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Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein fluidisches System zur blasenfreien Befüllung einer mikrofluidischen Filterkammer und zum Filtern von Flüssigkeiten, ein Verfahren zum blasenfreien Befüllen einer mikrofluidischen Filterkammer des erfindungsgemäßen Systems und ein Verfahren zum Filtern von Flüssigkeiten.
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Stand der Technik
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In der Molekularbiologie und der molekularen Diagnostik werden oftmals Filtrierungs- oder Festphasen-Extraktionsschritte durchgeführt. Zweck kann z.B. die Akkumulation von Bakterien oder die Aufreinigung von DNA-Fragmenten sein. Je nach Anwendung kommen als Filter Gewebematten oder Partikelschüttungen aus Glas, Silikaten, Oxiden, Polymeren etc. zum Einsatz. Als Bestandteil von Kits sind in Kunststoffröhrchen (sogenannte Tubes) eingepresste Filter kommerziell erhältlich, z.B. QIAquick Purification Kit der Firma Qiagen ®, solche Filter sind bekannt aus der
DE10218554A1 . Diese Filter werden manuell durch Pipettieren befüllt und dann zentrifugiert.
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Neuerdings wird verstärkt versucht, molekularbiologische Abläufe (sogenannte Assays) in mikrofluidische Systeme zu integrieren. Ein derartiges System wird auch als Lab-on-Chip (LOC) oder Micro-Total-Analysis-System (µTAS) bezeichnet. Zu den Besonderheiten eines LOC-Systems gehören:
- Die Zeitersparnis bei der Durchführung des Assays. Es werden nur geringere Mengen an Reagenzien und Proben benötigt. Der Arbeitsaufwand für den Bediener wird reduziert. Es gibt weniger Möglichkeiten für den Bediener, Fehler zu machen. Das System kann portabel ausgeführt werden.
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Anwendungen für LOC-Systeme finden sich in der molekularen Diagnostik, in der Umweltanalytik, etc. Eine Möglichkeit, einen Filter in ein mikrofluidisches LOC-System zu integrieren, ist in der
US2002/0185431A1 beschrieben.
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Die Druckschriften
US 2007 / 0 125 942 A1 und
DE 103 45 818 A1 offenbaren eine Filterkammer mit einem Einlasskanal, einem Auslasskanal und einem dazwischen eingefügten Filter.
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Offenbarung der Erfindung
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Gegenstand der Erfindung ist ein fluidisches System zur blasenfreien Befüllung einer mikrofluidischen Filterkammer umfassend einen Mehrschichtaufbau aus mindestens zwei Schichten und eine mikrofluidische Filterkammer umfassend einen Filter, einen Entlüftungskanal, einen Einlasskanal und einen Auslasskanal, wobei der Filter zwischen Einlasskanal und Auslasskanal eingefügt ist, wobei der Entlüftungskanal vom Einlasskanal abzweigt und der Durchfluss durch die mikrofluidische Filterkammer mittels eines Ventils des Entlüftungskanals regulierbar ist, wobei eine zwischen den zwei Schichten befindliche Folie als Ventil wirkt.
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Das erfindungsgemäße System weist folgende vorteilhafte Eigenschaften auf: Die mikrofluidische Filterkammer kann blasenfrei befüllt werden. Es werden beim Befüllen keine Luftblasen eingeschlossen. Ein Verstopfen des Filters wird somit verhindert. Der Filter wird homogen angeströmt. Flüssigkeitsströme können genau reguliert werden. Das vollständige Ausspülen des Filters ist gewährleistet. Es kommt nicht zur Verstopfung von Komponenten oder zum Ablauf unerwünschter Reaktionen. Das Mischen von Flüssigkeiten wird erleichtert. Die Schaumbildung wird verhindert. Der fluidische Widerstand des Systems wird konstant gehalten. In der Filterkammer enthaltene Reagenzien können kontrolliert ausgetauscht werden.
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Erfindungsgemäß umfasst die mikrofluidische Filterkammer ein Ventil zum kontrollierbaren Durchlass durch den Entlüftungskanal. Dies dient dazu, den Durchlass von Flüssigkeit oder Gas zu regulieren.
