DE1068972B - Vorrichtung zum Betreiben stromstarker Glimmentladungen in Entladungsgefäßen, insbesondere zur Behandlung von in das Entladungsgefäß eingebrachten Körpern - Google Patents
Vorrichtung zum Betreiben stromstarker Glimmentladungen in Entladungsgefäßen, insbesondere zur Behandlung von in das Entladungsgefäß eingebrachten KörpernInfo
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
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Description
DEUTSCHES
BEKANNTMACHUNG
DER ANMELDUNG
UND AUSGABE DER
AUSLEGESCHRIFT: 12. NOVEMBER 1959
Gegenstand der Hauptpatentanmddung D 20199
VIIIc/48b ist ein Verfahren zum Betreiben stromstarker Glimmentladungen, das insbesondere zur Behandlung
von in das Entladungsgefäß eingebrachten Körpern dient. ' . "5
Gemäß diesem Verfahren wird eine vom Umschlag der Glimmentladung in einen Lichtbogen herrührende
Änderung einer physikalischen Größe dazu benutzt, die Spannung am Entladungsgefäß so zu beeinflussen,
daß der Bogen erlischt, worauf die Glimmentladung erneut gezündet wird. '']!:,
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens 'nach der Hauptpatentanmeldung
D 201WVIIIcMSb, die sich von den bereits
dort angegebenen Vorrichtungen dadurch vorteilhaft i"5 unterscheidet, daß sie ohne Schaltorgane, also ohne
öffnung" und Schließung von Stromkreisen auskommt. Gemäß der Erfindung wird ein Schwingkreis vorgesehen,
der beim Umschlag angestoßen und dessen Spannung oder Strom dem Entladungsgefäß aufgezwungen
wird, um durch Umpolung der Spannung oder des Stromes den Lichtbogen zum Erlöschen zubringen. Ist
der Lichtbogen erloschen, so verschwindet die Schwingung, und die Glimmentladung wird erneut gezündet.
Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung liegt ein LC-Parallelglied an den Elektroden des Entladungsgefäßes.
Dieses LC-Glied stellt einen Schwingkreis dar, der durch einen vom Umschlag herrührenden
Stoß, etwa über einen Stoßgenerator zu Schwin- , gungen angeregt wird.
Bei einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung ist das Entladungsgefäß selbst in ein /,C-Reihenglied
eingeschaltet, bildet also einen Teil eines Schwingkreises. Hier dient der plötzliche Abfall der Elektrodenspannung
beim Umschlag unmittelbar dazu, den Schwingkreis anzustoßen. Hier kommt man also
ohne Stoßgenerator aus. Kommt der Lichtbogen infolge der angeregten Schwingung zum Erlöschen, so
wird der Schwingkreis unterbrochen und die Glimmentladung dadurch erneut gezündet, daß die von der
Gleichstromquelle gelieferte Spannung an den Elektroden des Entladungsgefäßes selbsttätig auf den zur
Zündung nötigen Wert ansteigt.
Die Zeichnung veranschaulicht drei Ausführungsbeispiele der Erfindung in schematischer Darstellung:
In sämtlichen Ausführungsformen bedeutet 10 das Entladungsgefäß, 11 seine Anode und 12 seine Kathode.
Die Anode ist über einen Widerstand 13 mit einer nahe der Kathode 12 angeordneten Hilfsanode 14 verbunden,
die zur Zündung der Glimmentladung dient. .r."
Der Strom für die Entladung wird von einer Gleichstromquelle 15 geliefert, die über einen den Strom begrenzenden
Widerstand 16 an das Entladungsgefäß 10 angeschlossen ist.
Vorrichtung zum Betreiben stromstarker Glimmentladungen in Entladungsgefäßen,
insbesondere zur Behandlung von in das Entladungsgefäß
eingebrachten Körpern
Zusatz zur Patentanmeldung D 20199 VIIIc/48b (Auslegeschrift 1 024 772) \J
Anmelder: Dortmund-Hörder Hüttenunion
Aktiengesellschaft, Dortmund, Rheinische Str. 173
Bei dem Ausführungsbeispiel nach der Fig. 1 liegt ein Schwingkreis, der aus einer Induktivität 17 und
einer dazu parallelgeschalteten Kapazität 18 besteht, also ein LC-Parallelglied darstellt, an den Elektroden
11 und 12 des Entladungsgefäßes. Ein Kondensator 19, der groß gegen die Kapazität 18 ist, hat lediglich
den Zweck, den Schwingkreis gegen den von der Gleichstromquelle 15 gelieferten Gleichstrom zu sperren.
