[go: up one dir, main page]

CZ2001598A3 - Piezoelektrický ovladač - Google Patents

Piezoelektrický ovladač Download PDF

Info

Publication number
CZ2001598A3
CZ2001598A3 CZ2001598A CZ2001598A CZ2001598A3 CZ 2001598 A3 CZ2001598 A3 CZ 2001598A3 CZ 2001598 A CZ2001598 A CZ 2001598A CZ 2001598 A CZ2001598 A CZ 2001598A CZ 2001598 A3 CZ2001598 A3 CZ 2001598A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
electrodes
piezoelectric
piezoelectric actuator
core
end region
Prior art date
Application number
CZ2001598A
Other languages
English (en)
Inventor
Rudolf Heinz
Bertram Sugg
Friedrich Boecking
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of CZ2001598A3 publication Critical patent/CZ2001598A3/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/871Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M63/00Other fuel-injection apparatus having pertinent characteristics not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00; Details, component parts, or accessories of fuel-injection apparatus, not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M39/00 - F02M61/00 or F02M67/00; Combination of fuel pump with other devices, e.g. lubricating oil pump
    • F02M63/0012Valves
    • F02M63/0014Valves characterised by the valve actuating means
    • F02M63/0015Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid
    • F02M63/0026Valves characterised by the valve actuating means electrical, e.g. using solenoid using piezoelectric or magnetostrictive actuators