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Eine besondere Ausführungsform der mikrofluidischen Filterkammer ist dadurch gekennzeichnet, dass der Entlüftungskanal entweder an die Atmosphäre führt oder in ein separates Reservoir führt. Dies dient dazu, die Luft abzuführen.
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Eine andere besondere Ausführungsform der mikrofluidische Filterkammer ist dadurch gekennzeichnet, dass der Entlüftungskanal nach dem Filter in den Auslasskanal mündet. Dies dient dazu, die Luft abzuführen.
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In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die mikrofluidische Filterkammer dadurch gekennzeichnet, dass der Einlasskanal vor und/oder nach dem Filter erweitert ist. Eine besonders bevorzugte Ausführungsform der mikrofluidischen Filterkammer ist dadurch gekennzeichnet, dass der Einlasskanal vor dem Filter erweitert ist, um ein homogenes Anströmen des Filters mit Flüssigkeiten zu gewährleisten. Eine ebenfalls besonders bevorzugte Ausführungsform der mikrofluidischen Filterkammer ist dadurch gekennzeichnet, dass der Auslasskanal nach dem Filter erweitert ist.
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In einer besonderen Ausführungsform der Erfindung sind eine oder mehrere Schichten strukturierte Ebenen.
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Eine besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft ein fluidisches System umfassend einen Deckel, eine erste strukturierte Ebene und eine zweite strukturierte Ebene, einen Einlasskanal, eine Erweiterung des Einlasskanals, einen Filter, ein Ventil und einen Auslasskanal. Gegebenenfalls kann das fluidische System außerdem eine Kanaldurchführung umfassen.
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Eine weitere besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft ein fluidisches System, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen der ersten strukturierten Ebene und der zweiten strukturierten Ebene eine elastische Folie befindet.
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In einer besonderen Ausführungsform umfasst das fluidische System zur blasenfreien Befüllung einer mikrofluidischen Filterkammer noch mindestens ein weiteres Ventil.
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Gegenstand der Erfindung ist weiterhin ein Verfahren zur blasenfreien Befüllung einer mikrofluidischen Filterkammer des erfindungsgemäßen Systems, umfassend einen Filter und einen Entlüftungskanal, wobei eine Flüssigkeit durch den Einlasskanal zum Filter gepumpt wird, während das Ventil im Entlüftungskanal offen ist, und
wobei dann der Filter kapillar befüllt wird, und wobei dann der Kanalbereich vor dem Filter, der Entlüftungskanal und der Kanalbereich nach dem Filter befüllt werden, und danach das Ventil geschlossen wird.
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Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren zum Filtern einer Flüssigkeit in der mikrofluidischen Filterkammer des erfindungsgemäßen Systems, wobei zuerst die mikrofluidische Filterkammer blasenfrei mit einer Flüssigkeit befüllt wird, indem eine Flüssigkeit durch den Einlasskanal zum Filter gepumpt wird, während das Ventil im Entlüftungskanal offen ist, dann der Filter kapillar befüllt wird, dann
der Kanalbereich vor dem Filter, dann der Entlüftungskanal und dann der Kanalbereich nach dem Filter befüllt wird, und anschließend das Ventil geschlossen wird, und danach die zu filternde Flüssigkeit durch den Einlasskanal einströmt und dann durch den Filter in den Auslasskanal strömt.
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Der Filter kann ein Gewebefilter oder ein Silikafilter sein. Beispielsweise kommen als Filter Gewebematten oder Partikelschüttungen aus Glas, Silikaten, Oxiden oder Polymeren zum Einsatz Grundsätzlich können alle Filter verwendet werden, die sich für fluidische Systeme, insbesondere für mikrofluidische Systeme eignen. Der Radius des Filters wird an die Abmessung der mikrofluidischen Filterkammer angepasst. Er kann zwischen 1 und 25 mm liegen. Vorzugsweise ist der Radius des Filters 2 bis 5 mm, besonders bevorzugt 3,5 mm.
