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DE1259195B - Photographisches Aufnahmegeraet fuer Vielfach-Aufnahmen einer fest angeordneten Vorlage - Google Patents

Photographisches Aufnahmegeraet fuer Vielfach-Aufnahmen einer fest angeordneten Vorlage

Info

Publication number
DE1259195B
DE1259195B DEC33543A DEC0033543A DE1259195B DE 1259195 B DE1259195 B DE 1259195B DE C33543 A DEC33543 A DE C33543A DE C0033543 A DEC0033543 A DE C0033543A DE 1259195 B DE1259195 B DE 1259195B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
plate
photographic
lens
carrier
lens carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEC33543A
Other languages
English (en)
Inventor
Mario Sollima
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Compagnie Francaise Thomson Houston SA
Original Assignee
Compagnie Francaise Thomson Houston SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Compagnie Francaise Thomson Houston SA filed Critical Compagnie Francaise Thomson Houston SA
Publication of DE1259195B publication Critical patent/DE1259195B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/22Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Projection-Type Copiers In General (AREA)

Description

  • Photographisches Aufnahmegerät für Vielfach-Aufnahmen einer fest angeordneten Vorlage Die Erfindung betrifft ein photographisches Aufnahmegerät für Vielfach-Aufnahmen einer fest angeordneten Vorlage mit einer Einrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen Objekt und photographischer Platte in einer zur photographischen Platte und Vorlage parallelen Ebene, die vor jeder Einzelaufnahme betätigt wird. Dieses Aufnahmegerät erlaubt es, auf ein und demselben Klischee in mit hoher Genauigkeit bestimmten Lagen mehrere aufeinanderfolgende Aufnahmen zu reproduzieren, wobei jede von ihnen während der photomechanischen Arbeiten begrenzt wird und eine bestimmte Anzahl von Bildern einer gleichen Zeichnung genau nebeneinander angeordnet aufweisen kann.
  • üblicherweise werden derartige Klischees mit Vielfach-Aufnahmen hergestellt, indem die photographische Aufnahmeplatte gemäß zwei senkrecht zueinander liegenden Koordinaten mit Hilfe eines mechanischen Kreuzschlittensystems bewegt wird, das durch genau gearbeitete Schrauben gesteuert wird. Es ist jedoch mit diesem Verfahren sehr schwierig, für bestimmte, eine große Präzision erfordernde Arbeiten regelmäßig eine Endlage des Bildes mit einer Toleranz zu erreichen, die nicht 1 oder 2 Mikron übersteigt. Die Ursachen, die, zeitlich gesehen, diese Endgenauigkeit beeinträchtigen, sind hauptsächlich das Spiel in den mechanischen Steuereinrichtungen, die ungleichmäßigen Ausdehnungen verschiedener Teile der Anlage und der Bedienungsmann, der mit der Durchführung aufeinanderfolgender genauester Einstellungen beauftragt ist und der ermüdet sein kann und nicht immer mit der erforderlichen Sorgfalt arbeiten kann.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein photographisches Aufnahmegerät der eingangs genannten Art zu schaffen, das diese Nachteile ausschaltet und unter Ausnutzung von mechanischen Bearbeitungsverfahren großer Präzision auf einem gleichen Klischee mit einem hohen Verkleinerungsverhältnis mehrere Bilder hoher Güte abbildet, bei denen die Lage eines jeden, die mit sehr hoher Genauigkeit festgelegt ist, in der Zeit fest bleibt, und zwar ziemlich unabhängig von der Geschicklichkeit des Bedienungsmannes. Diese Aufgabe wird bei dem erfindungsgemäßen Aufnahmegerät dadurch gelöst, daß das Gehäuse des Gerätes mit schwingungsdämpfenden Mitteln versehen ist und daß zur Festlegung der Stellung des Objektivs relativ zur photographischen Platte Anschläge, die auf den beiden Schenkeln eines rechten Winkels angeordnet sind, und Endmassen vorgesehen sind, die zwischen die Anschläge und den Objektivträger oder die photographische Platte gebracht werden.
