DE10356675A1

DE10356675A1 - Elektrodenanordnung

Info

Publication number: DE10356675A1
Application number: DE10356675A
Authority: DE
Inventors: Markus Dr. Krombholz
Original assignee: Giesecke and Devrient GmbH
Current assignee: Giesecke and Devrient GmbH
Priority date: 2003-01-03
Filing date: 2003-12-04
Publication date: 2004-07-29

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenanordnung mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode aus einem elektrisch leitfähigen Polymermaterial. Ein Film aus dem Polymermaterial wird entlang eines Linienmusters durchtrennt, so dass ein Spalt in Form des Linienmusters ausgebildet wird. Der durchtrennte Film wird verstreckt, so dass der Spalt eine vorbestimmte Breite bekommt. Die beiden Teilfilme zu den beiden Seiten des Spalts bilden die beiden Elektroden. Durch Auftragen weiterer Schichten lassen sich elektronische Bauteile wie FETs herstellen.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenanordnung, ein Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauelements mit einer Elektrodenanordnung sowie eine nach dem Verfahren hergestellte Elektrodenanordnung und ein elektronisches Bauelement mit einer solchen Elektrodenanordnung.
Der Feldeffekttransistor (FET) ist ein elektronisches Bauelement, das in den unterschiedlichsten elektronischen Schaltungen verwendet wird. Logisch gesehen hat der FET eine Source-Elektrode, eine Drain-Elektrode und eine Gate-Elektrode. Durch Anlegen einer geeigneten Gatespannung an die Gate-Elektrode und einer geeigneten Source-Drain-Spannung zwischen der Source-Elektrode und der Drain-Elektrode wird zwischen der Source-Elektrode und der Drain-Elektrode ein Stromfluss erzeugt. Durch die Gatespannung wird im Bereich zwischen der Source-Elektrode und der Drain-Elektrode ein leitfähiger Kanal mit frei beweglichen Ladungsträgern erzeugt, und durch die Source-Drain-Spannung wird das erforderliche Potentialgefälle bereitgestellt, damit ein Strom von Source nach Drain fließen kann.
Der klassische Feldeffekttransistor in CMOS-Technologie (CMOS = complementary metal oxide semiconductor) hat die Struktur eines MOSFET (metal oxide semiconductor FET = Metall Oxid Halbleiter FET). Der MOSFET besteht aus einer Halbleiterschicht, einer auf der Halbleiterschicht ausgebildeten Oxidschicht und einer auf der Oxidschicht ausgebildeten Metallschicht. In der Halbleiterschicht sind zwei elektrisch leitfähige Bereiche, nämlich der Source-Bereich und der Drain-Bereich, ausgebildet, die durch den halbleitenden Kanalbereich voneinander getrennt sind. Der Source- und der Drain-Bereich werden beispielsweise durch Ionenimplantation oder durch Eindif fundieren eines geeigneten Metalls bei einer geeigneten Temperatur erzeugt. Durch die Metallschicht ist die Gate-Elektrode ausgebildet.
FETs, die ähnlich wie MOSFETs in CMOS-Technologie aufgebaut sind, lassen sich auch aus Polymermaterialien mit geeigneten elektrischen Leitfähigkeitseigenschaften herstellen. Als elektrisch leitfähige Polymermaterialien für die Elektroden sind beispielsweise Polyanilin (PANI), Polythiophen und Polyacetylen bekannt. Alternativ werden bei FETs auf Polymerbasis die Elektroden aus einem Metall oder aus Indiumzinnoxid (ITO) gefertigt.
Zur Erzeugung von Source- und Drain-Elektrode aus einem polymeren elektrisch leitfähigen Material wird das elektrisch leitfähige Material beispielsweise aufgedruckt, beispielsweise im Inkjet- oder im Siebdruckverfahren. Dabei wird für die Source- und die Drain-Elektrode jeweils eine Fläche aufgedruckt und zwischen den beiden Elektroden ein Spalt belassen. In und/ oder über den Spalt sowie mindestens teilweise auf die Source- und die Drain-Elektrode wird später halbleitendes Material aufgetragen, durch das der Kanalbereich des FET ausgebildet wird. Mittels bekannter Druckverfahren lassen sich Spalte bis zu ca. 30 um erzeugen. Schmalere Spalte sind nach dem heutigen Stand der Technik drucktechnisch nicht herstellbar.
Ein Ziel bei der Herstellung von FETs ist es, die sogenannte Kanallänge, d.h. die Breite des Spalts zwischen der Source- und der Drain-Elektrode, oder mit anderen Worten den Abstand, den die Elektronen überwinden müssen, um von Source zu Drain zu gelangen, möglichst klein zu halten, da sich dadurch die Schaltzeit und der Stromverbrauch des FET reduzieren lassen. Für den oben beschriebenen Polymer-FET bedeutet dieses Ziel, dass der Spalt zwi schen der Source- und der Drain-Elektrode möglichst schmal gestaltet werden muss.
In der Prototypenfertigung verwendete Verfahren, mit denen sich kleine Polymerstrukturen mit schmalen Spalten erzeugen lassen, sind die Laserablation und die Laserumwandlung. Bei diesen Verfahren wird zunächst eine durchgehende Schicht aus einem, beispielsweise elektrisch leitfähigen, Polymermaterial erzeugt, beispielsweise durch Aufdrucken oder durch Aufschleudern im spin-coat-Verfahren. Anschließend wird ein auf die Schicht fokussierter Laserstrahl entlang eines vorbestimmten Linienmusters über die Schicht verfahren. Dadurch wird entlang des Linienmusters das Polymermaterial abgetragen (Laserablation) oder in ein verändertes Polymermaterial mit veränderten elektrischen, beispielsweise halbleitenden, Leitfähigkeitseigenschaften umgewandelt (Laserumwandlung). Sowohl Laserablation als auch Laserumwandlung sind sehr aufwendig und langsam und werden daher zwar in der Prototypenfertigung aber nicht in der Serienfertigung eingesetzt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Elektrodenanordnung mit zwei Elektroden aus einem Polymermaterial mit einem schmalen Spalt zwischen den beiden Elektroden zu schaffen, ein darauf aufbauendes elektronisches Bauteil zu schaffen und einfache Verfahren zu schaffen, mit denen sich eine solche Elektrodenanordnung und ein solches elektronisches Bauteil erzeugen lassen.

Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren nach einem der unabhängigen Verfahrensansprüche und durch eine Elektrodenanordnung und ein elektro nisches Bauteil nach einem der entsprechenden unabhängigen Produktansprüche.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren

– wird in einem ersten Schritt aus einem elektrisch leitfähigen Polymermaterial ein Film ausgebildet,
– in einem zweiten Schritt der Film entlang eines vorbestimmten Linienmusters durchtrennt, so dass in dem Film ein Spalt in Form des Linienmusters ausgebildet wird, durch den der Film in eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode geteilt ist, und
– werden in einem dritten Schritt die erste Elektrode und die zweite Elektrode derart gegeneinander verstreckt, dass der Spalt, zumindest über einen Teil des Linienmusters hinweg oder im Mittel, eine vorbestimmte Breite bekommt.

Das Verstrecken wird durch Zug auf die erste Elektrode und die zweite Elektrode, d.h. auf die beiden Teilfilme, die durch den Spalt voneinander getrennt sind, bewirkt. Der Zug wird in der Filmebene, in der sich der Film erstreckt, ausgeübt oder wird zumindest so ausgeübt, dass er eine Zug-Komponente in der Filmebene hat. Dabei wird der Zug so ausgeübt, dass die erste und die zweite Elektrode voneinander entfernt werden. Der Film kann zum Verstrecken frei aufgespannt werden. Alternativ kann der Film zum Verstrecken auf eine Unterlage aufgespannt werden. Die Unterlage kann eine plane oder gewölbte Form haben, je nachdem, welche Form zum Verstrecken zweckmäßig ist.

Die vorbestimmte Breite des Spalts liegt vorzugsweise im Bereich von 5 bis 40 μm, vorzugsweise bei ungefähr 10 μm.

Dadurch, dass der Film durchtrennt wird, wird ein sehr schmaler Spalt ausgebildet zwischen den zwei so erzeugten Teilfilmen, durch die die beiden Elektroden gebildet sind. Durch das nachfolgende Verstrecken der beiden Elektroden gegeneinander wird der Spalt auf eine definierte Breite gedehnt.

