CN113919728A - 工艺流程管理方法及设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种工艺流程管理方法及设备，方法包括：提供工件待加工的主流程，该主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，和位于各主工艺步骤前后以及相邻主工艺步骤之间的作业节点；接收对工件的流程项目变更请求，该流程项目变更请求包括变更作业时间控制区间请求；其中，该作业时间控制区间起始于第一作业节点，结束于第二作业节点，且第一作业节点和第二作业节点之间至少包含一个主工艺步骤；响应流程项目变更请求，输出第一提醒消息，用于提醒用户对流程项目变更请求设置安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制，既能够避免浪费生产资源，又能够保障生产效率。

Description

工艺流程管理方法及设备

技术领域

本申请实施例涉及半导体技术领域，尤其涉及一种工艺流程管理方法及设备。

背景技术

半导体生产加工工艺涉及多种化学反应，其中，作业时长是影响工艺效果和总体加工效率的重要因素，因此在部分生产阶段需要控制作业时长，以此来提高资源利用率和生产效率。

目前，用户在变更部分生产参数时，可能会影响到原本设定的作业时长控制功能，导致加工过程中的作业时长失去控制，不仅影响了产品的质量、良率以及可靠性，也浪费了生产资源，降低了生产效率。

发明内容

本申请实施例提供一种工艺流程管理方法及设备，可以解决现有技术中在在变更部分生产参数时，可能会导致工艺流程的作业时长控制功能失效的技术问题。

在一些实施例中，提供了一种工艺流程管理方法，包括：

提供工件待加工的主流程，所述主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，和位于各所述主工艺步骤前后以及相邻所述主工艺步骤之间的作业节点；

接收对所述工件的流程项目变更请求，所述流程项目变更请求包括变更作业时间控制区间请求；其中，所述作业时间控制区间起始于第一作业节点，结束于第二作业节点，所述第一作业节点和所述第二作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述第一作业节点和所述第二作业节点之间至少包含一个所述主工艺步骤；

响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述流程项目变更请求设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改试验流程替换所述主流程中的子流程，其中所述试验流程和所述子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，所述试验流程或所述子流程与所述作业时间控制区间具有交集。

在一种可行的实施方式中，所述响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，包括：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一试验流程；

当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内时，确定所述第一试验流程是否已设置安全作业时间；

若所述第一试验流程未设置安全作业时间，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求还包括：

删除所述试验流程；

所述方法还包括：

在删除所述试验流程后，确定已删除的试验流程是否设置有安全作业时间；

若所述已删除的试验流程设置有安全作业时间，则输出第三提醒消息，所述第三提醒消息用于提醒用户删除所述已删除的试验流程对应的安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改所述作业时间控制区间。

在一种可行的实施方式中，所述响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，包括：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一作业时间控制区间；

确定是否存在第一试验流程替换所述主流程中的第一子流程，其中，所述第一试验流程和所述第一子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述试验流程或所述子流程与所述第一作业时间控制区间具有交集；

若存在所述第一试验流程，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求包括：

删除所述作业时间控制区间；

所述方法还包括：

在删除所述作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与结束作业节点与已删除的所述作业时间控制区间相同的目标子流程；

若存在所述目标子流程，则输出第二提醒消息，所述第二提醒消息用于提醒用户删除所述目标子流程。

在一些实施例中，本申请提供了一种工艺流程管理装置，包括：

存储模块，用于提供工件待加工的主流程，所述主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，和位于各所述主工艺步骤前后以及相邻所述主工艺步骤之间的作业节点；

接收模块，用于接收对所述工件的流程项目变更请求，所述流程项目变更请求包括变更作业时间控制区间请求；其中，所述作业时间控制区间起始于第一作业节点，结束于第二作业节点，所述第一作业节点和所述第二作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述第一作业节点和所述第二作业节点之间至少包含一个所述主工艺步骤；

响应模块，用于响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述流程项目变更请求设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改试验流程替换所述主流程中的子流程，其中所述试验流程和所述子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，所述试验流程或所述子流程与所述作业时间控制区间具有交集。

在一种可行的实施方式中，所述响应模块用于：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一试验流程；

当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内时，确定所述第一试验流程是否已设置安全作业时间；

若所述第一试验流程未设置安全作业时间，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求还包括：

删除所述试验流程；

所述响应模块还用于：

在删除所述试验流程后，确定已删除的试验流程是否设置有安全作业时间；

若所述已删除的试验流程设置有安全作业时间，则输出第三提醒消息，所述第三提醒消息用于提醒用户删除所述已删除的试验流程对应的安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改所述作业时间控制区间。

