CN1267279C - 液状体喷出装置及其喷出方法、电光学装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液状体喷出装置，具有喷出头和贮存供给喷出头的液状体的液状体罐，并且具有：覆盖喷嘴的第1吸引部件；第1减压装置，其与第1吸引部件连接，通过第1吸引部件降低喷出头内的压力；覆盖喷嘴的第2吸引部件；和第2减压装置，其与第2吸引部件连接，通过第2吸引部件降低喷出头内的压力，并与液状体罐内连通降低液状体罐内的压力；。依据上述构成，防止由于液状体的浪费造成的成本增高，与伴随着液状体的微细化的喷嘴路径和流路的微细化对应、容易从喷出头除去气泡。本发明还提供液状体喷出方法、电光学装置及其制造方法。

Description

液状体喷出装置及其喷出方法、电光学装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及喷出液状体的喷出装置，详细地涉及能够良好地将液状体充填到喷出头和从充填的液状体除去气泡的液状体喷出装置、液状体喷出方法、电子光学装置及其制造方法、和电子设备。

背景技术

至今，作为喷出液状体材料的喷出头的喷出装置，备有喷墨头的喷墨打印机是众所周知的。

喷墨打印机备有的喷墨头，通常，具有备有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置构成。又，使贮存液状体的液状体罐与这种喷出头连接，从液状体罐向喷出头供给液状体。

又，上述喷墨头，近年来作为喷出头，不仅能够用于民用的喷墨打印机而且也能够用作工业用的喷出装置，即用作用于形成各种器件的构成要素的装置。例如，关于有机EL(Electro-Luminnescence：电致发光)装置中的发光层和空穴注入层、液晶装置等中的滤色器、进一步各种器件的金属配线、微透镜等，为了形成它们，也能够用喷出头。

可是，在上述喷墨头中，例如作为开始使用时的液状体充填方法，具有下面那样的充填方法(例如，参照专利文献1)。

首先，将由可弯曲性材料构成的覆盖部件压附在喷出头的喷嘴形成面上，气密地覆盖喷嘴形成面。其次，使与覆盖部件连接的减压装置工作降低覆盖部件与喷嘴形成面之间的压力。

这样一来，通过降低喷墨头内的压力，从与它连接的液状体罐向喷出头内供给液状体，将液状体充填在喷墨头内。而且，进一步，继续进行上述的减压，通过吸引充填的液状体，从喷墨头排出到覆盖部件一侧，与此同时，也使该喷出头内的空气和进一步残留在流路中的气泡吸引·排出到覆盖部件一侧。

这里，残留在喷出头内的气泡，通过当喷出液状体时吸收喷出压等，对液状体的流动和从喷嘴的喷出施加恶劣的影响，成为造成喷出头的喷出性能的恶化和不稳定性的大的重要原因。

专利文献1：日本2000年公布的2000-108383号专利公报

可是，当将喷出装置如上所述地用于工业时，伴随着用途的多样化，作为喷出的液状体要使用高价的和稀少的液状体，或者高粘度的液状体。例如，近年来在解析遗传因子构造等中，正在考虑将上述喷出装置(喷墨打印机)的技术应用于该被检查体的制作，但是用于这种被检查体的制作的试剂和检体等多数很贵，又很稀少。又，作为用于形成有机EL装置中的发光层的液状体要使用高粘度的液状体。

但是，当开始使用时充填液状体时，当为了上述那样地除去气泡将充填在喷出头内的液状体排出到喷出头外时，当液状体很贵时因为浪费很多所以使成本大幅度上升。又，当液状体很稀少时作为目的只能进行少量的喷出很不方便。

又，在高粘度的液状体的情形中，因为气泡难以在液状体内流动，又液状体自身也难以移动，所以需要通过吸引大量地排出液状体，也由于液状体的浪费导致成本上升。

进一步，近年来，因为要求喷出的高精度化等，所以正在进行喷出液状体的微细化，与此相伴喷嘴的直径和液状体的流路也越来越微细化。但是，当进行这种微细化时，毛细管力变大，通过减压·吸引排出气泡是困难的。

发明内容

本发明就是鉴于上述问题提出的，本发明的目的是提供能够防止由于液状体浪费引起的成本上升，而且与伴随着液状体的微细化的喷嘴直径和流路的微细化对应容易从喷出头除去气泡的液状体喷出装置和液状体喷出方法、电子光学装置及其制造方法、和电子设备。

为了达到上述目的，本发明的液状体喷出装置，备有喷出头、和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，上述喷出头具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置，并且备有：覆盖上述喷嘴的第1吸引部件；第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；覆盖上述喷嘴的第2吸引部件；和第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通从而降低该液状体罐内的压力。

如果根据该液状体喷出装置，则如下地进行开始使用时的液状体充填。

首先，在覆盖上述喷出头的喷嘴的状态中用上述第1吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面。而且，由上述第1减压装置通过上述第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填到该喷出头内。

这样，在将液状体充填到上述喷出头内后，从喷出头取下第1吸引部件，接着在覆盖上述喷出头的喷嘴的状态中用上述第2吸引部件覆盖该喷出头的喷嘴形成面。而且，由第2减压装置降低上述液状体罐内的压力，并且通过上述第2吸引部件降低喷出头内的压力。

这样一来，因为同时降低液状体罐内和喷出头内的压力，所以在这些液状体罐内和喷出头内之间几乎不产生压力差，因此不会发生液状体从液状体罐内流到喷出头内和从喷出头流出液状体，所以特别是通过只选择地吸引残留在喷出头内的气泡和在液状体内溶存的气体能够在第2减压装置一侧除去它们。因此，不会无用地从喷出头流出液状体，能够容易地并且确实地除去气泡等，因此能够达到减低成本的目的。

又，在这样地确实地除去气泡等后，如果从喷出头喷出液状体，则能够良好地进行由于该喷出产生的各种构成要素的形成等。

又，在上述液状体喷出装置中，最好在与上述第1吸引部件的喷出头的相反一侧，设置检测从上述喷嘴流出的液状体的液状体检测传感器。

如果这样做，则当由第1减压装置通过第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填在该喷出头内时，剩余的液状体从喷出头的喷嘴流出。这时，通过由液状体检测传感器检测流出的液状体，能够检测液状体是否充分充填在喷出头内了。所以，检测后通过由第1减压装置进行的减压，能够防止通过从喷出头流出过剩的液状体。

又，在上述液状体喷出装置中，最好在上述液状体罐中设置加热贮存的液状体的加热器。

如果这样做，则通过加热液状体能够降低它的粘度，所以能够使液状体容易从液状体罐流入到喷出头。又，能够促进在液状体内溶存的气体气化，由能够容易地除去当由第2减压装置进行的减压时的气泡等。

又，在上述液状体喷出装置中，上述第2吸引部件是至少可以容纳上述喷出头的容器。又，这时，上述第2减压装置最好具有使成为上述第2吸引部件的容器内和上述液状体罐内减压到相同压力的构成。

这样，喷出头简单地位于腔室内，通过使与腔室连接的第2减压装置动作，容易地吸引并除去残留在喷出头内的气泡和溶于液状体内的气体，即通过将腔室内和液状体罐内之间减压到同样的压力，在液状体罐和喷出头之间几乎不产生压力差，这样，不会发生从液状体罐内到喷出头内的液状体的流入和从喷出头到液状体的流出。

在上述液状体的喷出装置中，上述第1吸引部件和第2吸引部件用同一吸引部件构成，上述第1减压部件和第2减压部件用同一减压部件构成。

如果这样做，则通过使液状体罐内和减压装置连通，用开关阀等的切换装置可以开闭该连通状态的构成，能够用该切换装置从由第1减压装置进行减压切换到由第2减压装置进行减压，所以能够使装置构成简易化。

本发明的液状体喷出方法，通过喷出装置喷出液状体，上述喷出装置备有：喷出头，其具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置；和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，并且备有：第1吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；第2吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；和第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通降低该液状体罐内的压力。该液状体喷出方法备有：采用上述第1吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，由第1减压装置通过上述第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填到该喷出头内的工序，在将液状体充填到上述喷出头内后，采用上述第2吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，由第2减压装置降低上述液状体罐内的压力，并且通过上述第2吸引部件降低喷出头内的压力的工序、和在降低喷出头内的压力后，从该喷出头喷出液状体的工序。