Je nachdem, welche Form der Spalt hat, wird die Richtung oder werden die Richtungen, in die die Verstreckung durchgeführt wird, passend ausgewählt. Verläuft beispielsweise der Spalt geradlinig, so erfolgt die Verstreckung vorzugsweise in eine einzige, zur Richtung des Spalts senkrechte Richtung.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform folgt der Spalt einem kammförmigen Linienmuster. Das Kammmuster kann dabei zickzackförmig sein. Vorzugsweise ist das Kammmuster zinnenförmig kammartig, d.h. der Spalt hat abwechselnde senkrecht zueinander verlaufende Abschnitte.

Bei einem Spalt in Form eines kammförmigen Linienmusters wird der Film vorzugsweise derart in zwei unterschiedliche, insbesondere zueinander im wesentlichen senkrechte, Richtungen verstreckt, dass der gesamte Spalt überall im wesentlichen die gleiche Breite bekommt. Dazu wird der Film vorzugsweise in zwei Richtungen verstreckt, von denen jeweils eine auf der Richtung einer Spaltrichtung bei dem Kammmuster senkrecht steht. Bei dem zinnenförmigen Kammmuster hat der Spalt beispielsweise Abschnitte, die in x-Richtung verlaufen, und andere Abschnitte, die in der zur x-Richtung senkrechten y-Richtung verlaufen. Entsprechend werden die Elektroden in x- und y-Richtung gegeneinander verstreckt, indem Zug auf sie ausgeübt wird.

Vor dem Verstrecken kann der Film bzw. können die beiden Elektroden erwärmt werden. Kühlt die Elektrodenanordnung dann wieder ab, verbleibt die Verstreckung im Polymermaterial. Zusätzlich oder alternativ kann die verstreckte Elektrodenanordnung im Anschluss an das Verstrecken aktiv abgekühlt werden, um die Verstreckung zu fixieren.

Alternativ wird die verstreckte Elektrodenanordnung durch UV-Bestrahlung oder Erhitzen fixiert. Diese Art der Fixierung ist für Polymermaterialien geeignet, die in ein flüchtiges Lösungsmittel gelöst oder suspendiert oder anderweitig eingebracht aufgetragen werden, beispielsweise mittels spincoating (Aufschleudern). Vorzugsweise behält das Polymermaterial dabei noch eine Rest-Elastizität, wird also nicht spröde, sondern bleibt immer noch biegsam.

Der Film aus dem Polymermaterial wird vorzugsweise auf einer Trägerschicht ausgebildet. Der Film kann insbesondere auf die Trägerschicht aufgedruckt werden oder nach dem spin-coat-Verfahren auf die Trägerschicht aufgeschleudert werden.

Die Trägerschicht ist vorzugsweise aus einem elastischen Folienmaterial, insbesondere einem Polymermaterial, beispielsweise Polyester, gebildet. Hierdurch kann der durchtrennte Film zusammen mit dem Trägermaterial verstreckt werden. Beim Durchtrennen des Films bleibt die Trägerschicht vorzugsweise unverletzt.

Bei der Variante der Erfindung, bei der der Film auf einer Trägerschicht ausgebildet wird, wird gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung das Fixieren der verstreckten Elektrodenanordnung durch UV-Bestrahlung durchgeführt wird. Bei dieser Ausgestaltung ist die Trägerschicht als eine Trägerfolie mit einem ein- oder beidseitig aufgebrachten, noch nicht vollständig gehärteten UV-Lack ausgebildet. Auf den UV-Lack bzw. auf den UV-Lack auf einer der beiden Seiten wird der Film aufgetragen. Der aufgetragene Film wird durchtrennt und gemeinsam mit der Trägerschicht verstreckt. Anschließend wird der UV-Lack durch UV-Bestrahlung gehärtet. Dadurch werden die gesamte Trägerschicht und auf ihr befindliche Strukturen, insbesondere die verstreckte Elektrodenanordnung, fixiert.

Die fertig durchtrennte und verstreckte Elektrodenanordnung kann entweder von der Trägerschicht entfernt und auf ein gewünschtes Substrat, z.B. ein Papier oder eine Folie, übertragen werden oder für weitere Prozessschritte auf der Trägerschicht verbleiben.