  • In einer vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufnahmegerätes ist der Träger in an sich bekannter Weise ein pneumatisches Chassis.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufnahmegerätes ist der Objektivträger zylindrisch und vorzugsweise auf der optischen Achse des Systems zentriert und ruht durch eine seiner völlig planen und gegen die optische Achse senkrechten Flächen auf der entsprechenden Seite der vorzugsweise aus Stahl bestehenden Platte, die in ihrer Mitte eine Öffnung aufweist, die den durch das Objekt hervorgerufenen und durch das auf dem Objektivträger befestigte Objektiv gehenden Lichtstrahl bis zur Aufnahmeplatte hindurch gelangen .läßt, die durch eine Andruckvorrichtung fest gegen die völlig plane und der einen Fläche parallele andere Fläche gehalten wird.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufnahmegerätes bildet die in der Platte für den Durchlaß der Lichtstrahlen vorgesehene Öffnung einen Hohlraum, der mit Luft unter bestimmtem Druck füllbar ist und so teilweise das Gewicht des Objektivträgers auf der Platte tragen und den auf die Endmasse ausgeübten Druck immer gleichhalten kann.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufnahmegerätes ist um die Platte ein Mantel angeordnet, innerhalb dessen hyperfiltrierte staubfreie Luft umläuft, die ebenfalls den Hohlraum in der Platte ausfüllt.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Aufnahmegerätes sind verschiedene Mittel, wie etwa ein doppeltes Gelenkparallelogramm oder eine Oldham-Kupplung, vorgesehen, die den Objektivträger während der Aufnahmen an einer in seiner Ebene liegenden Drehbewegung hindern.
  • Dieses Aufnahmegerät erlaubt es, ohne vom Bedienungsmann eine ununterbrochene Aufmerksamkeit oder eine besondere Geschicklichkeit zu erfordern, mit einer hohen Anordnungsgenauigkeit eine photographische Aufnahmeplatte mit mehreren nebeneinanderliegenden und hintereinander aufgenommenen Bildern zu belichten.
  • Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt F i g. 1 einen Aufriß der erfindungsgemäßen photographischen Vorrichtung und F i . 2 eine Schnittansicht längs der Linie X-X. Bei'-' bestimmten besonderen photographischen Aufnahmeverfahren ist es manchmal erforderlich, daß mehrere aufeinanderfolgende Aufnahmen auf einem gleichen Klischee in mit genauer Präzision bestimmten Lagen gemacht werden. Dazu werden aufeinanderfolgende Masken verwendet, die genau festgelegte 'feile des zu reproduzierenden Klischees abdecken, wobei jede Maske eine bestimmte Anzahl von nebeneinanderliegenden Bildern einer gleichen Zeichnung aufweist. Es ist jedoch erforderlich, daß die entsprechenden -Stellungen der aufeinanderfolgenden Masken genau festgelegt werden, was erfordert, daß die Stellungen der verschiedenen Bilder genau gleich sind. Üblicherweise wird zur Herstellung derartiger Vielfach-Aufnahmenklischees die photographische Aufnahmeplatte gemäß zwei in einer Ebene rechteckigen Koordinatenachsen mit Hilfe eines mechanischen Kreuzschlittensystems mit genauer Schraubensteuerung bewegt. Jedoch ist es mit einem derartigen System schwierig, falls nicht unmöglich, regelmäßig und wiederholt die oft erforderliche Lagenpräzision zu erreichen, die im Bereich von 1 bis 2 Mikron liegen kann. Diese Genauigkeit hängt nämlich von dem Spiel und der mechanischen Steuerungsungenauigkeit ab, die willkürlich auftreten, sowie ebenfalls von dem Bedienungsmann, dessen Ermüdung und Unaufmerksamkeit ungünstige Auswirkungen hat. Weiterhin üben ungleichmäßige Ausdehnungen verschiedener Teile des Gerätes ungünstige Einflüsse aus.
  • Es wird versucht, alle diese Nachteile auszuschalten, indem soweit wie möglich die Einwirkung eines Bedienungsmannes verringert wird, indem durch eine so genau wie mögliche Konstruktion das mechanische Spiel und die Ausdehnungen verringert werden, die .das System beeinflussen. In dem System wird die Anordnung der Vielfach-Aufnahmen so genau wie möglich durchgeführt, so daß diese Präzision zeitlich beibehalten werden kann.