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Fluidische Kanäle sind Kanäle, durch die die Flüssigkeit in einem mikrofluidischen System strömen kann. Die Abmessungen der fluidischen Kanäle werden an die betreffenden Anforderungen angepasst. Zu den fluidischen Kanälen gehören der Einlasskanal, der Auslasskanal, der Entlüftungskanal und die Kanalerweiterung. Zu den fluidischen Kanälen gehört auch die Kanaldurchführung. Die fluidischen Kanäle haben beispielsweise einen Durchmesser bzw. eine Breite von 0,05 bis 2 mm, vorzugsweise von 0,2 bis 1 mm, besonders bevorzugt 0.3 oder 0.5 mm, und eine Tiefe von 0,05 bis 1.5 mm, vorzugsweise von 0,2 bis 1 mm, besonders bevorzugt 0.3 oder 0.5 mm.
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Der Entlüftungskanal ist regulierbar, d.h. der Durchfluss von Flüssigkeit oder Gas durch den Entlüftungskanal kann reguliert werden. Der Entlüftungskanal kann über ein Ventil reguliert werden. Das Ventil kann geöffnet, teilweise geöffnet oder verschlossen sein.
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Ventile dienen der Regulation der Flüssigkeitsströme in einer fluidischen Filterkammer und in den fluidischen Systemen. Beispielsweise kann eine elastische Folie, die sich zwischen zwei Schichten befindet, als Ventil fungieren. Weitere Beispiele für Ventile sind Drehventile oder externe Magnetventile. Die Erfindung ist aber nicht auf die genannten Ventile beschränkt, vielmehr sind alle Systeme umfasst, mit denen eine Regulation von Flüssigkeits- oder Gasströmen in fluidischen Systemen möglich ist.
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Das fluidische System kann ein mikrofluidisches System sein. In einer besonderen Ausführungsform befindet sich die mikrofluidische Filterkammer in einer Schicht. Erfindungsgemäß ist die mikrofluidische Filterkammer in einem Mehrschichtaufbau realisiert. In einer besonderen Ausführungsform handelt es sich um einen Mehrschichtaufbau, der aus mehreren unterschiedlichen Schichten besteht. In einer anderen besonderen Ausführungsform handelt es sich um einen Mehrschichtaufbau, der aus mehreren gleichen Schichten aufgebaut ist. Ein Mehrschichtaufbau umfasst beispielsweise zwei bis zwanzig oder mehr Schichten. Dabei kann sich die mikrofluidische Filterkammer nur in einer Schicht befinden oder sich über mehrere Schichten erstrecken. In einer besonderen Ausführungsform erstreckt sich die mikrofluidische Filterkammer auf zwei oder drei oder mehr Schichten. Die Schicht kann beispielsweise ein Polymer sein. Die Schicht kann beispielsweise aus Polykarbonat, Polypropylen, Polyethylen, Polystyrol oder einem zyklischen Polyolefin bestehen. Die Schicht kann auch aus Glas oder Silizium bestehen. Die Schicht kann strukturiert sein, beispielsweise mittels Spritzguss, Heißprägen, Fräsen, Sandstrahlen oder Ätzen. Einzelne Schichten können deformierbar sein. Beispielsweise kann eine Schicht eine Folie sein, besonders bevorzugt eine elastische Folie, beispielsweise ein Elastomer oder ein thermoplastisches Elastomer, insbesondere ein Polyurethan-basiertes thermoplastisches Elastomer. In bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung sind einzelne Schichten 0,05 bis 10 mm dick. Vorzugsweise haben einzelne Schichten eine Dicke von 0,1 mm, 0,5 mm, 1 mm, 1,5 mm, 2 mm, 2,5 mm, 3 mm, 3,5 mm, 4 mm, 4,5 mm, 5 mm.
