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DE102008038336A1 - Ultraschallsensor - Google Patents

Ultraschallsensor Download PDF

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DE102008038336A1
DE102008038336A1 DE102008038336A DE102008038336A DE102008038336A1 DE 102008038336 A1 DE102008038336 A1 DE 102008038336A1 DE 102008038336 A DE102008038336 A DE 102008038336A DE 102008038336 A DE102008038336 A DE 102008038336A DE 102008038336 A1 DE102008038336 A1 DE 102008038336A1
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DE
Germany
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piezoelectric element
piezoelectric
sound matching
ultrasonic wave
electrode
Prior art date
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Withdrawn
Application number
DE102008038336A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuyuki Kariya Okuda
Makiko Kariya Sugiura
Kenji Kariya Fukumura
Takahiko Kariya Yoshida
Tetsuo Kariya Fujii
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Publication of DE102008038336A1 publication Critical patent/DE102008038336A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/52Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S15/00
    • G01S7/521Constructional features

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Ein Ultraschallsensor zur Erfassung eines Objekts weist auf: ein piezoelektrisches Element (11), das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode (14, 15), zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist; ein Schallanpasselement (12), das eine Empfangsoberfläche (12a) aufweist, die eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt; und eine Schaltung (19), die über einen Draht (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) elektrisch mit dem piezoelektrischen Element verbunden ist. Das piezoelement eingebettet, dass das Schallanpasselement wenigstens die erste Elektrode, einen Teil einer Seitenwand (11a) des piezoelektrischen Elements und einen Teil des Drahtes zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element bedeckt, wobei die Seitenwand des piezoelektrischen Elements an die erste Elektrode grenzt.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallsensor.
  • Es ist ein Ultraschallsensor bekannt, der ein piezoelektrisches Element aufweist, das an einem Schallanpasselement befestigt ist. Das Schallanpasselement verbessert die Übertragung einer Ultraschallwelle, die von einer Vorrichtung ausgesendet und empfangen wird. Dieser Ultraschallsensor weist ein Ultraschallwellensendeelement zum Aussenden der Ultraschallwelle und ein Ultraschallwellenempfangselement zum Empfangen der von einem Objekt reflektierten Ultraschallwelle auf. Auf diese Weise erfasst der Sensor eine Position des um den Sensor herum befindlichen Objekts, einen Abstand zwischen dem Objekt und dem Sensor und eine zwei- oder dreidimensionale Form des Objekts.
  • Der Sensor wird beispielsweise zur Echographie im medizinischen Bereich eingesetzt. Die JP-H05-123317 offenbart eine Ultraschallsonde, die einen piezoelektrischen Oszillator und eine Schallanpassschicht aufweist. Der piezoelektrische Oszillator sendet die Ultraschallwelle aus und empfängt die Ultraschallwelle. Der piezoelektrische Oszillator ist über eine gemeinsame Elektrode zweidimensional geschichtet unter der Schallanpassschicht angeordnet.
  • Wenn die Ultraschallsonde für einen Fahrzeugsensor verwendet wird, muss die Sonde gegenüber Umwelteinflüssen derart resistent sein, dass sie in einer Fahrzeugumgebung eingesetzt werden kann. Insbesondere kann Feuchtigkeit oder ein Wassertropfen an einer Elektrode oder an einem Drahtverbindungsabschnitt im Oszillator anhaften. Dies kann zu einer Verringerung der Güte im elektrischen oder strukturellen Bereich führen.
  • Es ist folglich erforderlich, den Ultraschallsensor vor einer Verschlechterung und Fehlfunktion zu schützen, die durch Umwelteinflüsse oder eine Stoßwirkung verursacht werden.
  • Es ist folglich Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Ultraschallsensor bereitzustellen.
  • Gemäß einer ersten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung weist ein Ultraschallsensor zur Erfassung eines Objekts auf: ein piezoelektrisches Element, das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode, zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist, wobei das piezoelektrische Element eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle erfasst und die Ultraschallwelle anfangs von einem Sendeelement ausgesendet wird; ein Schallanpasselement, das eine Empfangsoberfläche aufweist, welcher der ersten Elektrode gegenüberliegt und die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt, wobei das Schallanpasselement die Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche über die erste Elektrode zum piezoelektrischen Körper überträgt; und eine Schaltung, die über einen Draht elektrisch mit dem piezoelektrischen Element verbunden ist und ein vom piezoelektrischen Element ausgegebenes Spannungssignal verarbeitet. Das piezoelektrische Element ist derart in das Schallanpasselement eingebettet, dass das Schallanpasselement wenigstens die erste Elektrode, einen Teil einer Seitenwand des piezoelektrischen Elements und einen Teil des Drahtes zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element bedeckt, wobei die Seitenwand des piezoelektrischen Elements an die erste Elektrode grenzt.
  • Bei dem obigen Sensor sind die erste Elektrode, der Teil des Drahtes zwischen der Schaltung dem piezoelektrischen Element und ein Verbindungsabschnitt zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise Feuchtigkeit, geschützt. Auf diese Weise können die Erfassungsgenauigkeit der Ultraschallwelle und die Zuverlässigkeit des Sensors verbessert werden. Folglich kann die Beständigkeit des Sensors gegenüber von Umwelteinflüssen verbessert werden.
  • Alternativ kann die Schaltung in das Schallanpasselement eingebettet sein. In diesem Fall kann ebenso die Stoßfestigkeit des Sensors verbessert werden.
  • Alternativ kann ein Abstand zwischen der Empfangsoberfläche des Schallanpasselements und der ersten Elektrode annähernd einer viertel Wellenlänge der durch das Schallanpasselement übertragenen Ultraschallwelle entsprechen. In diesem Fall wird der Schalldruck der Ultraschallwelle erhöht, so dass die Erfassungsempfindlichkeit des Sensors verbessert werden kann.
  • Gemäß einer zweiten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung weist ein Ultraschallsensor zur Erfassung eines Objekts auf: ein piezoelektrisches Element, das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode, zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist, wobei das piezoelektrische Element eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle erfasst und die Ultraschallwelle anfangs von einem Sendeelement ausgesendet wird; ein Schallanpasselement, das eine Empfangsoberfläche aufweist, welche die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt, wobei das Schallanpasselement die Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche zum piezoelektrischen Körper überträgt; und eine Schaltung, die über einen Draht elektrisch mit dem piezoelektrischen Element verbunden ist und ein vom piezoelektrischen Element ausgegebenes Spannungssignal verarbeitet. Die Empfangsoberfläche liegt einer Seitenwand des piezoelektrischen Elements gegenüber, wobei die Seitenwand an die erste Elektrode grenzt, und das piezoelektrische Element ist derart in das Schallanpasselement eingebettet, dass das Schallanpasselement wenigstens die erste Elektrode, einen Teil der Seitenwand des piezoelektrischen Elements und einen Teil des Drahtes zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element bedeckt.
  • Bei dem obigen Sensor sind die erste Elektrode, der Teil des Drahtes zwischen der Schaltung dem piezoelektrischen Element und ein Verbindungsabschnitt zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise Feuchtigkeit, geschützt. Auf diese Weise können die Erfassungsgenauigkeit der Ultraschallwelle und die Zuverlässigkeit des Sensors verbessert werden. Folglich kann die Beständigkeit des Sensors gegenüber von Umwelteinflüssen verbessert werden.
  • Ferner wird die Stoßfestigkeit des Sensors verbessert, da das piezoelektrische Element in das Schallanpasselement eingebettet ist.
  • Gemäß einer dritten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung weist ein Ultraschallsensor, der in einem Fahrzeug montiert ist, um ein Objekt zu erfassen, auf: ein Gehäuse, das über ein Vibrationsdämpfungselement an einer Karosserie bzw. einem Aufbau des Fahrzeugs befestigt ist, wobei das Vibrationsdämpfungselement eine Vibration von der Karosserie dämpft; ein piezoelektrisches Element, das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode, zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist, wobei das piezoelektrische Element eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle erfasst und die Ultraschallwelle anfangs von einem Sendeelement ausgesendet wird; ein Schallanpasselement, das eine Empfangsoberfläche aufweist, welcher der ersten Elektrode gegenüberliegt und die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt, wobei das Schallanpasselement die Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche über die erste Elektrode zum piezoelektrischen Körper überträgt; und eine Schaltung, die über einen Draht elektrisch mit dem piezoelektrischen Element verbunden ist und ein vom piezoelektrischen Element ausgegebenes Spannungssignal verarbeitet. Das piezoelektrische Element, das Schallanpasselement und die Schaltung sind im Gehäuse angeordnet. Das piezoelektrische Element ist derart in das Schallanpasselement eingebettet, dass das Schallanpasselement die erste und die zweite Elektrode, eine Seitenwand des piezoelektrischen Elements und einen Teil des Drahtes zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element bedeckt, wobei die Seitenwand des piezoelektrischen Elements zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angeordnet ist.