  • F i g. 1 und 2 stellen im Aufriß und im Schnitt eine Vorrichtung gemäß den Merkmalen der Erfindung dar.
  • Ein sehr steifes Gestell t, das geeignet aufgehängt ist, um alle Schwingungen äußerlichen Ursprunges auszuschalten, besitzt einen Träger 2, auf dem die Zeichnung 3 oder die Photographie festgelegt ist, die mit einem gegebenen Verkleinerungsverhältnis reproduziert werden soll. Es ist natürlich erforderlich, daß die Zeichnung genau festgelegt wird, und unter den verwendbaren Mitteln kann beispielsweise ein pneumatisches Chassis angeführt werden. Die Lageneinstellung und die Ausrichtung der Zeichnung oder der photographischen Platte 3 wird mit der erwünschten Genauigkeit mit Hilfe von beispielsweise zwei Mikroskopen durchgeführt, die in der Zeichnung nicht dargestellt sind, da sie nicht .ein Teil der Erfindung sind. Bei 4 befindet sich, schematisch gezeigt, eine Beleuchtungseinrichtung, die zum Beleuchten der Zeichnung 3 gemäß dem Durchsichtigkeitsprinzip bestimmt ist. Diese Beleuchtungsart erfordert, daß die Zeichnung 3 durchsichtig ist. Wenn sie nicht durchsichtig ist, kann sie von vorn mit Hilfe von geeignet angeordneten Lampen beleuchtet werden. Gegenüber der Zeichnung 3 und auf der gegenüberliegenden Wandung des Gestelles 1 angeordnet, befindet sich eine Platte 5, die zur bestmöglichen Vermeidung jeder für die genaue Arbeit der Vorrichtung nachteilige Verformung massiv ist. Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht sie aus Stahl, und ihre zwei Seiten 5,1 und 5,2 sind so bearbeitet, daß sie genau eben und parallel sind; diese Arbeit kann durch optische Hochpräzisionsverfahren gesteuert werden. Diese Platte besitzt in ihrer Mitte eine Öffnung 5' für den Durchgang der Lichtstrahlen. Die photographische Aufnahmeplatte 6 mit hoher Empfindlichkeit wird fest gegen die Seite 5,2 der Platte 5 gedrückt. Diese Platte 6, auf der die Vielfach-Aufnahmen der Zeichnung 3 belichtet werden müssen, wird beispielsweise durch eine genau ebene und steife Presse 7 in ihrer Lage gehalten. Das Objektiv 9 ist in einem massiven Objektivträger 8 befestigt, der vorzugsweise und aus :den oben mit Bezug auf die Platte 5 angeführten Gründen aus Stahl besteht. Die untere Seite 8,2 dieses Objektivträgers 8 ist optisch bearbeitet, um genau eben und mit der optischen Achse des Objektivs 9 senkrecht zu sein, so daß sie ohne jedes Spiel auf der ebenfalls genau ebenen Seite 5,1 der Platte 5 ruht. Der Umfang des Objektivträgers ist ebenfalls unter optischer Kontrolle mit mechanischen Hochpräzisionsverfahren bearbeitet, um eine genau festgelegte und vorzugsweise zylindrische Form zu erzielen, deren Achse mit der optischen Achse des Systems übereinstimmt. Unter diesen Bedingungen beeinflußt eine Winkelveränderung der Ausrichtung des Objektivträgers um seine Achse die Lage des erzielten Bildes nicht, wenn das Objektiv 9 genau zentriert ist.
  • Die Platte 5 besitzt Mittel, die dazu bestimmt sind, die Bewegungen des Objektivträgers 8, .der während der Arbeit der Vorrichtung bewegt werden muß, festzulegen und beispielsweise zwei in einer Ebene, rechteckige Koordinatenachsen. Diese Mittel bestehen aus zwei Anschlägen 10, 10', die auf den beiden Seiten eines rechten Winkels vorspringend angeordnet sind; die sind genau .eben und zur Ebene .der Platte senkrecht. Die genaue Lage .des Objektivs 9 wird mit Hilfe dieser Anschläge unter Zwischenschaltung von Endmassen erzielt. Um eine genaue Zentrierung eines verkleinerten Bildes der Zeichnung 3 auf einem bestimmten Punkt der photographischen Platte 6 zu erzielen, wird wie folgt vorgegangen: wenn x1 und y, die kartesiannischen Koordinaten des auf der Platte gewählten Punktes sind, werden unter Berücksichtigung der Verkleinerung die entsprechenden Koordinaten x,' und y.' der Stelle errechnet, die das Objektiv 9 einnehmen muß, damit das Bild der Zeichnung 3 sich tatsächlich am Koordinatenpunkt xi-yi der Platte bildet. Wie schon angeführt, wird die durch die Koordinaten x,' und y,' festgelegte Stellung durch Zwischenschaltung von Endmassen 11, 11' mit geeigneten Abmessungen zwischen den Anschlägen 10 und 10' und dem Umfang des Objektivträgers 8 erzielt. Ein beliebiges, bekanntes, in der Zeichnung nicht dargestelltes Mittel, das aus einer Feder oder Gewichten od. dgl. bestehen kann erlaubt es, den Objektivträger 8 mit einer geeigneten Kraft an die Endmassen 11 und 11' anzudrücken, die sich wiederum auf die entsprechenden Anschläge 10, 10' abstützen.
