DE102011014795B4 - Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/10—Semiconductor bodies
- H10F77/16—Material structures, e.g. crystalline structures, film structures or crystal plane orientations
- H10F77/169—Thin semiconductor films on metallic or insulating substrates
- H10F77/1692—Thin semiconductor films on metallic or insulating substrates the films including only Group IV materials
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- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F19/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one photovoltaic cell covered by group H10F10/00, e.g. photovoltaic modules
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- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F71/00—Manufacture or treatment of devices covered by this subclass
- H10F71/139—Manufacture or treatment of devices covered by this subclass using temporary substrates
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- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/10—Semiconductor bodies
- H10F77/16—Material structures, e.g. crystalline structures, film structures or crystal plane orientations
- H10F77/169—Thin semiconductor films on metallic or insulating substrates
- H10F77/1698—Thin semiconductor films on metallic or insulating substrates the metallic or insulating substrates being flexible
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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Abstract
a. Aufbringen eines fotoaktiven Schichtaufbaus (15) auf ein starres Substrat (11) mit dessen Frontkontakt-Schicht (12) voraus,
b. Aufbringen einer flexiblen Folie (16) auf die dem Substrat (11) abgewandte Rückkontakt-Schicht (14) des Schichtaufbaus (15),
c. Ablösen des fotoaktiven Schichtaufbaus (15) vom Substrat (11) mittels Laserstrahl (20),
d. Aufbringen einer weiteren flexiblen Folie (22) auf die Frontkontakt-Schicht (12), wobei ein Substrat (11) aus Glas verwendet wird.
Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen.
- Flexible Dünnschicht-Solarzellen sind beispielsweise aus der
DE 100 05 680 B4 sowieDE 100 06 823 C2 bekannt. Als flexibles Substrat bzw. flexibles Trägermaterial wird zur Herstellung beispielsweise eine bandförmige Kupferfolie verwendet. Dabei weist der Stand der Technik auf Herstellungsprobleme bei der Verwendung von flexiblen Folien aus Kunststoffen oder Metallen hin. - Die
offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht-Solarzelle, bei dem auf ein starres Substrat, das aus Glas bestehen kann, eine Elektrodenschicht und darauf ein Filmlaminat aufgebracht wird, wobei zwischen dem Substrat und der Elektrodenschicht eine Opferschicht vorhanden ist, die mittels eines Laserstrahls zerstört wird, so dass das Filmlaminat samt Elektrodenschicht vom Substrat entfernt werden kann.US 2010/0255344 A1 - Des Weiteren ist bekannt, dass der Dünnschichtaufbau vom starren Substrat durch chemische Ablösung (
), thermische Auflösung einer Zwischenschicht (JP 2009-049389 A ), oder mechanische Abtrennung (US 2007/0044834 A1 DE 101 27 255 A1 ) entfernt werden kann. - Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen zu schaffen, bei dem ein vom Stand der Technik unterschiedlicher Weg zu deren Verwirklichung gegangen werden soll.
- Zur Lösung dieser Aufgabe sind bei einem Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale vorgesehen.
- Durch die erfindungsgemäßen Maßnahmen ist ein Herstellungsverfahren für flexible Dünnschicht-Solarzellen erreicht, bei dem Probleme beim Aufbau der einzelnen Schichten unmittelbar auf einer flexiblen Folie vermieden sind und zwar dadurch, dass die einzelnen Schichten zunächst in an sich bekannter Weise auf ein starres Substrat, nämlich ein Glassubstrat, aufgebaut bzw. übereinandergelegt werden und danach der gesamte Schichtaufbau als Einheit vom Glassubstrat abgenommen und auf eine flexible Folie gebracht wird.
- Vorteilhafte Ausgestaltungen hinsichtlich des Schichtaufbaus und des Ablösens des Schichtaufbaus vom Substrat und der Verwendung entsprechender Folien als Trägermaterial und/oder als Abdeckung ergeben sich aus den Merkmalen eines oder mehrerer der Ansprüche 2 bis 9.