在一种可行的实施方式中，所述响应模块具体用于：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一作业时间控制区间；

确定是否存在第一试验流程替换所述主流程中的第一子流程，其中，所述第一试验流程和所述第一子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述试验流程或所述子流程与所述第一作业时间控制区间具有交集；

若存在所述第一试验流程，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，所述变更作业时间控制区间请求包括：

删除所述作业时间控制区间；

所述响应模块还用于：

在删除所述作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与结束作业节点与已删除的所述作业时间控制区间相同的目标子流程；

若存在所述目标子流程，则输出第二提醒消息，所述第二提醒消息用于提醒用户删除所述目标子流程。

在一些实施例中，本申请提供了一种电子设备，包括：至少一个处理器和存储器；

所述存储器存储计算机执行指令；

所述至少一个处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令，使得所述至少一个处理器执行如上述实施例中提供的工艺流程管理方法。

在一些实施例中，本申请提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，当处理器执行所述计算机执行指令时，可以实现如上述实施例中提供的工艺流程管理方法。

在一些实施例中，本申请提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，可以实现如上述实施例中提供的工艺流程管理方法。

本申请实施例所提供的工艺流程管理方法及设备，在变更作业时间控制区间后，通过输出提醒消息来提醒用户设置新的安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制，既能够避免影响产品的质量、良率和可靠性，又能够避免浪费生产资源和保障生产效率。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种工艺流程管理方法的流程示意图；

图2为本申请实施例提供的一种主流程的示意图；

图3为本申请实施例提供的另一种主流程的示意图；

图4为本申请实施例提供的一种流程项目变更示意图；

图5为本申请实施例提供的另一种流程项目变更示意图；

图6为本申请实施例提供的一种主流程变更后的简化示意图；

图7为本申请实施例提供的另一种主流程变更后的简化示意图；

图8为本申请实施例中提供的一种工艺流程管理装置的程序模块示意图；

图9为本申请实施例提供的一种电子设备的硬件结构示意图。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。此外，虽然本申请中公开内容按照示范性一个或几个实例来介绍，但应理解，可以就这些公开内容的各个方面也可以单独构成一个完整实施方式。

需要说明的是，本申请中对于术语的简要说明，仅是为了方便理解接下来描述的实施方式，而不是意图限定本申请的实施方式。除非另有说明，这些术语应当按照其普通和通常的含义理解。

本申请中说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似或同类的对象或实体，而不必然意味着限定特定的顺序或先后次序，除非另外注明。应该理解这样使用的用语在适当情况下可以互换，例如能够根据本申请实施例图示或描述中给出那些以外的顺序实施。

此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖但不排他的包含，例如，包含了一系列组件的产品或设备不必限于清楚地列出的那些组件，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些产品或设备固有的其它组件。

本申请中使用的术语“模块”，是指任何已知或后来开发的硬件、软件、固件、人工智能、模糊逻辑或硬件或/和软件代码的组合，能够执行与该元件相关的功能。

在集成电路领域或半导体(Semiconductor)领域中，部分生产工艺段落需要严格控制作业时间，除了在单个流程上设定作业时间外，还可能需要跨流程(主流程与实验流程、返工流程之间)节点设定作业时间，完成跨流程节点控制作业时间的功能，防止用户在变更常规生产资料时漏设作业时间控制区间，导致作业时长失控，产品需要返工甚至报废，不仅降低了资源利用率与生产效率，甚至还影响了产品质量、良率以及可靠性。

其中，半导体生产加工工艺涉及多种化学反应，而作业及等待时长是影响工艺效果、产品质量和总体加工效率的重要因素，因此在部分生产阶段需要控制作业时长，以此来提高产品的质量、良率以及可靠性，提高资源利用率和生产效率，以及降低环境污染影响。

目前的工艺流程管控系统仅支持时间控制起始节点在同一流程中设定，不能直接跨流程设定作业时间控制区间。另外，主流程与实验流程的时间控制只能在主流程设定的时间控制基础上，以实验流程的节点取代主流程原节点的设定来实现。

由于每一道生产工艺的负责人员不同，因此同一负责人员很难准确了解其它工艺的时间控制设定，负责人员在变更部分生产参数时，也可能会影响到原本设定的作业时长控制功能，导致工艺流程的作业时长失去控制，不仅浪费生产资源，还降低了生产效率，甚至会影响产品的质量、良率以及可靠性。