  • Diese Endmasse, deren Verwendung in der mechanischen Meßlehre bekannt ist, erlauben es, jede beliebige Stellung mit einer Genauigkeit im Bereich einiger zehntel Mikron zu erreichen. Die Stellung des Objektivs 9 wird so mit äußerster Präzision erreicht, und es können auf diese Art und Weise aufeinanderfolgende Aufnahmen auf einem einzigen Klischee unter höchsten Genauigkeitsbedingungen durchgeführt werden.
  • Es ist ebenfalls möglich, den Abbildungsmaßstab des photographischen Aufnahmegerätes zu verändern, indem die Entfernung zwischen der Zeichnung 3 und der Platte 5 und indem die Stellung des Objektivs 9 in dem Objektivträger 8 verändert wird, um die Scharfeinstellung wiederherzustellen. Es ist ebenfalls möglich, das Objektiv 9 mit einem anderen anderer Brennweite zu ersetzen, das auf die erwünschte Entfernung der photographischen Aufnahmeplatte 6 eingestellt ist.
  • Es wurde angeführt, daß es unter der Bedingung, daß der Objektivträger 8 einen genau zylindrischen Umfang hat und daß das Objektiv 9 genau zentriert ist, in gewissem Maß die Winkelausrichtung des Objektivträgers um seine Achse zu verändern, ohne daß die Lage des Bildes verändert wird. Wenn diese Bedingungen nicht genau eingehalten werden, kann eine Drehung des Objektivträgers verhindert werden, indem eine Oldham-Verbindung, ein doppeltes Gelenkparallelogramm oder jedes andere Mittel verwendet wird, das auf die gleiche Art und Weise arbeitet.
  • In der Beschreibung wurde angeführt, daß die Seiten 8,2 bzw. 5,1 des Objektivträgers und der Platine genau eben und miteinander in Berührung sind. Weiterhin ist es für die Erzielung einer Genauigkeit der gesuchten Stellungen erforderlich, daß der auf die Endmasse ausgeübte Druck bei allen Arbeiten immer der gleiche ist. Dazu muß die immer bestehende Reibung des Objektivträgers 8 auf der Platte 5 verringert werden. Diese Verringerung wird durch Schmierung der miteinander in Berührung liegenden Seiten des Objektivträgers und der Platte oder ebenfalls durch eine teilweise Verringerung des Gewichtes des Objektivträgers durch Einführung von Luft unter bestimmten Druck in den Hohlraum 5' erreicht, der für den Durchlaß der Lichtstrahlen vorgesehen ist. Diese Luft verhindert im übrigen unter der Voraussetzung, daß sie hyperfiltriert ist und daß sie unter bestimmten Umständen ebenfalls in einen Mantel eingeblasen wird, der die aus der Platte 5 bestehende Einheit umgibt, die Ablagerung von Staub auf der photographischen Platte.
  • Während die oben beschriebene Vorrichtung nur zwei Anschläge 10 und 10' erwähnt, die vorspringend auf den zwei Seiten eines rechten Winkels angeordnet sind, ist es offensichtlich, daß die Verwendung von vier Anschlägen an .den vier Seiten eines Quadrats nicht verboten ist. Eine derartige Anordnung könnte im Gegenteil bestimmte Arbeiten erleichtern, da eine gleiche Stellung auf zwei verschiedene Arten je nach den für das Endmaß gewählten Anschlag erreicht werden kann.
  • In der vorstehenden Beschreibung wurde angenommen, daß die photographische Platte 6 festliegt und daß das Objektiv 9 bewegt wird. Es ist natürlich ebenfalls ohne ein Verlassen des Rahmens der Erfindung möglich, umgekehrt zu arbeiten, d. h. das Objektiv 9 festzulegen und die photographische Platte zu bewegen. Die verschiedenen Lagen, die diese Platte einnehmen kann, werden natürlich mit Hilfe der Endmasse festgelegt, wobei jedoch darauf geachtet werden muß, daß diese Platte keinerlei Winkelbewegung in ihrer Ebene erfährt, wodurch die Ausrichtung der Einzelbilder verändert würde.

