DE102009016565A1

DE102009016565A1 - Drahtsäge mit verbesserter Verschleißfestigkeit

Info

Publication number: DE102009016565A1
Application number: DE200910016565
Authority: DE
Inventors: Michael Hoffmann
Original assignee: Schott Solar AG
Current assignee: Ecoran GmbH
Priority date: 2009-04-06
Filing date: 2009-04-06
Publication date: 2010-10-07

Abstract

Es wird eine Drahtsäge beschrieben, die einen zentralen Draht als Trägermaterial enthält, welcher in Längsrichtung oder quer zur Längsrichtung mit einer Schleifschicht ummantelt ist, die gebundene Schleifpartikel enthält. Der Draht zeichnet sich dadurch aus, dass er Bereiche aufweist, die nicht von der Schleifschicht ummantelt sind. Ein derartiger Draht weist eine erhöhte Festigkeit der Säge- bzw. Schleifschicht auf.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Drahtsäge, umfassend einen Draht, der in Längsrichtung oder quer zur Längsrichtung mit einer Schleifschicht ummantelt ist, die Schleifpartikel enthält, Verfahren zu deren Herstellung, sowie die Verwendung dieser Drahtsägen zum Schneiden bzw. Teilen von hartspröden Werkstoffen.
Dünne Scheiben aus hartspröden Werkstoffen finden in zahlreichen technischen Bereichen Anwendung. Als prominentes Beispiel sei nur die Verwendung sogenannter Siliziumwafer in der Halbleitertechnologie erwähnt. Derartige Scheiben werden in der Regel aus Blöcken oder Einkristallen der entsprechenden Materialien durch Schneide- oder Trennvorgänge gewonnen. Herkömmlich werden diese Schneide- oder Trennvorgänge unter Verwendung eines Sägedrahtes aus Stahl in Gegenwart eines Schleifmittels bzw. Abrasiv und/oder Läppmittels durchgeführt. In der Regel wird Abrasiv in Form einer losen Aufschlämmung während des Schneidevorgangs auf den Sägedraht gebracht, um das Schneiden des Werkstoffs zu ermöglichen. Dieses herkömmliche Verfahren leidet jedoch unter dem Nachteil, dass sich der Sägedraht während des Arbeitsvorgangs stark abnutzt und in der Regel nur einmal verwendet werden kann. Zudem fallen bei der Verwendung von losen Aufschlämmungen von Schleifmaterial in nicht unerheblichem Maße nicht recycelbare Abfälle an.
Es hat daher stets Bemühungen gegeben, den Sägedraht durch direktes Aufbringen des Schleifmittels auf dessen Oberfläche widerstandsfähiger zu machen. So sind mittlerweile Sägedrähte beschrieben, bei denen Stahl über eine haftvermittelnde Zwischenschicht mit einer metallischen Bindephase verbunden ist, in der das Schleifmittel, beispielsweise Diamantkörner, eingelagert sind. Derartige Sägedrähte sind aber im Herstellungsprozess kostspielig.
Darüber hinaus hat sich gezeigt, dass derartige ummantelte Drähte einer besonderen Stressbeanspruchung ausgesetzt sind, wenn diese – so wie bei Schneideprozessen für Siliziumwafer notwendig – über Umlenkrollen geführt werden. Insbesondere sind diese Drähte auf derjenigen Drahtseite, die mit der Umlenkrolle in Kontakt ist, einer Druckspannung auf den Draht ausgesetzt, und auf der äußeren der Umlenkrolle abgewandten Oberfläche einer Zugspannung ausgesetzt, die zu einer Dehnung der Schicht, die das Schleifmaterial enthält, und damit häufig zu Rissen in dieser Schicht führt. Diese Risse führen wiederum zu einem raschen Verschleiß der Drahtsägen und damit aufgrund der Notwendigkeit des steten Austausches der Drahtsägen zu erhöhten Kosten für den Schneideprozess.