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Description

Piezoelektrický ovladač
Oblast techniky
Vynález se týká piezoelektrického ovladače s piezoelektrickým elementem pro ovládání ovládacího elementu tahovou nebo tlakovou silou, s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami uspořádanými mezi těmito vrstvami a s vzájemným bočním kontaktováním elektrod přes vnější elektrody, přičemž vnější elektrické přípojky pro boční kontaktování jsou umístěny ve struktuře vrstev na neaktivní koncové oblasti a koncová oblast má jádro s dobrou schopností vedení tepla.
Dosavadní stav techniky
Obecně je známo, že při využití takzvaného piezoelektrického efektu může být vytvořen piezoelektrický element z materiálu s vhodnou krystalickou strukturou. Při dotyku vnějšího elektrického napětí nastává mechanická reakce piezoelektrického elementu, která představuje v závislosti na krystalické struktuře a oblasti dotyku elektrického napětí tlak nebo tah v předem daném směru.
Uvedené piezoelektrické ovladače se často používají při nastavování polohy ventilů. Přitom je mimo jiné nutné dbát toho, že možnost zdvihu ventilu, například ventilového dříku, je relativně malá a přitom tepelná roztažnost keramiky piezoelektrického elementu může vést k posunu polohy dříku ventilu bez regulace piezoelektrického elementu. Kromě toho je kontaktování na aktivních dílech piezoelektrického ovladače obtížné.
··· · ·
Podstata vynálezu
Tyto nevýhody odstraňuje piezoelektrický ovladač s piezoelektrickým elementem pro ovládání ovládacího elementu tahovou nebo tlakovou silou, s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami uspořádanými mezi těmito vrstvami a s vzájemným bočním kontaktováním elektrod přes vnější elektrody, podle vynálezu, jehož podstatou je, že vnější elektrické přípojky pro boční kontaktování jsou umístěny ve struktuře vrstev na neaktivní koncové oblasti a koncová oblast má jádro s dobrou tepelnou vodivostí,
Zde je obzvlášť výhodné, že vnější elektrické přípojky pro boční kontaktování jsou umístěny ve struktuře vrstev na neaktivní koncové oblasti a koncová oblast má jádro s dobrými tepelně vodivými vlastnostmi. Jednoduchým způsobem je tím možné spojit vnější kontaktování piezoelektrického ovladače, které má být vytvořeno na neaktivních koncových oblastech, které nejsou zasahovány tahovými nebo tlakovými silami, s dobrým odvodem tepla, aby tak bylo možné se vyhnout úvodem nastíněným nevýhodám.
U výhodné formy provedení má neaktivní koncová oblast na struktuře vrstev relativně tenkou, elektricky izolovanou krycí vrstvu. Krycí vrstva je opatřena tepelně vodivým jádrem, na kterém jsou opět umístěny elektricky izolované keramické vrstvy. Na keramických vrstvách lze přitom vytvořit spojení mezi vnějšími elektrodami a vnějšími elektrickými přípojkami. To může být provedeno zejména pájenou vrstvou, která se nanáší na keramickou vrstvu v oblasti vnějších elektrod.
U jiné, rovněž velmi výhodné formy provedení, je neaktivní koncová oblast vytvořena z elektricky izolovaného keramického dílu, ·*« · · znamena obr. 1 obr. 2 obr. 3 obr. 4 na němž je možné vytvořit boční spojení mezi vnějšími elektrodami a vnějšími elektrickými přípojkami. Do keramické vrstvy je u této formy provedení vloženo tepelně vodivé jádro. Obzvlášť výhodně má jádro v rovině vrstev kruhový obrys, tedy vesměs tvar kotouče.
Tyto a další znaky dalších výhodných provedení vynálezu vycházejí z patentových nároků a také z popisu a výkresů, přičemž jednotlivé znaky je možné u různých provedení vynálezu kombinovat samotné nebo ve více formách a jsou uskutečnitelné v jiných oblastech působnosti a mohou představovat samy o sobě provedení schopná ochrany, která je zde nárokována.
Přehled obrázků na výkresech
Příklady provedení piezoelektrického ovladače k řízení polohy ventilu podle vynálezu jsou vysvětleny podle obrázků, na kterých řez piezoelektrickým ovladačem s neaktivní koncovou oblastí s možností kontaktování, která sestává z tenké krycí vrstvy a tepelně vodivého jádra, které je na ní uspořádáno, pohled na koncovou oblast na čáře řezu A-A podle obr. 1, řez piezoelektrickým ovladačem podle druhého příkladu provedení s neaktivní koncovou oblastí s možností kontaktování z keramiky, do které se vkládá tepelně vodivé jádro ve tvaru kotouče a pohled na koncovou oblast na Čáre řezu A-A podle obr. 3.
··♦·
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 znázorněn piezoelektrický ovladač 1, který je sestaven způsobem samo o sobě známým, z piezoelektrických fólií keramických materiálů s vhodnou krystalickou strukturou, takže při využití takzvaného piezoelektrického efektu při dotyku vnějšího elektrického napětí na vnitřní elektrody 2 a 3 nastává mechanická reakce piezoelektrického ovladače £. Na konci vrstvové struktury piezoelektrického ovladače 1 je na přikladu provedení podle obr. 1 uložena tenká neaktivní krycí vrstva 4, která patří k neaktivní koncové oblasti a působí jako elektrická izolace koncové oblasti vůči struktuře vrstev. Na krycí vrstvě 4 je uspořádáno jádro £ s dobrou tepelnou vodivostí, přes které může být z piezoelektrického ovladače 1 odváděno směrem ven teplo,
Na bočních stranách jádra £ jsou rovněž umístěny neaktivní, elektricky izolující keramické krycí vrstvy 6 a 7, které mohou být opatřeny vrstvou 8, respektive 9 pájky. Toto uspořádání je patrné zejména také z řezu podle Čáry A-A na obr, 2, S vnitřními elektrodami 2 a 3 jsou ploché vnější elektrody 10 a 11 v kontaktu, který zajišťují vrstvy 8., respektive 9 pájky. Na vrstvy 8 a 9 pájky mohou pak být opět umístěny vnější přípojky (zde je znázorněn připojovací drát 12). kterými může být piezoelektrický ovladač 1 zásobován elektrickým napětím.
U druhého příkladu provedení na obr. 3 je na konci struktury vrstev piezoelektrického ovladače £ umístěn jednodílný keramický díl 13, který přísluší k neaktivní koncové oblasti a který působí jako elektrická izolace koncové oblasti vůči struktuře vrstev. Do jednodílného keramického dílu 13 je vloženo kotoučové jádro 14 s dobrou tepelnou vodivostí, přes které může být směrem ven odváděno *999 9 b •9 999999* 9 • 9 9 9 * •· * 99 *·♦ z piezoelektrického ovladače 1 teplo, jako je tomu na příkladech provedení podle obr. 1 a 2.
Na bočních plochách jádra 14 jsou zde, podobným způsobem jako na příkladech provedení podle obr. 1 a 2, umístěny vrstvy 8 a 9 pájky. Toto uspořádání je patrné také v tomto případě zejména z řezu podle čáry A-A na obr. 4, přičemž je možné si povšimnout kruhového obrysu jádra 14.

Claims (5)