如果根据这种液状体喷出方法，则因为当由第2减压装置降低上述液状体罐内的压力，并且通过第2吸引部件降低喷出头内的压力时，能够同时降低液状体罐内和喷出头内的压力，所以在这些液状体罐内和喷出头内之间几乎不产生压力差，因此不会发生液状体从液状体罐内流入到喷出头内和从喷出头流出液状体，所以特别是通过只选择地吸引残留在喷出头内的气泡和在液状体内溶存的气体能够在第2减压装置一侧除去它们。因此，不会无用地从喷出头流出液状体，能够容易地并且确实地除去气泡等，因此能够达到减低成本的目的。又，在这样地确实地除去气泡等后，因为从喷出头喷出液状体，所以能够良好地进行由于该喷出产生的各种构成要素的形成等。

本发明的电光学装置，采用液状体喷出装置形成所述电光学装置的至少一部分，上述液状体喷出装置备有：喷出头，其具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置；和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，并且备有：第1吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；第2吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；和第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通来降低该液状体罐内的压力。

如果根据该电光学装置，则因为通过如上所述地能够良好地形成各种构成要素等的喷出装置，形成该构成要素的至少一部分，所以能够得到可靠性高的良好的结果，又由于不会无用地流出液状体能够达到降低成本的目的。

本发明提供一种电光学装置的制造方法，该电光学装置的至少一部分采用喷出装置形成，上述喷出装置备有：喷出头，其具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置；和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，并且备有：第1吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；第2吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；和第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通来降低该液状体罐内的压力。该制造方法备有：采用上述第1吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，由第1减压装置通过上述第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填到该喷出头内的工序，在将液状体充填到上述喷出头内后，采用上述第2吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，由第2减压装置降低上述液状体罐内的压力，并且通过上述第2吸引部件降低喷出头内的压力的工序，和在降低喷出头内的压力后，从该喷出头喷出液状体的工序。

如果根据该电光学装置的制造方法，则因为用如上所述地能够良好地形成各种构成要素的喷出方法，形成该构成要素的至少一部分，所以能够制造可靠性高的良好的电光学装置，又由于不会无用地流出液状体可以达到降低成本的目的。

本发明的电子设备的特征是用上述的液状体喷出装置，或上述的液状体喷出方法形成构成要素的一部分。

如果根据该电子设备，则因为用能够良好地形成各种构成要素等的喷出装置或喷出方法形成该构成要素的至少一部分，所以能够得到可靠性高的良好的结果，又由于不会无用地流出液状体能够达到降低成本的目的。

附图说明

图1是本发明的喷出装置的概略构成图。

图2A、2B是喷出头的概略构成图。

图3是用于说明图1所示的喷出装置的主要部分的图。

图4是用于说明其它喷出装置的主要部分的图。

图5是有机EL装置的侧截面图。

图6是等离子体显示器的分解斜视图。

图7A～7F是滤色器的形成方法说明图。

图8是用于说明图案形成方法的操作程序图。

图9A、9B是表示图案形成方法的一个例子的模式图。

图10A、10B是表示图案形成方法的一个例子的模式图。

图11A、11B是表示图案形成方法的一个例子的模式图。

图12A～12D是微透镜的制造方法的工序说明图。

图13A、13B是图象显示装置的电子源基板的模式图。

图14A～14C是图象显示装置的制造工序说明图。

图15是表示电子设备的一个例子的斜视图。

具体实施方式

下面，我们详细说明本发明。

图1是表示本发明的液状体喷出装置(以下记为喷出装置)的第1实施形态的图。在图1中标号30是喷出装置。该喷出装置30是具有基底31、基板移动装置32、喷出头移动装置33、喷出头34、液状体罐35、和容器38等构成的。

在基底31上设置上述基板移动装置32和喷出头移动装置33。

基板移动装置32设置在基底31上，具有沿Y轴方向配置的导轨36。该基板移动装置32具有例如由线性马达沿导轨36移动滑板37那样的构成。在滑板37上，备有θ轴用的马达(图中未画出)。该马达例如是由直接驱动马达构成的，它的转子(图中未画出)固定在台板39上。根据这样的构成，当使马达通电时，转子和台板39沿θ方向旋转，在台板39上加上刻度(计算旋转)。

台板39决定并保持基板S的位置。即，该台板39具有众所周知的吸附保持装置(图中未画出)，通过使该吸附保持装置工作，将基板S吸附保持在台板39上。通过台板39的位置决定销钉(图中未画出)正确地决定并保持基板S在基底31上的规定位置。在台板39上设置喷出头34舍弃墨水或者用于试喷的舍弃区域41。该舍弃区域41是在X轴方向延伸形成的，设置在台板39的后端部一侧。

喷出头移动装置33备有设立在基底31的后部一侧的一对台架33a、33a和设置在这些台架33a、33a上的行走路径33b，该行走路径33b沿X轴方向、即与上述基板移动装置32的Y轴方向正交的方向配置。行走路径33b是具有跨在台架33a、33a之间的保持板33c、和设置在该保持板33c上的一对导轨33d、33d而形成的，可以在导轨33d、33d的长方向上移持喷出头34的滑板42地保持滑板42。由于线性马达(图中未画出)等的工作使滑板42在导轨33d、33d上行走，因此使喷出头34沿X轴方向移动地进行构成。

作为摇动位置决定装置的马达43、44、45、46与喷出头34连接。而且，当使马达43工作时，可以使喷出头34沿Z轴上下运动，可以决定它在Z轴上的位置。此外，这个Z轴是分别与X轴、Y轴正交的方向(上下方向)。又，当使马达44工作时，喷出头34沿图1中的β方向摇动，可以决定它的位置，当使马达45工作时，喷出头34沿γ方向摇动，可以决定它位置，当使马达46工作时，喷出头34沿α方向摇动，可以决定它的位置。

这样喷出头34在滑板42上，在Z轴方向直线移动可以决定它的位置，并且，沿α、β、γ摇动，可以决定它的位置。所以，能够正确控制喷出头34的墨水喷出面面对台板39一侧的基板S的位置或姿势。

这里，喷出头2备有如图2所示地例如不绣钢制的喷嘴板12和振动板13，两者通过间隔部件(储存器板)14粘合起来。在喷嘴板12和振动板13之间，由于间隔部件14形成多个空腔15....和储存器16，这些空腔15....和储存器16，通过流路17连通。

这里，各空腔15和储存器16的内部充满液状体，它们之间的流路17起着从储存器16向空腔15供给液状体的供给口的作用。又，在喷嘴板12上以纵横地排列的状态形成许多用于从空腔15喷射液状体的孔状喷嘴18。另一方面，在振动板13上形成向储存器16内开口的孔19，通过管子124(请参照图1)液状体罐35与这个孔19连接。

又，在振动板13的与向着空腔15的面相反一侧的面上，如图2B所示，粘合着压电(英文piez)元件20。该压电元件20，因为具有被夹持在一对电极21、21之间，由于通电向外侧突出而弯曲那样的构成，作为本发明中的喷出装置起作用。

根据这种构成与压电元件20粘合的振动板13与压电元件20成为一体地同时向外侧弯曲，因此，使空腔15的容积增大。这样一来，当空腔15内与储存器16内连通，并在储存器16内充填着液状体时，与增大的容积相当的液状体通过流路17从储存器16流入到空腔15内。

而且，当从这种状态解除向压电元件20的通电时，压电元件20和振动板13一起回到原来的形状。从而，因为空腔15也回到原来的容积，所以空腔15内部的液状体压力上升，从喷嘴18喷出液状体的液滴22。

此外，作为喷出头的喷出装置，除了用上述压电元件20的电机械变换体以外，例如，也可以采用作为能量发生元件用电热变换体的方式、称为带电控制型、加热振动型的连续方式、静电吸引方式、进一步通过照射激光等的电磁波发热，由于该发热引起的作用喷出液状体的方式。

液状体罐35，配置在上述台架33a、33a的一个上，它的内部通过配管(图中未画出)与真空泵40连接。又，在该液状体罐35上，在它的内部或它的外侧设置加热器(图中未画出)。该加热器用于加热贮存的液状体，特别是当液状体高粘性时等，通过加热降低粘度，能够使液状体容易从液状体罐35流入到喷出头34。又，能够促进在液状体内溶存的气体气化，当由后述的第2减压装置进行的减压时，能够容易地除去气泡等。

此外，因为台架33a支持行走路径33b，所以处于与在该行走路径33b上行走的喷出头34十分接近的位置。所以，用于将液状体从液状体罐35送入到喷出头34的管子124与已有的比较充分地短，即其长度大致与行走路径33b的长度相等。