Zum Durchtrennen des Films wird der Film beispielsweise gestanzt, mechanisch geschnitten oder mit einem Laser geschnitten.

Der Film wird vorzugsweise ungefähr in der Mitte durchtrennt, so dass die erste Elektrode und die zweite Elektrode ungefähr gleich große Flächeninhalte haben, da es für viele Anwendungen zweckmäßig ist, wenn die beiden Elektroden in etwa gleich groß sind. Für andere Anwendungen wird der Film entsprechend angepasst durchtrennt, bei Bedarf mit unterschiedlich großen Elektrodenflächen.

Das elektrisch leitende Polymermaterial weist vorzugsweise mindestens ein Polymermaterial aus der Materialgruppe auf, die Polyanilin (PANI), Polythiophen und Polyacetylen umfasst. Als ein Polythiophen kann dabei beispielsweise Poly-3,4-ethylen-dioxithiophen (PEDOT) oder ein anderes Polythiophen-Derivat vorgesehen sein. Vorzugsweise ist der gesamte Film aus einem einzigen der genannten Materialien gebildet.

Zum Herstellen eines elektronischen Bauteils mit einer erfindungsgemäßen Elektrodenanordnung wird zunächst wie oben beschrieben eine Elektrodenanordnung hergestellt. Nach dem Verstrecken werden zumindest auf Teilbereichen des Films eine oder mehrere weitere Schichten ausgebildet.

Gemäß einer Ausgestaltung kann dabei vorgesehen sein, dass dadurch, dass die eine oder mehreren weiteren Schichten auf der Elektrodenanordnung ausgebildet wird, die verstreckte Elektrodenanordnung fixiert wird. Diese Art der Fixierung kann auch zusätzlich zum weiter oben beschriebenen thermischen Fixieren (erzielt durch Kühlen und/oder Erhitzen) durchgeführt werden.

Das elektronische Bauteil kann beispielsweise eine Diode sein. In diesem Fall wird auf der Elektrodenanordnung eine halbleitende Schicht, beispielsweise eine Schicht aus einem halbleitenden Polymermaterial ausgebildet. Die halbleitende Schicht erstreckt sich vorzugsweise in den Spalt hinein. Die erste Elektrode und die zweite Elektrode bilden die beiden Anschlüsse der Diode. Als halbleitendes Polymermaterial kann beispielsweise ein Poly-3-alkylthiophen (P3AT) oder ein Polyfluoren (F8T2) verwendet werden.

Polyfluoren (F8T2) hat gegenüber Poly-3-alkylthiophen (P3AT) den Vorteil, dass es stabiler ist, genauer, dass es eine um einen Faktor von ungefähr 10 höhere Haltbarkeitsdauer unter dem Einfluss von Umwelteinflüssen wie z.B. Feuchtigkeit und/oder Sauerstoff hat.

Als weitere Schichten kann weiter beispielsweise vorgesehen sein, dass

– auf dem verstreckten polymeren Film mit dem Spalt eine halbleitende erste Schicht ausgebildet wird,
– auf der halbleitenden ersten Schicht eine elektrisch isolierende zweite Schicht ausgebildet wird und
– auf der elektrisch isolierenden zweiten Schicht eine elektrisch leitfähige dritte Schicht ausgebildet wird.

In diesem Fall ist das elektrische Bauteil als ein FET mit polymerer Source- und Drain-Elektrode ausgebildet. Durch die halbleitende erste Schicht ist insbesondere der Kanalbereich ausgebildet. Hierzu wird die halbleitende erste Schicht vorzugsweise so ausgebildet, dass sie sich in den Spalt hinein erstreckt. Durch die elektrisch isolierende zweite Schicht ist die Gateisolierung ausgebildet. Durch die elektrisch leitfähige dritte Schicht ist die Gate-Elektrode ausgebildet. Die erste, zweite und dritte Schicht werden bei Bedarf weiter prozesstechnisch strukturiert, beispielsweise mittels Lithographie, Ätztechniken und dergleichen.