PATENTOVÉ NÁROKY
1. Piezoelektrický ovladač
- s piezoelektrickým elementem pro ovládání ovládacího elementu tahovou nebo tlakovou silou, s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami (2, 3) uspořádanými mezi těmito vrstvami a s vzájemným bočním kontaktováním elektrod (2, 3) přes vnější elektrody (10, 11), přičemž
- vnější elektrické přípojky (12) pro boční kontaktování jsou umístěny ve struktuře vrstev na neaktivní koncové oblasti (4, 5, 6, 7; 13, 14) a koncová oblast (4, 5, 6, 7; 13, 14) má jádro (5, 14) s dobrou tepelnou vodivostí.
2. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím, že
- neaktivní koncová oblast (4, 5, 6, 7) sestává z elektricky izolující krycí vrstvy (4) na struktuře vrstev, z tepelně vodivého jádra (5) na ní umístěného a z bočních, na jádru umístěných, elektricky izolujících keramických vrstev (6, 7), přičemž na keramických vrstvách (6, 7) lze vytvořit spojení mezi vnějšími elektrodami (10, 11) a vnějšími elektrickými přípojkami (12).
3. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím, v ze
- neaktivní koncová oblast (13, 14) sestává z elektricky izolujícího keramického dílu (13), na němž je možné bočně vytvořit spojení mezi vnějšími elektrodami a vnějšími elektrickými přípojkami a k dispozici je tepelně vodivé jádro (14), které je možné zapustit do keramické vrstvy (13).
9 · * 9 * 9 9
99 9 9·99 9φ9 9
9 9 9 ««·
99 9 99 ···
4. Piezoelektrický ovladač podle nároku 3, vyznačující se tím, že
- jádro (14) má v rovině vrstev kruhové obrysy.
5. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že
- spojení mezi vnějšími elektrodami (10, 11) a elektrickými přípojkami (12) je možné vytvořit vrstvou (8, 9) pájky na keramické vrstvě (6, 7, 13).
CZ2001598A 1999-06-19 2000-05-30 Piezoelektrický ovladač CZ2001598A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19928176A DE19928176A1 (de) 1999-06-19 1999-06-19 Piezoaktor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2001598A3 true CZ2001598A3 (cs) 2001-08-15

Family

ID=7911879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2001598A CZ2001598A3 (cs) 1999-06-19 2000-05-30 Piezoelektrický ovladač

Country Status (9)

Country Link
US (1) US6495946B1 (cs)
EP (1) EP1110253B1 (cs)
JP (1) JP2003502873A (cs)
KR (1) KR100753789B1 (cs)
AT (1) ATE358894T1 (cs)
CZ (1) CZ2001598A3 (cs)
DE (2) DE19928176A1 (cs)
ES (1) ES2282122T3 (cs)
WO (1) WO2000079613A1 (cs)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10026005B4 (de) * 2000-05-25 2004-07-08 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
US6861782B2 (en) 2001-04-05 2005-03-01 Head Sport Ag Flexible piezoelectric films
DE10136513B4 (de) * 2001-07-26 2007-02-01 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zur Messung von temperaturbedingten Längenänderungen eines Piezoaktors
JP2003065224A (ja) 2001-08-28 2003-03-05 Toyota Industries Corp 可変容量型ピストン式圧縮機
DE102005018791A1 (de) * 2005-01-18 2006-07-27 Epcos Ag Piezoaktor mit niedriger Streukapazität
DE102005008362B4 (de) * 2005-02-23 2007-07-05 Siemens Ag Piezoelektrischer Stapelaktor mit einer verbesserten Wärmeableitung, insbesondere über die inaktiven Deckpakete
JP2006303045A (ja) * 2005-04-18 2006-11-02 Denso Corp 積層型圧電体素子
DE102005018322B4 (de) * 2005-04-20 2007-03-08 Siemens Ag Piezoaktor und Verfahren zu seiner Herstellung
DE102006018032A1 (de) 2006-04-19 2007-10-31 Robert Bosch Gmbh Aktormodul
DE102006026933A1 (de) * 2006-06-09 2007-12-13 Siemens Ag Piezoaktuator
DE102006032218A1 (de) * 2006-07-12 2008-01-17 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
DE102007023547B3 (de) * 2007-05-21 2008-06-26 Siemens Ag Verfahren und Vorrichtung zum Ermitteln einer Irreversibilität einer Längenänderung eines Piezokristalls
KR101903468B1 (ko) * 2016-08-19 2018-10-04 승병선 플라스틱 용기 회수 장치 및 방법
KR101903467B1 (ko) * 2016-08-19 2018-11-22 승병선 종이 컵 회수 장치 및 방법
KR101903470B1 (ko) 2016-09-21 2018-11-13 승병선 플라스틱 용기와 종이 컵의 분류 및 회수 장치와 그 방법