又，在上述台架33a、33a的另一个上，配置上述容器38。该容器38构成本发明中的第2吸引部件，如后所述通过将喷出头34气密地收藏在它的内部，能够气密地覆盖喷出头34的喷嘴18。又，上述真空泵40与该容器38连接，该真空泵40构成本发明中的第2减压装置。即，该真空泵40如上所述通过配管(图中未画出)也与液状体罐35连接，根据这样的构成，能够同时降低容器38内和液状体罐35内的压力并使它们降低到相同的压力。

此外，在容器38上设置一个门(图中未画出)，上述喷出头34由于喷出头移动装置33在X方向上行走移动到容器38一侧，从这个门进入容器38内。又，通过关闭这个门，能够将喷出头34气密地收藏在该容器38内。

在该容器38内，如图3所示设置气密地覆盖在形成喷出头34的喷嘴18的面(喷嘴形成面)34a的吸引垫片50、与该吸引垫片50连接的吸引泵51、和与该吸引泵51连接的废液罐52。吸引垫片50作为本发明中的第1吸引部件起作用，具有备有与喷出头34的喷嘴形成面34a对接并覆盖它的垫片、与在该垫片上形成的孔部分(图中未画出)连通的可弯曲的配管(图中未画出)、和用于使垫片向喷出头34移动与喷出头34对接，进一步从喷出头34离开的移动机构的构成。此外，垫片由橡胶和软质的合成树脂等形成。

吸引泵51作为本发明中的第1减压装置起作用，上述吸引垫片50的垫片与喷出头34的喷嘴形成面34a对接后进行减压工作，通过吸引垫片50降低喷出头34内的压力。

此外，在该吸引泵51与上述吸引垫片50之间，设置检测液状体的液状体检测传感器53。作为该液状体检测传感器53可以与液状体的种类相应地适当地选择并使用至今众所周知的传感器。例如，当液状体是非透光性的时，能够使用备有发光元件和受光元件构成的传感器。

即，在连接在吸引泵51与上述吸引垫片50之间的配管中设置透明部分，在该透明部分的两侧配置上述发光元件和受光元件。如果这样做，当液状体不通过透明部分时，由受光元件接受来自发光元件的光，不可能检测出液状体，当液状体通过透明部分时，来自发光元件的光被液状体遮蔽，由于受光元件不能受光而检测出液状体。

废液罐52用于当通过吸引垫片50由上述吸引泵51降低喷出头34内的压力时，贮存从喷出头34流出的剩余液状体。这里，在本实施形态中如上所述在吸引垫片50与吸引泵51之间设置液状体检测传感器53，但是也可以根据液状体的种类，在该废液罐52内设置液状体检测传感器。这时，例如也可以通过用水平面传感器检测贮存在废液罐52中的液状体的液面，检测从喷出头34作为剩余液状体流出的一定量。

又，上述吸引垫片50、吸引泵51、液状体检测传感器53、真空泵40分别与控制装置54连接。由该控制装置54分别对它们的工作进行控制。

其次，我们根据这种构成的喷出装置30的工作，说明本发明的液状体传喷出方法的一个例子。此外，在该说明中，作为液状体的种类没有特别的限定，可以用任何的液状体。

首先，在向基板S喷出液状体前，将液状体充填在喷出头34中，并且应除去残留在内部的气泡等，移动喷出头34，使该喷出头34收藏在容器38内。

其次，通过对控制装置54进行控制，移动吸引垫片50，使喷出头34的喷嘴形成面34a与该垫片50对接，气密地覆盖在它的上面。接着，使吸引泵51工作，通过上述吸引垫片50降低喷出头34内的压力。这样一来，因为这时上述真空泵40不工作，从而在液状体罐35内成为大气压，所以在该液状体罐35内与连接吸引垫片50的喷出头34内之间产生压力差，因此，液状体罐35内的液状体流入到喷出头34内，使液状体充填到喷出头34内。此外，也可以在使吸引泵51工作前，使设置在液状体罐35内的加热器(图中未画出)通电，加热贮存的液状体。

而且，由吸引泵51继续使液状体充填到喷出头34内，在喷出头34内充满足够的液状体后，剩余的液状体从喷出头34的喷嘴18流出。这样一来，通过由液状体检测传感器53检测该流出的液状体，能够检测出在喷出头34内充填了足够的液状体。而且，当将该检测信号发送给控制装置54时，接收该信号的控制装置54使吸引泵51停止工作，使液状体停止从液状体罐35一侧流入到喷出头34一侧。

这样如果确认使液状体充填到喷出头34内，进一步从喷出头34流出液状体，则在确认容器38内的气密性后，由控制装置54使真空泵40工作。

这样一来，通过将喷出头34收藏在容器38内，结果，它的喷嘴形成面34a被容器38，即本发明中的第2吸引部件气密地覆盖，所以通过该容器38(第2吸引部件)被真空泵40所吸引·减压。

又，因为同时降低容器38内和液状体罐35内的压力并且使它们降低到相同的压力，所以在这些液状体罐35内和上述喷出头34内之间几乎不产生压力差，因此不会发生液状体从液状体罐35内流入到喷出头34内和从喷出头34流出液状体的情形。所以，特别是通过只选择地吸引残留在喷出头34内的气泡和在液状体内溶存的气体，能够在容器38一侧除去它们。

这样一来如果选择地除去了残留在喷出头34内的气泡和在液状体内溶存的气体，则由控制装置54使真空泵40停止工作，并且打开设置在容器38上的大气阀(图中未画出)，使容器38内和液状体罐35内回到大气压。

这里，虽然关于由真空泵40降低容器38内和液状体罐35内的压力，没有特别的限定，但是从生产性出发，最好使该减压处理时间在1分钟～3分钟左右。又，为了通过这种范围内的时间处理有效地除去气泡等，虽然即便因液状体的种类而不同，但是最好也使减压度(真空度)为0.1Pa～0.5Pa左右。这是因为在比0.5Pa高的压力，要在上述时间内充分除去气泡等是困难的，又即便在比0.1Pa低的压力，也不大可能期待提高气泡等的除去效果。

此后，使喷出头34从容器38内出来，回到用于喷出的正规位置，向基板S喷出液状体。

在根据这种喷出装置30的液状体喷出方法中，因为在将液状体充填到喷出头34内后，由真空泵40一起降低液状体罐35内和喷出头34内的压力，所以不会发生液状体从液状体罐35内流到喷出头34内和从喷出头34流出液状体的情形，能够除去残留在喷出头34内的气泡等。因此，不会无用地从喷出头34流出液状体，能够容易地并且确实地除去气泡等，因此能够达到减低成本的目的。又，因为在这样确实地除去气泡等后，从喷出头喷出液状体，所以能够良好地形成由该喷出产生的各种构成要素等。

其次，我们说明本发明的喷出装置的第2实施形态。该第2实施形态与上述第1实施形态不同之处在于不区别第1吸引部件(吸引垫片50)和第2吸引部件(容器38)，而由同一吸引部件构成，进一步不区别第1减压装置(吸引泵51)和第2减压装置(真空泵40)，而由同一减压装置构成这一点。

即，在第2实施形态中，不设置上述容器38，在配设容器38的位置上如图4所示配设吸引垫片60，进一步，真空泵63通过配管61、分支管62与该吸引垫片60连接。因为吸引垫片60兼作本发明中的第1吸引部件和第2吸引部件，所以是与上述第1实施形态中的吸引垫片50相同的。即，如上所述地具有备有与喷出头34的喷嘴形成面34a对接并覆盖它的垫片、与在该垫片上形成的孔部分(图中未画出)连通的可弯曲的配管(图中未画出)、和用于使垫片向喷出头34移动与喷出头34对接，进一步从喷出头34离开的移动机构的构成。

又，真空泵63兼作第1减压装置和第2减压装置，是与上述第1实施形态中的真空泵40相同的。即，与上述的吸引垫片60连接，并且通过配管64与液状体罐35连接。

在与这个真空泵63和上述吸引垫片60连接的配管61上设置液状体检测传感器53和废液罐52。这些液状体检测传感器53和废液罐52与第1实施形态中的相同，根据这种构成，当从喷出头34流出剩余的液状体时，液状体检测传感器53能够检测出流出的剩余的液状体。

又，在该配管61上在它的路径中设置三通阀65，因此配管61在从三通阀65的位置到吸引垫片60之间分出分支管62。

另一方面，也在与真空泵63和液状体罐35连接的配管64上，在它的路径中设置三通阀65，因此使液状体罐35从与真空泵63连接的状态切换到向大气开放的分支管67，向大气开放。