Darüber hinaus haben Verfahren zum Schneiden von hartspröden Materialien, die sich Drahtsägen bedienen, den Nachteil, dass diese zu einem hohen Sägeverlust an hartsprödem Material führen. Die Schnittbreite ist durch die Dicke der Drahtsägen nach unten hin begrenzt und liegt typischerweise bei ca. 200 μm. Diese Schnittbreite führt bei der Herstellung von Siliziumscheiben mit einer Dicke von ebenfalls 200 μm zu einem Sägeverlust von ca. 50 Gew.-%.
Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es daher, eine Drahtsäge, die mit einer Schleifschicht ummantelt ist, zur Verfügung zu stellen, die eine erhöhte Verschleißfestigkeit beim Sägen bzw. Trennen von hartspröden Materialien, insbesondere von Siliziumwafern, aufweist.
Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es, eine Drahtsäge mit einer Schleifschicht zur Verfügung zu stellen, die zu einem möglichst geringen Verlust an dem zu schneidenden hartspröden Material führt.
Die vorstehend genannten Aufgaben werden mit den in den Ansprüchen definierten Merkmalen gelöst. Erfindungsgemäß wird eine Drahtsäge bzw. ein Sägedraht bereitgestellt, der einen Draht umfasst, der in Längsrichtung oder quer zur Längsrichtung mit einer Schleifschicht ummantelt ist, die gebundene Schleifpartikel bzw. Schleifkorn enthält. Dabei weist die Schleifschicht Bereiche auf, die den Draht nicht ummanteln. In zweckmäßiger Ausgestaltung kann diejenige Drahtoberfläche, die nicht mit der Schleifschicht bedeckt bzw. ummantelt ist, mit einer insbesonders nicht elektrisch leitfähigen Deckschicht beschichtet sein. In der einfachsten Ausführung ist die nicht mit der Schleifschicht bedeckte Drahtoberfläche frei von Beschichtungen.
Vorzugsweise ist der Draht in Längsrichtung ring- bzw. bandförmig oder quer zur Längsrichtung spiralförmig ummantelt.
Sofern der Draht ummantelt ist, bedeutet dies, dass die Schleifschicht konzentrisch um den Draht angeordnet ist. Der Draht erstreckt sich dabei jeweils in Längsrichtung.
Sofern die Schleifschicht quer zur Längsrichtung angeordnet ist, entspricht das einer Anordnung radial um den Umfang des Drahtes. Sofern die Schleifschicht spiralförmig um den Draht angeordnet ist, bedeutet dies, dass die Schleifschicht vorzugsweise in einem Winkel von 30° bis 80°, besonders bevorzugt in einem Winkel von 45° bis 60°, quer zur Längsrichtung des Drahtes verläuft.
Vorzugsweise hat der Draht eine zylinderförmige Geometrie, die durch eine Längsachse und einen dazu senkrechten, kreisförmigen Querschnitt charakterisiert ist. Geeignete Drahtsägen, die für spezielle Anwendungen angepasst sind, können durch die Anwendung von Drähten mit Querschnitten, die nicht kreisförmig sind, erhalten werden. Beispielsweise kann der Querschnitt oval, flach, nicht flach, rechteckig, wie beispielsweise quadratisch, trapezförmig oder in der Form eines Polygons niedriger Ordnung, d. h. eines drei- bis sechsseitigen Polygons, sein. Mit „flach” ist gemeint, dass der Draht einen rechteckigen Querschnitt mit hohem Aspektverhältnis hat, wie ein Band, d. h. mit einer charakteristischen Längenabmessung und einer charakteristischen Breitenabmessung, wobei die Breitenabmessung weniger als etwa 10% der Längenabmessung beträgt.
Die Breite der Schleifschicht beträgt vorzugsweise im Bereich zwischen 100 und 5000 μm, besonders bevorzugt im Bereich zwischen 1000 und 3000 μm. Die Breite von Banden bei einer bandenförmigen Anordnung liegt vorzugsweise im Bereich zwischen 2000 und 8000 μm, besonders bevorzugt im Bereich zwischen 3000 und 5000 μm. Diese Werte sind insbesonders bei einer spiralförmigen Anordnung bevorzugt.