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT353506B (de) * 1976-10-19 1979-11-26 List Hans Piezoelektrischer resonator
JPS6086880A (ja) * 1983-10-19 1985-05-16 Nec Corp 電歪効果素子
JPH0732273B2 (ja) * 1986-05-22 1995-04-10 日本電気株式会社 電歪効果素子
US4803763A (en) * 1986-08-28 1989-02-14 Nippon Soken, Inc. Method of making a laminated piezoelectric transducer
JPH0217873A (ja) * 1988-07-04 1990-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モータ
JPH0217875A (ja) * 1988-07-04 1990-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波モータ
JPH071209B2 (ja) * 1988-09-20 1995-01-11 株式会社村田製作所 圧電型圧力分布センサ
JPH0283425A (ja) * 1988-09-20 1990-03-23 Murata Mfg Co Ltd 圧電型圧力分布センサ
JPH0320673A (ja) * 1989-06-19 1991-01-29 Fujikura Ltd 圧電型加速度センサ
US5089739A (en) * 1990-03-19 1992-02-18 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Laminate type piezoelectric actuator element
JPH04214686A (ja) * 1990-10-05 1992-08-05 Nec Corp 電歪効果素子
JPH04159785A (ja) * 1990-10-23 1992-06-02 Nec Corp 電歪効果素子
DE4201937C2 (de) * 1991-01-25 1997-05-22 Murata Manufacturing Co Piezoelektrisches laminiertes Stellglied
JP3122232B2 (ja) * 1992-06-01 2001-01-09 株式会社日立国際電気 弾性表面波装置
JPH0799347A (ja) * 1993-06-14 1995-04-11 Nippondenso Co Ltd 積層型圧電体によるアクチュエータ
JPH0897479A (ja) * 1994-09-22 1996-04-12 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 積層型圧電アクチュエータ
US5629906A (en) * 1995-02-15 1997-05-13 Hewlett-Packard Company Ultrasonic transducer
US5696423A (en) * 1995-06-29 1997-12-09 Motorola, Inc. Temperature compenated resonator and method
US5644184A (en) * 1996-02-15 1997-07-01 Thermodyne, Inc. Piezo-pyroelectric energy converter and method
KR970077697A (ko) * 1996-05-23 1997-12-12 배순훈 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조
JP3671382B2 (ja) * 1996-06-21 2005-07-13 Necトーキン株式会社 圧電トランスおよび圧電トランス電源
DE19626671C1 (de) * 1996-07-03 1997-10-16 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrischer Leistungsaktor mit Kühlung und Verfahren zu seiner Herstellung
KR100220689B1 (ko) * 1996-08-30 1999-09-15 전주범 박막형 광로조절장치의 입체형 액츄에이터 및 제조방법
JPH11103101A (ja) * 1997-09-29 1999-04-13 Nippon Cement Co Ltd 圧電トランス素子の収納ケース
US6266857B1 (en) * 1998-02-17 2001-07-31 Microsound Systems, Inc. Method of producing a backing structure for an ultrasound transceiver
WO1999046857A1 (en) * 1998-03-12 1999-09-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter
DE19856201A1 (de) * 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19857247C1 (de) * 1998-12-11 2000-01-27 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
US6392327B1 (en) * 2000-03-29 2002-05-21 James L. Sackrison Sonic transducer and feedback control method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
DE19928176A1 (de) 2001-01-04
ES2282122T3 (es) 2007-10-16
EP1110253A1 (de) 2001-06-27
DE50014217D1 (de) 2007-05-16
US6495946B1 (en) 2002-12-17
JP2003502873A (ja) 2003-01-21
EP1110253B1 (de) 2007-04-04
WO2000079613A1 (de) 2000-12-28
KR100753789B1 (ko) 2007-08-31
ATE358894T1 (de) 2007-04-15
KR20010072694A (ko) 2001-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ2001598A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
CA2523446C (en) Mems actuators
US6507140B1 (en) Piezoelectric actuator with an outer electrode that is adapted for thermal expansion
JP4109992B2 (ja) スイッチ、及び集積化回路装置
JP4202765B2 (ja) マイクロスイッチ及びマイクロスイッチの製造方法
US20070187817A1 (en) Power semiconductor modules and method for producing them
KR20030001510A (ko) 압전 가요성 변환기 및 그 이용
KR100694523B1 (ko) 압전 액추에이터
US7276837B2 (en) Piezoelectric actuator
US6169469B1 (en) Relay
WO2022091824A1 (ja) ばね部材
CN102959671B (zh) 双金属控制器
JPH10144967A (ja) 冷却用熱電素子モジュール
US10699984B2 (en) Semiconductor module with a supporting structure on the bottom side
US6927529B2 (en) Solid slug longitudinal piezoelectric latching relay
JP2003528744A (ja) マイクロアクチュエータ装置
CN108028309B (zh) 电子陶瓷构件、尤其多层式压电致动器
JP3879647B2 (ja) 線膨張係数が相違する部材の接合体
JP2008186958A (ja) 半導体装置の製造方法
US20030178917A1 (en) Piezoceramic bending converter
JP2000266231A (ja) 半導体マイクロバルブ
JP2006269380A (ja) 電気接点とその製造方法、及びサーマルプロテクタ
JP2002219696A (ja) 半導体マイクロアクチュエータ