此外，上述吸引垫片60、真空泵63、液状体检测传感器53、三通阀65、和三通阀66分别与控制装置68连接，由该控制装置68分别对它们的工作进行控制。

其次，我们根据这种构成的喷出装置的工作，说明本发明的液状体喷出方法的其它例子。此外，即便在本说明中，作为液状体的种类也没有特别的限定，可以用任意的液状体。

首先，在向基板S喷出液状体前，将液状体充填在喷出头34中，并且应除去残留在内部的气泡等，使喷出头34移动到吸引垫片60一侧。

又，为了使将吸引垫片60和真空泵63连接起来的路径成为通过液状体检测传感器53的路径，而由控制装置68对三通阀65进行控制，进一步为了使液状体罐35与分支管67连通向大气开放，而对三通阀66进行控制。

其次，通过对控制装置68进行控制，移动吸引垫片60，使该垫片与喷出头34的喷嘴形成面34a对接，气密地覆盖在它的上面。接着，使真空泵63工作，通过上述吸引垫片60降低喷出头34内的压力。这样一来，因为这时在上述液状体罐35内成为大气压，所以在该液状体罐35内和与连接吸引垫片60连接的喷出头34内产生压力差，因此，液状体罐35内的液状体流入到喷出头34内，使液状体充填到喷出头34内。

而且，由吸引泵63继续使液状体充填到喷出头34内，在喷出头34内充满足够的液状体后，剩余的液状体从喷出头34的喷嘴18流出。这样一来，通过由液状体检测传感器53检测该流出的液状体，能够检测出在喷出头34内充填了足够的液状体。而且，当将该检测信号发送给控制装置68时，接收该信号的控制装置68分别切换三通阀65、66，使连接吸引垫片60和真空泵63的路径通过分支管62，又使液状体罐35与真空泵63连通。

这样因为当切换三通阀65、66时，由同一个真空泵63使喷出头34内和液状体罐35内降低到相同的压力，所以在这些喷出头34内与液状体罐35内之间几乎不产生压力差，因此不会发生液状体从液状体罐35内流入到喷出头34内和从喷出头34流出液状体的情形。所以，与第1实施形态相同，特别是通过只选择地吸引残留在喷出头34内的气泡和在液状体内溶存的气体，能够通过吸引垫片60在真空泵63一侧除去它们。

这样一来如果选择地除去残留在喷出头34内的气泡和在液状体内溶存的气体，则能够由控制装置68使真空泵63停止工作，并且使吸引垫片60离开喷出头34。

这里，关于由真空泵63降低喷出头34内和液状体罐35内的压力，可以用与上述第1实施形态情形相同的处理时间和处理压力。

此后使喷出头34回到用于喷出的正规位置，向基板S喷出液状体。

即便在这种液状体喷出方法中，因为在将液状体充填到喷出头34内后，由真空泵63一起降低液状体罐35内和喷出头34内的压力，所以也不会发生液状体从液状体罐35内流到喷出头34内和从喷出头34流出液状体的情形，能够除去残留在喷出头34内的气泡等。因此，不会无用地从喷出头34流出液状体，能够容易地并且确实地除去气泡等，因此能够达到减低成本的目的。又，因为在这样确实地除去气泡等后，从喷出头喷出液状体，所以能够良好地形成由该喷出产生的各种构成要素等。

此外，本发明不限定于上述实施形态，只要不脱离被本发明的要旨就可以进行种种变更。例如，在上述第1实施形态中，也可以将液状体罐35配置在容器38内，进一步在容器38内打开液状体罐35。如果这样做，则当使真空泵40工作时，能够通过容器38使喷出头34内和液状体罐35内降低到相同的压力。又，也可以不使喷出头34可以出入容器38地收藏喷出头34，而是将喷出装置全体收藏在大的容器内。

又，即便在第2实施形态中，例如也可以分别准备好成为第1吸引部件的吸引垫片和成为第2吸引部件的吸引垫片，和/或分别准备好成为第1减压装置的真空泵和成为第2减压装置的真空泵，通过对它们进行切换，分别地进行液状体的充填和气泡等的除去。

又，即便在无论哪种实施形态中，也可以不设置液状体检测传感器53构成喷出装置。这时，能够通过预先的实验等求得能够用第1吸引部件在喷出头34内充分充填液状体的时间等的条件，根据该条件由第1吸引部件进行减压·吸引，此后，由第2吸引部件进行减压。

又，在上述喷出装置中，通过适当地选择液状体，能够形成电光学装置的任意的构成要素。例如，通过将成为有机EL元件的形成材料和金属配线的材料的金属胶体、进一步微透镜材料和滤色器材料、液晶材料等的各种材料用作液状体，能够形成构成电光学装置的种种要素。又，即便在形成SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display(表面导电电子发射体显示器))的构成要素时，也能够使用上述喷出装置。

其次，我们说明本发明的电光学装置的制造方法。

首先，作为电光学装置的构成要素的形成例，我们说明有机EL装置的制造方法。

图5是由上述喷出装置制造一部分构成要素的有机EL装置的侧截面图，首先，我们说明该有机EL装置的概略构成。此外，这里形成的有机EL装置成为本发明中的电光学装置的一个实施形态。

如图5所示，有机EL装置301是使通用基板(图中未画出)的配线和驱动IC(图中未画出)与由基板311、电路元件单元321、像素电极331、单元341、发光元件351、阴极361(相对配置的电极)、和密封用基板371构成的有机EL(电致发光)元件302连接的装置。在基板311上形成电路元件单元321，在电路元件单元321上排列多个像素电极331。而且，使存储体(日文原文是：パンク，对应的英文可以是bank)单元341(パンク)在各像素电极331之间形成格子状。在由存储体单元341产生的凹部开口344中，形成发光元件351。在存储体单元341和发光元件351的上部整个面上形成阴极361，在阴极361上，层积密封用基板371。

包含有机EL元件的有机EL装置301的制造过程备有形成存储体单元341的存储体单元形成工序、用于正确地形成发光元件351的等离子体处理工序、形成发光元件351的发光元件形成工序、形成阴极361的相对配置的电极形成工序、和在阴极361上，层积密封用基板371进行密封的密封工序。

发光元件形成工序是通过在凹部开口344，即像素电极331上形成空穴注入层352和发光层353，形成发光元件351的工序，具备空穴注入层形成工序和发光层形成工序。而且，空穴注入层形成工序具有将用于形成空穴注入层352的第1组成物(液状体)喷出到各像素电极331上的第1喷出工序、和通过使喷出的第1组成物干燥形成空穴注入层352的第1干燥工序、发光层形成工序具有将用于形成发光层353的第2组成物(液状体)喷出到空穴注入层352上的第2喷出工序、和通过使喷出的第2组成物干燥形成发光层353的第2干燥工序。

在该发光元件形成工序中，在空穴注入层形成工序中的第1喷出工序和发光层形成工序中的第2喷出工序中使用上述喷出装置。

在制造该有机EL装置301中，通过在用于形成各构成要素的喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等，能够从喷出头34分别良好地喷出空穴注入层的形成材料和发光层的形成材料，从而能够提高得到的有机EL装置301的可靠性。

其次，作为上述构成要素的形成例，我们说明等离子体显示器的制造方法。

图6是表示由上述喷出装置制造的一部分构成要素，即地址电极511和总线电极512a的等离子体显示器的分解斜视图，图6中标号500是等离子体显示器。该等离子体显示器500概略地由相互相对配置地配置的玻璃基板501和玻璃基板502、和在它们之间形成的放电显示单元510构成。

放电显示单元510集合多个放电室516，为了在多个放电室516中，使红色放电室516(R)，绿色放电室516(G)，蓝色放电室516(B)这样3个放电室516成对，构成1个像素而进行配置。

在上述(玻璃)基板501的上面以规定间隔带状地形成地址电极511，为了覆盖在这些地址电极511和基板501的上面而形成电介质层519，进一步在电介质层519上在地址电极511、511之间沿各地址电极511地形成隔壁515。此外，在隔壁515上在它的长方向的规定位置上沿与地址电极511正交的方向也以规定间隔进行隔开(图中未画出)，形成基本上由与地址电极511的宽方向左右两侧邻接的隔壁和沿与地址电极511正交的方向延伸设置的隔壁隔开的长方形的区域，与这些长方形的区域对应地形成放电室516，这些长方形的区域形成3对构成1个像素。又，在由隔壁515划分的长方形的区域内侧配置荧光体517。荧光体517发出红、绿、蓝中任何一种荧光，分别在红色放电室516(R)的底部配置红色荧光体517(R)，在绿色放电室516(G)的底部配置绿色荧光体517(G)，在蓝色放电室516(B)的底部配置蓝色荧光体517(B)。