  • Bei dem obigen Sensor sind die erste Elektrode, der Teil des Drahtes zwischen der Schaltung dem piezoelektrischen Element und ein Verbindungsabschnitt zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise Feuchtigkeit, geschützt. Auf diese Weise können die Erfassungsgenauigkeit der Ultraschallwelle und die Zuverlässigkeit des Sensors verbessert werden. Folglich kann die Beständigkeit des Sensors gegenüber Umwelteinflüssen verbessert werden.
  • Die obige und weitere Aufgaben, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung, die unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung gemacht wurde, näher ersichtlich sein.
  • In der Zeichnung zeigt:
  • 1A eine Draufsicht eines Schallanpasselements in einem Ultraschallsensor gemäß einer ersten Ausführungsform, und 1B eine Querschnittsansicht des Sensors entlang der Linie IB-IB in der 1A;
  • 2 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer zweiten Ausführungsform;
  • 3 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer Modifikation der zweiten Ausführungsform;
  • 4 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer dritten Ausführungsform;
  • 5 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer Modifikation der dritten Ausführungsform;
  • 6 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer vierten Ausführungsform;
  • 7 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer Modifikation der vierten Ausführungsform;
  • 8 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer fünften Ausführungsform;
  • 9 eine Querschnittsansicht eines Ultraschallsensors gemäß einer sechsten Ausführungsform; und
  • 10A eine Draufsicht eines Ultraschallsensors mit einem elastischen Element gemäß einer siebten Ausführungsform, und 10B eine Querschnittsansicht des Sensors entlang der Linie XB-XB in der 10A.
  • (Erste Ausführungsform)
  • Nachstehend wird ein Ultraschallsensor 10 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Der Ultraschallsensor 10 wird in geeigneter Weise für einen an einem Fahrzeug montierten Hindernissensor verwendet. 1A zeigt den Sensor 10 von einer Seite des Schallanpasselements aus. In den Figuren stellt eine obere Seite der 1B eine Außenseite des Fahrzeugs und eine obere Seite des Blattes der 1A die Außenseite des Fahrzeugs dar.
  • Der Ultraschallsensor 10 weist ein piezoelektrisches Element 11, ein Schallanpasselement 12, ein Vibrationsdämpfungselement 13 und eine Schaltung 19 auf. Das piezoelektrische Element 11 erfasst eine Ultraschallwelle, die von einem vor dem Fahrzeug befindlichen Objekt (Hindernis) reflektiert wird. Die Ultraschallwelle wird von einem Ultraschallwellensendeelement in Richtung eines Bereichs vor dem Fahrzeug ausgesendet. Die Ultraschallwelle wird vom Schallanpasselement 12 empfangen, und anschließend wird eine Schwingung des Schallanpasselements 12 zum piezoelektrischen Element 11 übertragen. Das Vibrationsdämpfungselement 13 schützt das Schallanpasselement 12 vor einer Vibration, die von außen auf das Schallanpasselement aufgebracht wird. Die Schaltung 19 erfasst ein vom piezoelektrischen Element 11 ausgegebenes Spannungssignal.
  • Der Ultraschallsensor 10 ist in einem Gehäuse 71 untergebracht, das eine Kastenform mit wenigstens einer Öffnung aufweist. Der Sensor 10 ist an einem vorbestimmten Teil eines Fahrzeugs befestigt. Bei dieser Ausführungsform ist der Sensor 10 an einer Stoßstange 90 befestigt. Der Sensor 10 ist derart in der Öffnung des Gehäuses 71 befestigt, dass eine Empfangsoberfläche 12a des Sensors 10 zum Empfangen der Ultraschallwelle mit einem Film 100 bedeckt und eine Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 nahe der Empfangsoberfläche 12a über das Vibrationsdämpfungselement 13 an der Öffnung des Gehäuses 71 befestigt ist. Die Schaltung 19 ist an einem Boden 71a des Gehäuses 71 befestigt. Der Film 100 kann vorzugsweise aus dem gleichen Material wie das Vibrationsdämpfungselement 13 aufgebaut sein, derart, dass der Film 100 als das Vibrationsdämpfungselement 13 dient.
  • In dem Sensor 10 sendet das Ultraschallwellensendeelement die Ultraschallwelle aus und wird die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche 12a des Schallanpasselements 12 empfangen. Die von der Empfangsoberfläche 12 empfangene Ultraschallwelle wird über das Schallanpasselement 12 zum piezoelektrischen Element 11 übertragen. Die zum piezoelektrischen Element 11 übertragene Ultraschallwelle wird vom piezoelektrischen Element 11 derart erfasst, dass die Ultraschallwelle in das Spannungssignal gewandelt wird.
  • Die Schaltung 19 ist elektrisch mit einer ECU (elektronische Steuereinheit, die nicht gezeigt ist) verbunden. Das Spannungssignal des piezoelektrischen Elements 11 wird derart an die Schaltung gegeben, dass die Schaltung 19 eine Berechnung auf der Grundlage des Spannungssignals ausführt. Anschließend gibt die Schaltung 19 ein Schwingungssignal an die ECU. Auf diese Weise wird beispielsweise ein Zeitintervall zwischen einem Sendezeitpunkt der Ultraschallwelle und einem Empfangszeitpunkt oder eine Phasenverschiebung zwischen der ausgesendeten Ultraschallwelle und der empfangenen Ultraschallwelle gemessen, so dass ein Abstand zwischen der Vorrichtung und dem Objekt erfasst werden kann.
  • Das piezoelektrische Element 11 ist derart gebildet, dass ein piezoelektrisches Material mit einer viereckigen Prismenform aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) zwischen einem Elektrodenpaar angeordnet ist. Jede Elektrode wird derart mit Hilfe eines Pt- oder Cu-Sputterns, eines Plattierungsverfahrens oder eines Back- bzw. Wärmebehandlungsverfahrens einer leitfähigen Paste gebildet, dass die Elektroden auf beiden Seiten der viereckigen Prismenform gebildet werden. Hierbei wird die erste Elektrode 14 bei dem piezoelektrischen Element 11 auf einer Seite der Empfangsoberfläche des Schallanpasselements 12 und die zweite Elektrode 15 auf der gegenüberliegenden Seite der ersten Elektrode 14 gebildet.
  • Die erste Elektrode 14 ist über den Bonddraht 16a mit dem einen Ende des Leiterrahmens 16b verbunden. An dem anderen Ende des Leiterrahmens 16b ist eine Kontaktstelle 17a für eine Verbindung mit einer externen Schaltung des Sensors 10 gebildet.
  • Die zweite Elektrode 15 ist über ein leitfähiges Material, wie beispielsweise ein Lötmittel, mit einem Elektrodenelement 18a verbunden. Das Elektrodenelement 18a ist über den Bonddraht 18b mit einer Kontaktstelle 17b verbunden. Die Kontaktstelle 17b ist mit der externen Schaltung des Sensors 10 verbindbar.
  • Das piezoelektrische Element 11 ist über die Anschlussdrähte 7272 und die Kontaktstellen 17a, 17b elektrisch mit der Schaltung 19 verbunden.
  • Das Schallanpasselement 12 weist eine viereckige Prismenform auf, ist aus einem Harzmaterial mit einer geringern akustischen Impedanz als das piezoelektrische Element 11 aufgebaut und ist mit Hilfe eines Insert-Molding-Verfahrens derart gebildet, dass das piezoelektrische Element 11 in das Schallanpasselement 12 eingebettet ist. Das Schallanpasselement 12 ist beispielsweise aus einem Harz aus der Reihe der Polycarbonate aufgebaut, das eine geringe Temperaturabhängigkeit in der Schallgeschwindigkeit im Harz aufweist. Folglich ist eine Wellenlängenänderung der Ultraschallwelle im Schallanpasselement 12 bezüglich einer Temperaturänderung selbst dann gering, wenn sich die Temperatur um den Sensor 10 herum ändert.
  • Der Bonddraht 16a und der Leiterrahmen 16b und das Elektrodenelement 18a und der Bonddraht 18b sind im Schallanpasselement 12 versiegelt. Der Bonddraht 16a und der Leiterrahmen 16b bilden eine Verdrahtung für eine Verbindung mit der ersten Elektrode 14. Das Elektrodenelement 18a und der Bonddraht 18b bilden eine Verdrahtung für eine Verbindung mit der zweiten Elektrode 15.