In Längsrichtung des Drahtes ist die Schleifschicht vorzugsweise um einen Abstand versetzt, der größer ist als die Breite der Schleifschicht. Durch diese Anordnung lässt sich eine hohe Verschleißfestigkeit der Drahtsäge erreichen bei der gleichzeitigen Verwendung einer geringen Menge an Schleifpartikeln.
Im Einklang mit dem Hauptziel der Erfindung, nämlich dünne Siliziumwafer aus Siliziumblöcken zu schneiden, sollte der Durchmesser des Drahtes so klein wie möglich sein, um den Verlust an Sägeschnitt zu minimieren. Dabei schränken Spannungen am Draht während des Sägevorgangs den verwendeten Durchmesser nach unten ein. Der Draht hat vorzugsweise einen Durchmesser von 150 bis 280 μm, besonders bevorzugt von 200 bis 250 μm.
Die erfindungsgemäße Drahtsäge hat daher vorzugsweise einen Durchmesser von 220 bis 360 μm, besonders bevorzugt von 320 bis 350 μm.
Die erfindungsgemäße Drahtsäge kann in herkömmlichen bekannten Verfahren zum Schneiden von hartspröden Materialien eingesetzt werden. Dementsprechend kann der Draht Spannungen, Hitze und Biegungen widerstehen, denen Drahtsägen üblicherweise ausgesetzt sind. Daher besitzt das Drahtmaterial eine ausreichende Festigkeit, Flexibilität und ebenfalls eine hohe Schmelztemperatur.
Vorzugsweise ist der verwendete Draht aus Stahl. Besonders bevorzugt wird als Draht ein Federstahldraht aus Chrom-Nickel-Stahl verwendet. Dazu sind insbesondere die Werkstofftypen 1.4310, 1.4401, 1.4539, 1.4568 und 1.4571 (Bezeichnungen nach DIN 17224) geeignet.
Vorzugsweise weist die Schleifschicht wenigstens eine metallische Bindephase auf, in der die Schleifpartikel angeordnet sind. Vorzugsweise werden die Schleifpartikel ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Diamant, Siliziumcarbid, Al₂O₃, Bornitrid, Borcarbid, Titancarbid, Zirkoniumcarbid, Hafniumcarbid, Titannitrid, Zirkoniumnitrid. Besonders bevorzugt bestehen, die Schleifpartikel aus einem Material, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Diamant, Borcarbid und Siliziumcarbid. Diamant kann dabei sowohl synthetischen als auch natürlichen Ursprungs sein. Vorzugsweise weisen die Schleifpartikel einen mittleren Durchmesser im Bereich von 5 bis 30 μm, besonders bevorzugt im Bereich zwischen 10 und 20 μm auf.
Vorzugsweise weisen die Schleifpartikel eine Mohssche Härte von mindestens 8, besonders bevorzugt von mindestens 9 auf.
Die Schleifschicht weist vorzugsweise eine Dicke im Bereich zwischen 5 bis 50 μm, besonders bevorzugt im Bereich zwischen 10 und 40 μm auf. Vorzugsweise weist die Schleifschicht wenigstens eine metallische Bindephase auf, wobei die metallische Bindephase vorzugsweise aus Nickel bzw. Nickellegierungen besteht. Besonders bevorzugt besteht die metallische Bindephase aus außenstromlos abgeschiedenem Nickel. Die metallische Bindephase hat vorzugsweise eine Härte HV von 800 bis 1100, besonders bevorzugt von 1000 bis 1100.
Die Schneidpartikel sind vorzugsweise bis zu ihrem Äquator in der metallischen Bindephase verankert. Die Schneideartikel befinden sich vorzugsweise in einer derartigen Menge auf dem Draht, dass ihr mittlerer Abstand nicht mehr als das 10- fache, besonders bevorzugt das 1 bis 5-fache ihres mittleren Durchmessers beträgt.
In einer weiteren Ausführungsform kann die Schleifschicht vorzugsweise mehrere Schichten aufweisen, d. h. aus mehrere übereinander angeordnete metallischen Bindephasen aufweisen.
Vorzugsweise ist zwischen dem Draht und der Schleifschicht wenigstens eine Zwischenschicht angeordnet.
Die Zwischenschicht besteht bevorzugt aus einem Metall, einer Metalllegierung oder einer Kombination zweier Metalle bzw. eines Metalls und eines Metalllegierung.
Bevorzugt handelt es sich um ein Metall, eine Metalllegierung oder eine Kombination zweier Metalle bzw. eines Metalls und einer Metalllegierung, die mit guter Haftfestigkeit galvanotechnisch beschichtbar ist und gleichzeitig als Wasserstoffbarriere wirkt. Geeignete Metalle sind beispielsweise Kupfer und Nickel und als Metalllegierung beispielsweise Messing. Die Zwischenschicht hat bevorzugt eine Breit im Bereich von 2 bis 20 μm.
In einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung ist die nicht von der Schleifschicht ummantelte bzw. beschichtete Drahtoberfläche mit einer insbesonders nicht elektrisch leitfähigen Deckschicht versehen. Eine solche Deckschicht ist üblicherweise ein Lack. Mit dem Begriff Lack ist dabei jedes haftende und in aufgetragenem Zustand geringfügig elastische Material umfasst, das nicht elektrisch leitfähig ist. Besonders bevorzugt im Sinne der vorliegenden Erfindung werden Wasserlacke, besonders bevorzugt Lacke auf Acrylharzbasis, eingesetzt.
Vorzugsweise weist die Deckschicht eine Dicke im Bereich zwischen 5 bis 50 μm.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung einer Drahtsäge, wobei auf der Drahtoberfläche in Schritt a) eine nicht elektrisch leitfähige Deckschicht derart aufgetragen wird, dass Bereiche der Drahtoberfläche frei bleiben, in Schritt b) eine Schleifschicht, die Schleifpartikel enthält, insbesonders auf die deckschichtfreie Oberfläche aufgetragen wird, und gegebenenfalls in Schritt c) die Deckschicht wieder entfernt wird.
Verfahren zum Aufbringen von Deckschichten auf Draht sind in der Technik gut bekannt und umfassen beispielsweise Tiefdruckverfahren und Hochdruckverfahren.
Beim Tiefdruckverfahren lässt sich der Auftrag vorzugsweise dadurch erreichen, dass der Draht durch zwei Walzen gezogen wird, die den Lack in Ausnehmungen auf die Walze übertragen. Beim Hochdruckverfahren wird vorzugsweise ein in Lack getauchtes Rad auf den sich drehenden und unter ihm durchgezogenen Draht übertragen. Dabei kann ebenfalls auch die Walze um den Draht rotieren. Durch diesen Auftrag wird eine spiralförmige Ummantelung erzeugt. Die zuvor beschriebene Auftragung durch zwei Walzen ermöglicht die bandenförmige Ummantelung.
In einer bevorzugten Ausführungsform erfährt ein mit einer Zwischenschicht versehener Draht eine auf das Grundmaterial abgestimmte, chemische Vorbehandlung. Im Stand der Technik bekannte Vorbehandlungsmethoden umfassen beispielsweise Entfettungs-, Beiz- und Aktivierungsbehandlungen. In einer be vorzugten Ausführungsform wird der Draht mittels einer galvanischen Behandlung grundiert, ehe die Sägeschicht mit den Abrasivkörnern aufgebracht wird.
Anschließend erfolgt die Beschichtung mit der Schleifschicht in einem Bad aus Metall und Schleifpartikeln, beispielsweise Nickel-Diamant-Bädern. Solche Bäder sind im Stand der Technik bekannt.
In einer bevorzugten Ausführungsform wird das Anspringen der Metallisierung durch einen kurzen Stromstoß eingeleitet. Durch eine geeignete Bewegung von Draht und/oder Elektrolyt wird eine gleichmäßige Einlagerung der Schleifpartikel, vorzugsweise der Partikel aus Diamant, gleichförmig auf dem gewünschten Teil der Drahtoberfläche erreicht. Vorzugsweise erfolgt die Beschichtung mit der Schleifschicht durch eine zweistufige Beschichtung, die es ermöglicht, in der ersten Beschichtungsstufe Schleifpartikel mit einem bestimmten mittleren Durchmesser aufzutragen, und in einer zweiten Beschichtungsstufe Schleifpartikel mit einem anderen, beispielsweise einem kleineren mittleren Durchmesser, aufzutragen.
Die Entfernung der zwischen den Schleifschichten vorliegenden Deckschicht erfolgt mittels Lösungsmitteln und/oder thermischen Verfahren.
Vorzugsweise wird die Drahtsäge nach der Beschichtung einer Wärmebehandlung, bevorzugt einer Wärmebehandlung bei 350°C unterzogen, um in der Schicht vorhandene Zugeigenspannungen abzubauen und die Schichthärte und damit den Verschleißwiderstand der metallischen Bindephase zu erhöhen.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist die Verwendung einer vorstehend beschriebenen Drahtsäge zum Schneiden bzw. Teilen von hartspröden Werkstoffen. In einer besonderen Ausführungsform eignet sich die erfindungsgemäße Drahtsäge zum Schneiden bzw. Teilen von Materialien ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus monokristallinem Silizium, Siliziumcarbid, Saphir, Quarz, Smaragd, Rubin, Keramik und Aluminiumdioxid. Das monokristalline Silizium kann dabei in Form langer Stangen (Ingots) vorliegen, die nach dem Schneiden in kleine Scheiben (Wafer) in der Halbleiterindustrie verwendet werden können.
Die Verwendung der erfindungsgemäßen Drahtsäge erlaubt den Schnittprozess mit Schnittgeschwindigkeiten bis zu 1500, vorzugsweise bis zu 1300 m/min um 1000 ± 100 m/min durchzuführen bei gleichzeitiger Erhöhung der Vorschubgeschwindigkeit gegenüber herkömmlichen Verfahren. Ebenfalls bevorzugt erlaubt die erfindungsgemäße Drahtsäge Schnittbreiten im Bereich von 320 bis 350 μm zu erreichen.
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zum Schneiden von hartspröden Werkstoffen, die wenigstens eine erfindungsgemäße Drahtsäge umfasst. Die Vorrichtung kann eine einzige Drahtsäge enthalten, die ähnlich einer Bandsäge angeordnet ist, um in jedem Durchlauf einen einzigen Abschnitt aus einem hartspröden Material zu schneiden oder um eine Vielzahl von Abschnitten aus dem hartspröden Material in einem Durchlauf zu schneiden.
Eine Reihe von einzelnen Drahtsägen kann ebenfalls bevorzugt hintereinander angeordnet sein, um gleichzeitig eine Vielzahl von Abschnitten aus einem Werkstück aus hartsprödem Material zu schneiden.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Figuren näher verdeutlicht.
Es zeigen 1 einen erfindungsgemäßen Draht mit ringförmig angeordneten Schleifschichten.
2 zeigt einen erfindungsgemäßen Draht, bei dem die Schleifspuren spiralförmig helikal den Draht umlaufen.
In einer typischen erfindungsgemäßen Ausführungsform von 1 ist die gebundenes Schleifpartikel enthaltende Schleifschicht ring- oder bandförmig um die Drahtoberfläche herum angeordnet. Dabei weist die Schleifschicht eine Breite L1 auf. Die einzelnen Schleifschichtringe sind über eine schleifpartikelfreie Fläche im Abstand L2 voneinander beabstandet. Die Schleifschichtringe ragen über die Drahtoberfläche hinaus, so dass der Durchmesser D2 der Schleifringe oder -bänder größer als die Dicke D1 des Drahtes ist.
In 2 ist die Schleifschicht spiralförmig bzw. helikal auf der Oberfläche des Drahtes angeordnet. Auf diese Weise entsteht ein einziges von Drahtanfang bis Drahtende verlaufendes Schleifschichtband oder Schleifspur, die je nach Anwendungszweck einen helikalen Winkel oder Spiralwinkel S gegenüber der Drahtoberfläche aufweist.