其次，在上述玻璃基板502一侧，沿与先前的地址电极511正交的方向以规定间隔带状地形成多个由ITO(Indium Tin Oxide：铟锡氧化物)构成的透明显示电极512，并且为了补偿高电阻的ITO形成由金属构成的总线电极512a。又形成覆盖它们的电介质层513，进一步形成由MgO等构成的保护膜514。

而且，为了使上述地址电极511.....与显示电极512.....相互正交地而使上述基板501和玻璃基板502的基板2相对配置并相互粘合起来，通过对由在基板501、隔壁515和玻璃基板502一侧形成的保护膜514包围的空间部分进行排气并封入稀有气体，形成放电室516。此外，为了对每个放电室516配置2个显示电极512而形成在玻璃基板502一侧形成的显示电极512。

上述地址电极511和显示电极512与图中未画出的交流电源连接，通过向各电极通电在所要位置的放电显示单元510上激励荧光体517使其发光，能够进行彩色显示。

而且，在本例中，特别是关于上述地址电极511、总线电极512a和荧光体517，是分别用上述喷出装置30形成的。即，关于这些地址电极511和总线电极512a，特别从有利于它们形成图案出发，是通过喷出分散了金属胶体材料(例如金胶体和银胶体)和导电性微粒子(例如金属微粒子)的液体材料(液状体)，进行干燥·烧结形成的。又，关于荧光体517，是通过喷出将荧光体材料溶解在溶剂中或者分散在分散剂中的液状材料(液状体)，进行干燥·烧结形成的。

即便在制造这种等离子体显示器500中，通过在用于形成地址电极511、总线电极512a和形成荧光体517的喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等，也能够从喷出头34分别良好地喷出各电极511、512a的形成材料(液状材料)和荧光体517的形成材料(液状材料)，从而能够提高得到的等离子体显示器500的可靠性。

其次，作为上述构成要素的形成例，我们说明用于液状显示装置的滤色器的制造方法。

为了由上述喷出装置30，在基板S上喷出墨水制造滤色器，首先在台板39上的规定位置上设置基板S。这里，作为基板S，用具有适当的机械强度，并且光透过性高的透明基板。具体地说，可以用透明玻璃基板、丙烯玻璃、塑料基板、塑料膜和它们的表面处理品等。

又，在本例中，例如在长方形形状的基板S上，从提高生产性的观点出发带状地形成多个滤色器区域。这些滤色器区域，通过以后切断基板S，能够用作适合于液晶显示装置的滤色器。此外，分别以规定的图案，在本例中是以至今众所周知的带型形成并配置R的墨水、G的墨水、B的墨水，作为滤色器区域。此外，作为该形成的图案，除了带型外，也可以用感光嵌镶幕型和δ型或者方格型等。

为了形成这种滤色器区域，首先如图7A所示在透明基板S的一个面上形成黑底152。作为形成该黑底152的方法，用旋转涂敷等方法以规定厚度(例如约2im)涂敷没有光透过性的树脂(最好是黑色)。由该黑底152的格子包围的最小显示要素，即关于滤色器单元153，例如X轴方向的宽度为30im、Y轴方向的长度为100im。

其次，如图7B所示，从上述喷墨头34喷出墨滴(液滴)154，使它们弹着在滤色器单元153上。关于喷出的墨滴154的量，是考虑到加热工序中墨水体积减小的足够的量。

这样如果在基板S上的所有的滤色器单元153上充填了墨滴154，则为了用加热器将基板S加热到规定温度(例如约70度)而进行加热处理。通过该加热处理，墨水溶剂蒸发，墨水的体积减小。当这种体积减小急剧时，重复进行墨水喷出工序和加热工序，直到作为滤色器得到足够的墨水膜的厚度为止。通过该处理，使包含在墨水中溶剂蒸发，最终只残留包含在墨水中的固形成分进行成膜化，形成图7C所示的滤色器55。

其次，使基板S平坦化，并且为了保护滤色器55，如图7D所示在基板S上形成保护膜56覆盖滤色器55和黑底152。为了形成该保护膜56，能够采用旋转涂敷法、滚筒涂敷法、纵割法等的方法，但是与滤色器55的情形相同，也能够用图1所示的喷出装置30。

其次，如图7E所示在该保护膜56的整个面上，用溅射法和真空蒸涂法等形成透明导电膜57。此后，使透明导电膜57形成图案，与上述滤色器单元153对应地使像素电极58形成图案。

在这种由喷出装置30制造滤色器的制造过程中，通过在用于形成各滤色器55的喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等，能够从喷出头34良好地喷出各滤色器55的形成材料(墨滴154)，从而能够提高得到的滤色器的可靠性。

其次，作为上述构成要素的形成例，我们说明导电膜配线图案(金属配线图案)的形成方法。图8是表示导电膜配线图案的形成方法的一个例子的操作程序图。

在图8中，与本例有关的图案形成方法具有用规定溶剂等洗净配置液体材料的液滴的基板的工序(步骤S1)、构成基板的表面处理工序的一部分的防水化处理工序(步骤S2)、构成调整经过防水化处理的基板表面的防水性的表面处理工序的一部分的防水性控制处理工序(步骤S3)、在经过表面处理的基板上根据液滴喷出法配置包含导电膜配线形成用材料的液体材料的液滴，描绘(形成)膜图案的材料配置工序(步骤S4)、包含至少除去配置在基板上液体材料的溶剂成分的一部分的热·光处理的中间干燥处理工序(步骤S5)、和烧结描绘了规定图案的基板的烧结工序(步骤S7)。此外，在中间干燥处理工序后，判断是否结束了规定图案的描绘(步骤S6)，如果结束了图案描绘则进行烧结工序，另一方面，如果没有结束图案描绘则进行材料配置工序。

其次，我们说明根据用上述喷出装置30进行的液滴喷出法的材料配置工序(步骤S4)。

本例的材料配置工序是通过由上述喷出装置30的液滴喷出头34在基板S上配置包含导电膜配线形成用材料的液体材料的液滴，在基板S上并排地形成多个线状的膜图案(配线图案)的工序。液体材料是将作为导电膜配线形成用材料的金属等的导电性微粒分散在分散剂中的液状体。在下面的说明中，我们说明在基板S上形成3个第1、第2和第3膜图案(线状图案)W1、W2和W3的情形。

图9A、9B、10和11是用于说明在本例中的基板S上配置液滴的顺序的一个例子的图。在这些图中，在基板S上设定具有作为配置了液体材料的液滴的格子状的多个单位区域的象素小区的位图。这里，将1个象素小区设定为正方形。而且，为了与在这些多个象素小区中的规定象素小区对应，而设定形成第1、第2和第3膜图案W1、W2和W3的第1、第2和第3图案形成区域R1、R2、R3。在X轴方向并排地设定这些多个图案形成区域R1、R2、R3。此外，在图9A～图11中，图案形成区域R1、R2、R3是画上斜线的区域。

又，为了在基板S上的第1图案形成区域R1中配置由设置在液滴喷出装置的喷出头34中的多个喷嘴中的第1喷嘴34A喷出的液体材料的液滴而进行设定。同样，为了在基板S上的第2、第3图案形成区域R2、R3中配置由设置在液滴喷出装置的喷出头10中的多个喷嘴中的第2、第3喷嘴34B、34C喷出的液体材料的液滴而进行设定。即，为了与第1、第2和第3图案形成区域R1、R2、R3中的各个对应，而设置喷嘴(喷出单元)34A、34B、34C。而且，喷出头34顺次地将多个液滴配置在设定的多个图案形成区域R1、R2、R3中各个的多个象素位置上。

进一步，为了在第1、第2和第3图案形成区域R1、R2、R3的各个中，从作为线宽方向的一侧(-X一侧)的第1侧部图案Wa形成要在这些图案形成区域R1、R2、R3上形成的第1、第2和第3膜图案W1、W2、W3，其次，形成作为另一侧(+X一侧)的第2侧部图案Wb，在形成第1、第2侧部图案Wa、Wb后形成作为线宽方向中央部分的中央图案Wc，而进行设定。

