Idee der Erfindung betrifft.
Beispiel 1
Siebzig Grewichtsteile Aluminium-Nitrid-Pulver mit einer Korngröße von 200 Maschen und dreißig Grewichtsteile Aluminiumpulver mit einer Korngröße von 200 Maschen wurden gründlich miteinander vermischt, wodurch man ein Ausgangsmaterial-Pulver erhielt. Diese Mischung wurde vorgeschmolzen zu einem Stab von 8 mm Durchmesser und 20 mm Länge unter einem Schmelzdruck von 5 t/cm und dann der geformte Draht in einem Ofen in Stickstoffgas gesintert. Die anfängliche Sinterung wurde durchgeführt durch Steigerung der Temperatur von Räumtemperatur auf 10000G in einem Ausmaß von 32O0O pro Stunde. Da der Schmelzpunkt des Aluminiums 6680O beträgt, wurde Aluminium während dieser Stufe der anfänglichen Erwärmung geschmolzen, wodurch die Teilchen des AIuminium-lffitrid-Pulvers miteinander abbanden. Danach wurde die Temperatur auf 15000O in einem Ausmaß von 125°0 pro Stunde in der späteren Sinterstufe erhöht, wodurch eine gesintere Masse von Aluminium-Fitrid erzeugt wurde., Die Prüfung dieser gesinterten Masse durch die Röntgenstrahlen-Diffraktionsmethode zeigte, daß sie vollständig aus AIu-
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-Πminium-Nitrid bestand. Ihre Biegefestigkeit betrug
10 kg/mm und sie war leicht zu bearbeiten. Die gesinterte Masse, die durch Schmelzung von Aluminium-Mtrid-Pulver in einer konventionellen Methode erzeugt wurde und unter den gleichen Bedingungen gesintert wurde, zeigte eine
Druckdehnung von nur 2 kg/mm , die man mit der oben für das Verfahren dieser Erfindung angegebenen Druckdehnung vergleichen muß.
Beispiel 2
Mischungen mit unterschiedlichen Anteilen von Aluminium-Nitrid-Pulver der Korngröße von 200 Maschen und Aluminium-Pulver der Korngröße von 200 Maschen wurden jeweils zu einem Stab von 8 mm Durchmesser und 20 mm Länge unter einem Formdruck von 5 t/cm geformt und die geformten Stäbe durch Erwärmung auf 15000G in einer Stickstoffatmosphäre gesintert. Die nachstehende Tabelle 1 kennzeichnet das Verhältnis zwischen dem Mischungsverhältnis und der Sinterzeit.
Tabelle 1
i
ouster
Mischungsverhältnis Alu
minium
Erforder1.Zeit
zur Erhöhung d.
Temperatur von
Raumtemp, auf
10000O (in Std.
Erforderl.Zeit
für Erhöhung d. ·
Temperatur von
1000°C auf
1500uC (in Stdr
A
B
C
D
Aluminium
nitrid
20
40
60
80 .
2
2
1
1
1
2
4
6
80
60
40
20
Die Röntgenstrahlen-Diffraktions-Analyse dieser gesinterten
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Massen ergab, daß jede von ihnen aus einer einzelnen Schicht von Aluminium-Nitrid bestand und sehr geringe Porosität aufwies. Die Druckdehnung der Muster A, B, G und
op ρ ρ
D betrug 8 kg/mm , 10 - 12 kg/mm , 15 kg/mm und 20 kg/mm , was verhältnismäßig hohe Werte sind.
Beispiel 3
Mischungen von Rohmaterial-Pulver mit der gleichen Zusammensetzung wie die Muster A, S, O und D des Beispiels 2 wurden jeweils in eine Kohlenstofform gegeben und unter 'der gleichen Temperatur-Anstiegsgeschwindigkeit in einer Stickstoffatmosphäre sowie unter einem Formdruck von 100 kg/cm zur Erzeugung gesinterter Massen gesintert. Die Röntgenetrahlen-Liffranktions-Analyse ergab, daß Jede der gesinterten Massen aus einer einzigen Schicht von Aluminium-Nitrid bestand und die gleiche Druckdehnung aufwies wie in Beispiel 2.
Beispiel 4
Bin kg einer Mischung von 60 Gewichtsteilen von Aluminiumnitrid der Korngröße von 200 Maschen und 40 Gewichtsteilen von metallischem Aluminium-Pulver der Korngröße von 200 Maschen wurde in eine gewünschte Form gebracht. Dann wurde die Temperatur der geformten Mischung von Raumtemperatur auf 1200°0 in drei Stunden in einer Stickstoffatmosphäre erhöht. Die Temperatur wurde aufrechterhalten bei 12000C über vier Stunden und dann auf Raumtemperatur vermindert. Die Röntgenstrahlen-Diffraktions-Analyse der so erhaltenen gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid zeigte, daß die Masse einzig und allein aus Aluminium-Nitrid bestand und nicht reagiertes metallisches Aluminium oder andere AIu-
- G 9 0 0 9 8 U 3 / U 5 7
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- G ICSi-
miniumverbindungen nicht festgestellt wurden.
Beispiel 5
Verschiedene Muster von Rohmaterial-Pulvern wurden her- , gestellt durch Vermischung von Aluminium-Nitrid-Pulver der Korngröße von 200 Maschen und metallischem Aluminium-Pulver der Korngröße von 200 Maschen entsprechend den in der. nachstehenden Tabelle 2 angegebenen Proportionen, wobei die Temperatur jedes Musters auf die jeweiligen in Tabelle 2 dargestellten Temperaturen in einem Ausmaß von ca. 400° C pro Stunde in der gleichen Weise erhöht wurde wie dies in Verbindung mit Beispiel 4 beschrieben wurde.
.Tabelle 2
Jr wärmung s-
;emperatur
.n C
Anteil der Ergebnis der Röntgen-
Mischung strahlen-Diffraktions-
(in Gewichts-?*» Analyse
Al AlN Al
800 AlN 20 ++ ( + )
800 80 40 ++ ( + )
800 60 60 ++ +
800 40 80 ++ +
1000 20 29 ++ ( + )
1000 80 40 ++ ( + )
1000 60 60 ++ ( + )
1000 • 40 80 ι ++ ( + )■
1200 20 20 ++
1200 80 40 ++
1200 60 60 ++ C+)
1200 40 80 ++ (+)
1400 20 20 ++ _
1400 80 40 ++ _
1400 60 60 ++ _
1400 40 80 +- -
20
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In Tabelle 2 kennzeichnen die Bezeichnungen ++, +, (+) und - die Subatanzmengen, die als vorhanden angenommen werden als Ergebnis der Röntgenstrahlen-Diffraktions-Analyseund zwar jeweils als große Menge, kleine Menge, sehr kleine Menge und nicht nachweisbar.
Aus dieser Tabelle geht klar hervor, daß die Muster, die 80 Teile metallischen Aluminium-Pulvers enthielten, eine geringe Menge oder sehr geringe Menge von metallischen Aluminiumresten enthalten nach Erwärmung bei Temperaturen von 800 bis 12000C, so daß es notwendig ist, die Mtrierungsreaktion fortzusetzen, um dieses Restaluminium zu reduzieren und daß bei Erwärmung der Muster bei 140O0C die Nitrierung in vier Stunden durchgeführt ist.
: -Al -
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Claims (1)

  1. 9.8.1965
    Tokyo Shibaura Electric Co. Ltd., Kawasaki-shi, Japan
    Patentansprüche
    1. Ein Verfahren zur Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid,
    dadurch gekennzeichnet,
    daß eine Mischung von Aluminium-Nitrid-Pulver und
    Aluminium-Pulver hergestellt wird, die genannte Mischung in einer Stickstoffatmosphäre zur Schmelzung des Aluminium-Pulvers in der genannten Mischung erwärmt wird, wodurch das genannte Aluminium-Nitrid-Pulver miteinander abbindet, die Erwärmung in der Stickstoffatmosphäre
    fortgesetzt wird und die genannte Mischung der Pulver gesintert wird, während gleichzeitig deren Temperatur auf eine Temperatur gesteigert wird, bei der eine
    Sekundär-Nitrierung des geschmolzenen Aluminiums stattfindet.
    -A2-0098U/U57
    1567344
    20791
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    - A 2 -
    β Das Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die genannte Mischung der Pulver aus Aluminium-lTitrid-Pulver von 80 bis 20 Gewichtsprozent und aus Aluminium-Pulver von 20 bis 80 Gewichtsprozent besteht.
    5. Ein Verfahren zur Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid, im wesentlichen wie hierin beschrieben unter Hinweis auf die gegebenen Beispiele.