- Weitere Einzelheiten der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben und erläutert ist. Es zeigen:
-
1 bis6 jeweils in schematischer geschnittener Darstellung die einzelnen Verfahrensschritte zum Herstellen einer flexiblen Dünnschicht-Solarzelle und -
7 in den vorhergehenden Figuren entsprechender Darstellung eine fertig hergestellte Dünnschicht-Solarzelle zum Aufbau eines Solarmoduls. - Die in den
1 bis6 dargestellten einzelnen und aufeinanderfolgenden Verfahrensschritte führen zu einer in7 dargestellten fertigen flexiblen Dünnschicht-Solarzelle10 , die einzeln oder in einer Vielzahl entsprechend verschalteter Dünnschicht-Solarzellen zu einem Dünnschicht-Solarmodul führt. Es versteht sich, dass Form und Größe der Dünnschicht-Solarzelle10 beliebig sein kann. - Gemäß
1 wird als vorläufiges Trägermaterial11 ein starres Trägermaterial in Form eines Glassubstrats verwendet. In einem ersten Herstellungsschritt wird auf das Glassubstrat11 eine Frontkontakt-Schicht12 in Form einer TCO-Schicht gebracht. Auf die Frontkontakt-Schicht12 wird eine fotoaktive Schicht13 aus beispielsweise Silizium in Dünnschicht gebracht. Auf die fotoaktive Schicht13 wird eine Rückkontaktschicht14 gebracht. Dieser aus den aufeinander gelegten Schichten12 bis14 hergestellte Schichtaufbau15 kann üblicher Bauart sein. Die Rückkontakt-Schicht14 kann aus beispielsweise Dünnschicht-Aluminium sein. Der auf dem Glassubstrat11 angeordnete fotoaktive Schichtaufbau15 ist in2 gezeigt. - In einem weiteren Herstellungsschritt wird gemäß
3 auf die Rückkontakt-Schicht14 eine flexible Folie16 aufgebracht, vorzugsweise auflaminiert. Die flexible Folie16 ist der Rückkontakt-Schicht14 zugewandt mit Leiterbahnen, insbesondere Kontaktdrähten versehen, wie dies in derDE 102 39 845 C1 beschrieben ist. Die Folie16 kann transparent oder opak sein. Dieser aus dem Glassubstrat11 , dem Schichtaufbau15 und der auflaminierten Folie16 bestehende Rohzellenaufbau wird gegebenenfalls nach Wenden von der freien Glassubstrat-Oberfläche her mit einem Laserstrahl20 beaufschlagt (4 ). Von dem von einem nicht dargestellten Laser ausgehenden Laserstrahl20 wird die gesamte freie dem Schichtaufbau15 abgewandte Oberfläche des Glassubstrats11 scannend abgetastet. Die Energie des Lasers bzw. des Laserstrahles ist so eingestellt, dass die Grenzschicht zwischen der Innenfläche des Glassubstrats11 und der gegenüberliegenden Fläche der Frontkontakt-Schicht12 derart behandelt wird, dass sich ein Ablöseprozess des Glassubstrats11 von der Frontkontakt-Schicht12 ergibt. Beispielsweise kann das Laserlicht eine Wellenlänge im Bereich von 532 nm besitzen, wobei das Glassubstrat11 beispielsweise eine Dicke von 4 mm aufweist. - Gemäß
5 wird das Glassubstrat11 nach seinem Ab- bzw. Loslösen aufgrund des Laserstrahls20 abgehoben und bei Seite gelegt. Das Glassubstrat11 kann nach einer Reinigung wieder verwendet werden. - Anstelle des Glassubstrats
11 wird gemäß6 eine transparente Folie22 auf die Frontkontakt-Schicht12 des erhalten gebliebenen Schichtaufbaus15 aufgebracht, vorzugsweise laminiert. Diese transparente Folie22 besitzt ebenfalls eine teilweise elektrisch leitende Oberfläche in Form von Leiterbahnen, insbesondere Kontaktdrähten, wobei diese transparente Folie22 ebenso wie die Folie16 entsprechend derDE 102 39 845 C1 aufgebaut ist. In beiden Fällen handelt es sich um eine Kunststofffolie. - Gemäß
7 ergibt sich damit die fertige flexible Solarzelle10 in Form einer Dünnschicht-Solarzelle, deren Lichteinfallseite für die fotoaktive Schicht13 die frei liegende Oberfläche21 der transparenten Folie22 ist. - Die fertige sehr dünne flexible Dünnschicht-Solarzelle
10 kann in verschiedenen Geometrien hergestellt oder insbesondere nachträglich zugeschnitten werden. Mehrere solcher Dünnschicht-Solarzellen10 können zu einem größeren Dünnschicht-Solarzellenmodul zusammengefasst bzw. elektrisch verschaltet werden. - Alternativ ist es möglich, das Ablösen des Glassubstrats
11 von der Frontkontakt-Schicht12 mittels Laserstrahl statt nach5 von der dem Glassubstrat11 abgewandten Seite des Schichtaufbaus15 vorzunehmen.
Claims (9)
- Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen (10), aufweisend folgende Schritte: a. Aufbringen eines fotoaktiven Schichtaufbaus (15) auf ein starres Substrat (11) mit dessen Frontkontakt-Schicht (12) voraus, b. Aufbringen einer flexiblen Folie (16) auf die dem Substrat (11) abgewandte Rückkontakt-Schicht (14) des Schichtaufbaus (15), c. Ablösen des fotoaktiven Schichtaufbaus (15) vom Substrat (11) mittels Laserstrahl (20), d. Aufbringen einer weiteren flexiblen Folie (22) auf die Frontkontakt-Schicht (12), wobei ein Substrat (11) aus Glas verwendet wird.