在本例中，各膜图案(线状图案)W1～W3中的各个，进而各图案形成区域R1～R3中的各个具有相同的线宽L，将该线宽L设定在与3个象素小区相当的大小上。又，也将各图案间的空间部分中的各个设定在相同的宽度S上，也将该宽度S设定在与3个象素小区相当的大小上。而且，将作为喷嘴34A～34C的间隔的喷嘴间隔设定在与6个象素小区相当的大小上。

在下面的说明中，具有喷嘴34A、34B、34C的喷出头34一面对基板S进行Y轴向的扫描一面喷出液滴。而且，在用图9A～图11的说明中，在第1次扫描时配置的液滴上附加“1”，在第2次、第3次，......第n次扫描时配置的液滴上附加“2”，“3”......“n”。

如图9A所示，在第1次扫描时，为了关于第1、第2和第3图案形成区域R1、R2、R3中的各个形成第1侧部图案Wa，一面在第1侧部图案形成预定区域空出1个象素小区一面由第1、第2和第3喷嘴34A、34B、34C同时配置液滴。此外，当从各喷嘴34A、34B、34C喷出液滴时，在该喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等。这里，配置在基板S上的液滴通过弹着在基板S上，在基板S上湿润扩大。即，如图9A中的圆所示，弹着在基板S上的液滴具有比1个象素小区大的直径C那样地进行湿润扩大。因为液滴在Y轴方向上空开规定间隔(1个象素小区)进行配置，所以为了不使配置在基板S上的液滴重叠而进行设定。通过这样做，能够防止在Y轴方向在基板S上过剩地设置液体材料，防止发生隆起。

此外，在图9A中为了使配置在基板S上时的液滴不重叠而进行配置，但是也可以为了使液滴稍微重叠而进行配置。又，这里空开1个象素小区地配置液滴，但是也可以只空开与2个以上的任意数的象素小区相当的间隔配置液滴。这时，喷出头34对基板S的扫描工作和配置工作(喷出工作)增加，最好补插在基板上的液滴之间。

又，因为由步骤S2和S3将基板S的表面预先加工成所要的防水性，所以能够抑制配置在基板S上的液滴的过分扩大。因此，能够确实地将图案形状控制在良好的状态中并且容易进行厚膜化。

图9B是当由第2次扫描从喷出头34将液滴配置在基板S上时的模式图。此外，在图9B中，在第2次扫描时配置的液滴上附加“2”。在第2次扫描时，为了补插在第1次扫描时配置的液滴“1”之间而由各喷嘴34A、34B、34C同时配置液滴。而且，在第1次和第2次扫描和配置工作中液滴连续，在第1、第2和第3图案形成区域R1、R2、R3的各个中形成第1侧部图案Wa。这里，液滴“2”也弹着在基板S上湿润扩大，液滴“2”的一部分与先前配置在基板S上的液滴“1”的一部分重合。具体地说，液滴“2”的一部分重合在液滴“1”上。此外，在该第2次扫描中，当从各喷嘴34A、34B、34C喷出液滴时，在该喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等。

这里，在基板S上配置了用于形成第1侧部图案Wa的液滴后，与为了除去分散剂的需要相应，能够进行中间干燥处理(步骤S5)。中间干燥处理除了例如用加热板、电炉、和热风机等的加热装置的一般的热处理外，也可以是用灯泡老炼的光处理。

其次，喷出头34和基板S在X轴方向上只相对移动与2个象素小区的大小相当的距离。这里喷出头34对于基板S在+X方向上只阶段移动与2个象素小区相当的距离。与此相伴，喷嘴34A、34B、34C也移动。而且，喷出头34进行第3次扫描。因此，如图10A所示，由各喷嘴34A、34B、34C对第1侧部图案Wa在X轴方向空出间隔地在基板S上同时配置用于形成构成各个膜图案W1、W2、W3的一部分的第2侧部图案Wb的液滴“3”。这里，液滴“3”也在Y轴方向空出1个象素小区地进行配置。此外，在该第3次扫描中，当从各喷嘴34A、34B、34C喷出液滴时，在该喷出前，也预先从喷出头34内除去气泡等。

图10B是当由第4次扫描从喷出头34将液滴配置在基板S上时的模式图。此外，在图10B中，在第4次扫描时配置的液滴上附加“4”。在第4次扫描时，为了补插在第3次扫描时配置的液滴“3”之间而由各喷嘴34A、34B、34C同时配置液滴。而且，在第3次和第4次扫描和配置工作中液滴连续，在图案形成区域R1、R2、R3的各个中形成第2侧部图案Wb。这里，液滴“4”的一部分与先前配置在基板S上的液滴“3”的一部分重合。具体地说，液滴“4”的一部分重合在液滴“3”上。此外，在该第4次扫描中，当从各喷嘴34A、34B、34C喷出液滴时，在该喷出前，也预先从喷出头34内除去气泡等。

这里，在基板S上配置了用于形成第2侧部图案Wb的液滴后，与为了除去分散剂的需要相应，能够进行中间干燥处理。

其次，喷出头34对于基板S在-X轴方向上只移动与1个象素小区相当的距离。与此相伴喷嘴10A、10B、10C也在-X轴方向上只移动与1个象素小区相当的距离。而且，喷出头34进行第5次扫描。因此，如图10A所示，在基板上同时配置用于形成构成各个膜图案W1、W2、W3的一部分的中央图案Wc的液滴“5”。这里，液滴“5”也在Y轴方向空出1个象素小区地进行配置。这里，液滴“5”的一部分与先前配置在基板S上的液滴“1”、“3”的一部分重合。具体地说，液滴“5”的一部分重合在液滴“1”、“3”上。此外，在该第5次扫描中，当从各喷嘴34A、34B、34C喷出液滴时，在该喷出前，也预先从喷出头34内除去气泡等。

图10B是当由第6次扫描从喷出头34将液滴配置在基板S上时的模式图。此外，在图10B中，在第6次扫描时配置的液滴上附加“6”。在第6次扫描时，为了补插在第5次扫描时配置的液滴“5”之间而由各喷嘴10A、10B、10C同时配置液滴。而且，在第5次和第6次扫描和配置工作中液滴连续，在图案形成区域R1、R2、R3的各个中形成中央图案Wc。这里，液滴“6”的一部分与先前配置在基板S上的液滴“5”的一部分重合。具体地说，液滴“6”的一部分重合在液滴“5”上。进一步，液滴“6”的一部分重合在先前配置在基板S上的液滴“2”、“4”上。此外，在该第6次扫描中，当从各喷嘴34A、34B、34C喷出液滴时，在该喷出前，也预先从喷出头34内除去气泡等。

根据以上的说明，在各图案形成区域R1、R2、R3的各个中形成膜图案W1、W2、W3。

如以上说明的那样，当在图案形成区域R1、R2、R3中顺次地配置多个液滴形成相互大致同一形状的膜图案W1、W2、W3时，因为相同地设定对各图案形成区域R1、R2、R3中各个的多个EDF小区配置液滴的配置顺序，所以即便在为了使各个液滴“1”～“6”的一部分重合而进行配置的情形中，因为该重合的形态在各膜图案W1、W2、W3中是相同的，所以能够使各膜图案W1、W2、W3的外观相同。从而，能够抑制发生各膜图案W1、W2、W3之间外观上的不均匀。

而且，因为关于各膜图案W1、W2、W3，液滴的配置顺序是相同的，并且因为关于各膜图案W1、W2、W3的液滴配置(液滴之间的重合形态)是相同的，所以能够抑制发生外观上的不均匀。

进一步，因为将在各膜图案W1、W2、W3中液滴之间的重合状态设定为相同的，所以能够使各个膜图案的膜厚分布大致相同。从而，当该膜图案是在基板的面方向重复的重复图案时，具体地说，例如当与显示装置的像素对应设置多个图案时，各像素具有相同的膜厚分布。从而，在基板的面方向的各位置能够发挥同一个功能。

又，因为在形成第1、第2侧部图案Wa、Wb后，配置用于埋入它们之间地形成中央图案Wc的液滴“5”、“6”，所以能够大致均匀地形成各膜图案W1、W2、W3的线宽。即，当在基板S上形成中央图案Wc后，配置用于形成侧部图案Wa、Wb的液滴“1”、“2”、“3”、“4”时，因为发生将这些液滴拉到先前在基板S上形成的中央图案Wc的现象，所以要控制各膜图案W1、W2、W3的线宽是困难的，但是如本实施形态那样，因为先在基板S上形成侧部图案Wa、Wb后，配置用于埋入它们之间地形成中央图案Wc的液滴“5”、“6”，所以能够高精度地控制各膜图案W1、W2、W3的线宽。

此外，也可以在形成中央图案Wc后，形成侧部图案Wa、Wb。这时，通过关于各膜图案W1～W3，实施相同的液滴配置顺序，能够抑制发生各图案之间外观上的不均匀。

即便在形成这种导电膜配线图案(金属配线图案)的情形中，通过在喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等，也能够良好地喷出液滴，从而能够提高得到的导电膜配线图案的可靠性。

其次，作为上述构成要素的形成例，我们说明微透镜的制造方法。

在本例中，首先如12A所示，由上述喷出装置30的喷出头34在基板S上喷出由光透过性树脂构成的液滴22a，涂敷它们。此外，当从各喷出头34喷出液滴22a时，在该喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等。

作为基板S，当将得到的微透镜应用于例如屏幕用的光学膜时，可以用由醋酸纤维素和丙基纤维素等的纤维素系树脂、聚氯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚脂等的透明树脂(光透过性树脂)构成的光透过性片或光透过性膜。又，作为基板，也可以使用由玻璃、聚碳酸脂、多芳基化合物、聚醚嗍砜、非晶形聚烯、聚乙烯对苯二酸脂、聚甲基甲基丙烯酸酯等透明材料(光透过性材料)构成的基板。

作为光透过性树脂，可以举出聚甲基甲基丙烯酸酯、聚羟乙基甲基丙烯酸酯、聚环己基甲基丙烯酸酯等的丙烯树脂、聚二甘醇双烯丙基碳酸酯、聚碳酸酯等的烯丙基系树脂、甲基丙烯树脂、聚氨基甲酸乙脂系树脂、聚脂系树脂、聚氯乙烯系树脂、聚醋酸乙烯系树脂、纤维素系树脂、聚酰胺树脂、氟系树脂，聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂等的热可塑性或热硬化性树脂，可以用它们中的一种或者将多种混合起来使用。

但是，在本例中，特别是作为光透过性树脂，可以用放射线照射硬化型的树脂。该放射线照射硬化型的树脂是在上述光透过性树脂中配入二咪唑啉系化合物等的光聚合开始剂的树脂，通过配入这种光聚合开始剂，被赋予放射线照射硬化性。放射线是可见光线、紫外线，远紫外线、X射线、电子射线等的总称，特别是一般使用紫外线。

与所要的单个微透镜大小相应在基板S上喷出1个或多个这种放射线照射硬化型的光透过性树脂的液滴22a。这样一来，由该液滴22构成的光透过性树脂23由于它的表面张力成为如图12A所示的凸状(大致半球状)。因此，如果向要形成的单个微透镜喷出并涂敷规定量的光透过性树脂，进一步与所要的微透镜个数相当地进行该涂敷处理，则用紫外线等的放射线照射这些光透过性树脂23，如图12B所示使它们硬化成为硬化体23a。此外，虽然与从喷出头34喷出的液滴22a的一滴相当的容量也因喷出头34和喷出的墨水材料而异，但是通常约为1pL～20pL。

其次，如图12C所示从喷出头34，在这些硬化体23a的各个上喷出所要个数的多个分散了光扩散性微粒26的液滴22b，附着在硬化体23a的表面上。作为光扩散性微粒26，可以举出二氧化硅、氧化Al、二氧化钛、碳酸钙、氢氧化Al、丙烯树脂、有机硅树脂、聚苯乙烯、尿素树脂、和甲醛凝聚物等的微粒，可以用它们中的一种或者将多种混合起来使用。但是，为了光扩散性微粒26充分发挥光扩散性，当该微粒具有光透过性时，需要使它的折射率与上述光透过性树脂的折射率充分地不同。所以，当光扩散性微粒26具有光透过性时，为了满足这种条件，与使用的光透过性树脂相应适当地选定并使用光扩散性微粒。

这种光扩散性微粒26通过预先分散在适当的溶剂(例如可以用于光透过性树脂的溶剂)中，调整可以从喷出头34喷出的墨水。这时，用界面活性剂对光扩散性微粒26的表面进行覆盖处理，或者通过进行用溶融树脂覆盖的处理，提高光扩散性微粒26到溶剂的分散性，是令人满意的，通过这种处理，从喷出头34的喷出能够将良好的流动性附加给光扩散性微粒26。此外，作为用于进行表面处理的界面活性剂，可以与光扩散微粒24的种类相应适当地选择并使用阳离子系、阴离子系、非离子系、两性、硅系、氟树脂系等。

又，作为这种光扩散性微粒26，最好用它的粒径在200nm以上，500nm以下的微粒。如果在这样的范围内，则由于粒径在200nm以上，能够很好地确保它的光扩散性，又由于粒径在500nm以下，能够从喷出头34的喷嘴很好地喷出。

此外，关于分散光扩散性微粒26的液滴22b的喷出，既可以用与喷出光透过性树脂的液滴22a的喷出头34相同的喷出头，也可以用不同的喷出头。当相同的喷出头时，能够使包含喷出头34的装置构成简略化。另一方面，当用不同的喷出头时，因为对于每种墨水(由光透过性树脂构成的墨水和由光透过性微粒24构成的墨水)能够用专用的喷出头，所以当切换涂敷的墨水时，不需要进行喷出头的清洗等，能够提高生产性。

此后，通过进行加热处理、减压处理或加热减压处理，使分散光扩散性微粒24的液滴22b中的溶剂蒸发。这样一来，通过由液滴22b中的溶剂软化硬化体23a的表面，在那里附着光扩散性微粒26，伴随着溶剂蒸发，硬化体23a的表面再硬化，使光扩散性微粒24固定在光透过性树脂的硬化体23a的表面。而且，这样通过使光扩散性微粒24固定在硬化体23a的表面上，能够得到如图12D所示使光扩散性微粒24分散在它的表面部分的本发明的微透镜25。

即便在这种微透镜25的制造方法中，也通过在该喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等，能够很好地喷出液滴22a、液滴22b，从而能够提高得到的微透镜25的可靠性。

又，因为用喷墨法形成由光透过性树脂23和光扩散性微粒24构成的凸状(大致半球状)微透镜25，所以不需要如在用模具成形法和射出成形法的情形中那样的成形模具，又也几乎没有材料的损耗。因此，能够达到降低制造成本的目的。又，因为得到的微透镜25成凸状(大致半球状)，所以能够使该微透镜例如在360°的广大角度范围(方向)中大致均匀地进行光扩散，而且通过对光扩散性微粒26实施复合化，能够赋予得到的微透镜高的扩散性能。

其次，作为上述构成要素的形成例，我们说明备有电子发射元件的图象显示装置的制造方法。

图13A和13B所示的基体70A是经过由上述喷出装置30进行的处理，成为形成构成要素的一部分的图象显示装置的电子源基板70B的基板。基体70A具有矩阵状配置的多个被喷出单元78。

具体地说，基体70A备有基板72、位于基板72上的防止钠扩散层74、位于防止钠扩散层74上的多个元件电极76A、76B、位于多个元件电极76A上的多个金属配线79A、和位于多个元件电极76B上的多个金属配线79B。多个金属配线79A中的各个具有在Y轴方向延伸的形状。多个金属配线79B中的各个具有在X轴方向延伸的形状。因为在金属配线79A与金属配线79B之间形成绝缘膜75，所以金属配线79A与金属配线79B是电绝缘的。

包含1对元件电极76A和元件电极76B的部分与1个图象区域对应。1对元件电极76A和元件电极76B相互只离开规定间隔在防止钠扩散层74上相对配置。与某个图象区域对应的元件电极76A与对应的金属配线79A电连接。又，与该图象区域对应的元件电极76B与对应的金属配线79B电连接。此外，在本说明书中，也将基板72和防止钠扩散层74合在一起的部分表记为支持基板。

在基体70A的各个图象区域中，元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、和元件电极76A与元件电极76B之间露出的防止钠扩散层74A与被喷出单元78对应。更具体地说，被喷出单元78是要形成导电性薄膜411F(请参照图14B)的区域，导电性薄膜411F是为了覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、和元件电极76A、76B之间的间隙而形成的。如图13B中虚线所示，在本例中的被喷出单元78的形状是圆形。