Gemäß einer Ausgestaltung des Bauteils ist vorgesehen, dass mindestens eine von der ersten, zweiten und dritten Schicht aus einem Polymermaterial mit einer entsprechenden elektrischen Leitfähigkeit gebildet ist. Vorzugswei se sind alle drei Schichten aus Polymermaterialien gebildet. Die jeweilige Polymerschicht kann in diesem Fall durch Aufdrucken oder durch Aufschleudern (spin-coating) auf die jeweils darunterliegende Schicht aufgetragen werden. Bei Bedarf wird vor dem Aufbringen einer nächsten Schicht die darunterliegende Schicht fixiert, beispielsweise thermisch fixiert, beispielweise durch Erhitzen bei geeigneter Temperatur im Ofen, um insbesondere Lösungsmittel, in welchem das Polymermaterial eingebracht ist, beispielsweise gelöst oder suspendiert ist, zu entfernen, oder durch Abkühlen, je nachdem in welcher Form und nach welchem Verfahren das Polymermaterial aufgetragen wird.

Als halbleitendes Polymermaterial kann beispielsweise Poly-3-alkylthiophen (P3AT) oder Polyfluoren (F8T2) verwendet werden. Als elektrisch isolierendes Polymermaterial kann beispielsweise Polyhydroxystyrol (PHS) verwendet werden.

Alternativ können für die drei Schichten auch jeweils nicht-polymere geeignete Materialien verwendet werden, die halbleitend, elektrisch isolierend bzw. elektrisch metallisch leitfähig sind.

Die erfindungsgemäße Elektrodenanordnung hat vorzugsweise einen Spalt mit einer Breite von höchstens 10 μm, da bei einer größeren Spaltbreite die Transferzeit von Elektronen von der ersten zur zweiten Elektrode zu groß ist.

Im folgenden wird die Erfindung an Hand einer der Veranschaulichung dienenden Ausführungsform und unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen:
1 einen auf eine Trägerfolie aus Polyester aufgedruckten Film 1 aus einem elektrisch leitfähigen Polymermaterial;
2 den Film 1 aus 1, mit einer darin eingestanzten Kammstruktur 3;
3 den Film aus 2 nach dem Verstrecken;
4 eine vergrößerte Teilansicht des Films aus 3.
1 zeigt einen auf eine Trägerfolie 2 aus Polyester aufgedruckten Film 1 aus einem elektrisch leitfähigen Polymermaterial. Der Film 1 wurde im Inkjet-Verfahren auf die Trägerfolie 2 aufgedruckt. Sowohl die Trägerfolie 2 als auch der Film 1 sind dehnbar. Der Film 1 hat eine rechteckige Grundform und erstreckt sich in der x-y-Ebene. Seine Kanten verlaufen in x- bzw. y-Richtung. Der Film 1 wird entlang eines zinnenförmigen kammförmigen Musters eingestanzt, so dass der Film entlang des Musters vollständig durchtrennt wird und ein kammförmiger Spalt 3 entsteht. Die Linien des Musters verlaufen in x- und y-Richtung.
2 zeigt den Film mit dem Spalt 3 in Form des eingestanzten zinnenförmig-kammfömigen Musters.
Der gestanzte Film 1 wird nun in x- und y-Richtung mit einer solchen Zugkraft und Geschwindigkeit verstreckt, dass der Spalt 3 in allen seinen Abschnitten eine Breite von ca. 8 μm erhält. Die Zugkraft und Geschwindigkeit sind außerdem so gewählt, dass der Film 1 beim Verstrecken nicht reißt. 3 zeigt den Film 1 aus 2 nach dem Verstrecken.
4 zeigt eine vergrößerte Teilansicht des verstreckten Films 1 aus 3, in der der durch die Verstreckung aufgeweitete kammförmige Spalt 3 besser zu erkennen ist. Die Breite des Spalts 3 beträgt bei der beschriebenen Ausführungsform ca. 8 μm und im allgemeinen vorzugsweise höchstens 10 μm.
Somit ist gemäß dem Verfahren aus einem vormals durchgehenden elektrisch leitfähigen Film 1 eine Elektrodenanordnung mit einer ersten Elektrode und einer von der zweiten Elektrode elektrisch isolierten zweiten Elektrode ausgebildet worden, mit einem ca. 8 μm breiten isolierenden Spalt 3 zwischen den beiden Elektroden.