  • Die Kontaktstellen 17a-17b sind auf dem Boden 12b angeordnet, welcher der Empfangsoberfläche 12a gegenüberliegt.
  • Das Schallanpasselement 12 weist eine Breite W auf, die kleiner oder gleich der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle in Luft ist. Die Empfangsoberfläche 12a verläuft parallel zur ersten Elektrode 14. Der Abstand L zwischen der Empfangsoberfläche 12a und der ersten Elektrode 14 entspricht annähernd einer viertel Wellenlänge der Ultraschallwelle im Schallanpasselement 12.
  • Das Schallanpasselement 12 weist eine Dicke T auf, die annähernd der viertel Wellenlänge der Ultraschallwelle im Schallanpasselement 12 entspricht, so dass im Schallanpasselement 12 eine stehende Welle erzeugt wird. Folglich wird eine vom Schallanpasselement 12 empfangene Ultraschallwelle nicht durch eine an einer Grenzfläche zwischen dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Element 11 reflektierte Ultraschallwelle gelöscht, so dass eine Auslöschung zwischen der empfangenen Welle und der reflektierten Welle verringert wird. Die Ultraschallwelle wird effektiv zum piezoelektrischen Element 11 übertragen.
  • Der Bonddraht 16a und der Leiterrahmen 16b zur Bereitstellung der mit der ersten Elektrode 14 verbundenen Leitung und das Elektrodenelement 18a und der Bonddraht 18b zur Bereitstellung der mit der zweiten Elektrode 15 verbundenen Leitung werden im piezoelektrischen Element 11 gebildet. Anschließend wird das piezoelektrische Element 11 mit dem Bonddraht 16a, dem Leiterrahmen 16b, dem Elektrodenelement 18a und dem Bonddraht 18b dann, wenn das piezoelektrische Element 11 durch Insert-Molding im Schallanpasselement 12 angeordnet und geformt ist, in einer Formvorrichtung angeordnet und befestigt. Anschließend wird ein wärmehärtendes Harz, wie beispielsweise ein Harz aus der Reihe der Polycarbonate, mit Hilfe eines Spritzgießverfahrens (Injection-Molding), eines Spritzpressverfahrens (Transfer-Molding) oder dergleichen in die Formvorrichtung gespritzt.
  • Hierbei kann es in einigen Fällen passieren, dass die piezoelektrischen Eigenschaften des piezoelektrischen Elements 11 aufgrund der Wärme bei einem Insert-Molding-Prozess verschlechtert werden oder verloren gehen. In diesem Fall wird die Polarisationsverarbeitung derart ausgeführt, dass vorbestimmten piezoelektrischen Eigenschaften wiederhergestellt werden. Die Polarisationsverarbeitung wird beispielsweise ausgeführt, indem, auf den Insert-Molding-Prozess folgend, eine vorbestimmte Spannung an das Element 11 gelegt und das Element 11 einer vorbestimmten Temperatur ausgesetzt wird.
  • Alternativ kann der Polarisationsprozess erst ausgeführt werden, nachdem der Insert-Molding-Prozess ausgeführt wurde, und nicht vor dem Insert-Molding-Prozess ausgeführt werden.
  • Die erste Elektrode 14 und die zweite Elektrode 15 des piezoelektrischen Elements 11, die Drähte zur Verbindung jeder Elektroden 14, 15 und deren Verbindungsabschnitte sind in das Schallanpasselement 12 eingebettet, so dass das piezoelektrische Element 11 vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise Feuchtigkeit, geschützt ist. Auf diese Weise können die Erfassungsgenauigkeit der Ultraschallwelle und die Zuverlässigkeit des Sensors 10 verbessert werden. Folglich wird die Beständigkeit des Sensors 10 gegenüber Umwelteinflüssen verbessert.
  • Da das piezoelektrische Element 11 in das Schallanpasselement 12 eingebettet ist, wird das piezoelektrische Element 11 selbst dann nicht verschoben, wenn ein fliegendes Objekt, wie beispielsweise ein kleiner Stein, derart auf die Empfangsoberfläche 12a des Schallanpasselements 12 schlägt, dass eine Stoßwirkung auf das Schallanpasselement 12 aufgebracht wird. Folglich kann eine Verschiebung des piezoelektrischen Elements 11 beschränkt werden, so dass verhindert wird, dass das piezoelektrische Element 11 bricht und von dem Schallanpasselement 12 abgelöst wird. Auf diese Weise kann die Stoßfestigkeit des Sensors 10 verbessert.
  • Da der Positionierungsprozess des piezoelektrischen Elements 11 und dergleichen vor dem Insert-Molding-Prozess ausgeführt wird, ist die Positioniergenauigkeit im Sensor 10 hoch.
  • Das Vibrationsdämpfungselement 13 ist zwischen der Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 und dem Gehäuse 71 angeordnet. Das Vibrationsdämpfungselement 13 befestigt die Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 am Schallanpasselement 12 und verhindert, dass eine Vibration der Stoßstange 90 übertragen wird.
  • Das Vibrationsdämpfungselement 13 wird mit Hilfe eines Klebemittels an einer Innenoberfläche 71b des Gehäuses 71 und der Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 befestigt. Das Befestigungsverfahren ist beispielsweise ein Verfahren unter Anwendung eines Klebemittels ein integrierendes Verfahren, wie beispielsweise ein Doppelspritzgießverfahren (Double Injection Molding), ein mechanisches, d. h. ein strukturelles Befestigungsverfahren, wie beispielsweise ein Zusammenpressverfahren (Sandwiching-Verfahren) und ein Montageverfahren, oder dergleichen.
  • Das Vibrationsdämpfungselement 13 weist eine geringere akustische Impedanz als das Schallanpasselement 12 und eine höhere Dämpfungskonstante als das Schallanpasselement 12 auf. Das Vibrationsdämpfungselement 13 ist beispielsweise aus einem Silikongummi aufgebaut. Das Schallanpasselement 12 kann einen geringen Elastizitätsmodul (E-Modul) und/oder eine geringe Dichte aufweisen. Das Schallanpasselement 12 ist beispielsweise aus Gummi, Harz mit einer Mehrzahl von Löchern, wie beispielsweise ein Harzschaum, oder Schaumstoff aufgebaut.
  • Da das Vibrationsdämpfungselement 13 zwischen der Stoßstange 90 und dem Schallanpasselement 12 angeordnet ist, wird verhindert, dass die Ultraschallwelle von der Stoßstange 90 zur Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 übertragen wird. Eine Übertragung der Ultraschallwelle zum Schallanpasselement 12 verursacht Rauschen.
  • Ferner ist eine Kraft zur Verringerung der Vibration des Schallanpasselements 12, die durch die Ultraschallwelle verursacht wird, dann, wenn das Schallanpasselement 12 einen geringen Elastizitätsmodul aufweist, verhältnismäßig gering. Folglich wird eine Dämpfung der Vibration der Ultraschallwelle verringert.
  • Auf diese Weise können das Rauschen und ebenso die Dämpfung der Ultraschallwelle verringert werden. Die Erfassungsempfindlichkeit der Ultraschallwelle kann verbessert werden.
  • Obgleich das Schallanpasselement 12 die viereckige Prismenform aufweist, kann das Schallanpasselement 12 eine zylindrische Form aufweisen. Wenn die Breite W des Schallanpasselements 12 kleiner oder gleich der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle ist, und wenn eine Mehrzahl von Ultraschallsensoren 10 derart in einem Array angeordnet ist, dass ein Abstand zwischen zwei Schallanpasselementen 12 von zwei mittleren Sensoren 10 kleiner oder gleich der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle in Luft ist, weist die Mehrzahl von Ultraschallsensoren 10 eine hohe Erfassungsgenauigkeit auf. In diesem Fall arbeitet das Schallanpasselement 12 selbst dann, wenn die Breite W des Schallanpasselements 12 über der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle in Luft liegt, als Schallanpassmittel.
  • Obgleich das Schallanpasselement 12 bei dieser Ausführungsform aus einem Harz aus der Reihe der Polycarbonate aufgebaut ist, kann das Schallanpasselement 12 aus einem Harz aus der Reihe der Polyetherimide, aus einem Epoxidharz oder dergleichen aufgebaut sein.
  • Obgleich das Elektrodenelement 18a zwischen der zweiten Elektrode 15 und der Kontaktstelle 17b angeordnet ist, kann die zweite Elektrode 15 über den Bonddraht 18b direkt mit der Kontaktstelle 17b verbunden sein.