图13B所示的基体70A与由X轴方向和Y轴方向规定的假想平面平行地配置。而且，多个被喷出单元78形成的矩阵的行方向和列方向是分别与X轴方向和Y轴方向平行的方向。在基体70A中，被喷出单元78在X轴方向以它的顺序周期地并列。进一步，被喷出单元78在Y轴方向以规定间隔排成1列。

被喷出单元78之间沿X轴方向的间隔LX约为190im。被喷出单元78之间的上述间隔和被喷出单元的上述大小，在约40英寸大小的高可见电视中，与图象区域之间的间隔对应。

上述喷出装置30是向图13A、13B的基体70A的各个被喷出单元78喷出作为液状材料(液状体)的导电性薄膜材料411的装置。作为该导电性薄膜材料411，例如可以用有机钯溶液。

在用喷出装置30制造图象显示装置的过程中，首先，在由钠玻璃等形成的基板72上，形成将二氧化硅(SiO₂)作为主要成分的防止钠扩散层74。具体地说，用溅射法在基板72上形成厚度1im的SiO₂膜得到防止钠扩散层74。其次，在防止钠扩散层74上，用溅射法或真空蒸涂法形成厚度5nm的钛层。而且，用光刻技术和刻蚀技术，从该钛层，形成多对相互只离开规定距离的1对元件电极76A和元件电极76B。此后，用网印技术，在防止钠扩散层74上和多个元件电极76A上涂敷银(Ag)膏进行烧结，形成在Y轴方向延伸的多条金属配线79A。其次，用网印技术，在各金属配线79A的一部分上涂敷玻璃膏进行烧结，形成绝缘膜75。而且，用网印技术，在防止钠扩散层74上和多个元件电极76B上涂敷银(Ag)膏进行烧结，形成在X轴方向延伸的多条金属配线79B。此外，当制作金属配线79B时，为了通过绝缘膜75，金属配线79B与金属配线79A交叉而涂敷Ag膏。通过以上那样的工序，得到图13A、13B所示的基体70A。

其次，通过在大气压下的氧等离子体处理使基体70亲液化。通过这种处理，使元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、和元件电极76A与元件电极76B之间露出的支持基板的表面亲液化。而且，这些表面成为被喷出单元78。此外，与材质有关，即便不进行上述那样的表面处理，也能够得到呈现所要的亲液性的表面。在这种情形中，即便不实施上述表面处理，也能够使元件电极76A的表面的一部分、元件电极76B的表面的一部分、和元件电极76A与元件电极76B之间露出的防止钠扩散层74的表面成为被喷出单元78。

形成被喷出单元78的基体70A，由搬运装置470，运送到喷出装置30的台架106上。而且，如图14A所示，喷出装置30，为了在被喷出单元78的全体上形成导电性薄膜411F，而从喷出头34喷出导电性薄膜材料411。此外，当喷出该导电性薄膜材料411时，在喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等。

在本例中，为了使弹着在被喷出单元78上的导电性薄膜材料411的液滴直径在6im到80im的范围内，而从喷出头34进行喷出。当在基体70A的被喷出单元78的全体上形成导电性薄膜材料411的层时，搬运装置470使基体70A位于干燥装置450内。而且，通过使被喷出单元78上的导电性薄膜材料411完全干燥后，在被喷出单元78上得到将氧化钯作为主要成分的导电性薄膜材料411F。这样一来，在各个像素区域中，形成覆盖元件电极76A的一部分、元件电极76B的一部分、和元件电极76A与元件电极76B之间露出的防止钠扩散层74的导电性薄膜411F。

其次，在元件电极76A与元件电极76B之间，加上脉冲状的规定电压，在导电性薄膜411F的一部分上形成电子发射单元411D。此外，最好在有机物气氛下和真空条件下分别在元件电极76A与元件电极76B之间加上电压。这是因为如果这样做，则能够使来自电子发射单元411D的电子发射效率更高。元件电极76A、对应的元件电极76B、和设置了电子发射单元411D的导电性薄膜411F是电子发射元件。又，各个电子发射元件与各个像素区域对应。

通过以上工序，如图14B所示，基体70A成为电子源基板70B。

其次，如图14C所示，通过用众所周知的方法将电子源基板70B和上述基板70C粘合起来，得到备有电子发射元件的图象显示装置170。上述基板70C具有玻璃基板82、在玻璃基板82上矩阵状配置的多个荧光单元84、和覆盖多个荧光单元84的金属片86。金属片86作为用于加速来自电子发射单元411D的电子束的电极起作用。为了使多个电子发射单元中的各个与多个荧光单元84中的各个相对配置，而使电子源基板70B与上述基板70C位置重合。又，使电子源基板70B与上述基板70C之间保持真空。

即便在备有这种电子发射元件的图象显示装置的制造方法中，通过在喷出前，预先从喷出头34内除去气泡等，也能够良好地喷出导电性薄膜材料411，所以能够提高得到的图象显示装置的可靠性。

其次，我们说明由上述喷出装置形成一部分构成要素的电子设备的一个例子。

图15是表示作为这种电子设备的一个例子的便携式电话的斜视图。在图15中标号1000表示便携式电话本体，标号1001表示用上述有机EL元件(有机EL装置301)的表示单元。

因为图15所示的电子设备(便携式电话)备有由上述有机EL元件构成的表示单元1001，所以能够达到降低成本的目的，又，能够良好地形成表示单元1001的构成要素。

Claims (9)

1、一种液状体喷出装置，备有喷出头、和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，上述喷出头具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置，其特征是：备有

覆盖上述喷嘴的第1吸引部件；

第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；

覆盖上述喷嘴的第2吸引部件；和

第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通从而降低该液状体罐内的压力。

2、权利要求1所述的液状体喷出装置，其特征是：在与上述第1吸引部件的喷出头的相反一侧，设置检测从上述喷嘴流出的液状体的液状体检测传感器。

3、权利要求1或2所述的液状体喷出装置，其特征是：上述液状体罐中设置加热贮存的液状体的加热器。

4、权利要求1所述的液状体喷出装置，其特征是：上述第2吸引部件是至少可以容纳上述喷出头的容器。

5、权要求项4所述的液状体喷出装置，其特征是：上述第2减压装置具有成为上述第2吸引部件的容器内和上述液状体罐内降低到相同压力的构成。

6、权利要求1所述的液状体喷出装置，其特征是：上述第1吸引部件和第2吸引部件由同一吸引部件构成，上述第1减压装置和第2减压装置由同一减压装置构成。

7、一种液状体喷出方法，通过喷出装置喷出液状体，

上述喷出装置备有：喷出头，其具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置；和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，

并且备有：

第1吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；第2吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；和第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通降低该液状体罐内的压力，

其特征在于：该液状体喷出方法备有：

采用上述第1吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，

由第1减压装置通过上述第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填到该喷出头内的工序，

在将液状体充填到上述喷出头内后，采用上述第2吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，

由第2减压装置降低上述液状体罐内的压力，并且通过上述第2吸引部件降低喷出头内的压力的工序、和

在降低喷出头内的压力后，从该喷出头喷出液状体的工序。

8、一种电光学装置，其特征是：采用液状体喷出装置形成所述电光学装置的至少一部分，上述液状体喷出装置备有：喷出头，其具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置；和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，

并且备有：第1吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；第2吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；和第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通来降低该液状体罐内的压力。

9、一种电光学装置的制造方法，该电光学装置的至少一部分采用喷出装置形成，上述喷出装置备有：喷出头，其具有贮存液状体的空腔、与该空腔连通的喷嘴和用于通过上述喷嘴喷出贮存在上述空腔内的液状体的喷出装置；和贮存供给该喷出头的液状体的液状体罐，

并且备有：第1吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；第1减压装置，其与该第1吸引部件连接，通过该第1吸引部件降低喷出头内的压力；第2吸引部件，其对上述喷出头中的喷嘴形成面的至少是喷嘴进行气密覆盖；和第2减压装置，其与该第2吸引部件连接，通过该第2吸引部件降低喷出头内的压力，并且与上述液状体罐内连通来降低该液状体罐内的压力，

该制造方法备有：

采用上述第1吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，

由第1减压装置通过上述第1吸引部件降低喷出头内的压力，将液状体充填到该喷出头内的工序，

在将液状体充填到上述喷出头内后，采用上述第2吸引部件覆盖上述喷出头的喷嘴形成面和该喷嘴形成面的喷嘴的工序，

由第2减压装置降低上述液状体罐内的压力，并且通过上述第2吸引部件降低喷出头内的压力的工序，和

在降低喷出头内的压力后，从该喷出头喷出液状体的工序。

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