    4. Bin Verfahren zuer Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Pulver, im wesentlichen wie hierin beschrieben. -
    - Ende -
    009843/1457
DE19651567844 1965-08-13 1965-08-13 Methode zur Herstellung einer gesinterten Masse von Aluminium-Nitrid Pending DE1567844A1 (de)

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DET0029208 1965-08-13
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Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4835000B1 (de) * 1969-05-08 1973-10-25
US5118647A (en) * 1984-03-16 1992-06-02 Lanxide Technology Company, Lp Ceramic materials
US5306677A (en) * 1984-03-16 1994-04-26 Lanxide Technology Company, Lp Ceramic materials
US4713360A (en) * 1984-03-16 1987-12-15 Lanxide Technology Company, Lp Novel ceramic materials and methods for making same
US5073527A (en) * 1984-07-20 1991-12-17 Lanxide Technology Company, Lp Self-supporting ceramic materials
US4853352A (en) * 1984-07-20 1989-08-01 Lanxide Technology Company, Lp Method of making self-supporting ceramic materials and materials made thereby
US4916113A (en) * 1985-02-04 1990-04-10 Lanxide Technology Company, Lp Methods of making composite ceramic articles
US5187130A (en) * 1985-02-04 1993-02-16 Lanxide Technology Company, Lp Composite ceramic articles
US4851375A (en) * 1985-02-04 1989-07-25 Lanxide Technology Company, Lp Methods of making composite ceramic articles having embedded filler
US5420085A (en) * 1985-02-04 1995-05-30 Lanxide Technology Company, Lp Methods of making composite aluminum nitride ceramic articles having embedded filler
US5654246A (en) * 1985-02-04 1997-08-05 Lanxide Technology Company, Lp Methods of making composite ceramic articles having embedded filler
US4783430A (en) * 1986-04-25 1988-11-08 Gte Laboratories Incorporated Process of making high purity aluminum nitride
US5340655A (en) * 1986-05-08 1994-08-23 Lanxide Technology Company, Lp Method of making shaped ceramic composites with the use of a barrier and articles produced thereby
US4923832A (en) * 1986-05-08 1990-05-08 Lanxide Technology Company, Lp Method of making shaped ceramic composites with the use of a barrier
US5236786A (en) * 1986-05-08 1993-08-17 Lanxide Technology Company, Lp Shaped ceramic composites with a barrier
US5017526A (en) * 1986-05-08 1991-05-21 Lanxide Technology Company, Lp Methods of making shaped ceramic composites
US5162273A (en) * 1986-05-08 1992-11-10 Lanxide Technology Company, Lp Shaped ceramic composites and methods of making the same
US4859640A (en) * 1986-08-13 1989-08-22 Lanxide Technology Company, Lp Method of making ceramic composite articles with shape replicated surfaces
US5212124A (en) * 1986-08-13 1993-05-18 Lanxide Technology Company, Lp Ceramic composite articles with shape replicated surfaces
US4956137A (en) * 1986-09-16 1990-09-11 Lanxide Technology Company, Lp Porous ceramic composite with dense surface
US5015610A (en) * 1986-09-16 1991-05-14 Lanxide Technology Company, Lp Porous ceramic composite with dense surface
US5254511A (en) * 1986-09-16 1993-10-19 Lanxide Technology Company, Lp Method for producing composite ceramic structures using dross
US4891345A (en) * 1986-09-16 1990-01-02 Lanxide Technology Company, Lp Method for producing composite ceramic structures using dross
US5134102A (en) * 1986-09-16 1992-07-28 Lanxide Technology Company, Lp Method for producing composite ceramic structures using dross
US5139977A (en) * 1986-09-16 1992-08-18 Lanxide Technology Company, Lp Porous ceramic composite with dense surface
US4824625A (en) * 1986-09-16 1989-04-25 Lanxide Technology Company, Lp Production of ceramic and ceramic-metal composite articles incorporating filler materials
US4877759A (en) * 1987-05-29 1989-10-31 Regents Of The University Of California One step process for producing dense aluminum nitride and composites thereof
US4873038A (en) * 1987-07-06 1989-10-10 Lanxide Technology Comapny, Lp Method for producing ceramic/metal heat storage media, and to the product thereof
DE3812266C1 (de) * 1988-04-13 1989-08-24 Nils Prof. Dr. 2107 Rosengarten De Claussen
US5637541A (en) * 1991-06-19 1997-06-10 Lanxide Technology Company, Lp Aluminum nitride refractory materials and methods for using the same
WO1993024964A1 (en) * 1992-05-22 1993-12-09 The Carborundum Company High porosity aluminum nitride separator
US5306676A (en) * 1993-03-09 1994-04-26 Lanxide Technology Company, Lp Silicon carbide bodies and methods of making the same
JP5130846B2 (ja) * 2006-10-30 2013-01-30 株式会社デンソー 熱伝導性絶縁材料及びその製造方法

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