  • Das piezoelektrische Element 11 kann aus einem Polyvinylidenfluoridmaterial (PVDF-Material) aufgebaut sein. Das PVDF-Material ist ein Harz, so dass die Schallimpedanzdifferenz zwischen dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Element 11 gering ist. Folglich kann die Dämpfung der Schwingung der Ultraschallwelle minimiert werden. Ferner wird das piezoelektrische Element 11 auf einfache Weise durch Insert-Molding im Schallanpasselement 12 gebildet. Hierbei ist die Länge des Schallanpasselements 12, einschließlich der Länge des piezoelektrischen Elements 11, dann, wenn die akustische Impedanz des PVDF-Materials im Wesentlichen gleich der des Schallanpasselements 12 ist, vorzugsweise gleich der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle.
  • In der 1 ist die gesamte Fläche jeder Kontaktstellen 17a, 17b vom Schallanpasselement 12 freigelegt. Alternativ kann nur die Oberfläche jeder Kontaktstellen 17a, 17b vom Schallanpasselement 12 freigelegt sein, indem die Kontaktstellen 17a, 17b durch Insert-Molding im Schallanpasselement 12 angeordnet werden.
  • Das piezoelektrische Element 11 kann als Ultraschallwellensendeelement zum Aussenden der Ultraschallwelle dienen. In diesem Fall ist es nicht erforderlich, ein zusätzliches Ultraschallwellensendeelement zu bilden, da das piezoelektrische Element 11 auch als das Sendeelement dient. Auf diese Weise werden die Abmessungen des Sensors 10 minimiert.
  • Wenn das piezoelektrische Element 11 als Sendeelement dient, das heißt, wenn die Ultraschallwelle vom Sensor 10 ausgesendet wird, gibt die Schaltung 18 auf der Grundlage eines Steuersignals der ECU zur Steuerung des Schalldrucks und der Phase der Sendeultraschallwelle ein Spannungssignal an das piezoelektrische Element 11. Das piezoelektrische Element 11 schwingt auf der Grundlage des Spannungssignals derart, dass die Ultraschallwelle mit einem vorbestimmten Schalldruck und einer vorbestimmten Phase ausgegeben wird. Die vom piezoelektrischen Element 11 ausgegebene Ultraschallwelle wird derart zum Schallanpasselement 12 übertragen, dass die Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche 12a des Schallanpasselements 12 nach außerhalb des Fahrzeugs abgestrahlt wird.
  • Das piezoelektrische Element 11 kann nur zum Aussenden der Ultraschallwelle dienen. Wenn eine Mehrzahl von piezoelektrischen Elementen 11 im Sensor 10 gebildet ist, dient eines der piezoelektrischen Elemente 11 nur zum Aussenden der Ultraschallwelle und ein anderes der piezoelektrischen Elemente 11 nur zum Empfangen der Ultraschallwelle. Folglich werden eine Schaltung zum Aussenden der Ultraschallwelle und eine andere Schaltung zum Empfangen der Ultraschallwelle unabhängig voneinander im Sensor 10 gebildet. Auf diese Weise kann ein Aufbau der Schaltungen vereinfacht werden. Ferner beeinflusst ein Nachhall, der beim Aussenden der Ultraschallwelle entsteht, das Element zum Empfangen der Ultraschallwelle nicht, so dass der Sensor 10 die von einem in der Nähe des Sensors 10 befindlichen Objekt reflektierte Welle empfangen kann.
  • In dem Sensor 10 sind die piezoelektrischen Elemente 11 durch ein Insert-Molding-Verfahren derart in das Schallanpasselement 12 eingesetzt, dass wenigstens die erste Elektrode 14 und ein Teil der Seitenwand 11a des piezoelektrischen Elements 11, die benachbart zur ersten Elektrode 14 angeordnet ist bzw. an die erste Elektrode 14 grenzt, durch das Schallanpasselement 12 bedeckt werden. Bei dieser Ausführungsform sind alle piezoelektrischen Elemente 11 durch das Schallanpasselement 12 bedeckt. Ferner wird wenigstens ein Teil der Verdrahtung für eine elektrische Verbindung zwischen dem piezoelektrischen Element 11 und der Schaltung 19, d. h. wenigstens ein Teil der Verdrahtung für eine Verbindung mit der ersten Elektrode 14 und der Verdrahtung für eine Verbindung mit der zweiten Elektrode 15, in das Schallanpasselement 12 eingebettet. Folglich werden die erste Elektrode 14, die zweite Elektrode 15, die Verdrahtung für eine Verbindung mit der ersten Elektrode 14, die Verdrahtung für eine Verbindung mit der zweiten Elektrode 15 und deren Verbindungsabschnitte vor Umwelteinflüssen, wie beispielsweise Feuchtigkeit, geschützt. Auf diese Weise wird die Erfassungsgenauigkeit der Ultraschallwelle verbessert, so dass die Zuverlässigkeit des Sensors 10 verbessert werden kann. Insbesondere wird die Beständigkeit des Sensors 10 gegenüber von Umwelteinflüssen verbessert.
  • Da das piezoelektrische Element derart in das Schallanpasselement 12 eingefügt und im Schallanpasselement 12 gehalten wird, dass eine Verschiebung des piezoelektrischen Elements 11 beschränkt wird, können ein Bruch des piezoelektrischen Elements 11 und eine Ablösung des piezoelektrischen Elements 11 vom Schallanpasselement 12 selbst dann verhindert werden, wenn ein fliegender Gegenstand, wie beispielsweise ein kleiner Stein, auf die Empfangsoberfläche 12a des Schallanpasselements 12 schlägt, so dass eine Stoßwirkung auf die Empfangsoberfläche 12a aufgebracht wird. Folglich wird die Stoßfestigkeit des Sensors 10 verbessert.
  • Ferner werden das piezoelektrische Element 11 und dergleichen auf ihre Anordnung folgend einem Insert-Molding-Prozess unterzogen. Auf diese Weise kann im Sensor 10 eine hohe Positioniergenauigkeit erzielt werden.
  • In dem Schallanpasselement 12 ist der Abstand zwischen der Empfangsoberfläche 12a und der ersten Elektrode 14 nahezu gleich einer viertel Wellenlänge der im Schallanpasselement 12 übertragenen Ultraschallwelle, so dass die stehende Welle, die durch die im Schallanpasselement 12 aufgenommene Ultraschallwelle hervorgerufen wird, erzeugt wird. Folglich wird der Schalldruck einer Schwingung im Schallanpasselement 12 erhöht, so dass die Erfassungsempfindlichkeit der Ultraschallwelle verbessert wird.
  • Wenn das Schallanpasselement 12 aus einem Harz aus der Reihe der Polycarbonate aufgebaut ist, ist die Temperaturänderung der Schallgeschwindigkeit im Schallanpasselement 12 verhältnismäßig gering. Folglich wird eine Änderung der Wellenlänge in Abhängigkeit einer Temperaturänderung verringert, so dass die Übertragung der Schwingung in stabiler Weise ausgeführt wird. Ferner wird ein Harzmaterial aus der Reihe der Polycarbonate in geeigneter Weise für das Insert-Molding-Verfahren verwendet, so dass das Schallanpasselement 12 auf einfache Weise gefertigt werden kann.
  • Da das piezoelektrische Element 11 aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) aufgebaut ist, das eine hohe piezoelektrische Konstante aufweist, kann das piezoelektrische Element 11 eine Ultraschallwelle empfangen, die einen geringen Schalldruck aufweist. Folglich kann die Empfindlichkeit des Sensors 10 verbessert werden.
  • Ferner wird die Differenz der akustischen Impedanz zwischen dem piezoelektrischen Element 11 und dem Schallanpasselement 12 dann, wenn das piezoelektrische Element 11 aus einem Material aus der Reihe der Polyvinylidenfluoride (PVDF) aufgebaut ist, minimiert werden, so dass die Dämpfung der Ultraschallwelle verringert werden kann. Ferner kann das piezoelektrische Element 11 auf einfache Weise durch Insert-Molding im Schallanpasselement 12 gebildet werden, da das PVDF-Material ein Harz ist.
  • Nachdem das piezoelektrische Element 11 auf einfache Weise durch Insert-Molding im Schallanpasselement 12 gebildet wurde, wird das piezoelektrische Element 11 dem Polarisationsprozess unterzogen. Selbst wenn die piezoelektrischen Eigenschaften des piezoelektrischen Elements 11 aufgrund einer Wärmebehandlung beim Insert-Molding-Prozess des piezoelektrischen Elements 11 verringert werden oder verloren gehen, werden die piezoelektrischen Eigenschaften des piezoelektrischen Ele ments 11 wiederhergestellt und können vorbestimmte piezoelektrische Eigenschaften erzielt werden.
  • Das piezoelektrische Element 11 kann als das Sendeelement zum Aussenden der Ultraschallwelle dienen. In diesem Fall ist es nicht erforderlich, ein zusätzliches Sendeelement im Sensor 10 zu bilden, so dass die Abmessungen des Sensorelements 10 minimiert werden können.
  • (Zweite Ausführungsform)
  • 2 zeigt einen Ultraschallsensor 20 gemäß einer zweiten Ausführungsform, und 3 zeigt einen weiteren Ultraschallsensor gemäß einer Modifikation der zweiten Ausführungsform.
  • Bei dem Sensor 20 ist das piezoelektrische Element 11, wie in 2 gezeigt, über Bondhügel 21, 22 mit der Schaltung 19 verbunden.
  • Das piezoelektrische Element ist derart in das Schallanpasselement 12 eingefügt, dass die zweite Elektrode 15 vom Boden 12b des Schallanpasselements 12 freigelegt ist. Die erste Elektrode 14 ist über den Bonddraht 16a mit dem einen Ende des Leiterrahmens 16b verbunden. An dem anderen Ende des Leiterrahmens 16b ist eine Kontaktstelle 17a gebildet. Der Bonddraht 16a und der Leiterrahmen 16b sind im Schallanpasselement 12 versiegelt. Die Oberfläche der Kontaktstelle 17a ist vom Boden 12b des Schallanpasselements 12 freigelegt und in das Schallanpasselement 12 eingebettet.
  • Der Bondhügel 21 ist auf der zweiten Elektrode 15 und der andere Bondhügel 22 auf der Kontaktstelle 17a gebildet. Die Bondhügel 21, 22 verbinden die Schaltung 19 elektrisch mit dem piezoelektrischen Element 11. Insbesondere entspricht der Bondhügel 21 der Leitung für eine Verbindung zwischen der Elektrode 15 und der Schaltung 19. Die Leitung für eine Verbindung zwischen dem piezoelektrischen Element 11 und der Schaltung 19 kann kurz ausgelegt sein, so dass das Rauschen von der Verbindungsleitung verringert werden kann. Auf diese Weise kann die Erfassungsgenauigkeit der Ultraschallwelle verbessert werden.
  • Das piezoelektrische Element 11 mit dem Bondhügel 21 auf der zweiten Elektrode 15 kann, wie in 3 gezeigt, durch Insert-Molding derart im Schallanpasselement 12 gebildet sein, dass ein Teil des Bondhügels 21 von dem Boden 12b freigelegt ist.
  • Hierbei kann die Kontaktstelle 17a für eine elektrische Verbindung mit der ersten Elektrode 14 über den Bonddraht 16a an der Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 gebildet sein.
  • Die Anzahl und die Anordnung des Bondhügels 21 können vom in der 2 gezeigten Sensor abweichen. Wenn eine Mehrzahl von Bondhügeln 21 im Sensor 10 gebildet ist, können die Parallelität und die Bindekraft zwischen dem piezoelektrischen Element 11 und der Schaltung 19 verbessert werden. In diesem Zusammenhang können die Bondhügel 21 symmetrisch zur Mitte der zweiten Elektrode 15 angeordnet sein.
  • In einem Zwischenraum zwischen der zweiten Elektrode 15 und der Schaltung 19 kann ein Unterfüllmaterial 23 vorgesehen sein. Durch eine Verwendung des Unterfüllmaterials 23 können die Beständigkeit gegenüber von Umwelteinflüssen und die Bindekraft verbessert werden. Ein Ausfüller bzw. Abstandshalter, wie beispielsweise ein Klebeband, kann derart zwischen der zweiten Elektrode 15 und der Schaltung 19 gebildet sein, dass die Parallelität zwischen der zweiten Elektrode 15 und der Schaltung 19 gewährleistet ist.
  • Der Leiterrahmen 16b kann über ein Lötmittel direkt mit der ersten Elektrode 14 verbunden werden. Ferner kann die zweite Elektrode 15 über ein Halbleiterplättchen an die Schaltung 19 geklebt sein.
  • Der Sensor 20 bringt die gleichen Effekte wie der Sensor 10 gemäß der ersten Ausführungsform hervor. Ferner bildet der Bondhügel 21 bei dem Sensor 20 die Leitung für eine Verbindung zwischen der zweiten Elektrode 15 und der Schaltung 19, so dass das Rauschen von der Leitung verringert und die Erfassungsempfindlichkeit der Ultraschallwelle verbessert werden können.
  • (Dritte Ausführungsform)
  • 4 zeigt einen Ultraschallsensor 30 gemäß einer dritten Ausführungsform, und 5 zeigt einen weiteren Ultraschallsensor gemäß einer Modifikation der dritten Ausführungsform.
  • Bei dem Sensor 30 sind die Kontaktstelle 17a, die über den Bonddraht 16a mit der ersten Elektrode 14 verbunden ist, und die Kontaktstelle 17b, die über das Elektrodenelement 18a und den Bonddraht 18b mit der zweiten Elektrode 15 verbunden ist, wie in 4 gezeigt, an der Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 angeordnet. Die Kontaktstellen 17a, 17b sind über Anschlussdrähte 72, 73 elektrisch mit der an der Innenwand 71b des Gehäuses 71 angeordneten Schaltung 19 verbunden.
  • Folglich ist die Schaltung 19 an der Innenwand 71b des Gehäuses 71 angeordnet, so dass die Freiheit bei der Auslegung bzw. Gestaltung des Sensors verbessert werden kann.
  • Das Schallanpasselement 12 kann, wie in 5 gezeigt, symmetrisch zum piezoelektrischen Element 11 sein. Insbesondere verläuft der Boden 12b des Schallanpasselements 12 parallel zur zweiten Elektrode 15 und ist der Abstand zwischen dem Boden 12b und der zweiten Elektrode 15 im Wesentlichen gleich einer viertel Wellenlänge der Ultraschallwelle im Schallanpasselement 12.
  • Das Schallanpasselement 12 schwingt symmetrisch zum piezoelektrischen Element 11, so dass die Schwingung des Schallanpasselements 12 stabil ist. Folglich wird der Schalldruck verbessert.
  • In diesem Fall wird dadurch, dass eine Nut auf der Empfangsoberfläche 12a mit einem Material versiegelt ist, das einen geringeren Elastizitätsmodul als ein Material zum Halten eines Knotens aufweist, verhindert, dass ein Fremdkörper in die Nut eindringt, ohne dass die Erfassungsgenauigkeit beeinträchtigt wird. Auf diese Weise kann die Beständigkeit gegenüber von Umwelteinflüssen verbessert werden.
  • Bei dem Sensor 10 gemäß der ersten Ausführungsform und dem Sensor 20 gemäß der zweiten Ausführungsform ist die Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 nahe der Empfangsoberfläche 12a über das Vibrationsdämpfungselement 13 an der Öffnung des Gehäuses 71 befestigt. Eine Mitte des Schallanpasselements 12 in der Längsrichtung kann am Gehäuse 71 befestigt sein. In diesem Fall bildet die Mitte des Schallanpasselements 12 in der Längsrichtung einen Schwingungsknoten einer stehenden Welle. Die Mitte des Schallanpasselements 12 ist derart am Gehäuse 71 befestigt, dass ein Befestigungsabschnitt (d. h. die Mitte) des Schallanpasselements 12 die Schwingung des Ultraschallwellenerfassungselements nicht beschränkt. Folglich wird die Dämpfung der Schwingung verringert. Folglich wird die Signalintensität erhöht und die Erfassungsempfindlichkeit verbessert.
  • Der Sensor 30 bringt die gleichen Effekte wie der Sensor 10 gemäß der ersten Ausführungsform hervor. Ferner ist die Schaltung 19 an der Innenwand 71b des Gehäuses 71 angeordnet, da die Kontaktstellen 17a, 17b an der Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 gebildet sind. Auf diese Weise kann die Freiheit bei der Gestaltung des Sensors verbessert werden.
  • Wenn das Schallanpasselement 12 symmetrisch zum piezoelektrischen Element 11 ist, schwingt das Schallanpasselement 12 symmetrisch zum piezoelektrischen Element 11. Folglich ist die Schwingung des Schallanpasselements 12 stabil, so dass die Empfindlichkeit und/oder der Schalldruck verbessert werden.
  • (Vierte Ausführungsform)
  • 6 zeigt einen Ultraschallsensor 40 gemäß einer vierten Ausführungsform, und 7 zeigt einen weiteren Ultraschallsensor gemäß einer Modifikation der vierten Ausführungsform.
  • Bei dem Sensor 40 ist die Schaltung 19, wie in 6 gezeigt, ebenso in das Schallanpasselement 12 eingebettet. In der Schaltung 19 sind ein Bonddraht 41 und eine Kontaktstelle 42 für eine Verbindung mit einer externen Schaltung, wie beispiels weise einer ECU, gebildet. Alternativ kann ein Bondhügel, ein Leiterrahmen oder dergleichen in der Schaltung 19 gebildet sein.
  • Bei dem Sensor 40 werden die Beständigkeit gegenüber von Umwelteinflüssen und die Stoßfestigkeit unter dem piezoelektrischen Element 11, den Verdrahtungen und der Schaltung 19 verbessert, da die Schaltung 19 in das Schallanpasselement 12 eingebettet ist.
  • Ferner kann die Verdrahtung zwischen der Schaltung 19 und dem piezoelektrischen Element 11 verkürzt werden, da die Schaltung 19 nahe dem piezoelektrischen Element 11 angeordnet ist. Folglich wird ein Rauschen von der Verdrahtung verringert, so dass die Erfassungsempfindlichkeit der Ultraschallwelle verbessert werden kann.
  • Ein Teil der ersten Elektrode 14 und ein Teil der zweiten Elektrode 15 können sich, wie in 7 gezeigt, derart erstrecken, dass sie bis zur Seitenwand 11a des piezoelektrischen Elements 11 reichen, so dass die sich erstreckenden Teile der ersten und der zweiten Elektrode 14, 15 über die Bondhügel 21 mit der Schaltung 19 verbunden werden. Die Schaltung 19 weist einen Bonddraht 41 und eine externe Verdrahtung 43 für eine Verbindung mit einer externen Vorrichtung, wie beispielsweise einer ECU, auf.
  • In diesem Fall bringt der Sensor 40 die vorstehend beschriebenen Effekte hervor. Ferner kann die Länge der Verdrahtungen im Sensor 40 minimiert werden.
  • Der Sensor 40 bringt die gleichen Effekte wie der Sensor 10 gemäß der ersten Ausführungsform hervor. Ferner können die Beständigkeit gegenüber von Umwelteinflüssen und die Stoßfestigkeit unter dem piezoelektrischen Element 11, den Verdrahtungen und der Schaltung 19 verbessert werden, da die Schaltung 19 in das Schallanpasselement 12 eingebettet ist.
  • (Fünfte Ausführungsform)
  • 8 zeigt einen Ultraschallsensor 50 gemäß einer fünften Ausführungsform.
  • Bei dem Sensor 50 sind mehrere Schallanpasselemente 12 und mehrere piezoelektrischen Elemente 11 in einem Array ausgerichtet angeordnet. Bei dieser Ausführungsform weist der Sensor 50 vier Schallanpasselemente 12 und vier piezoelektrische Elemente 11 auf. Insbesondere sind, wie in 8 gezeigt, zwei Paare des Schallanpasselements 12 und vier piezoelektrische Elemente 11 in Querrichtung des Sensors 50 fluchten angeordnet. Zwei Paare des Schallanpasselements 12 und vier piezoelektrische Elemente 11 sind, wie nicht in der 8 gezeigt, in einer Richtung der Tiefe des Sensors 50 fluchtend angeordnet. Die Tiefenrichtung verläuft senkrecht zur Querrichtung. Bei dieser Ausführungsform entsprechen die Schallanpasselemente 12 und die piezoelektrischen Elemente 11 dem Schallanpasselement 12 bzw. dem piezoelektrischen Element 11 des in der 2 gezeigten Sensors 20. Der Sensor 50 erfasst eine dreidimensionale Position eines Erfassungsobjekts.
  • Die Empfangsoberflächen 12a der zwei Schallanpasselemente 12 werden derart durch einen Schlitz 12e geteilt, dass die zwei Schallanpasselemente 12 über einen Verbindungsabschnitt 12d, der in der Nähe des Schwingungsknotens N der stehenden Welle angeordnet ist, miteinander verbunden sind. Auf diese Weise wird die Dämpfung der Ultraschallwelle, die durch eine Beschränkung des Verbindungsabschnitts 12d verursacht wird, verringert, so dass die Signalstärke erhöht wird. Folglich kann die Erfassungsempfindlichkeit der Ultraschallwelle verbessert werden.
  • Die Öffnung des Schlitzes 12e an der Seite der Empfangsoberfläche ist mit einem Füllmaterial 51, das beispielsweise aus Gummi oder aus Gel besteht, das einen geringeren Elastizitätsmodul als das Schallanpasselement 12 aufweist, versiegelt. Das Füllmaterial 51 schützt den Sensor 50 vor Feuchtigkeit oder einem Fremdstoff, die bzw. der in den Sensor 50 eintritt, ohne dabei die Übertragung der Ultraschallwelle zu verschlechtern.
  • Jedes piezoelektrische Element 11 ist elektrisch mit der gleichen Schaltung 19 verbunden. Alternativ kann jedes piezoelektrische Element 11 eine Schaltung 19 für sich aufweisen.
  • Die vier Paare bestehend aus dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Element 11 werden derart gebildet, dass die vier piezoelektrischen Elemente 11 durch Insert-Molding in einem Körper des Schallanpasselements 12 gebildet werden, woraufhin der Schlitz 12e in dem einen Körper des Schallanpasselements 12 entlang der Übertragungsrichtung der Ultraschallwelle gebildet wird, wobei der Verbindungsabschnitt 12d zurückbleibt, derart, dass die vier Schallanpasselemente 12 gebildet werden.
  • Gemäß dem obigen Verfahren können die Fertigungsschritte verringert und die Positioniergenauigkeit des Schallanpasselements 12 und des piezoelektrischen Elements 11 verglichen mit einem Fall, bei dem jedes piezoelektrische Element 11 einzeln in dem entsprechenden Schallanpasselement 12 eingebettet wird und anschließend vier Paare bestehend aus dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Element 11 über den Verbindungsabschnitt 12d verbunden werden, verbessert werden.
  • Der Sensor 50 weist mehrere Schallanpasselemente 12 und piezoelektrische Elemente 11 auf, derart, dass die Zeitdifferenz und die Phasendifferenz der von den piezoelektrischen Elementen 11 empfangenen Ultraschallwelle gewonnen werden können. Auf der Grundlage der Differenz kann nicht nur der Abstand zwischen dem Sensor und dem Objekt, sondern ebenso die Position des Objekts bestimmt werden.
  • Jedes Schallanpasselement 12 ist derart gebildet, dass die Breite W des Schallanpasselements 12 kleiner oder gleich der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle in Luft ist. Der Abstand d zwischen den Mitten der zwei benachbarten Schallanpasselemente 12 ist nahezu gleich der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle in Luft.
  • In obigem Fall wird die Zeitdifferenz ebenso auf der Grundlage der Phasendifferenz der von den piezoelektrischen Elementen 11 empfangenen Ultraschallwelle bestimmt. Folglich wird die Zeitdifferenz der von den piezoelektrischen Elementen 11 empfangenen Ultraschallwelle mit hoher Genauigkeit erfasst, so dass die Erfassungsgenauigkeit von sowohl dem Abstand zum Objekt als auch der Position des Objekts verbessert werden.
  • Hierbei kann selbst dann, wenn die Breite W des Schallanpasselements 12 nicht kleiner oder gleich der halben Wellenlänge der Ultraschallwelle in Luft ist, die dreidimensionale Position des Objekts erfasst werden.
  • Da die Empfangsoberfläche 12a der Schallanpasselemente 12 durch den Schlitz 12e geteilt wird, entsteht kein Übersprechen zwischen den mehreren Schallanpasselementen 12 und piezoelektrischen Elementen 11, so dass die Erfassungsempfindlichkeit bezüglich der Ultraschallwelle verbessert wird.
  • Der Verbindungsabschnitt 12d kann in der Nähe des Bodens 12b der Schallanpasselemente 12 gebildet werden. Ferner kann der Verbindungsabschnitt 12d in der Nähe der Empfangsoberfläche 12a der Schallanpasselemente 12 gebildet werden, wenn der Verbindungsabschnitt 12d aus dem gleichen Material wie das Vibrationsdämpfungselement 13 aufgebaut ist.
  • Jeder der in den 1-7 gezeigten Sensoren gemäß der ersten bis vierten Ausführungsform kann eine Mehrzahl von Paaren bestehend aus den Schallanpasselementen 12 und den piezoelektrischen Elementen 11 aufweisen.
  • Obgleich die Anzahl der Schallanpasselemente 12 und der piezoelektrischen Elemente 11 im Sensor 50 bei vier liegt, kann der Sensor 50 eine andere Anzahl von Schallanpasselementen 12 und piezoelektrischen Elementen 11 aufweisen. Ferner kann die Anordnung der Schallanpasselemente 12 und der piezoelektrischen Elemente 11 im Sensor 50 vom in der 8 gezeigten Sensor 50 abweichen. So kann der Sensor 50 beispielsweise zwei Paare bestehend aus dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Elemente 11 aufweisen, wenn die zweidimensionale Position des Objekts erfasst wird.
  • Der Sensor 50 bringt die gleichen Effekte wie der Sensor 10 gemäß der ersten Ausführungsform hervor. Ferner wird die Zeitdifferenz oder die Phasendifferenz der von den piezoelektrischen Elementen 11 empfangenen Ultraschallwelle derart erfasst, dass nicht nur der Abstand zwischen dem Objekt und dem Sensor 50, sondern ebenso die Position des Objekts auf der Grundlage der Zeitdifferenz oder der Phasendifferenz er fasst werden kann, da der Sensor 50 eine Mehrzahl von Paaren bestehend aus dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Element 11 aufweist.
  • Jedes Paar bestehend aus dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Element 11 ist am Verbindungsabschnitt 12d, der in der Nähe des Schwingungsknotens der im Schallanpasselement 12 erzeugen stehenden Welle angeordnet ist, an einem weiteren Paar bestehend aus dem Schallanpasselement 12 und dem piezoelektrischen Element 11 befestigt bzw. mit diesem weiteren Paar verbunden. Auf diese Weise kann die Dämpfung der Ultraschallwelle, die durch eine Beschränkung des Verbindungsabschnitts 12d verursacht wird, verringert werden, so dass die Signalstärke erhöht wird. Auf diese Weise kann die Erfassungsempfindlichkeit der Ultraschallwelle, d. h. die Empfindlichkeit, mit welcher die Ultraschallwelle erfasst werden kann, verbessert werden. Da die Empfangsoberfläche 12a der Schallanpasselemente 12 durch den Schlitz 12e geteilt wird, wobei die Schallanpasselemente 12 an dem Verbindungsabschnitt 12d, der eine minimale Amplitude der Ultraschallwelle aufweist, gehalten werden, entsteht kein Übersprechen zwischen den mehreren Schallanpasselementen 12 und piezoelektrischen Elementen 11. Auf diese Weise kann die Erfassungsempfindlichkeit der Ultraschallwelle verbessert werden.
  • (Weitere Ausführungsformen)
  • Die Verdrahtung für eine Verbindung zwischen dem piezoelektrischen Element 11 und der Schaltung 19 kann aus einem leitfähigen Harzmaterial oder einem leitfähigen Gummi aufgebaut sein. Bei dem Sensor 30 gemäß der dritten Ausführungsform können der Bonddraht 16a, das Elektrodenelement 18a und der Bonddraht 18b beispielsweise durch eine leitfähige Verdrahtung aus Harz ersetzt werden. In diesem Fall kann die Verdrahtung mit Hilfe eines Doppelspritzgießverfahrens (Double Injection Molding) gebildet werden, wenn das piezoelektrische Element 11 durch Insert-Molding im Schallanpasselement 12 gebildet wird. Folglich kann der Verdrahtungsaufwand verringert werden, so dass die Fertigungsschritte zur Fertigung des Sensors vereinfacht werden können.
  • Bei einem Ultraschallsensor 60 wird das piezoelektrische Element 11, wie in 9 gezeigt, derart in das Schallanpasselement 12 eingebettet, dass die an die erste Elektrode 14 grenzende Seitenwand 11a des piezoelektrischen Elements 11 der Empfangsoberfläche 12a des Schallanpasselements 12 gegenüberliegt.
  • Der Sensor 60 bringt die gleichen Effekte wie der Sensor 10 gemäß der ersten Ausführungsform hervor.
  • Ferner kann die Dicke des piezoelektrischen Körpers entlang einer Richtung von der ersten Elektrode 14 zur gegenüberliegenden zweiten Elektrode 15 verringert werden. Hierbei ist die piezoelektrische Konstante des piezoelektrischen Körpers entlang der Richtung von der ersten zur zweiten Elektrode 14, 15 hoch. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird die Ultraschallwelle von der Seitenwand 11a des piezoelektrischen Elements 11 empfangen, die senkrecht zur ersten Elektrode 14 verläuft und an die erste Elektrode 14 grenzt. Hierbei ist die Abmessung der Seitenwand 11a nicht entlang einer Richtung parallel zur ersten Elektrode 14 beschränkt. Folglich kann die Abmessung des piezoelektrischen Elements 11 entlang der Richtung parallel zur ersten Elektrode 14, d. h. entlang der Übertragungsrichtung der Ultraschallwelle, erhöht werden. Auf diese Weise wird die Erfassungsempfindlichkeit des Sensors verbessert.
  • Das piezoelektrische Element 11 kann als Empfangs- und Sendeelement zum Senden und Empfangen der Ultraschallwelle verwendet werden.
  • Das Schallanpasselement 12 und das Gehäuse 71 können teilweise oder vollständig mit einem elastischen Element bedeckt sein. Das elastische Element 70 kann beispielsweise, wie in 10 gezeigt, teilweise zwischen dem Boden 12b des Schallanpasselements 12 und dem Boden 71a des Gehäuses 71 und zwischen der Seitenwand 12c des Schallanpasselements 12 und der Innenoberfläche 71b des Gehäuses 71 gebildet sein. Folglich kann das elastische Element 70 dann, wenn ein Stoß auf das Schallanpasselement 12 aufgebracht wird, die Stoßwirkung absorbieren. Auf diese Weise kann die Stoßfestigkeit des Sensors 10 verbessert werden.
  • Obgleich die vorliegende Erfindung anhand ihrer bevorzugten Ausführungsformen und Ausgestaltungen offenbart wurde, sollte wahrgenommen werden, dass sie nicht auf die bevorzugten Ausführungsformen und Ausbildungen beschränkt ist, sondern auf verschiedene Weisen verwirklicht werden kann, ohne ihren Schutzumfang zu verlassen, so wie er in den beigefügten Ansprüchen dargelegt wird. Zusätzlich zu den verschiedenen bevorzugten Kombinationen und Konfigurationen sollen andere Kombinationen und Konfigurationen, die mehr, weniger oder nur ein einziges Element aufweisen, als mit im Schutzumfang der vorliegenden Erfindung beinhaltet verstanden werden.
  • Vorstehend wurde ein Ultraschallsensor offenbart.
  • Ein Ultraschallsensor zur Erfassung eines Objekts weist auf: ein piezoelektrisches Element 11, das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode 14, 15, zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist; ein Schallanpasselement 12, das eine Empfangsoberfläche 12a aufweist, die eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt; und eine Schaltung 19, die über einen Draht 16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73 elektrisch mit dem piezoelektrischen Element verbunden ist. Das piezoelektrische Element ist derart in das Schallanpasselement eingebettet, dass das Schallanpasselement wenigstens die erste Elektrode, einen Teil einer Seitenwand 11a des piezoelektrischen Elements und einen Teil des Drahtes zwischen der Schaltung und dem piezoelektrischen Element bedeckt, wobei die Seitenwand des piezoelektrischen Elements an die erste Elektrode grenzt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - JP 05-123317 [0003]

Claims (16)

  1. Ultraschallsensor zur Erfassung eines Objekts, mit: – einem piezoelektrischen Element (11), das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode (14, 15), zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist, wobei das piezoelektrische Element (11) eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle erfasst und die Ultraschallwelle anfangs von einem Sendeelement ausgesendet wird; – einem Schallanpasselement (12), das eine Empfangsoberfläche (12a) aufweist, welche der ersten Elektrode (14) gegenüberliegt und die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt, wobei das Schallanpasselement (12) die Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche (12a) über die erste Elektrode (14) zum piezoelektrischen Körper überträgt; und – einer Schaltung (19), die über einen Draht (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) elektrisch mit dem piezoelektrischen Element (11) verbunden ist und ein vom piezoelektrischen Element (11) ausgegebenes Spannungssignal verarbeitet, wobei – das piezoelektrische Element (11) derart in das Schallanpasselement (12) eingebettet ist, dass das Schallanpasselement (12) wenigstens die erste Elektrode (14), einen Teil einer Seitenwand (11a) des piezoelektrischen Elements (11) und einen Teil des Drahtes (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) zwischen der Schaltung (19) und dem piezoelektrischen Element (11) bedeckt, und – die Seitenwand (11a) des piezoelektrischen Elements (11) an die erste Elektrode (14) grenzt.
  2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Schallanpasselement (12) die gesamte Oberfläche des piezoelektrischen Elements (11) bedeckt.
  3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Draht (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) zwischen der Schaltung (19) und dem piezoelektrischen Element (11) als Kontakthügel (21, 22) vorgesehen ist.
  4. Sensor nach einem der Ansprüche 1–3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltung (19) in das Schallanpasselement (12) eingebettet ist.
  5. Sensor nach einem der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Abstand zwischen der Empfangsoberfläche (12a) des Schallanpasselements (12) und der ersten Elektrode (14) annähernd einer viertel Wellenlänge einer der Ultraschallwelle ist, die durch das Schallanpasselement (12) übertragen wird.
  6. Sensor nach einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass er ferner aufweist: – ein zweites piezoelektrisches Element (11), das einen zweiten piezoelektrischen Körper und eine dritte und eine vierte Elektrode (14, 15), zwischen denen der zweite piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist, wobei das zweite piezoelektrische Element (11) die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle erfasst und die Ultraschallwelle anfangs vom Sendeelement ausgesendet wird; und – ein zweites Schallanpasselement (12), das eine zweite Empfangsoberfläche (12a) aufweist, welche der dritten Elektrode (14) gegenüberliegt und die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt, wobei das zweite Schallanpasselement (12) die Ultraschallwelle von der zweiten Empfangsoberfläche (12a) über die dritte Elektrode (14) zum zweiten piezoelektrischen Körper überträgt, wobei – die Schaltung (19) über einen zweiten Draht (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) elektrisch mit dem zweiten piezoelektrischen Element (11) verbunden ist und ein vom zweiten piezoelektrischen Element (11) ausgegebenes Spannungssignal verarbeitet, – das zweite piezoelektrische Element (11) derart in das zweite Schallanpasselement (12) eingebettet ist, dass das zweite Schallanpasselement (12) wenigstens die dritte Elektrode (14), einen Teil einer Seitenwand (11a) des zweite piezoelekt rischen Elements (11) und einen Teil des zweiten Drahtes (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) zwischen der Schaltung (19) und dem zweiten piezoelektrischen Element (11) bedeckt, – die Seitenwand (11a) des zweiten piezoelektrischen Elements (11) an die dritte Elektrode (14) grenzt, und – ein erstes Paar bestehend aus dem piezoelektrischen Element (11) und dem Schallanpasselement (12) und ein zweites Paar bestehend aus dem zweiten piezoelektrischen Element (11) und dem zweiten Schallanpasselement (12) in einem Array ausgerichtet sind.
  7. Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass – das erste Paar (11, 12) über einen Verbindungsabschnitt (12d), der um einen Schwingungsknoten einer stehenden Welle der Ultraschallwelle herum angeordnet ist, mit dem zweiten Paar (11, 12) verbunden ist; und – die stehende Welle in sowohl dem Schallanpasselement (12) als auch dem zweiten Schallanpasselement (12) erzeugt wird.
  8. Sensor nach einem der Ansprüche 1–7, dadurch gekennzeichnet, dass das Schallanpasselement (12) aus einem Harz aus der Reihe der Polycarbonate aufgebaut ist.
  9. Sensor nach einem der Ansprüche 1–8, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Körper des piezoelektrischen Elements (11) aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) aufgebaut ist.
  10. Sensor nach einem der Ansprüche 1–8, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Körper des piezoelektrischen Elements (11) aus einem Polyvinylidenfluorid aufgebaut ist.
  11. Sensor nach einem der Ansprüche 1–10, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Element (11) unter einer Bedingung über einen Polarisationsprozess vorgesehen ist, dass das piezoelektrische Element (11) durch Insert-Molding der art im Schallanpasselement (12) gebildet ist, dass das piezoelektrische Element (11) ein vorbestimmtes piezoelektrisches Verhalten aufweist.
  12. Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Schallanpasselement (12) symmetrisch zum piezoelektrischen Elements (11) ausgebildet ist.
  13. Sensor nach einem der Ansprüche 1–12, dadurch gekennzeichnet, dass – das piezoelektrische Element (11) das Sendeelement bildet, wobei – die Schaltung (19) ein Steuersignal an das piezoelektrische Element (11) ausgibt, derart, dass die vom piezoelektrischen Element (11) ausgegebene Ultraschallwelle auf der Grundlage des Steuersignals gesteuert wird, wenn das piezoelektrische Element (11) die Ultraschallwelle aussendet, und – das Schallanpasselement (12) die Ultraschallwelle vom piezoelektrischen Element (11) über die Empfangsoberfläche (12a) nach außerhalb des Schallanpasselements (12) aussendet.
  14. Ultraschallsensor zur Erfassung eines Objekts, mit – einem piezoelektrischen Element (11), das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode (14, 15), zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist, wobei das piezoelektrische Element (11) eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle erfasst und die Ultraschallwelle anfangs von einem Sendeelement ausgesendet wird; – einem Schallanpasselement (12), das eine Empfangsoberfläche (12a) aufweist, welche die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt, wobei das Schallanpasselement (12) die Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche (12a) zum piezoelektrischen Körper überträgt; und – einer Schaltung (19), die über einen Draht (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) elektrisch mit dem piezoelektrischen Element (11) verbunden ist und ein vom piezoelektrischen Element (11) ausgegebenes Spannungssignal verarbeitet, wobei – die Empfangsoberfläche (12a) einer Seitenwand (11a) des piezoelektrischen Elements (11) gegenüberliegt, wobei die Seitenwand (11a) an die erste Elektrode (14) grenzt, und – das piezoelektrische Element (11) derart in das Schallanpasselement (12) eingebettet ist, dass das Schallanpasselement (12) wenigstens die erste Elektrode (14), einen Teil der Seitenwand (11a) des piezoelektrischen Elements (11) und einen Teil des Drahtes (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) zwischen der Schaltung (19) und dem piezoelektrischen Element (11) bedeckt.
  15. Sensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass – das piezoelektrische Element (11) das Sendeelement bildet, wobei – die Schaltung (19) ein Steuersignal an das piezoelektrische Element (11) ausgibt, derart, dass die vom piezoelektrischen Element (11) ausgegebene Ultraschallwelle auf der Grundlage des Steuersignals gesteuert wird, wenn das piezoelektrische Element (11) die Ultraschallwelle aussendet, und – das Schallanpasselement (12) die Ultraschallwelle vom piezoelektrischen Element (11) über die Empfangsoberfläche (12a) nach außerhalb des Schallanpasselements (12) aussendet.
  16. Ultraschallsensor, der an einem Fahrzeug montiert ist, um ein Objekt zu erfassen, und aufweist: – ein Gehäuse (71), das über ein Vibrationsdämpfungselement (13) an einem Aufbau (90) des Fahrzeugs befestigt ist, wobei das Vibrationsdämpfungselement (13) eine Vibration vom Fahrzeugaufbau dämpft; – ein piezoelektrisches Element (11), das einen piezoelektrischen Körper und eine erste und eine zweite Elektrode (14, 15), zwischen denen der piezoelektrische Körper angeordnet ist, aufweist, wobei das piezoelektrische Element (11) eine vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle erfasst und die Ultraschallwelle anfangs von einem Sendeelement ausgesendet wird; – ein Schallanpasselement (12), das eine Empfangsoberfläche (12a) aufweist, welche der ersten Elektrode (14) gegenüberliegt und die vom Objekt reflektierte Ultraschallwelle empfängt, wobei das Schallanpasselement (12) die Ultraschallwelle von der Empfangsoberfläche (12a) über die erste Elektrode (14) zum piezoelektrischen Körper überträgt; und – eine Schaltung (19), die über einen Draht (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) mit dem piezoelektrischen Element (11) verbunden ist und ein vom piezoelektrischen Element (11) ausgegebenes Spannungssignal verarbeitet, wobei – das piezoelektrische Element (11), das Schallanpasselement (12) und die Schaltung (19) im Gehäuse (71) angeordnet sind, – das piezoelektrische Element (11) derart in das Schallanpasselement (12) eingebettet ist, dass das Schallanpasselement (12) die erste und die zweite Elektrode (14, 15), eine Seitenwand (11a) des piezoelektrischen Elements (11) und einen Teil des Drahtes (16a, 16b, 17a, 17b, 18a, 18b, 21, 22, 72, 73) zwischen der Schaltung (19) und dem piezoelektrischen Element (11) bedeckt, und – die Seitenwand (11a) des piezoelektrischen Elements (11) zwischen der ersten und der zweiten Elektrode (14, 15) angeordnet ist.
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