- Verfahren nach
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Schichtaufbau (15) dadurch gebildet wird, dass die Frontkontakt-Schicht (12) auf das Substrat (11), dann auf die Frontkontakt-Schicht (12) eine fotoaktive Schicht (13) und danach auf die fotoaktive Schicht (13) die Rückkontakt-Schicht (14) aus elektrisch leitendem Material gebracht wird. - Verfahren nach
Anspruch 2 , dadurch gekennzeichnet, dass als Frontkontakt-Schicht (12) eine TCO-Schicht verwendet wird. - Verfahren nach
Anspruch 2 oder3 , dadurch gekennzeichnet, dass als fotoaktive Schicht (13) eine Schicht (13) aus Silizium verwendet wird. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die flexiblen Folien (16, 22) auf die betreffende Schicht (14, 12) laminiert werden.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum Ablösen des Substrats (11) das Laserlicht (20) auf die dem Schichtaufbau (15) abgewandte Oberfläche des Substrats (11) gerichtet wird.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass für die weitere flexible Folie (22) eine transparente Folie verwendet wird.
- Verfahren nach
Anspruch 7 , dadurch gekennzeichnet, dass eine transparente Folie mit Leiterbahnen verwendet wird. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Energie des Laserstrahls derart eingestellt wird, dass eine Grenzschicht zwischen einer Innenfläche des Substrats (11) und einer gegenüberliegenden Fläche der Frontkontakt-Schicht (12) derart behandelt wird, dass sich ein Ablöseprozess des Substrats (11) von der Frontkontakt-Schicht (12) ergibt.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102011014795.0A DE102011014795B4 (de) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen |
| PCT/EP2012/001129 WO2012123109A2 (de) | 2011-03-15 | 2012-03-14 | Verfahren zum herstellen von flexiblen dünnschicht-solarzellen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102011014795.0A DE102011014795B4 (de) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102011014795A1 DE102011014795A1 (de) | 2012-09-20 |
| DE102011014795B4 true DE102011014795B4 (de) | 2021-05-06 |
Family
ID=45954588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102011014795.0A Expired - Fee Related DE102011014795B4 (de) | 2011-03-15 | 2011-03-15 | Verfahren zum Herstellen von flexiblen Dünnschicht-Solarzellen |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102011014795B4 (de) |
| WO (1) | WO2012123109A2 (de) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014202985B4 (de) * | 2014-02-19 | 2018-07-12 | 4Jet Microtech Gmbh & Co. Kg | Herstellung von elektronischen Bauteilen auf einem Substrat |
| EP4561308A1 (de) | 2023-11-21 | 2025-05-28 | Dirk Dammers | Dünnschicht-solarzelle, insbesondere perowskit-solarzelle, solarmodul mit solchen dünnschicht-solarzellen und verfahren zu deren herstellung |
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-
2011
- 2011-03-15 DE DE102011014795.0A patent/DE102011014795B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-03-14 WO PCT/EP2012/001129 patent/WO2012123109A2/de not_active Ceased
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2012123109A2 (de) | 2012-09-20 |
| DE102011014795A1 (de) | 2012-09-20 |
| WO2012123109A3 (de) | 2013-06-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R163 | Identified publications notified | ||
| R082 | Change of representative |
Representative=s name: COHAUSZ HANNIG BORKOWSKI WISSGOTT, DE Representative=s name: PATENT- UND RECHTSANWAELTE DR. SOLF & ZAPF, DE |
|
| R084 | Declaration of willingness to licence | ||
| R084 | Declaration of willingness to licence |
Effective date: 20121012 |
|
| R082 | Change of representative |
Representative=s name: , Representative=s name: PATENT- UND RECHTSANWAELTE DR. SOLF & ZAPF, DE |
|
| R082 | Change of representative |
Representative=s name: DR. SOLF & ZAPF PATENT- UND RECHTSANWALTS PART, DE |
|
| R012 | Request for examination validly filed | ||
| R081 | Change of applicant/patentee |
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|
| R082 | Change of representative |
Representative=s name: DR. SOLF & ZAPF PATENT- UND RECHTSANWAELTE, DE Representative=s name: DR. SOLF & ZAPF PATENT- UND RECHTSANWALTS PART, DE Representative=s name: PATENT- UND RECHTSANWAELTE DR. SOLF & ZAPF, DE |
|
| R016 | Response to examination communication | ||
| R016 | Response to examination communication | ||
| R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
| R020 | Patent grant now final | ||
| R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |