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DE102006030094A1 - Hochreflektierendes Schichtsystem und Verfahren zur Herstellung des Schichtsystems - Google Patents

Hochreflektierendes Schichtsystem und Verfahren zur Herstellung des Schichtsystems Download PDF

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DE102006030094A1
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DE102006030094A
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English (en)
Inventor
Carsten Dipl.-Phys. Deus
Christoph Dr. Köckert
David Schubert
Hendrik Hummel
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Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Original Assignee
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/0816Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein hochreflektierendes Schichtsystem zur Beschichtung von Substraten mit reflexionserhöhenden Schichten sowie ein Verfahren zur Herstellung des Schichtsystems. Auf der Oberfläche des Substrats (S0) ist eine funktionelle Reflexionsschicht (S3) aufgetragen. Die funktionelle Reflexionsschicht (S3) kann aus Metall oder einer Metalllegierung, beispielsweise Silber oder einer Silberlegierung, bestehen. Darüber ist eine Haftvermittlerschicht (S4) vorgesehen. Die Haftvermittlerschicht (S4) kann aus einem Metall, Metalloxid, Metallnitrid oder einer Mischung dieser Stoffe bestehen. Vorteilhaft enthält die Haftvermittlerschicht (S4) einen oder mehrere Bestandteile aus der Gruppe Zinkoxid, Titanoxid, Zinnoxid, Aluminiumoxid. Über der Haftvermittlerschicht (S4) folgt eine transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht (S5). Die transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht (S5) kann beispielsweise aus Siliziumoxid bestehen. Über der transparenten niedrigbrechenden dielektrischen Schicht (S5) ist eine transparente hochbrechende dielektrische Schicht (S6) angeordnet. Diese kann beispielsweise aus Titanoxid bestehen.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein hochreflektierendes Schichtsystem zur Beschichtung von Substraten mit reflexionserhöhenden Schichten sowie ein Verfahren zur Herstellung des Schichtsystems.
  • Zur Verbesserung der Reflexionseigenschaften von Produktoberflächen ist es bekannt, diese Oberflächen mit dünnen Schichten hochreflektierender Materialien zu beschichten. Hierfür sind verschiedene Verfahren gebräuchlich, wie beispielsweise die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) mit oder ohne Plasmaunterstützung, bei der an der heißen Oberfläche eines Substrates aufgrund einer chemischen Reaktion aus der Gasphase eine Feststoffkomponente abgeschieden wird oder die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), bei der das Material, das abgeschieden werden soll, in fester Form vorliegt. Zu den PVD-Verfahren zählen beispielsweise das thermische Bedampfen, Sputtern und Ionenplattieren. Mit den verschiedenen PVD-Varianten können fast alle Metalle und auch Kohlenstoff in sehr reiner Form abgeschieden werden. Führt man dem Prozess Reaktivgase wie Sauerstoff, Stickstoff oder Kohlenwasserstoffe zu, lassen sich auch Oxide, Nitride oder Karbide abscheiden.
  • Zur Erzielung einer besonders hochreflektierenden Oberfläche ist erfindungsgemäß vorgesehen, auf einem Substrat (S0) einen mehrlagigen Schichtaufbau herzustellen, der mindestens folgende Schichten umfasst:
    Auf der Oberfläche des Substrats (S0) ist eine funktionelle Reflexionsschicht (S3) aufgetragen. Die funktionelle Reflexionsschicht (S3) kann aus Metall oder einer Metalllegierung, beispielsweise Silber oder einer Silberlegierung, bestehen. Darüber ist eine Haftvermittlerschicht (S4) vorgesehen. Die Haftvermittlerschicht (S4) kann aus einem Metall, Metalloxid, Metallnitrid oder einer Mischung dieser Stoffe bestehen. Vorteilhaft enthält die Haftvermittlerschicht (S4) einen oder mehrere Bestandteile aus der Gruppe Zinkoxid, Titanoxid, Zinnoxid, Aluminiumoxid.
  • Vorzugsweise ist dabei die Dicke der Haftvermittlerschicht (S4) so gewählt, dass die Haftvermittlerschicht (S4) im Bereich sichtbaren Lichts im Wesentlichen optisch unwirksam ist. Der Begriff "im Wesentlichen optisch unwirksam" soll dabei bedeuten, dass die Haftvermittlerschicht (S4) sichtbares Licht, das auf sie auftrifft, um nicht mehr als 5% abgeschwächt, das heißt, dass mindestens 95% des auftreffenden Lichts die Haftvermittlerschicht durchdringt und höchstens 5% dieses Lichts reflektiert werden. Dies wird in einer bevorzugten Ausgestaltung des Schichtsystems dadurch erreicht, dass die Dicke der Haftvermittlerschicht (S4) kleiner oder gleich 20 nm ist.
  • Über der Haftvermittlerschicht (S4) folgt eine transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht (S5). Die transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht (S5) kann beispielsweise aus Siliziumoxid bestehen. Über der transparenten niedrigbrechenden dielektrischen Schicht (S5) ist eine transparente hochbrechende dielektrische Schicht (S6) angeordnet. Diese kann beispielsweise aus Titanoxid bestehen.
  • Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ist zwischen dem Substrat (S0) und der funktionellen Reflexionsschicht (S3) eine Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) angeordnet. Die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) kann vorteilhaft eine Oxidschicht sein, die beispielsweise durch Anodisieren gebildet ist. Weiter vorteilhaft kann die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) eine Lackschicht sein.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist zwischen dem Substrat (S0) und der funktionellen Reflexionsschicht (S3) eine Haftvermittlerschicht (S2) angeordnet. Diese besteht vorteilhaft aus einem Metall, Metalloxid, Metallnitrid oder einer Mischung dieser Stoffe. Vorteilhaft enthält die Haftvermittlerschicht (S2) einen oder mehrere Bestandteile aus der Gruppe Zinkoxid, Titanoxid, Zinnoxid, Aluminiumoxid, Siliziumoxid. Ist sowohl eine Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) als auch eine Haftvermittlerschicht (S2) vorgesehen, so ist vorteilhaft die Haftvermittlerschicht (S2) auf der Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) angeordnet, die ihrerseits direkt auf dem Substrat (S0) angeordnet ist.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist auf der transparenten hochbrechenden dielektrischen Schicht (S6) mindestens eine weitere transparente dielektrische Schicht (S7), (S8) usw. angeordnet.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist auf der transparenten dielektrischen Schicht (S7) eine weitere transparente dielektrische Schicht (S8) angeordnet.
  • Die Haftvermittlerschicht (S4) verbessert die Haftung der nachfolgenden Schichten, namentlich der transparenten niedrigbrechenden dielektrischen Schicht (S5). Ohne die Haftvermittlerschicht (S4) ist es schwierig, eine haftfeste Verbindung von beispielsweise SiO2 auf eine funktionelle Reflexionsschicht (S3), beispielsweise Silber, zu erreichen. Dies gilt insbesondere bei der Aufbringung der transparenten niedrigbrechenden dielektrischen Schicht (S5) durch Elektronenstrahl-Verdampfungstechniken.
  • Das erfindungsgemäße Schichtsystem ermöglicht die Herstellung hochreflektiver Oberflächen auf einer Vielzahl von Produkten, bei denen eine solche Oberfläche gefordert wird. Der Anwendungsbereich der Erfindung betrifft alle derartigen Produkte, die von der Erfindung ausdrücklich mit umfasst sind. Bezüglich des Materials des zu beschichtenden Substrats (S0) gibt es keine Einschränkungen. Besonders vorteilhaft lässt sich das erfindungsgemäße Schichtsystem jedoch auf metallischen Substraten (S0) anwenden, die eine hochreflektive Oberfläche erhalten sollen.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht die Herstellung des erfindungsgemäßen Schichtsystems auf einem Substrat (S0).
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems der oben beschriebenen Art ist vorgesehen, dass die funktionelle Reflexionsschicht (S3) durch Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht wird.
  • Gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht (S5) durch Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht wird.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die hochbrechende dielektrische Schicht (S6) durch Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht wird.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Haftvermittlerschicht (S4) durch Sputtern, beispielsweise Magnetronsputtern, von einem keramischen Target aufgebracht wird.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) durch Anodisieren gebildet wird.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) durch Auftragen einer Lackschicht gebildet wird.
  • S0
    Substrat
    S1
    Hartstoff- und/oder Glättungsschicht
    S2
    Haftvermittlerschicht
    S3
    funktionelle Reflexionsschicht
    S4
    Haftvermittlerschicht
    S5
    transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht
    S6
    transparente hochbrechende dielektrische Schicht
    S7
    transparente dielektrische Schicht
    S8
    transparente dielektrische Schicht

Claims (25)

  1. Hochreflektives Schichtsystem zur Beschichtung von Substraten (S0), dadurch gekennzeichnet, dass das Schichtsystem mindestens folgende Schichten enthält: S3 funktionelle Reflexionsschicht S4 Haftvermittlerschicht S5 transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht S6 transparente hochbrechende dielektrische Schicht
  2. Schichtsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die funktionelle Reflexionsschicht (S3) aus Metall oder einer Metalllegierung besteht.
  3. Schichtsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die funktionelle Reflexionsschicht (S3) aus Silber oder einer Silberlegierung besteht.
  4. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Haftvermittlerschicht (S4) aus einem Metall, Metalloxid, Metallnitrid oder einer Mischung dieser Stoffe besteht.
  5. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Haftvermittlerschicht (S4) einen oder mehrere Bestandteile aus der Gruppe Zinkoxid, Titanoxid, Zinnoxid, Aluminiumoxid enthält.
  6. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Haftvermittlerschicht (S4) so gewählt ist, dass die Haftvermittlerschicht (S4) im Bereich sichtbaren Lichts im Wesentlichen optisch unwirksam ist.
  7. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke der Haftvermittlerschicht (S4) kleiner oder gleich 20 nm ist.
  8. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht (S5) aus Siliziumoxid besteht.
  9. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die hochbrechende dielektrische Schicht (S6) aus Titanoxid besteht.
  10. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Substrat (S0) und der funktionellen Reflexionsschicht (S3) eine Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) angeordnet ist.
  11. Schichtsystem nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) eine Oxidschicht ist.
  12. Schichtsystem nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) durch Anodisieren gebildet ist.
  13. Schichtsystem nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) eine Lackschicht ist.
  14. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Substrat (S0) und der funktionellen Reflexionsschicht (S3) eine Haftvermittlerschicht (S2) angeordnet ist.
  15. Schichtsystem nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Haftvermittlerschicht (S2) aus einem Metall, Metalloxid, Metallnitrid oder einer Mischung dieser Stoffe besteht.
  16. Schichtsystem nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Haftvermittlerschicht (S2) einen oder mehrere Bestandteile aus der Gruppe Zinkoxid, Titanoxid, Zinnoxid, Aluminiumoxid, Siliziumoxid enthält.
  17. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Substrat (S0) und der funktionellen Reflexionsschicht (S3) eine Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) und eine Haftvermittlerschicht (S2) vorgesehen sind, wobei die Haftvermittlerschicht (S2) auf der Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) angeordnet ist, die ihrerseits direkt auf dem Substrat (S0) angeordnet ist.
  18. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der transparenten hochbrechenden dielektrischen Schicht (S6) mindestens eine weitere transparente dielektrische Schicht (S7), (S8) usw. angeordnet ist.
  19. Schichtsystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es auf einem Substrat (S0) aus Metall oder einer Metalllegierung angeordnet ist.
  20. Verfahren zur Herstellung eines Schichtsystems nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die funktionelle Reflexionsschicht (S3) durch Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht wird.
  21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die transparente niedrigbrechende dielektrische Schicht (S5) durch Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht wird.
  22. Verfahren nach Anspruch 20 oder 21, dadurch gekennzeichnet, dass die hochbrechende dielektrische Schicht (S6) durch Elektronenstrahlverdampfung aufgebracht wird.
  23. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Haftvermittlerschicht (S4) durch Sputtern von einem keramischen Target aufgebracht wird.
  24. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) durch Anodisieren gebildet wird.
  25. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass die Hartstoff- und/oder Glättungsschicht (S1) durch Auftragen einer Lackschicht gebildet wird.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010125028A3 (de) * 2009-04-30 2011-04-07 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronischer halbleiterkörper mit einem reflektierenden schichtsystem
WO2016066562A1 (de) * 2014-10-27 2016-05-06 Almeco Gmbh Temperatur- und korrosionsstabiler oberflächenreflektor
DE102015114095A1 (de) * 2015-08-25 2017-03-02 Alanod Gmbh & Co. Kg Reflektierendes Verbundmaterial mit einem Aluminium-Träger und mit einer Silber-Reflexionsschicht
CN112080723A (zh) * 2020-08-20 2020-12-15 深圳市矽谷溅射靶材有限公司 金制品表面纳米多层复合抗划花膜及其制备方法
US11822104B2 (en) 2015-08-25 2023-11-21 Alanod Gmbh & Co. Kg Reflective composite material having a varnished aluminum carrier having a silver reflection layer and method for production thereof

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3601471A (en) * 1969-03-03 1971-08-24 Optical Coating Laboratory Inc Durable first surface silver high reflector
DD237007A1 (de) * 1985-05-02 1986-06-25 Zeiss Jena Veb Carl Metallschichtvorderflaechenspiegel
DE19639059A1 (de) * 1996-04-29 1997-10-30 Ardenne Anlagentech Gmbh Hochreflektierendes Flächenmaterial und Verfahren zu dessen Herstellung
WO2001005000A1 (de) * 1999-07-07 2001-01-18 Femtolasers Produktions Gmbh Dispersiver mehrschichtiger spiegel
CH691064A5 (de) * 1996-09-03 2001-04-12 Alusuisse Tech & Man Ag Reflektor mit resistenter Oberfläche.
US20050008879A1 (en) * 2003-06-27 2005-01-13 Asahi Glass Company Limited High reflectance mirror
DE102004031124A1 (de) * 2003-07-07 2005-02-10 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe Reflektierender AG-Legierungsfilm für Reflektoren und Reflektor, der mit demselben versehen ist
WO2005029142A1 (ja) * 2003-09-22 2005-03-31 Murakami Corporation 銀鏡およびその製造方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3601471A (en) * 1969-03-03 1971-08-24 Optical Coating Laboratory Inc Durable first surface silver high reflector
DD237007A1 (de) * 1985-05-02 1986-06-25 Zeiss Jena Veb Carl Metallschichtvorderflaechenspiegel
DE19639059A1 (de) * 1996-04-29 1997-10-30 Ardenne Anlagentech Gmbh Hochreflektierendes Flächenmaterial und Verfahren zu dessen Herstellung
CH691064A5 (de) * 1996-09-03 2001-04-12 Alusuisse Tech & Man Ag Reflektor mit resistenter Oberfläche.
WO2001005000A1 (de) * 1999-07-07 2001-01-18 Femtolasers Produktions Gmbh Dispersiver mehrschichtiger spiegel
US20050008879A1 (en) * 2003-06-27 2005-01-13 Asahi Glass Company Limited High reflectance mirror
DE102004031124A1 (de) * 2003-07-07 2005-02-10 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe Reflektierender AG-Legierungsfilm für Reflektoren und Reflektor, der mit demselben versehen ist
WO2005029142A1 (ja) * 2003-09-22 2005-03-31 Murakami Corporation 銀鏡およびその製造方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010125028A3 (de) * 2009-04-30 2011-04-07 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronischer halbleiterkörper mit einem reflektierenden schichtsystem
US9012940B2 (en) 2009-04-30 2015-04-21 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic semiconductor bodies having a reflective layer system
WO2016066562A1 (de) * 2014-10-27 2016-05-06 Almeco Gmbh Temperatur- und korrosionsstabiler oberflächenreflektor
EP3134756B1 (de) 2014-10-27 2017-08-30 Almeco GmbH Temperatur- und korrosionsstabiler oberflächenreflektor
US10436955B2 (en) 2014-10-27 2019-10-08 Almeco Gmbh Temperature- and corrosion-stable surface reflector
DE102015114095A1 (de) * 2015-08-25 2017-03-02 Alanod Gmbh & Co. Kg Reflektierendes Verbundmaterial mit einem Aluminium-Träger und mit einer Silber-Reflexionsschicht
US11822104B2 (en) 2015-08-25 2023-11-21 Alanod Gmbh & Co. Kg Reflective composite material having a varnished aluminum carrier having a silver reflection layer and method for production thereof
CN112080723A (zh) * 2020-08-20 2020-12-15 深圳市矽谷溅射靶材有限公司 金制品表面纳米多层复合抗划花膜及其制备方法

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