CN210862598U - 膜厚仪和检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种膜厚仪和检测设备。膜厚仪包括壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；壳体上设置有传感器接口；传感器接口与信息接受模块电连接，信息接受模块与信息处理模块电连接，信息处理模块与信息交互模块电连接；信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给信息处理模块；信息处理模块被配置为处理信息接受模块输入信息处理模块的信号，并输出处理信号；信息交互模块被配置为向外部设备传递信息处理模块的处理信号，和/或接受外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。其能够高效、快捷地完成多种情况下对薄膜厚度的测定，其交互效果好，经济效益出众。

Description

膜厚仪和检测设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种膜厚仪和检测设备。

背景技术

真空热蒸发镀膜技术被广泛应用于平板显示器的制造领域，该技术在相应薄膜器件产业化中的应用也十分广泛。

其中对固态薄膜的厚度的测定是非常重要的技术环节，现有技术常采用膜厚仪对膜厚进行检测。然而现有的膜厚仪功能单一、不能满足多种情况的测试要求。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供了一种膜厚仪和检测设备，其能够高效、快捷地完成多种情况下对薄膜厚度的测定，其交互效果好，经济效益出众。

本实用新型的实施例可以这样实现：

第一方面，本实用新型实施例提供一种膜厚仪，包括：壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；

壳体上设置有传感器接口；

传感器接口与信息接受模块电连接，信息接受模块与信息处理模块电连接，信息处理模块与信息交互模块电连接；信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给信息处理模块；

信息处理模块被配置为处理信息接受模块输入信息处理模块的信号，并输出处理信号；信息交互模块被配置为向外部设备传递信息处理模块的处理信号，和/或接受外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。

在可选的实施方式中，还包括第一电路板、第二电路板和第三电路板；

信息接受模块集成设置在第一电路板上，信息处理模块集成设置在第二电路板上，信息交互模块集成设置在第三电路板上。

在可选的实施方式中，壳体包括有第一面板和第二面板，第一面板和第二面板相对设置，且第一面板和第二面板共同围合形成容纳空间，第一电路板、第二电路板和第三电路板均设置在容纳空间中。

在可选的实施方式中，信息处理模块包括FPGA芯片和ARM芯片；

FPGA芯片被配置为进行计数；

ARM芯片被配置为通过FPGA芯片计数后的信息计算频率，并根据上述频率计算蒸镀速率和膜厚度。

在可选的实施方式中，壳体上设置有多个用于与外设连接的I/O接口；

I/O接口与信息交互模块连接。

在可选的实施方式中，壳体上设置有控制旋钮；

控制旋钮与信息处理模块连接。

在可选的实施方式中，还包括显示屏和显示电路板；

显示屏通过显示电路板与信息处理模块连接，显示电路板被配置为接收控制旋钮的调节位置的信息。

在可选的实施方式中，还包括电源和开关；

电源与信息处理模块连接；开关设置在第一面板或第二面板上，且电源通过开关与第二电路板连接。

在可选的实施方式中，还包括电压转换器；

电压转换器的一端与电源连接，另一端与第二电路板连接。

第二方面，本实用新型实施例提供一种检测设备，检测设备包括前述实施方式中任一项的膜厚仪。

本实用新型实施例的有益效果包括，例如：

膜厚仪包括壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块。使用时，信息接受模块用于接收传感器相关信号，信息交互模块用于切换且与外设连接，信息处理模块用于处理来自信息接受模块、信息交互模块的信息，并控制整个膜厚仪的运行。这样的膜厚仪的各个部位各司其职，充分兼顾多种测试情况，具有结构简单、操作方面，功能强大的特点。综上，膜厚仪具有突出的经济效益。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实施例的膜厚仪的结构原理图；

图2为本实施例的膜厚仪的另一结构原理图；

图3为本实施例的膜厚仪的结构示意图；

图4为本实施例的膜厚仪的第一面板的结构示意图；

图5为本实施例的膜厚仪的第二面板的结构示意图。

图标：10-膜厚仪；101-信息接受模块；102-信息处理模块；103-信息交互模块；11-第一面板；110-控制旋钮；120-显示屏；130-开关；12-第二面板；210-I/O接口；220-传感器接口；13-第一电路板；14-第二电路板；15-第三电路板；16-电源；17-电压转换器；21-传感器。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例中的特征可以相互结合。

请参考图1，本实施例提供了一种膜厚仪10，其包括壳体、信息接受模块101、信息处理模块102和信息交互模块103。

壳体上设置有传感器接口220；

传感器接口220与信息接受模块101电连接，信息接受模块101与信息处理模块102电连接，信息处理模块102与信息交互模块103电连接；信息接受模块101被配置为接受传感器21的信号并传递给信息处理模块102；

信息处理模块102被配置为处理信息接受模块101输入信息处理模块102的信号，并输出处理信号；信息交互模块103被配置为向外部设备传递信息处理模块102的处理信号，和/或接受外部设备的交互信号并传输至信息处理模块102。

膜厚仪10包括壳体、信息接受模块101、信息处理模块102和信息交互模块103。使用时，信息接受模块101用于接收传感器21相关信号，信息交互模块103用于切换且与外设连接，信息处理模块102用于处理来自信息接受模块101、信息交互模块103的信息，并控制整个膜厚仪10的运行。这样的膜厚仪10的各个部位各司其职，充分兼顾多种测试情况，具有结构简单、操作方面，功能强大的特点。

请继续参照图1至图5，以了解更多的结构细节。

从图中可以看出，在本实施例中，还包括第一电路板13、第二电路板14和第三电路板15；信息接受模块101集成设置在第一电路板13上，信息处理模块102集成设置在第二电路板14上，信息交互模块103集成设置在第三电路板15上。

进一步的，信息接受模块101、信息处理模块102和信息交互模块103均单独地设置在不同的电路板上，一方面，可以减小单块电路板的面积，使得真个膜厚仪10的体积更加小巧；另一方面，当膜厚仪10维护的时候只需要检修或更换一部分模块即可，产品升级时各个模块也可以分别为客户提供升级，降低产品维修或升级的成本。同时信息接受模块101、信息交互模块103可以根据外设的不同而相应匹配不同的调节方式。这样的膜厚仪10结构简单、操作便捷，且模块化的设置方式能够显著提高工作效率，具有突出的经济效益。

可选的，从图1和图2中还可以看出，信息接受模块101、信息处理模块102和信息交互模块103分别通过FPC进行连接，可灵活调整模块间的位置，也方便快速插拔更换，使得整个膜厚仪10的体积更加小巧，组装更加灵活。

可选的，如图3至图5，壳体包括有第一面板11和第二面板12，第一面板11和第二面板12相对设置，且第一面板11和第二面板12共同围合形成容纳空间，第一电路板13、第二电路板14和第三电路板15均设置在容纳空间中。

本实施例中，传感器21为石英晶体振荡器，石英晶体振荡器能够感应待测物体的质量变化，并向信息处理模块102输出对应的石英晶体的振荡信号，信息处理模块102处理振荡信号，并得出相应的计算结果。

进一步的，在本实施方式中，第一电路板13被配置为处理多个通道对应的石英晶体的信息，并将上述传递给第二电路板14。可选的，第一电路板13用于处理10个通道对应的石英晶体的信息。

在本实施例中，信息处理模块102包括FPGA芯片和ARM芯片；FPGA芯片被配置为进行计数；ARM芯片被配置为通过FPGA芯片计数后的信息计算频率，并根据上述频率计算蒸镀速率和膜厚度。进一步的，根据速率的波动确定稳定性，从而测得镀膜的效果。

在本实施例中，壳体上设置有控制旋钮110；控制旋钮110与信息处理模块102连接。

从图中可以看出，还包括显示屏120；显示屏120与信息处理模块102连接，信息处理模块102根据控制旋钮110的调节位置的信息，向显示屏120输出相应频道的显示信号，使得显示屏120显示不同位置的控制旋钮110对应的不同频道的信息。

进一步的，壳体上设置有多个用于与外设连接的I/O接口210；I/O接口210与信息交互模块103连接。第二电路板14根据控制旋钮110的位置以处理不同I/O接口210输入的信号，并将上述信号显示在显示屏120上。

如此，控制旋钮110转动在不同位置则对应第二面板12上的不同接口，调节控制旋钮110的位置，可以切换在显示屏120显示不同的传感器21的信息。

在本实施例中，还包括电源16和开关130；电源16与信息处理模块102连接；开关130设置在第一面板11或第二面板12上，且电源16通过开关130与第二电路板14连接。

可选的，电源16为220伏交流电。通过开关130保障了整个电路的安全性和可靠性。

在本实施例中，还包括电压转换器17；电压转换器17的一端与电源16连接，另一端与第二电路板14连接。可选的，电压转换器17为将220伏电压转换为6伏电压输出。

需要说明的是，在本实施例中，与I/O接口210连接的外设包括开关、挡板、阀门或电机，这里不作限定。

第三电路板15控制连接I/O接口210，可根据需求连接不同的开关、挡板、阀门或电机等。在本实施例中，第三电路板15的接口有16个；在其他实施例中，可根据实际需求，第三电路板15再增加一个电路板，将接口其扩展为32个，实现更多功能。

本实用新型实施例还提供一种检测设备，检测设备包括前述实施方式中任一项的膜厚仪10。

检测设备包括上述的膜厚仪10，因此具有膜厚仪10的全部有益效果。这样的检测设备具有功能多样，检测效果出众，经济效益显著的特点。

本实用新型实施例的有益效果包括，例如：

膜厚仪10的各个部位各司其职，充分兼顾多种测试情况，具有结构简单、操作方面，功能强大的特点；且经济效益突出、交互提样出众。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种膜厚仪，其特征在于，包括：

壳体、信息接受模块、信息处理模块和信息交互模块；

所述壳体上设置有传感器接口；

所述传感器接口与所述信息接受模块电连接，所述信息接受模块与所述信息处理模块电连接，所述信息处理模块与所述信息交互模块电连接；所述信息接受模块被配置为接受传感器的信号并传递给所述信息处理模块；

所述信息处理模块被配置为处理所述信息接受模块输入所述信息处理模块的信号，并输出处理信号；所述信息交互模块被配置为向外部设备传递所述信息处理模块的处理信号，和/或接受所述外部设备的交互信号并传输至信息处理模块。

2.根据权利要求1所述的膜厚仪，其特征在于：

还包括第一电路板、第二电路板和第三电路板；

所述信息接受模块集成设置在第一电路板上，所述信息处理模块集成设置在第二电路板上，所述信息交互模块集成设置在第三电路板上。

3.根据权利要求2所述的膜厚仪，其特征在于：

所述壳体包括有第一面板和第二面板，所述第一面板和所述第二面板相对设置，且所述第一面板和所述第二面板共同围合形成容纳空间，所述第一电路板、所述第二电路板和所述第三电路板均设置在所述容纳空间中。

4.根据权利要求1所述的膜厚仪，其特征在于：

所述信息处理模块包括FPGA芯片和ARM芯片；

所述FPGA芯片被配置为进行计数；

所述ARM芯片被配置为通过所述FPGA芯片计数后的信息计算频率，并根据上述频率计算蒸镀速率和膜厚度。

5.根据权利要求1所述的膜厚仪，其特征在于：

所述壳体上设置有多个用于与外设连接的I/O接口；

所述I/O接口与所述信息交互模块连接。

6.根据权利要求1所述的膜厚仪，其特征在于：

所述壳体上设置有控制旋钮；

所述控制旋钮与所述信息处理模块连接。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的膜厚仪，其特征在于：

还包括显示屏和显示电路板；

所述显示屏通过所述显示电路板与所述信息处理模块连接，所述显示电路板被配置为接收控制旋钮的调节位置的信息。

8.根据权利要求3所述的膜厚仪，其特征在于：

还包括电源和开关；

所述电源与所述信息处理模块连接；所述开关设置在所述第一面板或第二面板上，且所述电源通过所述开关与所述第二电路板连接。

9.根据权利要求8所述的膜厚仪，其特征在于：

还包括电压转换器；

所述电压转换器的一端与所述电源连接，另一端与所述第二电路板连接。

10.一种检测设备，其特征在于：

所述检测设备包括权利要求1-9中任一项所述的膜厚仪。

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