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In besonders bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung sind die fluidischen Kanäle an bestimmten Stellen erweitert, d.h. sie weisen dort einen im Vergleich zum Einlasskanal beziehungsweise Auslasskanal größeren Querschnitt oder Durchmesser auf. Beispielsweise kann der Einlasskanal unmittelbar vor dem Filter erweitert sein, um eine homogene Anströmung zu erreichen. Auch kann der Auslasskanal unmittelbar nach dem Filter erweitert sein. Bei lateraler Anströmung ist der Einlasskanal oder Auslasskanal vor bzw. nach dem Filter beispielsweise über eine Länge von 5 mm bis 10 mm erweitert. Bei transversaler Anströmung befindet sich beispielsweise vor bzw. nach dem Filter eine Kavität, die eine Höhe zwischen 0.5 mm und 2 mm, beispielsweise von 1 mm, hat und im Durchmesser zwischen 0.5 mm und 3 mm, beispielsweise 2 mm, kleiner ist als der Durchmesser des Filters. In einer besonderen Ausführungsform der Erfindung befinden sich in den Erweiterungen der fluidischen Kanäle sogenannte Phaseguides, d.h. Strukturen (z.B. Kanten), die durch Pinning-Effekte die Befüllung der Kanalerweiterung steuem. Solche Strukturen können sich beispielsweise in der Erweiterung des Einlasskanals befinden, um die Befüllung der Kanalerweiterung zu steuern und eine gleichmäßige Befüllung zu gewährleisten.
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Insbesondere bei der Integration der mikrofluidischen Filterkammern in das mikrofluidische System wird der zum Filter führende Kanal vor und nach dem Filter erweitert, um in diesen Systemen ein homogenes Anströmen des Filters zu erreichen. Diese Erweiterung wird bevorzugt durch einen variablen Querschnitt der zum Filter führenden Kanäle erreicht. Diese Kanäle sind beispielsweise trichterförmig zum Filter hin geöffnet.
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Bei der mikrofluidischen Filterkammer wird zuerst der Kanalbereich vor dem Filter vollständig befüllt. Die Luftblasen können durch den regulierbaren Entlüftungskanal entweichen, wenn das Ventil geöffnet ist. Dadurch ist eine blasenfreie Befüllung des Filters und der Filterkammer möglich. Es wird dadurch vermieden, dass sich bei der Befüllung der Filter schnell kapillar füllt und so das Entweichen der sich vor dem Filter in der Kanalerweiterung befindenden Luft verhindert wird. Kann die Luft nicht entweichen, bleiben vor und gegebenenfalls auch nach dem Filter Luftblasen eingeschlossen. Diese Luftblasen stören die homogene Anströmung des Filters und können außerdem zum kompletten oder teilweisen Verstopfen des Filters und/oder zu Schaumbildung führen, wodurch das vollständige Ausspülen des Filters unmöglich wird. In einer besonderen Ausführungsform der mikrofluidischen Filterkammer mündet der Entlüftungskanal in den Kanalbereich nach dem Filter. Dadurch wird auch dieser Bereich blasenfrei befüllt und ein zusätzlicher fluidischer Anschluss wird eingespart.
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Die mikrofluidische Filterkammer ist in allen fluidischen Systemen einsetzbar, in denen ein Filter eingesetzt wird, beispielsweise in polymeren Lab-on-Chip (LOC)- und Micro-Total-Analysis-Systemen (µTA-Systemen) zur molekularen Diagnostik.
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Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Gegenstände werden durch die Zeichnungen veranschaulicht und in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die Zeichnungen nur beschreibenden Charakter haben und nicht dazu gedacht sind, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken. Es zeigen
- 1a Schematische Darstellung einer mikrofluidischen Filterkammer 10 Ausführungsform 1.
- 1b Schematische Darstellung einer mikrofluidischen Filterkammer 10 Ausführungsform 2.
- 2 Schematische Darstellung eines fluidischen Systems (Querschnitt).
- 3 Schematische Darstellung eines fluidischen Systems (Draufsicht).
- 4 Schematische Darstellung eines fluidischen Systems (Seitenansicht).
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1a zeigt eine schematische Ansicht einer mikrofluidischen Filterkammer 10 in einer ersten Ausführungsform mit Einlasskanal 1, Kanalerweiterungen 2 und 13, Filter 3, Entlüftungskanal 4, Ventil 5 und Auslasskanal 6, wobei der Entlüftungskanal 4 entweder an die Atmosphäre führt oder in ein separates Reservoir führt. Der Einlasskanal 1 ist zum Filter 3 hin führend zur vor dem Filter 3 liegenden Kanalerweiterung 2 erweitert. An die Kanalerweiterung bzw. innerhalb des Kanals schließt sich der Filter 3 an. An den Filter 3 schließt sich die Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 an. Die Kanalerweiterung 13 ist in ihrem Querschnitt gegenüber dem Auslasskanal 6 erweitert. Die Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3 und die Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 sind jeweils trichterförmig ausgebildet. Die trichterförmige Ausbildung ist derart, dass der größere Querschnitt der trichterförmigen Ausbildung zum Filter 3 angeordnet ist. Die Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3weist einen Entlüftungskanal 4 auf. Der Entlüftungskanal 4 weist ein Ventil 5 auf. Das Ventil 5 regelt den Durchfluss von Flüssigkeit oder Gas durch den Entlüftungskanal 4.