Ein derartiger Draht wurde beispielsweise derart erhalten, dass in einem ersten Schritt ein herkömmlicher Sägedraht durch das Auftragen einer galvanischen Schicht komplett überzogen wird, um eine verbesserte Haftfähigkeit und damit eine erhöhte Abrissfestigkeit zu erreichen. Anschließend werden die später nicht von der Schleifschicht ummantelte Bereiche in einem kontinuierlichen Auftrag mittels eines Druckprozesses mit einer Abdecklack versiegelt. Die dazwischen frei liegenden Bereiche werden anschließend auf sich bekannte Weise nass-chemisch mittels einer galvanischen Beschichtung, die das aufzubringende Abrasiv enthält, beschichtet. Dabei hat es sich als zweckmäßig erwiesen, das Beschichtungsbad durch Rühren oder mittels Umwälzpumpen in Bewegung zu halten, um das aufzubringende Abrasiv gleichförmig im Bad zu verteilen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Nicht-Patentliteratur

- DIN 17224 [0018]

Claims

Drahtsäge, umfassend einen Draht, der in Längsrichtung oder quer zur Längsrichtung mit einer Schleifschicht ummantelt ist, die gebundene Schleifpartikel enthält, dadurch gekennzeichnet, dass der Draht Bereiche aufweist, die nicht von der Schleifschicht ummantelt sind.
Drahtsäge nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleifschicht den Draht in Längsrichtung ringförmig oder quer zur Längsrichtung spiralförmig ummantelt.
Drahtsäge nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Bereiche, die nicht von der Schleifschicht ummantelt sind, eine nicht elektrisch leitfähige Deckschicht aufweist.
Drahtsäge nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleifpartikel aus einem Material bestehen, das ausgewählt wird aus der Gruppe bestehend aus Diamant, Siliziumcarbid, Al₂O₃, Bornitrid, Titancarbid, Zirkoniumcarbid, Hafniumcarbid, Borcarbid, Titannitrid, Zirkoniumnitrid, Hafniumnitrid und Galliumnitrid.
Drahtsäge nach einem oder mehreren der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleifpartikel einen mittleren Durchmesser im Bereich von 5 bis 30 μm aufweisen.
Drahtsäge nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleif schicht eine Dicke im Bereich zwischen 5 bis 50 μm aufweist.
Drahtsäge nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schleifschicht eine metallische Bindephase aufweist.
Drahtsäge nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Draht aus Stahl besteht.
Drahtsäge nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Draht einen Durchmesser im Bereich von 150 μm bis 280 μm aufweist.
Drahtsäge nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die nicht elektrisch leitfähige Deckschicht auf einem Lack basiert.
Drahtsäge nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der nicht elektrisch leitfähigen Deckschicht im Bereich von 5 bis 50 μm liegt.
Verfahren zur Herstellung einer Drahtsäge gemäß einem oder mehreren der Ansprüche 1–11, dadurch gekennzeichnet, dass auf den Draht in Schritt a) eine nicht elektrisch leitfähige Deckschicht so aufgetragen wird, dass elektrisch leitende Zwischenräume der Drahtoberfläche frei bleiben, in Schritt b) eine Schleifschicht, die Schleifpartikel enthält, aufgetragen wird, und gegebenenfalls in Schritt c) die Deckschicht entfernt wird.
Verwendung einer Drahtsäge nach einem oder mehreren der Ansprüche 1–11 oder erhältlich nach dem Verfahren gemäß Anspruch 12 zum Schneiden bzw. Teilen von hartspröden Werkstoffen.
Verwendung einer Drahtsäge nach einem oder mehreren der Ansprüche 1–11 oder erhältlich nach dem Verfahren gemäß Anspruch 12 zum Schneiden bzw. Teilen von Materialien, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus monokristallinem Silizium, polykristallinem Silizium, Siliziumcarbid, Saphir, Quarz, Smaragd, Rubin, Keramik und Aluminiumdioxid.
Vorrichtung zum Schneiden von hartspröden Werkstoffen, umfassend wenigstens eine Drahtsäge nach einem oder mehreren der Ansprüche 1–11 oder erhältlich nach dem Verfahren gemäß Anspruch 12.