Claims (6)

  1. Patentansprüche: 1. Photographisches Aufnahmegerät für Vielfach-Aufnahmen einer fest angeordneten Vorlage mit einer Einrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen Objekt und photographischer Platte in einer zur photographischen Platte und Vorlage parallelen Ebene, die vor jeder Einzelaufnahme betätigt wird, d a d u r c h g e -kennzeichnet, daß das Gehäuse (1) des Gerätes mit schwingungsdämpfenden Mitteln versehen ist und daß zur Festlegung .der Stellung des Objektivs (9) relativ zur photographischen Platte (6) Anschläge (10, 10'), die auf den beiden Schenkeln eines rechten Winkels angeordnet sind, und Endmassen (11, 11') vorgesehen sind, die zwischen die Anschläge (10, 10') und den Objektivträger (8) oder die photographische Platte (6) gebracht werden.
  2. 2. Photographisches Aufnahmegerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2) in an sich bekannter Weise eine pneumatisches Chassis ist.
  3. 3. Photographisches Aufnahmegerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektivträger (8) zylindrisch ist und vorzugsweise auf der optischen Achse des Systems zentriert ist und durch eine seiner völlig planen und gegen die optische Achse senkrechten Flächen (82) auf der entsprechenden Seite (51) der vorzugsweise aus Stahl bestehenden Platte (5) ruht, die in ihrer Mitte eine Öffnung (5') aufweist, .die den durch das Objekt hervorgerufenen und durch das auf dem Objektivträger (8) befestigte Objektiv gehenden Lichtstrahl bis zur Aufnahmeplatte (6) hindurchgelangen läßt, die .durch eine Andruckvorrichtung (7) fest gegen die völlig plane und der einen Fläche (51) parallele andere Fläche (52) gehalten wird.
  4. 4. Photographisches Aufnahmegerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die in der Platte (5) für den Durchlaß der Lichtstrahlen vorgesehene Öffnung (5') einen Hohlraum bildet, der mit Luft unter bestimmtem Druck füllbar ist und so teilweise das Gewicht .des Objektivträgers (8) auf der Platte (5) tragen und den auf die Endmasse (11, 11') ausgeübten Druck immer gleichhalten kann.
  5. 5. Photographisches Aufnahmegerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß um die Platte (5) herum ein Mantel angeordnet ist, innerhalb dessen hyperfiltrierte staubfreie Luft umläuft, die ebenfalls den Hohlraum (5') in der Platte (5) ausfüllt.
  6. 6. Photographisches Aufnahmegerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß verschiedene Mittel wie etwa ein doppeltes Gelenkparallelogramm oder eine Oldham-Kupplung vorgesehen sind, die den Objektivträger (8) während der Aufnahmen an einer in seiner Ebene liegenden Drehbewegung hindern. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Gebrauchsmuster Nr. 1781278, 1874738.
DEC33543A 1963-08-21 1964-07-31 Photographisches Aufnahmegeraet fuer Vielfach-Aufnahmen einer fest angeordneten Vorlage Pending DE1259195B (de)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1781278U (de) * 1958-04-28 1959-01-15 Jenoptik Jena Gmbh Vorrichtung zum umphotographieren.
DE1874738U (de) * 1961-08-26 1963-06-27 Elbe Kamera Gmbh Geraet zum vergroessern und kopieren.

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1781278U (de) * 1958-04-28 1959-01-15 Jenoptik Jena Gmbh Vorrichtung zum umphotographieren.
DE1874738U (de) * 1961-08-26 1963-06-27 Elbe Kamera Gmbh Geraet zum vergroessern und kopieren.

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