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1b zeigt eine schematische Ansicht der mikrofluidischen Filterkammer 10 in einer zweiten Ausführungsform mit Einlasskanal 1, Kanalerweiterungen 2 und 13, Filter 3, Entlüftungskanal 4, Ventil 5, Auslasskanal 6, wobei der Entlüftungskanal 4 nach dem Filter 3 in den Auslasskanal 6 mündet.
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Entsprechend der ersten Ausführungsform sind auch bei der zweiten Ausführungsform der Einlasskanal 1, die Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3, der Filter 3, die Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 und der Auslasskanal 6 so angeordnet, dass der Einlasskanal trichterförmig in die Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3 führt, und die Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 in den Auslasskanal 6 mündet. In der zweiten Ausführungsform ist der Entlüftungskanal 4 sowohl mit der Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3 als auch mit der Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 verbunden. Der Entlüftungskanal 4 weist ein Ventil 5 auf. Durch das Ventil 5 kann der Durchfluss durch den Entlüftungskanal 4 aus der Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3 und der Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 geregelt werden.
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Der Einlasskanal 1 vor dem Filter 3 und/oder der Auslasskanal 6 nach dem Filter 3 können erweitert sein gegenüber dem Querschnitt des übrigen Einlasskanals 1 und Auslasskanals 6.
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Die Funktionsweise der mikrofluidischen Filterkammer 10 in der ersten Ausführungsform ist wie folgt:
- 6. Eine erste Flüssigkeit, z.B. Lösung oder Suspension, wird durch den Einlasskanal 4 zum Filter 3 gepumpt. Das Ventil 5 ist geöffnet.
- 7. Der Filter 3 befüllt sich kapillar. Im Bereich der Kanalerweiterung 2 befindet sich zunächst noch Luft.
- 8. Da der Flusswiderstand des Filters 3 deutlich größer ist als der des Entlüftungskanals 4, wird nun zunächst die Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3 und ein Teil des Entlüftungskanals 4 befüllt.
- 9. Das Ventil 5 wird geschlossen.
- 10. Das System ist komplett befüllt und der Filtrierungsvorgang beginnt.
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Die Funktionsweise der mikrofluidischen Filterkammer 10 in der zweiten Ausführungsform ist wie folgt:
- 7. Eine erste Flüssigkeit, z.B. Lösung oder Suspension, wird durch den Einlasskanal 1 zum Filter 3 gepumpt. Das Ventil 5 ist geöffnet.
- 8. Der Filter 3 befüllt sich kapillar. Im Bereich der Kanalerweiterung 2 befindet sich zunächst noch Luft.
- 9. Da der Flusswiderstand des Filters 3 deutlich größer ist als der des Entlüftungskanals 4, wird nun zunächst die Kanalerweiterung 2 vor dem Filter 3 und der Entlüftungskanal 4 befüllt.
- 10. Durch den Entlüftungskanal 4 wird die Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 befüllt.
- 11. Das Ventil 5 wird geschlossen.
- 12. Das System ist komplett befüllt und der Filtrierungsvorgang beginnt.
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Die zweite Ausführungsform, d.h. die Ausführungsform, bei der Entlüftungskanal 4 nach dem Filter 3 in den Auslasskanal 6 mündet, hat somit zudem den Vorteil, dass durch den Entlüftungskanal 4 die Kanalerweiterung 13 nach dem Filter 3 vollständig befüllt wird. Da der Flusswiderstand des Entlüftungskanals 4 deutlich geringer ist als der des Filters 3, erfolgt dieser Befüllungsvorgang blasenfrei und deutlich schneller als durch den Filter.