Claims

Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenanordnung mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode aus einem elektrisch leitfähigen Polymermaterial, wobei – in einem ersten Schritt aus dem elektrisch leitfähigen Polymermaterial ein Film (1) ausgebildet wird, – in einem zweiten Schritt der Film (1) entlang eines vorbestimmten Linienmusters durchtrennt wird, so dass in dem Film (1) ein Spalt (3) in Form des Linienmusters ausgebildet wird, durch den der Film (1) in die erste Elektrode und die zweite Elektrode geteilt ist, und – in einem dritten Schritt die erste Elektrode und die zweite Elektrode derart gegeneinander verstreckt werden, dass der Spalt (3), zumindest über einen Teil des Linienmusters hinweg oder im Mittel, eine vorbestimmte Breite bekommt.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die vorbestimmte Breite des Spalts (3) im Bereich von 5 bis 40 μm, vorzugsweise bei ungefähr 10 μm liegt.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Film (1) aus dem Polymermaterial auf einer Trägerschicht (2) ausgebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Film (1) durch Aufdrucken auf die Trägerschicht (2) ausgebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Film (1) durch Aufschleudern nach dem spin-coat-Verfahren auf die Trägerschicht (2) ausgebildet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägerschicht (2) aus einem elastischen Folienmaterial, insbesondere einem Polymermaterial, gebildet ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass zum Durchtrennen des Films (1) der Film (1) gestanzt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zum Durchtrennen des Films (1) der Film (1) mechanisch oder mit einem Laser geschnitten wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Film (1) ungefähr in der Mitte durchtrennt wird, so dass die erste Elektrode und die zweite Elektrode ungefähr gleich große Flächeninhalte haben.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt (3) einem kammförmigen Linienmuster folgt.
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Film (1) derart in zwei unterschiedliche, insbesondere zueinander im wesentlichen senkrechte, Richtungen verstreckt ist, dass der gesamte Spalt (3) überall im wesentlichen die gleiche Breite erhält.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der verstreckte Film (1) thermisch fixiert wird, insbesondere dadurch, dass der Film (1) vor dem Verstrecken erwärmt wird und/ oder nach dem Verstrecken abgekühlt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrisch leitfähige Polymermaterial mindestens ein Polymermaterial aus der Materialgruppe aufweist, die Polyanilin (PANI), Polythiophen und Polyacetylen umfasst, und die insbesondere Poly-3,4-ethylendioxithiophen (PEDOT) und weitere Polythiophen-Derivate umfasst.
Verfahren zum Herstellen eines elektronischen Bauteils, wobei eine Elektrodenanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13 hergestellt wird und nach dem Verstrecken zumindest auf Teilbereichen des Films (1) mindestens eine weitere Schicht ausgebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass als weitere Schichten – auf dem Film (1) eine halbleitende erste Schicht ausgebildet wird, – auf der halbleitenden ersten Schicht eine elektrisch isolierende zweite Schicht ausgebildet wird und – auf der elektrisch isolierenden zweiten Schicht eine elektrisch leitfähige dritte Schicht ausgebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die halbleitende erste Schicht so ausgebildet wird, dass sie sich in den Spalt (3) hinein erstreckt.
Verfahren nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine von der ersten, zweiten und dritten Schicht aus einem Polymermaterial mit einer entsprechenden elektrischen Leitfähigkeit gebildet ist.
Elektrodenanordnung mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode, die aus einem Film (1) ausgebildet sind und durch einen den Film (1) durchtrennenden Spalt (3) voneinander getrennt sind, wobei der Spalt (3) eine Breite von höchstens 10 μm hat.
Elektrodenanordnung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt (3) kammförmig ist.
Elektronisches Bauelement mit einer Elektrodenanordnung nach Anspruch 18 oder 19.
Elektronisches Bauelement nach Anspruch 20, das weiter aufweist: – eine auf dem Film (1) ausgebildete halbleitende erste Schicht, – eine auf der halbleitenden ersten Schicht ausgebildete elektrisch isolierende zweite Schicht und – eine auf der elektrisch isolierenden zweiten Schicht ausgebildete elektrisch leitfähige dritte Schicht.
Elektronisches Bauelement nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die halbleitende erste Schicht sich in den Spalt (3) hinein erstreckt.
Elektronisches Bauelement nach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine von der ersten, zweiten und dritten Schicht aus einem Polymermaterial mit einer entsprechenden elektrischen Leitfähigkeit gebildet ist.