An den Elektroden 11 und 12 liegt ferner ein Verstärker 20, dessen Ausgangsklemmen mit einem Stoßgenerator
21 verbunden sind. An den Ausgangsklemmen des Stoßgenerators liegt eine Spule 22, die mit der
Induktivität 17 des Schwingkreises gekoppelt ist.
Schlägt die Glimmentladung in einen Lichtbogen um, so fällt die Spannung zwischen den Elektroden 11
und 12 plötzlich ab. Diese Änderung der Spannung wird über den Verstärker 20 auf den Stoßgenerator 21
gegeben und veranlaßt diesen zur Lieferung eines Impulses, der durch die Kopplung 22, 17 den Schwingkreis
17, 18 zum Schwingen bringt. Infolge der Schwingung ändert sich die Spannung zwischen den
Punkten 23 und 24 zwischen positiven und negativen Werten. Diese Spannung ist, wenn man im Augenblick
von dem Widerstand 25 absieht, gleich der Spannung zwischen den Elektroden 11 und 12. Mithin
findet schon innerhalb der ersten Vollschwingung eine Umpolung der am Entladungsgefäß liegenden Spannung
statt, die den Lichtbogen zum Erlöschen bringt. Der Widerstand 25 dient dazu, die Belastung des
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Schwingkreises 17, 18 so weit herabzusetzen, daß die Scliwingjan^ jiu^tande lforrrffetfunil f&nreichend schwach
gedrimpit verläuft. Die vSchwingung klingt nach
Löschung des Bogens ab, und die Spannung zwischen den Elektroden 11 und 12 wird danach wieder durch
die Gleichstromquelle 15 bestimmt. Dadurch wird die Glimmentladung erneut gezündet.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach der Fig. 2 liegt das Entladungsgefäß 10 in Reihe mit einer Induktivität
26 und einer Kapazität 27, bildet also selbst ein Element in dem LC-Reihenglied 26, 27. Die Gleichstromquelle
Hegt parallel zur Kapazität 27. Mit dem Begrenzungswiderstand 16 Hegt eine Drossel 28 in
Reihe, deren Induktivität erheblich größer ist als die der Spule 26.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 bedarf es zum Anstoß der Schwingungen keiner besonderen
Hilfsmittel. Wenn nämlich die Spannung zwischen den Elektroden 11 und 12 beim Umschlag der Entladung
in einen Lichtbogen plötzlich zusammenbricht, wird ao der Schwingkreis 26, 27 unmittelbar zu Schwingungen
angeregt. Am Ende der ersten Halbperiode der ersten Schwingung kehrt sich der Strom im
Schwingkreis und damit im Entladungsgefäß um und bringt dadurch den Lichtbogen zum Erlöschen. Der as
Schwingkreis ist damit geöffnet und die Schwingung beendet. Unter Ladung des Kondensators 27
steigt die Spannung zwischen den Elektroden 11 und 12 in dem nun folgenden Ausgleichsvorgang wieder
auf einen Wert an, bei dem die Glimmentladung gezündet wird. Die Drossel 28 hat den Zweck, die
Schwingung elektrisch von dem die Gleichstromquelle enthaltenden Zweig zu trennen.
Da die Vorgänge schnell sind, genügt als Induktivität im Schwingkreis 26, 27 gelegentlich schon die
den Zuleitungen anhaftende Induktivität, so daß dann eine besondere Drossel überflüssig wird.
Um Überspannungen zu vermeiden, können, wie in der Fig. 3 dargestellt ist, an geeigneter Stelle Dämpfungswiderstände
29 und 30 angeordnet werden. Die Ausführungsform nach der Fig. 3 unterscheidet sich
von derjenigen nach der Fig. 2 außerdem dadurch, daß die Gleichstromquelle 15 durch ein RC-Glied 31, 32
überbrückt ist, so daß die in den beiden Schwingkreisen des Netzwerkes auftretenden veränderlichen
Vorgänge von der Impedanz der Stromquelle unabhängig werden. Der aus der Drossel 28, den Kapazitäten
27 und 32 und den Widerständen 16, 30 und 31 bestehende Schwingkreis ist aperiodisch gedämpft,
vermag also nicht selbsttätig zu schwingen. Nach Unterbrechung des Lichtbogens und Beendigung der
Schwingungen im Kreis 26, 27 klingt daher der Ausgleichvorgang, an dessen Ende die Glimmentladung
erneut gezündet wird, aperiodisch ab.
Der Vorteil der Ausführungsbeispiele nach den Fig. 2 und 3 liegt in ihrer Einfachheit. Demgegenüber
ist in der Fig. 1 der Vorgang unter Umständen leichter zu beherrschen, weil man zum Anstoß der Schwingung
nicht auf die Größe der Strom- oder Spannungsänderung am Entladungsgefäß angewiesen ist, vielmehr
beliebige Verstärkung anwenden kann. Man kann statt des einfachen Stoßgenerators 21 auch einen Multivibrator
verwenden, durch den der Schwingkreis mehrfach nacheinander angestoßen wird, um für den Fall,
daß die Löschung beim ersten Stoß nicht gelingt, weitere Löschimpulse folgen zu lassen.
Claims (5)
1. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zum Betreiben stromstarker Glimmentladungen
in Entladungsgefäßen, insbesondere zur Behandlung von in das Entladungsgefäß eingebrachten
Körpern, nach Patentanmeldung D 20199 VIIIc/47b, gekennzeichnet durch einen
Schwingkreis, der beim Umschlag angestoßen und dessen Spannung oder Strom dem Entladungs-
_gefäß aufgezwungen wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch !,gekennzeichnet
durch ein mit den Elektroden (11,12) des Entladungsgefäßes verbundenes LC-Parallelglied (17,
18), das durch einen vom Umschlag herrührenden Stoß zu Schwingungen angeregt wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen mit dem LC-Glied (17, 18) induktiv
gekoppelten Stoßgenerator (21), der durch die beim Umschlag eintretende Änderung der Spannung
oder des Stromes des Entladungsgefäßes (10) erregt wird.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein mit dem Entladungsgefäß (10) verbundenes
LC-Reihenglied (26, 27), das durch die Änderung der Spannung am Entladungsgefäß beim
Umschlag unmittelbar zu Schwingungen angeregt wird.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromquelle (15) für die
Glimmentladung in Reihe mit einer Drossel (28) parallel zur Kapazität (27) des LC-Gliedes (26,
27) liegt.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 909 648/208 11.59
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BE555863T |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1068972B true DE1068972B (de) | 1959-11-12 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DENDAT1068972D Pending DE1068972B (de) | Vorrichtung zum Betreiben stromstarker Glimmentladungen in Entladungsgefäßen, insbesondere zur Behandlung von in das Entladungsgefäß eingebrachten Körpern |
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| Country | Link |
|---|---|
| BE (1) | BE555863A (de) |
| DE (1) | DE1068972B (de) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2451629A1 (fr) * | 1979-03-11 | 1980-10-10 | Vmei Lenin Nis | Installation pour traiter des pieces metalliques par voie chimico-thermique au moyen d'une decharge electrique luminescente |
| EP0183230A3 (en) * | 1984-11-26 | 1987-02-04 | V M E I "Lenin" | Method and apparatus for controlling the chemical-thermal treatment of work pieces in a flow discharge |
| EP0544107A1 (de) * | 1991-11-26 | 1993-06-02 | Leybold Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten |
| EP0546293A1 (de) * | 1991-11-26 | 1993-06-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten |
| US5415757A (en) * | 1991-11-26 | 1995-05-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for coating a substrate with electrically nonconductive coatings |
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- DE DENDAT1068972D patent/DE1068972B/de active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2451629A1 (fr) * | 1979-03-11 | 1980-10-10 | Vmei Lenin Nis | Installation pour traiter des pieces metalliques par voie chimico-thermique au moyen d'une decharge electrique luminescente |
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| EP0544107A1 (de) * | 1991-11-26 | 1993-06-02 | Leybold Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten |
| EP0546293A1 (de) * | 1991-11-26 | 1993-06-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats, insbesondere mit elektrisch nichtleitenden Schichten |
| US5415757A (en) * | 1991-11-26 | 1995-05-16 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for coating a substrate with electrically nonconductive coatings |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BE555863A (de) |
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