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Es ist möglich, die Filterkammer 10 nach Ablauf der Filtrierung mit einer zweiten Flüssigkeit zu befüllen und dabei die erste Flüssigkeit zu ersetzen. Dazu wird im einfachsten Fall die zweite Flüssigkeit über den Filter 3 gepumpt. Bei dieser Verfahrensweise besteht jedoch die Gefahr, dass in den Kanalerweiterungen (2, 13) vor und nach dem Filter 3 Rückstände der ersten Flüssigkeit zurückbleiben, die später ablaufende Reaktionen stören können. Diese Rückstände können entfernt werden, indem der Entlüftungskanal 4 nochmals kurz geöffnet und mit Flüssigkeit 2 gespült wird.
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2 zeigt eine mögliche Ausführung der Erfindung im Querschnitt. Dabei ist die mikrofluidische Filterkammer 10 Bestandteil einer Ausführung des erfindungsgemäßen mikrofluidischen Systems. Die mikrofluidische Filterkammer 10 ist dabei in einem Mehrschichtaufbau aus drei Polymersubstraten 9, 14, 11 und einer elastischen Folie 12, die sich zwischen der ersten, strukturierten Schicht 11 und der zweiten, strukturierten Schicht 14 befindet, realisiert. Die drei Schichten sind übereinander angeordnet, dabei ist die dritte Schicht 9 über der zweiten Schicht 14 angeordnet, und die zweite Schicht 14 ist über der ersten Schicht 11 angeordnet.
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2 zeigt einen Einlasskanal 1, mit Kanalerweiterung 2, Filter 3, Kanaldurchführung 7, zusätzlichem Ventil 8, Durchmesser w1 der Kanaldurchführung 7, Tiefe t1 des fluidischen Einlasskanals 1, Dicke t2 der dritten Schicht 9, Dicke t3 der zweiten Schicht 14, Dicke t4 der dritten Schicht 11.
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3 zeigt dieselbe Ausführung der Erfindung wie 2, aber in der Draufsicht. Die mikrofluidische Filterkammer 10 ist Bestandteil eines mikrofluidischen Systems.
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3 zeigt einen Einlasskanal 1, mit Kanalerweiterung 2, Filter 3, Belüftungskanal 4, Ventil 5, Auslasskanal 6, Kanaldurchführung 7, zusätzliches Ventil 8, Radius R1 der Kanalerweiterung 2, Radius R2 des Filters 3 und Breite w2 des Auslasskanals 6.
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4 zeigt dieselbe Ausführung der Erfindung wie 2 und 3, aber in der Seitenansicht. Die mikrofluidische Filterkammer 10 ist Bestandteil eines mikrofluidischen Systems. Sie ist in einem Mehrschichtaufbau aus drei Polymersubstraten 9, 14, 11 und einer elastischen Folie 12, die sich zwischen der ersten, strukturierten Ebene 11 und der zweiten, strukturierten Ebene 14 befindet, realisiert.
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4 zeigt den Einlasskanal 1, mit Kanalerweiterung 2, Filter 3, Belüftungskanal 4, Ventil 5, Auslasskanal 6, Kanaldurchführung 7 und zusätzlichem Ventil 8.
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Die Funktionsweise der in den 2, 3 und 4 gezeigten Ausführungsform ist wie folgt:
- 8. Flüssigkeit strömt durch den Einlasskanal 1 ein. Das Ventil 5 ist geöffnet.
- 9. Die Flüssigkeit wird durch eine Durchführung 7 in die zweite, strukturierte Ebene 14 gelenkt und erreicht die Kanalerweiterung 2.
- 10. Der Filter 3 wird kapillar benetzt.
- 11. Die Flüssigkeit strömt durch den Belüftungskanal 4, der eine weitere Durchführung und ein Ventil 5 beinhaltet, in die erste, strukturierte Ebene 11 zurück und erreicht die Rückseite des Filters 3.
- 12. Die an der Rückseite des Filters 3 gelegene Kanalerweiterung wird befüllt.
- 13. Das Ventil 5 wird geschlossen.
- 14. Die Flüssigkeit strömt durch den Filter 3 in den Auslasskanal 6.
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Beispiele für typische Abmessungen des in den
2,
3 und
4 gezeigten fluidischen Systems sind: