CN1965612A - 基板沉积方法和有机材料沉积装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及用于沉积有机材料的装置和方法，更具体地，涉及这样一种用于沉积有机材料的装置和方法：其设计成在沉积有机材料的过程中阻止传输到装置的腔内的大尺寸基板的下垂。该装置包括：腔，其具有与外部隔离的内部空间，入口设置在所述腔的一侧以允许基板输入腔内或从腔内传输出，且门用于打开或关闭所述入口；基板安装台板，其设置在所述腔的上部，通过用压力来固定住传输到所述腔内的基板的两端、并且使两端处于固定状态的基板一侧朝外移动而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；旋转提升器，其耦连到所述基板安装台板上表面的中心处，用于旋转、提升或降低所述基板安装台板；以及加热器和有机材料蒸发皿，其设置在所述腔的下部，用于将有机材料蒸发到所述基板上。

Description

基板沉积方法和有机材料沉积装置

技术领域

本发明涉及用于沉积有机材料的装置和方法，更具体地，涉及这样一种用于沉积有机材料的装置和方法：其设计成在沉积有机材料的过程中阻止传输到装置的腔内的大尺寸基板下垂。

背景技术

近来，随着信息通讯技术的快速发展和市场需求的扩张，平板显示设备已经走到显示技术的前沿。代表性的平板显示设备有液晶显示设备、等离子显示面板、有机发光二极管等。

在平板显示设备中，作为下一代显示设备，有机发光二极管由于其优点而突出，这些优点例如是快速的反应时间、与传统液晶显示设备相比能耗较低、重量轻、由于没有背光而具有超薄的厚度、高亮度等。

有机发光二极管基于电致发光原理而工作，具有如下构造：其中阴极膜、有机薄膜、和阳极膜涂覆在基板上，当电压施加到阴极和阳极上时，在有机薄膜两侧产生合适的能差。即电子和空穴分别穿过阴极和阳极而在有机薄膜上重新结合，从而在电子和空穴之间的再结合之后所剩余的激发能发出光线。此时，由于从有机薄膜产生的光的波长可根据有机材料的掺杂剂的量而受到控制，因此能实现全部的色彩。在此方面，由于生产率的提高和显示设备的尺寸的增加，用来制造显示设备的玻璃基板倾向于增加尺寸。

至于有机发光二极管的详细构造，其包括阳极、空穴注入层、空穴转移层、发光层、电子转移层、电子注入层、和阴极，它们按此次序顺序层叠在基板上。这里，对于阳极，主要使用具有低面内阻抗和良好透射率的铟锡氧化物(ITO)。有机薄膜由多层构成，例如空穴注入层、空穴转移层、发光层、电子转移层、和电子注入层，其中用于发光层的有机材料包括Alq₃、TPD、PBD、m-MTDATA、TCTA等。至于阴极，使用LiF-Al金属薄膜。此外，由于有机薄膜对于水分和氧气的抵抗性特别弱，用来封装二极管的封装薄膜形成在二极管的最上部以增加二极管的寿命。

然而，尽管有如上所述的多种优点，由于用来制造大面积有机发光二极管的装置没有明确地标准化，当前，有机发光二极管没有确立为替代传统平板显示设备的下一代显示设备。即，考虑到用来制造大面积面板的装置已经随着液晶显示设备或等离子显示设备的尺寸的快速增加而得以发展和标准化，存在有很强的需求来开发一种用于制造大面积有机发光二极管的装置，这会使得有机发光二极管确立为下一代显示设备。

同时，当制造诸如有机发光二极管等的平板显示设备时，显示设备根据其特性而形成在玻璃基板上，并且在沉积过程中，玻璃基板必须由诸如玻璃卡盘等保持设备保持住，从而沉积表面在真空状态朝向下侧。

一种广泛使用的玻璃卡盘是物理地支撑玻璃基板四侧的夹式卡盘，其它卡盘是使用大气压差的真空卡盘和使用电场和静电感应的静电卡盘。

真空卡盘以如下方式使用大气压差：随着吸附板接触平玻璃基板的后侧，其通过从吸附板中抽吸空气而保持住玻璃基板。因此，存在的问题是：真空卡盘无法用于沉积过程，因为沉积过程主要在真空状态下进行，并且其具有复杂的构造。

即，对于平板显示设备，由于诸如尘土、水蒸汽、氧气等异物成为增加废品率的主要因素，需要在真空状态下进行操作，所以考虑到此情况，真空卡盘无法应用到真空装置中。

同时，静电卡盘借助于在静电卡盘和平基板之间所产生的静电力(通过当电流施加到平基板后侧时所产生的电场来电化平基板、从而所产生的静电力)保持住平基板，并且可用于真空状态。然而，静电卡盘具有下述几个问题。

在保持住大面积平玻璃基板的情况下，静电卡盘需要大的电场，由此增加了功率消耗。此外，为了使电流可在各类沉积过程中连续地供应，不仅静电卡盘需要复杂的机械构造，而且通过电流在基板上产生的电场影响了沉积在平玻璃基板上的材料——即沉积的化合物，从而降低了性能。

当夹持玻璃基板时，基板的中心由于自重而下垂。此时，若玻璃基板的厚度是370×470mm，基板下垂约1mm，而如果玻璃基板的厚度是600×720mm，基板下垂约5mm。此外，真空卡盘无法用于在真空状态下进行的沉积过程，并且在大面积玻璃基板情况下，静电卡盘需要非常强的电场，并且在传输基板时难以处理电线。

用于沉积有机材料的传统装置包括：在其中进行沉积过程的真空腔、设置在腔的上部以用来安装基板的基板安装台板、设置在安装在基板安装台板上的基板之上的磁座、设置在安装在基板安装台板上的基板之下的掩模保持装置、设置在腔的下部用来蒸发有机材料并且将其沉积到基板上的加热器、以及设置在腔的下部的有机材料蒸发皿。

这里，在有机材料蒸发皿上放置了预测的合适数量的待沉积到基板上的有机材料之后，通过使用真空泵而将真空腔排空到10^-6Torr之下。这里，有机材料蒸发皿一般由钼构成。然后，为加热器通电，并且通过使用温度控制器(未示出)精确控制温度而将加热器的温度增加到有机材料的熔点，直至有机材料蒸发。此时，随着有机材料开始从有机材料蒸发皿中蒸发，事先安装的挡板打开，允许蒸发的材料沉积到基板上。这里，挡板用来在有机材料蒸发之前所剩余有机材料蒸发皿上的杂质沉积在基板上。

用于沉积有机材料的传统装置具有的问题是：在将基板安装在基板安装台板上的过程中，大面积基板由于自重而下垂，所以，有机材料无法均匀地沉积在基板上。

发明内容

技术问题

因此，本发明是考虑上述问题而做出，并且本发明的目的是提供用于沉积有机材料的装置和方法，其设计成通过拉伸基板的一侧而对基板施加一个拉力、同时基板的两侧由压紧保持装置固定住，从而在基板的沉积过程中防止基板的中心由于自重而下降，由此阻止了基板下垂。

技术方案

根据本发明一个方面，上述和其它目的可通过提供用于沉积有机材料的装置来实现，该装置包括：具有与外部隔离的内部空间的腔，设置在腔的一侧的入口以允许基板输入腔内或从腔内输出，以及用于打开或关闭入口的门；设置在腔的上部的基板安装台板，其通过压力来固定传输到腔内的基板的两端、并且在两端处于固定状态下朝向外部移动的基板一侧，从而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；耦连到基板安装台板的上表面中心处的旋转提升器，用于旋转、提升或降低基板安装台板；以及设置在腔的下部的加热器和有机材料蒸发皿，用于蒸发有机材料并且将其沉积到基板上。因此，提供了用于安装传输到腔内的基板一进行有机材料沉积的基板安装台板，由此阻止了大面积基板的下垂。

基板安装台板可包括：设置在基板安装台板内的基板搁置保持装置，适于允许基板搁置保持装置的一侧与其它侧分离，基板搁置保持装置具有在其中心处穿孔的板的形状，从而基板的四侧能够搁置在形成于基板搁置保持装置之内的穿孔部上；设置在基板安装台板之上而上升或下降的压紧保持装置，当下降时其适于压紧基板上表面的两侧，并且允许位于基板的所述待与其它侧分离的一侧上的压紧保持装置的一侧与基板的所述一侧共线，压紧保持装置具有在其中心处穿孔的板的形状；向下设置在压紧保持装置的上表面任一侧之上的第一驱动构件，用于根据空气的供应或排放而压紧或松开基板上表面的相关侧；垂直于第一驱动构件设置、并且固定到压紧保持装置一侧上的第二驱动构件，用于根据空气的供应或排放而线性地往复运动基板搁置保持装置和压紧保持装置，其基板搁置保持装置和压紧保持装置中的每一个的一侧都与其它侧分离，从而两端由压紧保持装置固定的基板的一侧通过线性往复而受到拉伸，由此阻止基板下垂。因此，当压紧保持装置压紧并固定住搁置在基板搁置保持装置上的基板的上表面的侧部时，第一和第二驱动构件分别以如下方式向基板施加压力和拉伸力：第二驱动构件通过朝向外部移动基板一侧而向基板施加拉伸力，而第一驱动构件用来固定基板两侧，由此阻止基板下垂。

每个第一和第二驱动构件可包括：板形基部；竖直位于基部的上表面两侧的固定板；位于固定板之间的移动板，从而在其间往复运动，并且具有形成在移动板的前表面中心处的轴，从而透过位于移动板前方的固定板；设置在移动板和位于移动板后部的固定板之间的风箱，其中风箱的两端分别固定到移动板和固定板，并且当风箱填充有空气时，风箱适于根据体积的增加向前线性移动该移动板的轴；用于将空气从从外部注入到风箱内的空气注入喷嘴；以及弹簧，弹簧绕着处于移动板和固定板之间的轴设置，从而在空气从风箱中排出的风箱收缩过程中向风箱施加恢复力。因此，风箱能够根据其是否充有空气而施加向前的力或向后的力。

用于沉积有机材料的装置还可包括：用于施加压力的基板固定部；拉伸力施加部；以及控制器，用于控制由基板固定部施加的压力和由拉伸力施加部施加的拉伸力，从而能根据由压力和拉伸力得到的基板下垂量的检测结果校正压力和拉伸力。

基板固定部可包括：长于基板固定部的长形下板；位于下板之上并适于允许基板搁置在其上表面上的板形固定保持装置，固定保持装置具有与下板相同的形状；设置在固定保持装置一侧并且纵向延伸的位置固定板，位置固定板具有L形截面；与位置固定板间隔开并且位于固定板上方的中心处的驱动构件固定板；适于在驱动构件固定板和固定保持装置之间的空间中上升或下降的压紧保持装置，用来压紧或松开搁置在固定保持装置上的基板的上表面，其中压紧保持装置具有纵向延伸的板的形状；以及设置在驱动构件固定板上表面中心处的竖直驱动构件，用来上升或下降压紧保持装置，从而向基板施加压力，竖直驱动构件具有在其前端固定到压紧保持装置的移动轴。竖直驱动构件设置在基板固定部的上部，从而上升或下降压紧保持装置，由此允许基板的两端通过竖直驱动构件的简单结构固定。

竖直驱动构件可在移动轴上设置有第一压力计，用于测量和输出沿竖直方向的载荷。

第一压力计可以是至少一个负载传感器。

拉伸力施加部可包括：固定到基板固定部的下板和固定保持装置的外壁的静止侧板；向外与静止侧板间隔开并且以竖立固定状态定位在基部一侧的边缘上的驱动构件固定侧板；以及设置到驱动构件固定侧板外壁、用来沿水平方向移动可移动基板固定部而向基板施加拉伸力的水平驱动构件，水平驱动构件具有在其前端固定到可移动基板固定部的移动轴。水平驱动构件设置到其中一个基板固定部的外壁，从而其通过在基板两端固定在合适位置的同时向外移动基板一端而施加拉伸力，由此阻止基板下垂。

所述至少一个负载传感器可以是多个负载传感器，从而能够更精确测量拉伸力和压力。

竖直驱动构件和水平驱动构件可根据基板厚度分别向基板施加不同的压力和拉伸力，从而不管包括基板厚度等的基板条件如何变化，都能向基板施加最优的压力和拉伸力。

控制器可设置有电连接到控制器的显示设备，用来以数字形式输出由第一压力计和第二压力计测量的结果，由此允许操作者通过数字知道压力和拉伸力。

附图说明

通过以下接合附图的详细描述，本发明的上述和其它目的、特征和其它优点将得到更清楚地理解，其中：

图1是示出根据本发明第一实施方式的用于沉积有机材料的装置的整体构造的侧视图；

图2是示出本发明的装置的基板对齐构件的俯视图；

图3a和3b是示出本发明的装置的第一和第二驱动构件的俯视图和侧视图；

图4是示出根据本发明第二实施方式的用于沉积有机材料的装置的基板安装台板的立体图；

图5是图4的截面图；

图6a至6c是示出将基板固定到根据本发明第二实施方式的装置的基板安装台板上的过程的示意图；

图7a和7b是示出安装到根据第二实施方式的装置的基板安装台板上的基板的俯视图，以及示出下垂量和基板的夹持长度的关系的图表，其中基板的两侧保持在基板安装台板的固定保持装置上；

图8a和8b是示出安装到根据第二实施方式的装置的基板安装台板上的基板的俯视图，以及示出下垂量和基板的夹持长度的关系的图表，其中基板的两侧保持在基板安装台板的固定保持装置上；

图9是根据本发明用于沉积有机材料的方法的框图；

图10a至10c是示出根据本发明第三实施方式的将基板固定到装置的基板安装台板上以用于沉积有机材料的的过程的示意图；

图11是示出图10a至10c中所示基板安装台板的基板接触保持装置的局部示意图；

图12a和12b是示出固定方法的概念图，其中图12a示出垂直和水平拉伸的基板，而图12b示出沿对角线拉伸的基板。

具体实施方式

现在将参照附图描述本发明的优选实施方式。

实施方式1

参照图1，根据第一实施方式用于沉积有机材料的装置包括：腔110，其中装载了基板S并且基板S将经受沉积过程；第一驱动构件220，其设置在腔100内侧，用来固定基板S的侧部；第二驱动构件240’，其垂直于第一驱动构件220定位以通过使用气压而向基板S施加拉力，从而阻止基板S下垂；以及旋转提升装置300，其装配在腔110的顶面，用来旋转基板S，从而在有机材料的蒸发过程中，有机材料可在腔内均匀地分布在基板S上。

这里，腔110具有：与其外部隔离的内部空间；一个入口(未示出)，其形成在腔110的一侧，用于允许基板S传输到腔110内或者从腔110中传输出；以及一个门(未示出)，用于打开和关闭入口。腔110适于允许基板S在其中进行有机材料的沉积。

此外，真空泵P设置在腔110的底面的边缘，并且用来降低腔110的内压。即，为了在基板S的表面上沉积纯的有机材料，当在基板S上沉积有机材料时，杂质必须从腔110的内部清除。在此方面，真空泵P通过从沉积腔110中去除空气而清除杂质。

腔110设置有板202、以及位于板202之下预定距离的基板安装台板200、以及在腔110的上部中位于基板安装台板200之下的托架120。基板安装台板200包括基板搁置保持装置210、压紧保持装置208、第一驱动构件220、以及第二驱动构件240。

板202在一侧设置有固定侧板204，而在另一侧设置有能够水平移动的可移动侧板206。基板搁置保持装置210横向地设置到固定侧板204和可移动侧板206的每个下端，并且，压紧保持装置208平行于基板搁置保持装置210设置、从而被上升或下降。

托架120在下部开口，并且具有C形截面。托架120包括：水平设置到托架120的任一下端的掩模保持装置122；一对设置在托架120上部的板状磁座124，用于施加磁力；以及一个搁置在掩模保持装置122上的掩模126。

磁座124向掩模126施加磁力，并且强迫掩模126与基板S的下表面——即基板S的有图案的表面——紧密接触。

基板搁置保持装置210具有在其中心穿孔的板的形状，从而基板S的四侧能搁置在由基板搁置保持装置210所限定的穿孔部上，并且允许基板搁置保持装置210的一侧与其它侧分离。

压紧保持装置208具有对应于基板搁置保持装置210的形状，并且设置在基板搁置保持装置210之上，从而由第一驱动构件220上升或降低。当压紧保持装置208下降时，压紧保持装置208通过压紧基板S的上表面的两侧而固定住基板S，并且也具有在其中心穿孔的板的形状。如同基板搁置保持装置210，压紧保持装置208的一侧可从其它侧分离并且与基板搁置保持装置210的一侧共线定位。

即，设置在基板搁置保持装置210之上、从而由第一驱动构件220上升或下降的压紧保持装置208用来压紧搁置在基板搁置保持装置210上的基板S的上表面的两侧。

如图2所示，基板搁置保持装置210具有中心穿孔的板的形状，并且在基板的上表面和穿孔部的侧表面之间的边界处形成有台阶，由此允许基板容易地搁置在台阶上。

此外，基板搁置保持装置210设置有四个定位气缸130，以及四个在基板S的四侧与定位气缸130相对的对齐气缸132，从而对齐搁置在其上的基板S。

定位气缸130由气压驱动，并且设置有当基板S搁置在基板搁置保持装置210上以进行沉积时用于基板S的参照点。

对齐气缸130由气压驱动，并且在对齐基板S时将基板S移动到基板S的参照点。

这里，四个定位气缸130位于基板S的两个相邻侧，并且确定了基板S的参照点。同时，四个对齐气缸132位于基板S的另外两个相邻侧，从而与四个定位气缸130相对，并且通过从基板S的侧部分别向定位气缸130施加压力对齐基板S。

用来上升或下降压紧保持装置208的第一驱动构件220由设置在第一驱动构件220和压紧保持装置208之间的传动构件212往复运动。传动构件212为杆形，并且在其两端沿相反方向折叠。

可移动侧板206借助于位于板202上表面一侧上的引导件而自由向外移动，并且此时，可移动侧板206的线性往复运动由装配在横向上的第二驱动构件240控制。

参照图3a和3b，第一驱动构件220包括：板形基部222；竖立在基部222的上表面两侧的一对固定板224；位于固定板224之间、从而在其间往复运动的移动板226，并且该移动板具有形成在移动板226的前表面的中心处的轴228，从而穿过位于移动板226前方的固定板224而突出到外部；设置在移动板226和位于移动板226后部的固定板224之间的风箱232，其中风箱232的两端分别固定到移动板226和固定板224，并且当风箱填充有从设置在腔外部的压缩机(未示出)供应的空气时，风箱适于随着所增加的体积而向前线性移动轴228；以及用于注入从外部引入到风箱232内的空气的空气喷嘴234；以及弹簧236，弹簧236绕着位于处于移动状态的移动板226和固定板224之间的轴224设置到移动板226后部，从而在由于空气从风箱232中排出而引起的风箱232的收缩过程中向风箱232施加恢复力。这里，用于压紧或释放弹簧236的缓冲力控制板238固定到轴228上来控制弹簧236的缓冲力。

这里，第二驱动构件240’具有与第一驱动构件220相同的形状和功能，因此这里将省略详细描述。区别之处在于，第一驱动构件220纵向固定到固定侧板204和可移动侧板206上，并且用来上升或下降压紧保持装置208，而第二驱动构件240’以垂直于第一驱动构件220的状态邻接板202的可移动侧板206设置，并且在固定到可移动侧板206的上端的状态下借助于气压来向外移动可移动侧板206或者将其恢复到初始位置。

同时，参考标号242、244、246、248、250、252、254、256和258分别指代基部、固定板、移动板、轴、夹具、风箱、空气注入喷嘴、弹簧、缓冲力控制板。

如图1所示，旋转提升装置300设置在腔110的上表面上而旋转基板S，从而在沉积有机材料过程中，有机材料在腔110内可均匀地分布在基板S上。旋转提升装置300包括：从旋转提升装置托架304的内部向下延伸到在腔110内的基板安装台板200的上表面的第一中空轴306；在第一中空轴306内部从第一中空轴306的上方延伸到磁座124的上表面的第二中空轴308；以及设置在旋转提升装置300的上部的空气注入器302，用于从压缩机向第一和第二驱动构件220和240’、定位气缸130和对齐气缸132供应气压。

设置在第一中空轴330下端的基板安装台板200的掩模保持装置122通过驱动伺服马达(未示出)而上升或下降掩模，并且设置在第二中空轴340下端的磁座借助于汽缸(未示出)上升或下降基板S。

该装置还可包括其它旋转设备(未示出)，用来旋转具有安装在其上的基板S的基板安装台板200。

该装置还包括一个加热器140和一个设置在腔110的下部之内的有机材料蒸发皿142，用于蒸发有机材料并将其沉积到基板S。

下面将参照图1至3c描述根据本实施方式用来沉积有机材料的装置的操作。首先，基板S借助于设置在腔110外部的传输装置(未示出)、穿过形成在腔110一侧上的入口而搁置在基板安装台板200的基板搁置保持装置210上。

在关闭带有门的腔110的入口之后，腔110内的空气借助于设置在腔110的底面边缘的多个真空泵P排放到外部。

然后，空气从设置在腔外部的压缩机注入到设置在固定侧板204和可移动侧板206上的第一驱动构件220的风箱232，从而压紧保持装置208可下降以固定住搁置到基板搁置保持装置210上的基板S。当风箱232由于从压缩机供应来的空气而体积增加时，移动板226的轴228向前移动，然后设置到轴228远端的夹具230迫使传动构件212下降，从而设置到传动构件230的压紧保持装置208下降。

当压紧保持装置208下降时，其通过压紧基板S的上表面的两侧而固定基板S，并且当基板S牢靠地固定时，空气注入到用来移动可移动侧板206的第二驱动构件240中，从而，第二驱动构件240的轴248向前移动，并且迫使可移动侧板206朝外地水平移动。

这里，插入在基板搁置保持装置210和压紧保持装置208之间的基板S被可靠固定，而此时，设置到可移动侧板206的第二驱动构件240工作以迫使可移动侧板206向外移动并且拉伸基板S一侧，由此允许基板S水平定位，同时阻止基板S由于自重而下垂。

然后，为设置在腔110底面处的加热器140供电，通过温度控制器(未示出)精确控制温度，加热器的温度上升到有机材料的熔点，直至有机材料蒸发。此时，随着在有机材料蒸发皿142中的有机材料开始蒸发，事先安装的挡板(未示出)打开，允许蒸发材料沉积在基板S上。这里，挡板用来阻止在有机材料蒸发之前残留在有机材料蒸发皿142上的杂质沉积在基板S上。

此时，基板S借助于旋转提升器300旋转，从而在沉积有机材料过程中，有机材料能够均匀地分布在腔110内的基板S上。在完成基板S的沉积后，第二驱动构件240内的空气排放到外部。由此，可移动侧板206由于设置在轴248周围的弹簧256的回复力返回其最初位置，并且释放施加到基板S上的拉力。最后，压紧保持装置208借助于第一驱动构件220而上升——空气从该第一驱动构件220中排出，并且基板S由传输装置从腔110中传输出。

根据本实施方式，在发生于装置100的腔110内的沉积过程中，基板S的一侧水平拉伸，而两端由压紧保持装置208固定，从而阻止了大面积基板S由于在安装基板S中的自重而下垂。

实施方式2

虽然没有在图中示出，根据本发明第二实施方式的用于沉积有机材料的装置包括：其中装载了大面积基板S的腔(未示出)，基板S在腔内经历沉积过程；设置在腔的上部的基板安装台板400，用于防止基板S在其两端固定的状态下下垂；以及耦联到腔的上表面的旋转提升机(未示出)，用于旋转基板S，从而在有机材料蒸发过程中，有机材料能够均匀地分布在腔内的基板S上。

根据第二实施方式用于沉积有机材料的装置除了例如基板安装台板400等一些部件之外，具有与第一实施方式类似的构造和功能，因此将省略对根据第二实施方式的装置的类似构造的详细描述。

用于沉积有机材料的装置还包括：控制器(未示出)，当通过向安装到基板安装台板400上的基板S的两端施加压力和拉力来阻止基板S下垂时，该控制器控制压力和拉伸力；以及电连接到控制器的显示设备(未示出)，用于输出探测压力和拉伸力的数字结果。

该装置还包括：加热器(未示出)；以及设置在腔的下部的有机材料蒸发皿(未示出)，用于蒸发有机材料并将其沉积到基板S上。

参照图4和5，基板安装台板400包括：板形基部540；分别设置到基部540相对侧上的一对基板固定部410和510；一对水平移动引导件542，其纵向设置到基部540上表面，使得基板固定部410和510位于水平移动引导件542的上表面的两端；以及垂直设置到其中一个能够移动的基板固定部的外表面上的拉伸力施加部550，用于通过向外移动基板固定部向基板施加拉伸力。

该装置还包括：驱动构件固定侧板544；以及竖立设置在基部540相对侧上的侧板536。

基板固定部410和510在水平移动引导件542上沿水平方向移动，从而基板固定部410和510之间的距离能根据基板S的尺寸调节。

两个基板固定部410和510具有相同的形状和功能，只是设置在基部540一侧的基板固定部410属于固定的类型，而设置在基部540另一侧的基板固定部510属于可移动的类型。这里，静止的和可移动的基板固定部410和510都能移动，从而在基板固定部410和510之间的距离能够根据具有大面积的基板S的尺寸调节，由此允许在具有不同尺寸的基板上进行沉积。

基板固定部410和510包括分别固定在水平引导件542的一侧的静止构件412和设置在另一侧、从而能在如下状态下水平移动的可移动构件512：其中两个构件412和512与纵向设置在基部540的上表面上的一对水平移动引导件542接触。每个基板固定部410或510还包括：设置在静止构件412或可移动构件512的上表面上的纵向延伸的下板414或514；位于下板414或514之上的板形固定保持装置416或516，其中竖板插入固定保持装置416或516与下板414或514之间，以保证在两者之间的分开，并且适于允许基板S搁置在所述板形固定保持装置的上表面上，其中每个固定保持装置416或516都具有与每个下板414或514相同的形状；设置在固定保持装置416或516一侧并且纵向延伸的位置固定板418或518，其中位置固定板418或518具有L形截面；与位置固定板418或518间隔开并且位于固定板418或518之上的中心处的驱动构件固定板420或520；适于在驱动构件固定板420或520和固定保持装置416或516之间上升或下降的压紧保持装置426或526，用来压紧搁置在固定保持装置416和516上的基板S的上表面，其中压紧保持装置420或520具有纵向延伸的板的形状；以及设置在驱动构件固定板420或520的上表面中心处的竖直驱动构件428或528，用来上升或下降压紧保持装置420或520，从而向基板S施加压力。

压紧部422或522由压紧保持装置426或526和设置在压紧保持装置426或526之上的移动板424或524构成，并且设置有多个竖轴，以保持在压紧保持装置426或526和移动板424或524之间的间隔。

压紧部422或522由压紧保持装置426或526和移动板424或524构成。

这里，竖直驱动构件428或528是液压缸或气压缸，使用由外部供应的液体或空气压紧基板S。

竖直驱动构件428或528设置有位于其移动轴上的第一压力计L₁。第一压力计L₁可以是至少一个负载传感器，当其上施加载荷时，该负载传感器发生变形——例如延伸或压缩。变形的程度由变形探测器以电信号的形式测量，然后转换为数字信号，从而压力作为数字结果输出到控制器的显示设备上。

此外，连接板430或530插入在竖直驱动构件428或528的第一压力计L₁和压紧保持装置426或526之间。

即，当竖直驱动构件428或528下降并且压紧基板S时，压紧基板S的压力——即载荷——传递到负载传感器，然后由电信号转换为数字信号，由此允许压力输出为数字形式。

拉伸力施加部550竖立地定位。拉伸力施加部550包括：可移动基板固定部510的下板514；固定到固定保持装置516的外壁并且竖立定位的静止侧板552；与静止侧板552间隔开并且设置在基部540一侧的驱动构件固定侧板544；以及设置到驱动构件固定侧板544外壁上、用来沿水平方向移动可移动基板固定部510的水平驱动构件554。

水平轴插入静止侧板552和驱动构件固定侧板544之间以在其间保持间隔。

这里，水平驱动构件544是液压或气压缸，使用从外部供应的液体或空气通过向外移动可移动基板固定部510而压紧基板S。

此外，水平驱动构件554在移动轴上设置有第二压力计L₂。第二压力计L₂可以是负载传感器，当其上施加载荷时，该负载传感器发生变形，例如延伸或压缩。变形的程度由变形探测器以电信号测量，然后转换为数字信号，从而，压力作为数字结果输出到控制器的显示设备上。

即，当水平驱动构件554的移动轴沿水平方向向外移动时，基板S一侧受到拉伸而基板的两侧固定，此时，作用在基板S的拉伸力——即拉伸载荷——传递到负载传感器，然后由电信号转换为数字信号，由此允许压力输出为数字形式。

这里尽管第一和第二压力计L₁和L₂可分别由单个负载传感器构成，期望地，第一和第二压力计L₁和L₂分别由多个负载传感器构成，以便均匀和准确地测量载荷。

此外，竖直驱动构件428或528、以及水平驱动构件554可根据基板S的厚度向基板S施加不同的压力和拉伸力。

因此，当使用第一和第二压力计L₁和L₂测量施加到基板S上的压力和拉伸力之后，测量值被处理成压力和拉伸力的数据，然后用于反馈回路中，由此使得沉积过程可以自动化而大批量地生产。

如图6a至6c所示，在将基板S安装到基板安装台板200上的过程中，基板S的下垂可分为三步。在第一步中，由于压紧保持装置426和526没有压紧固定保持装置416和516，基板S搁置在固定保持装置416和516上，但没有载荷施加到基板S，此时，在图6a中以参考标号“a”指示的基板S因自重产生的基板S下垂量处于最大值。

在第二步中，如图6b所示，基板S搁置在固定保持装置416和516上，位于固定保持装置416和516之上的压紧保持装置426和526下降，并且向基板S的两端施加压力。在此状态下，由于两端由压紧保持装置426和526固定，基板具有由参考标号“b”指示的下垂量，该下垂量小于基板S在自由搁置状态下的下垂量a，因为即使由于基板S的自重而在基板S的中心处下垂，基板S的两端由压紧保持装置426和526固定在固定保持装置416和516上。

在第三步中，如图6c所示，基板S由压紧保持装置426和526固定在固定保持装置416和516上，位于基板S一侧的固定保持装置516和压紧保持装置526向外移动，然后向基板S施加拉伸力，由此阻止基板S下垂。即，由于基板S一侧通过向基板S施加拉伸力而被拉伸、同时基板S的两端由压紧保持装置426和526固定在固定保持装置416和516上，所以基板S不会因其自重下垂。

图7a和7b分别是示出基板S的两个长侧由压紧保持装置426和526固定到固定保持装置416和516上的俯视图，以及当压力和拉伸力同时施加到基板上时下垂量和基板S的夹持长度之间的关系的图表。如图7b所示，可以看到，当压紧保持装置426和526对基板S的夹持长度增加时，基板S的下垂量减少。在图7b中，基板S自由搁置在固定保持装置416和516上时其下垂量的变化由实线表示；当基板S的两侧由压紧保持装置426和526固定时，根据压紧保持装置426和526的夹持长度的基板S的下垂量的变化由点线表示；而当基板S的一侧通过向外移动固定保持装置416和516以及压紧保持装置426和526而被拉伸、同时基板S的两端由压紧保持装置426和526固定在固定保持装置416和516上时，根据压紧保持装置426和526的夹持长度的基板S的下垂量的变化由虚线表示。

根据图7b示出的图表，可以看到，当拉伸力施加到基板S一侧、同时两端由压紧保持装置426和526固定在固定保持装置416和516上时基板S的下垂量最小。

此外，可以理解，随着对基板S的夹持长度的增加，基板S的下垂量下降。

图8a和8b分别是示出基板S的两个短侧由压紧保持装置426和526固定到固定保持装置416和516的基板S的俯视图，以及当压力和拉伸力同时施加到基板上时下垂量和基板S的夹持长度之间的关系的图表。如图8b所示，可以看到，当压紧保持装置426和526对基板S的夹持长度增加时，基板S的下垂量减少。在图8b中，基板S自由搁置在固定保持装置416和516上时其下垂量的变化由点划线表示；当基板S的两侧由压紧保持装置426和526固定时根据压紧保持装置426和526的夹持长度的基板S的下垂量的变化由实线表示；而当基板S的一侧通过向外移动固定保持装置416和516以及压紧保持装置426和526而被拉伸、同时基板S的两端由压紧保持装置426和526固定在固定保持装置416和516上时，根据压紧保持装置426和526的夹持长度的基板S的下垂量的变化由双点划线表示。

根据图8b示出的图表，可以看到，当拉伸力施加到基板S一侧、同时两端由压紧保持装置426和526固定在固定保持装置416和516上时，基板S的下垂量最小。

此外，可以理解，随着对基板S的夹持长度的增加，基板S的下垂量下降。

结果，可以看到，对于基板S的长侧搁置在固定保持装置416和516上的情况，当拉伸力施加到基板S的一侧、同时其两侧由压紧保持装置426和526固定时，基板S的下垂量小于当基板S搁置在固定保持装置416和516上而没有施加任何力时的下垂量，或者小于当基板S的两侧由压紧保持装置426和526固定而没有施加拉伸力时的下垂量。此外，当对基板S的夹持长度增加时，基板S的下垂量减少。

此外，还可以看到，对于基板S的短侧搁置在固定保持装置416和516上的情况，当拉伸力施加到基板S的一侧、同时其两侧由压紧保持装置426和526固定时，基板S的下垂量小于当基板S搁置在固定保持装置416和516上而没有施加任何力时的下垂量，或者小于当基板S的两侧由压紧保持装置426和526固定而没有施加拉伸力时的下垂量。此外，当对基板S的夹持长度增加时，基板S的下垂量减少。同时，当固定基板的长侧时，下垂量小于当固定短侧时的下垂量。

因此，根据第二实施方式的基板安装台板400以如下方式操作：当基板S如图4和5所示搁置在设置于基板安装台板400两侧的基板固定部410和510的固定保持装置416和516上时，空气注入分别设置到基板固定部410和510两侧的竖直驱动构件428或528，由此降低竖直驱动构件428或528的移动轴，以将基板S固定在固定保持装置416和516上，而压紧保持装置426和526下降，并且将基板S的两侧固定在固定保持装置416和516上。然后，两侧由压紧保持装置426和526固定的基板S的一侧通过操纵水平驱动构件554而拉伸，其中装备水平驱动元554以移动设置在基部一侧上的基板固定部510。

这里，插入在固定保持装置416与516和压紧保持装置426与526之间的基板S在其间稳固地固定，并且基板S的一侧通过水平驱动构件554的操作向外移动，从而其水平地定位而没有因自重下垂。

因此，在对位于装置的腔内的基板进行沉积处理而沉积有机材料时，当将基板S安装在基板安装台板400上时，基板S沿水平方向拉伸，从而能阻止基板S因自重而下垂。

参考图9，根据本发明用于沉积有机材料的方法包括：将基板传输到腔内的步骤S600；固定基板两侧的步骤S610；拉伸基板一侧的步骤S620；在基板上沉积有机材料的步骤S630；以及将基板从腔内传输出的步骤S640。

将基板传输到腔内的步骤S600是借助于设置在腔110外部的传输装置(未示出)将基板传输到位于腔110内的基板安装台板400的基板固定部410和510的固定保持装置416和516上的步骤。

固定基板两侧的步骤S610是借助于竖直驱动构件428和528来固定搁置在基板固定部410和510上的基板S的两侧的步骤。

拉伸基板一侧的步骤S620是借助于设置到基板固定部510上的拉伸力施加部550的水平驱动构件554而向外拉伸基板S一侧、同时基板S的两侧由基板固定部410和510固定的步骤。

在基板上沉积有机材料的步骤S630是利用由加热器(未示出)供应的热来蒸发有机材料并且将蒸发的有机材料沉积到基板S上的步骤。

将基板从腔内传输出的步骤S640是将沉积完成的基板S从腔内传输出来的步骤。

实施方式3

虽然没有在图中示出，根据本发明第三实施方式的用于沉积有机材料的装置包括：其中装载了大面积基板S的腔(未示出)，基板S在腔内进行沉积过程；设置在腔的上部的基板安装台板600，用于防止基板S在其两端固定的状态下下垂；以及耦联到腔的上表面的旋转提升机(未示出)，用于旋转基板S，从而在有机材料蒸发过程中，有机材料能够均匀地分布在腔内的基板S上。

根据第三实施方式用于沉积有机材料的装置除了例如基板安装台板600等一些部件之外，具有与第一和第二实施方式类似的构造和功能，因此将省略对根据第三实施方式的装置的类似构造的详细描述。

参照图10a、10b和10c，在第三实施方式中，基板安装台板600包括：静止保持装置610、可移动保持装置612、压紧保持装置620和622、至少一对竖直驱动构件630、至少一个水平驱动构件632、以及基板接触保持装置640。

静止保持装置610具有纵向延伸的板形，并且在一端向下弯曲。

可移动保持装置612位于静止保持装置610的水平侧，并且借助于水平驱动构件632在一端连接到静止保持装置610，同时在另一端向下弯曲，从而可移动保持装置612的弯曲部面对着静止保持装置的弯曲部。可移动保持装置612短于静止保持装置610。

压紧保持装置620和622能够上升或下降，从而它们能接触静止保持装置610和可移动保持装置612的下表面或者从该下表面分离，并且具有对称的L形截面。

成对的竖直驱动构件630可以是螺栓或气缸。竖直驱动构件630通过手动旋转螺栓或者通过气缸活塞杆的自动往复运动而压紧或松开插入到基板接触保持装置622之间的基板S，从而使得基板S可以安装在基板安装台板600上。即，在竖直驱动构件630为螺栓的情况下，压紧保持装置622通过旋转螺栓而操作螺栓上的螺纹、从而与静止保持装置610和可移动保持装置612接触或者与其分离。

多对竖直驱动构件630可分别设置到静止保持装置610和可移动保持装置612的上表面一侧。同时，在竖直驱动构件630是气缸的情况下，活塞杆沿竖直方向穿过静止保持装置610和可移动保持装置612的上表面侧，并且其前端彼此相对地固定在静止保持装置和可移动保持装置内。

竖直驱动构件630可以是螺栓或气缸。竖直驱动构件630通过手动旋转螺栓或者通过气缸活塞杆的自动往复运动来压紧或松开插入在基板接触保持装置622之间的基板S，由此允许基板S安装在基板安装台板600上。即，在竖直驱动构件630为螺栓的情况下，压紧保持装置622通过旋转螺栓而操作位于螺栓上的螺纹、从而与静止保持装置610和可移动保持装置612接触或者与其分离。

多个水平驱动构件632可设置到可移动保持装置612外侧的上部。同时，在水平驱动构件632是气缸的情况下，活塞杆沿水平方向穿过可移动保持装置612外侧的上部，并且在其前端处固定。

基板接触保持装置640设置到静止保持装置610、可移动保持装置612、和压紧保持装置620和622的相对的内边缘上。每个基板接触保持装置640由提供高摩擦力的软硅垫或橡胶制成，由此防止对基板S的表面造成损坏。

此外，每个基板接触保持装置640具有朝向外侧向下倾斜角度θ的表面，如图11所示，从而当起初将基板S安装在基板接触保持装置640上时，基板S在各搁置位置处以凸出的形状固定在其上。然而，当基板S的一侧受到拉伸时，基板S的下垂得以阻止，由此允许基板S保持为大致平坦的表面。

这里，每个基板接触保持装置640的角度优选在0到90度范围之间。

因此，当将基板S固定到根据第三实施方式的基板安装台板600上时，借助于设置在腔110外侧的传输装置(未示出)将基板S传输到装置(未示出)的基板安装台板600上以用于沉积有机材料，并且基板S搁置到设置在压紧保持装置620和622中的基板接触保持装置640上。此时，基板S的中心由于其自重而下垂。

然后，如图10b所示，操作多个竖直驱动构件630——所述竖直驱动构件630设置在静止保持装置610及面对着静止保持装置610的可移动保持装置612的上表面一侧上，用以上升压紧保持装置620和622，其中竖直驱动构件630的活塞杆的前端固定，从而插入到压紧保持装置620和静止保持装置610之间以及插入到压紧保持装置622和可移动保持装置612之间的基板S在其两侧处被固定住。此时，在基板S中心发生轻微下垂。这里，当固定基板S时，由软材料制成并且设置在基板S的上表面和下表面处的基板接触保持装置640防止基板S的表面损坏。

然后，如图10c所示，操作设置到可移动保持装置612的外壁的多个水平驱动构件632以向外移动可移动保持装置612，从而与静止保持装置610分离，同时，压紧保持装置622从可移动保持装置612的下方支撑基板S。即，基板S的一侧由设置在静止保持装置610和压紧保持装置620上的基板接触保持装置640固定，而基板S的另一侧由设置在可移动保持装置612和压紧保持装置622上的基板接触保持装置640固定。此时，当由可移动保持装置612和压紧保持装置622固定的基板S的另一侧通过水平驱动构件63的操作而向外移动时，拉伸力施加到基板S的另一侧，由此，允许基板受到水平支撑。

可选地，如图12a所示，在固定基板S的所有四侧后，拉伸力可沿四个方向施加到基板S的四侧，由此阻止基板S下垂。

可选地，如图12b所示，在压紧基板S的所有四个边缘之后，拉伸力可沿对角线施加到基板的边缘。这样，由于上述本发明的概念可沿任何方向扩展，本发明可广泛应用。

此外，本发明还可施加到柔性基板，例如塑料基板和不锈钢基板，以及易碎的玻璃基板。

工业实用性

由以上描述可清楚地看出，根据本发明，在基板安装到腔内的基板安装台板上之后，通过向外移动基板一侧、同时基板两侧固定而将拉伸力施加到基板，由此阻止了基板由于其自重而下垂，即使基板具有大的面积。

尽管已经为说明目的公开了本发明的优选实施方式，本领域的技术人员将理解能够有多种改进、增加和替代，而这没有背离公开于所附权利要求中的本发明的范围和主旨。

Claims (25)

1.一种用于沉积有机材料的装置，包括：

腔，其具有与外部隔离的内部空间、设置在所述腔的一侧以允许基板输入腔内或从腔内传输出的入口、以及用于打开或关闭所述入口的门；

基板安装台板，其设置在所述腔的上部，通过用压力来固定住传输到所述腔内的基板的两端、并且使两端处于固定状态的基板一侧朝外移动而向基板施加拉伸力以阻止基板下垂；

旋转提升器，其耦连到所述基板安装台板上表面的中心处，用于旋转、提升或降低所述基板安装台板；以及

加热器和有机材料蒸发皿，其设置在所述腔的下部，用于将有机材料蒸发到所述基板上。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述基板安装台板包括：

基板搁置保持装置，其设置在所述基板安装台板内，并适于允许所述基板搁置保持装置的一侧与其它侧分离，所述基板搁置保持装置具有在其中心处穿孔的板的形状，从而，所述基板的四侧能够搁置在形成于所述基板搁置保持装置中的穿孔部上；

压紧保持装置，其设置在所述基板安装台板上而上升或下降，当被下降时，所述压紧保持装置适于压紧基板的上表面的两侧，并且允许所述压紧保持装置的一侧的与所述基板的一侧共线，所述基板的该侧将与其它侧分离，而所述压紧保持装置的该侧位于所述基板的该侧处，所述压紧保持装置具有在其中心处穿孔的板的形状；

第一驱动构件，其向下设置在所述压紧保持装置上表面的任一侧上，用于根据空气的供应或排放而压紧或松开所述基板上表面的相关侧；以及

第二驱动构件，其垂直于所述第一驱动构件设置并且固定到压紧保持装置的一侧，用于根据空气的供应或排放而线性地往复移动所述基板搁置保持装置和压紧保持装置，所述基板搁置保持装置和压紧保持装置中的每一个都处于其一侧与其它侧分离的状态，从而两端由所述压紧保持装置固定抓的基板的一侧通过线性往复运动而受到拉伸，由此阻止所述基板下垂。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述基板搁置保持装置设置有基板对齐构件。

4.如权利要求3所述的装置，其中所述基板对齐构件包括：

位于所述基板两个相邻侧上的四个定位气缸，使得两个所述定位气缸分别位于一侧的相对端上，每个所述定位气缸在固定位置提供了参照点；以及

位于所述基板另外两个相邻侧上的四个对齐气缸，使得所述对齐气缸位于一侧的相对端上而往复运动，所述对齐气缸通过压紧基板的两个相邻侧、并且将基板移动到所述定位气缸的位置处而对齐基板。

5.如权利要求4所述的装置，其中所述第一和第二驱动构件中的每一个都包括：

板形基部；

固定板，其竖直地位于基部上表面的两侧上；

移动板，其位于所述固定板之间、从而在其间往复运动，并且具有形成在所述移动板前表面的中心处的轴，从而穿过位于所述移动板前方的固定板；

风箱，其设置在所述移动板和位于该移动板后部的固定板之间，其中所述风箱的两端分别固定到移动板和固定板上，并且当所述风箱填充有空气时，所述风箱适于根据体积的增加而向前线性移动所述移动板的轴；

空气注入喷嘴，其用于将空气从外部注入所述风箱内；以及

弹簧，其绕着位于所述移动板和固定板之间的轴设置，从而在空气从所述风箱中排出时的，在所述风箱的收缩过程中向该风箱施加恢复力。

6.如权利要求4所述的装置，其中所述基板安装台板包括：

板形基部；

一对基板固定部，其设置到所述基部两侧、同时平行于所述基部的两侧，用于向基板施加压力，所述基板固定部之一是静止的、而另一个基板固定部能够移动；

拉伸力施加部，其垂直于所述能够移动的基板固定部的外表面设置，用于通过向外移动所述基板固定部而向基板施加拉伸力。

7.如权利要求6所述的装置，还包括：

控制器，用于控制由所述基板固定部施加的压力和由所述拉伸力施加部施加的拉伸力。

8.如权利要求7所述的装置，其中所述每个基板固定部包括：

长于所述基板固定部的长形下板；

板形固定保持装置，其位于下板之上并适于允许基板搁置在其上表面上，该固定保持装置具有与下板相同的形状；

位置固定板，其设置在所述固定保持装置的一侧并且纵向延伸，所述位置固定板具有L形的截面；

驱动构件固定板，其与所述位置固定板间隔开、并且位于所述固定板上方的中心处；

压紧保持装置，其适于在位于所述驱动构件固定板和固定保持装置之间的空间中上升或下降，用来压紧或松开搁置在所述固定保持装置上的基板的上表面，所述压紧保持装置具有纵向延伸的板的形状；以及

竖直驱动构件，其设置在所述驱动构件固定板上表面的中心处，用来上升或下降所述压紧保持装置，从而向基板施加压力，所述竖直驱动构件具有移动轴，该移动轴在前端处固定到压紧保持装置。

9.如权利要求8所述的装置，其中所述基板安装台板还包括：

一对水平移动引导件，其位于所述基板固定部下方以用于移动该基板固定部，从而在所述基板固定部之间的距离能够根据基板的尺寸而调节。

10.如权利要求9所述的装置，其中所述竖直驱动构件在移动轴上设置有第一压力计。

11.如权利要求10所述的装置，其中所述第一压力计是至少一个负载传感器。

12.如权利要求11所述的装置，其中所述竖直驱动构件是液压或气压缸。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述拉伸力施加部包括：

静止侧板，其固定到所述下板和所述基板固定部的固定保持装置的外壁上；

驱动构件固定侧板，其位于所述静止侧板外侧并且与该静止侧板隔开，并且以竖直固定状态设置在基部一侧的边缘上；以及

水平驱动构件，其设置到所述驱动构件固定侧板的外壁上、用来沿水平方向移动能够移动的基板固定部，从而向基板施加拉伸力，该水平驱动构件具有移动轴，所述移动轴在前端处固定到所述能够移动的基板固定部。

14.如权利要求13所述的装置，其中所述水平驱动构件在移动轴上设置有第一压力计。

15.如权利要求14所述的装置，其中所述第一压力计是至少一个负载传感器。

16.如权利要求15所述的装置，其中所述竖直驱动构件是液压或气压缸。

17.如权利要求11或15所述的装置，其中所述至少一个负载传感器是多个负载传感器。

18.如权利要求17所述的装置，其中所述竖直驱动构件和水平驱动构件根据基板的厚度分别向基板施加不同的压力和拉伸力。

19.如权利要求1所述的装置，其中控制器设置有电连接到该控制器的显示设备，从而以数字形式输出由第一压力计和第二压力计探测到的结果。

20.用于沉积有机材料的方法，包括如下步骤：

将基板传输到设置在腔内的基板安装台板的固定保持装置上；

借助于竖直驱动构件固定所述基板的两侧，该基板的两侧搁置在基板固定部上；

借助于设置到基板固定部之一的拉伸力施加部的水平驱动构件向外拉伸所述基板的一侧，所述基板固定部固定住所述基板的两侧；

所述搁置在基板固定部上的基板在被拉伸的同时进行有机材料沉积；以及

将沉积完成的基板从所述腔内传输出来。

21.如权利要求1所述的装置，其中所述基板安装台板包括：

静止保持装置，其具有纵向延伸的板的形状、并且在一端处向下弯曲；

可移动保持装置，其连接到所述静止保持装置并且在另一端处向下弯曲，从而，所述可移动保持装置的弯曲部与所述静止保持装置的弯曲部相对；

适于上升或下降的压紧保持装置，从而，所述压紧保持装置能接触所述静止保持装置和可移动保持装置的下表面或者与该下表面分离，所述压紧保持装置分别地具有彼此相对的L形截面；

多个竖直驱动构件，其分别设置到所述静止保持装置和可移动保持装置的上表面一侧，使得所述竖直驱动构件沿竖直方向穿过静止保持装置和可移动保持装置的上表面，并且在其前端处固定在所述静止保持装置和可移动保持装置中、同时彼此地相对；

多个水平驱动构件，其设置到所述可移动保持装置外侧的上部，使得所述水平驱动构件沿水平方向穿过可移动保持装置外侧的上部，并且在其前端处固定在所述可移动保持装置中；以及

基板接触保持装置，其设置到所述静止保持装置、可移动保持装置、和压紧保持装置的相对的内边缘上。

22.如权利要求21所述的装置，其中每个所述竖直驱动构件是螺栓和气压缸之一。

23.如权利要求22所述的装置，其中每个所述基板接触装置由提供了高摩擦力的软材料制成，并且具有以预定角度朝外地向下倾斜的表面，由此使得基板的下垂最小。

24.如权利要求23所述的装置，其中每个所述基板接触装置由硅垫或橡胶制成。

25.如权利要求24所述的装置，其中所述角度优选在0到90度范围之间。

Images