面对上述技术问题，本申请实施例中提供了一种工艺流程管理方法，可以在用户变更作业时间控制区间后，通过输出提醒消息来提醒用户设置新的安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制，既能够避免浪费生产资源，又能够保障生产效率。下面采用详细的实施例进行详细说明。

参照图1，图1为本申请实施例提供的一种工艺流程管理方法的流程示意图。在一种可行的实施方式中，上述工艺流程管理方法包括：

S101、提供工件待加工的主流程。

本申请实施例中，上述主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，和位于各主工艺步骤前后以及相邻主工艺步骤之间的作业节点。

为了更好的理解本申请实施例，参照图2，图2为本申请实施例提供的一种主流程的示意图。

在一些实施例中，上述主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，如包括步骤a、步骤b、步骤c、……、步骤f、步骤g、……

其中，各主工艺步骤前后以及相邻两个主工艺步骤之间的节点为作业节点。

在一些实施例中，用户可以提前将工件待加工的主流程储存在管理设备中。

S102、接收对工件的流程项目变更请求，该流程项目变更请求包括变更作业时间控制区间请求。

其中，上述作业时间控制区间起始于第一作业节点，结束于第二作业节点，第一作业节点和第二作业节点取自上述主流程上的作业节点，且第一作业节点和第二作业节点之间至少包含一个主工艺步骤。

在一些实施例中，上述主流程会设置有一些作业时间控制区间，每个作业时间控制区间内至少包括一个工艺步骤，在加工过程中，每个作业时间控制区间内的各个工艺步骤的加工总时长需要控制在每个作业时间控制区间预设的作业时长内。

在一些实施例中，上述主流程会设置有一些试验流程，用于替换所述主流程中的子流程。

为了更好的理解本申请实施例，参照图3，图3为本申请实施例提供的另一种主流程的示意图。

如图3所示，上述主流程具有按预设顺序设置的多个主工艺步骤，包括步骤a、步骤b、步骤c、……、步骤i、步骤j、……

其中，上述主流程中设置有“作业时间控制区间h～j”，用于控制步骤h、步骤i、步骤j总的作业时长在30min内。

另外，上述主流程中还设置有实验流程S2，实验流程S2包括步骤f1与步骤g1，用于替换主流程中的步骤f与步骤g。

其中，主流程中的步骤f至步骤g为主流程中的一个子流程。

在一种可行的实施方式中，当用户需要对上述工件的流程项目进行变更时，可以向管理设备提交流程项目变更请求。

示例性的，上述流程项目变更请求可以包括在主流程中新增作业时间控制区间、删除主流程中的作业时间控制区间、修改主流程中已有的作业时间控制区间的起始作业节点和/或结束作业节点，以及在主流程中新增试验流程、删除主流程中的试验流程、修改主流程中已有的试验流程的起始作业节点和/或结束作业节点等，本申请实施例中不做限制。

S103、响应流程项目变更请求，输出第一提醒消息，该第一提醒消息用于提醒用户对流程项目变更请求设置安全作业时间。

在一些实施例中，管理设备在接收到流程项目变更请求后，根据该流程项目变更请求对应变更内容，输出第一提醒消息，用于提醒用户对流程项目变更请求设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，管理设备在接收到流程项目变更请求后，可以根据预设的规则，判断流程项目变更请求是否会影响主流程中已设置的作业时间控制功能，如果是，则输出第一提醒消息，以提醒用户对流程项目变更请求设置安全作业时间。

在一些实施例中，用户在提交流程项目变更请求后，管理设备一方面在生产系统数据库中读取已设定的作业时间控制区间的起始作业节点、实验流程ID、实验流程的起始作业节点与结束作业节点、实验流程替换主流程中的子流程的信息。另一方面，管理设备读取流程项目变更请求中新增/修改/删除的作业时间控制区间的起始作业节点与结束作业节点。

管理设备汇总读取到的数据，根据预设规则，判断上述流程项目变更请求中是否存在实验流程的起始作业节点与结束作业节点在作业时间控制区间内的情况，如存在，则继续判断上述生产系统数据库中或者上述流程项目变更请求中是否存在对应实验流程取代原主流程中的子流程的信息，如存在，则继续提交动作，否则输出提醒信息或者报错信息，以提醒用户对流程项目变更请求设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，若判断出实验流程的起始作业节点与结束作业节点都在主流程的某个时间控制区间内(即可能影响控制功能)，则可以通过弹窗的方式输出提醒消息，提醒用户确认是否需要利用该实验流程替换主流程中的子流程。

若判断出实验流程的起始作业节点与结束作业节点只有一个在主流程的某个时间控制区间内(即一定影响控制功能)，则确定用户是否已对上述流程项目变更请求设置安全作业时间，若否，则输出提醒消息，以提醒用户对所述流程项目变更请求设置安全作业时间。

