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DE10346576A1 - Layoutmaßnahmen - Google Patents

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Publication number
DE10346576A1
DE10346576A1 DE2003146576 DE10346576A DE10346576A1 DE 10346576 A1 DE10346576 A1 DE 10346576A1 DE 2003146576 DE2003146576 DE 2003146576 DE 10346576 A DE10346576 A DE 10346576A DE 10346576 A1 DE10346576 A1 DE 10346576A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
region
area
component
micromechanical
micromechanical component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE2003146576
Other languages
English (en)
Inventor
Matthias Fuertsch
Heribert Weber
Detlef Gruen
Andreas Duell
Christoph Schelling
Klaus Eberle-Goubet
Joerg Baisch
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE2003146576 priority Critical patent/DE10346576A1/de
Priority to PCT/DE2004/001954 priority patent/WO2005044720A1/de
Publication of DE10346576A1 publication Critical patent/DE10346576A1/de
Ceased legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
    • B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
    • B81B3/0067—Mechanical properties
    • B81B3/0072—For controlling internal stress or strain in moving or flexible elements, e.g. stress compensating layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/02—Sensors
    • B81B2201/0264—Pressure sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

Die Erfindung beschreibt ein mikromechanisches Bauelement bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements, welches wenigstens einen ersten, einen zweiten und einen dritten Bereich aufweist. Der erste und der zweite Bereich des mikromechanischen Bauelements weisen dabei vorteilhafterweise den gleichen Schichtaufbau auf. Zwischen dem ersten und dem zweiten Bereich ist der dritte Bereich angeordnet. Während der Nutzung des mikromechanischen Bauelements beispielsweise als Halterung eines Sensorelements können auf dem Bauelement Risse entstehen. Diese Risse können sich unter ungünstigen Umständen auf der Oberfläche des mikromechanischen Bauelements vergrößern bzw. ausbreiten. Beim Aufbau der drei Bereiche ist dabei vorgesehen, dass der dritte Bereich im Vergleich zu dem ersten und/oder zweiten Bereich höhere Anfälligkeit der Rissausbreitung aufweist. Erfindungsgemäß sind der dritte Bereich und die beiden anderen Bereiche derart gestaltet, dass die Rissausbreitung vorzugsweise im dritten Bereich an vorgebbaren Positionen auf dem Bauelement gestoppt wird.
DE2003146576 2003-10-07 2003-10-07 Layoutmaßnahmen Ceased DE10346576A1 (de)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003146576 DE10346576A1 (de) 2003-10-07 2003-10-07 Layoutmaßnahmen
PCT/DE2004/001954 WO2005044720A1 (de) 2003-10-07 2004-09-03 Layoutmassnahmen zur begrenzung der ausbreitung von oberflächenrissen in mems

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003146576 DE10346576A1 (de) 2003-10-07 2003-10-07 Layoutmaßnahmen

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WO (1) WO2005044720A1 (de)

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