在一些实施例中，上述提醒信息或报错信息中可以包含错误信息链接，用户点击该链接即可下载信息文件，通过该信息文件可以确定主流程中需要设置安全作业时间的位置信息。

本申请实施例中提供的工艺流程管理方法，可在用户提出变更作业时间控制区间申请时，通过输出提醒消息来提醒用户设置新的安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制，既能够避免浪费生产资源，又能够保障生产效率和产品的质量、良率以及可靠性。

基于上述实施例中所描述的内容，在一些实施例中，上述变更作业时间控制区间请求为新增或修改试验流程替换主流程中的子流程时，可以先确定新增或修改后的第一试验流程；若第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内，则确定第一试验流程是否已设置安全作业时间；若否，则输出第一提醒消息，提醒用户对第一试验流程设置安全作业时间。

可以理解的是，若第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内，则表示第一试验流程跨过了作业时间控制区间的起始节点，这种情况下，便无法在第一试验流程的起始作业节点触发计时功能，从而导致第一试验流程的作业时长无法控制。

为了更好的理解本申请实施例，参照图4，图4为本申请实施例提供的一种流程项目变更示意图。

如图4所示，上述主流程具有按预设顺序设置的多个主工艺步骤，包括步骤a、步骤b、步骤c、……、步骤i、步骤j、……；主流程中设置有“作业时间控制区间a～c”与“作业时间控制区间h～j”，“作业时间控制区间a～c”用以控制步骤a、步骤b、步骤c总的作业时长在60min内；“作业时间控制区间h～j”用以控制步骤h、步骤i、步骤j总的作业时长在30min内。

假设上述变更作业时间控制区间请求为新增实验流程S1。其中，实验流程S1中包括步骤c1与步骤d1。实验流程S1可以用于替换主流程中的步骤c与步骤d组成的子流程。

如图4所示，新增实验流程S1跨过“作业时间控制区间a～c”，由此会导致实验流程S1的起始节点无法触发计时功能，进而导致无法控制实验流程S1的作业时长。

在一些实施例中，在确定实验流程S1跨过“作业时间控制区间a～c”时，确定实验流程S1是否已设置安全作业时间；若未设置安全作业时间，则输出提醒消息，提醒用户针对实验流程S1设置安全作业时间，以控制实验流程S1的作业时长。

在一些实施例中，假设上述变更作业时间控制区间请求为修改实验流程S2返回主流程的作业节点。具体将实验流程S2返回主流程的作业节点从步骤g与步骤h之间的作业节点修改为步骤h与步骤i之间的作业节点。

如图4所示，可以看出，修改后的实验流程S2跨过了作业时间控制区间h～j，此时如果需要管控修改后的实验流程S2的作业时长，就需要提醒用户针对修改后的实验流程S2设置安全作业时间。

在一些实施例中，如果上述变更作业时间控制区间请求为删除主流程中的试验流程，则在删除试验流程后，可以确定已删除的试验流程是否设置有安全作业时间；若是，则输出提醒消息，提醒用户删除已删除的试验流程对应的安全作业时间。

本申请实施例所提供的工艺流程管理方法，在新增或修改试验流程替换主流程中的子流程后，如果新增或修改后的试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内，则确定该试验流程是否已设置安全作业时间；若否，则提醒用户对该试验流程设置安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制。

基于上述实施例中所描述的内容，在一些实施例中，上述变更作业时间控制区间请求还可以是新增或修改主流程中的作业时间控制区间。

在一些实施例中，在上述变更作业时间控制区间请求为新增或修改主流程中的作业时间控制区间时，确定新增或修改后的第一作业时间控制区间；同时，确定是否存在第一试验流程替换主流程中的第一子流程，若存在第一试验流程，则输出提醒消息，提醒用户对第一试验流程设置安全作业时间。

为了更好的理解本申请实施例，参照图5，图5为本申请实施例提供的另一种流程项目变更示意图。

如图5所示，上述主流程具有按预设顺序设置的多个主工艺步骤，包括步骤a、步骤b、步骤c、……、步骤i、步骤j、……；主流程中设置有“作业时间控制区间a～c”与“作业时间控制区间h～j”，“作业时间控制区间a～c”用以控制步骤a、步骤b、步骤c总的作业时长在60min内；“作业时间控制区间h～j”用以控制步骤h、步骤i、步骤j总的作业时长在30min内。

另外，上述主流程中还包括实验流程S1与实验流程S2。

假设上述变更作业时间控制区间请求为在主流程中新增“作业时间控制区间d～f”，用以控制步骤d、步骤e、步骤f总的作业时长在90min内。从图5中可以看出，实验流程S1、实验流程S2均与“作业时间控制区间d～f”具有交集，为了控制实验流程S1、实验流程S2的作业时长，需要提醒用户对实验流程S1、实验流程S2设置安全作业时间。

在一些实施例中，在上述变更作业时间控制区间请求为删除主流程中的作业时间控制区间时，可以在删除对应的作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与结束作业节点与已删除的作业时间控制区间相同的目标子流程；若存在该目标子流程，则输出提醒消息，提醒用户删除该目标子流程。

本申请实施例所提供的工艺流程管理方法，在变更主流程中的作业时间控制区间后，如果主流程中存在与变更后的作业时间控制区间存在交集的试验流程，则确定该试验流程是否已设置安全作业时间；若否，则提醒用户对该试验流程设置安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制。

基于上述实施例中所描述的内容，在一些实施例中，假设将试验流程的起始作业节点称为切出作业节点，将试验流程的结束作业节点称为切入作业节点。另外，将主流程中的作业时间控制区间的起始作业节点称为起始触发时间节点，将作业时间控制区间的结束作业节点称为结束触发时间节点。

则在一种可行的实施方式中，可以通过在主流程上指定切出作业节点与切入作业节点，来在主流程上新增试验流程；通过更换主流程上指定的切出作业节点和/或切入作业节点，来修改主流程上已有的试验流程；通过删除主流程上已指定的切出作业节点和切入作业节点，来删除主流程上已有的试验流程。

同理，可以通过在主流程上指定起始触发时间节点与结束触发时间节点，来在主流程上新增作业时间控制区间；通过更换主流程上指定的起始触发时间节点与结束触发时间节点，来修改主流程上已有的作业时间控制区间；通过删除主流程上已指定的起始触发时间节点与结束触发时间节点，来删除主流程上已有的作业时间控制区间。

为了更好的理解本申请实施例，参照图6，图6为本申请实施例提供的一种主流程变更后的简化示意图。

在一些实施例中，假设变更后的主流程中，切入作业节点1在起始触发时间节点与结束触发时间节点之间，切出作业节点1不在起始触发时间节点与结束触发时间节点之间；以及，切入作业节点2不在起始触发时间节点与结束触发时间节点之间，切出作业节点2在起始触发时间节点与结束触发时间节点之间。

在一种可行的实施方式中，如果起始触发时间节点与结束触发时间节点为主流程中原有指定的节点，则当切出作业节点1、切入作业节点1、切出作业节点2、切入作业节点2为新增或者修改后的作业节点时，需要确定切出作业节点1与切入作业节点1之间的试验流程、以及切出作业节点2与切入作业节点2之间的试验流程是否已设置有安全作业时间，若未设置，则输出提醒消息，以提醒用户设置安全作业时间。

当切出作业节点1、切入作业节点1、切出作业节点2、切入作业节点2为需要删除的作业节点时，则可以确定用户是否存在删除起始触发时间节点与结束触发时间节点的操作，若不存在，则输出提醒消息，提醒用户删除对应的安全作业时间，例如提醒用户删除起始触发时间节点与结束触发时间节点。

在另一种可行的实施方式中，如果切出作业节点1、切入作业节点1、切出作业节点2、切入作业节点2为主流程中原有设定的作业节点，则当起始触发时间节点与结束触发时间节点为新增或者修改后的作业节点时，需要确定切出作业节点1与切入作业节点1之间的试验流程、以及切出作业节点2与切入作业节点2之间的试验流程是否已设置有安全作业时间，若未设置，则输出提醒消息，以提醒用户设置安全作业时间。此时，用户可以通过在主流程中添加新的起始触发时间节点与结束触发时间节点的方式，来添加安全作业时间。

当起始触发时间节点与结束触发时间节点为需要删除的作业节点时，则可以确定用户是否存在删除切入作业节点与切出作业节点的操作，若不存在，则输出提醒消息，提醒用户删除对应的试验流程，例如提醒用户删除切出作业节点1、切入作业节点1、切出作业节点2、切入作业节点2。

为了更好的理解本申请实施例，在另一些实施例中，参照图7，图7为本申请实施例提供的另一种主流程变更后的简化示意图。

在一些实施例中，假设变更后的主流程中，切出作业节点在起始触发时间节点1与结束触发时间节点1之间，切入作业节点在起始触发时间节点2与结束触发时间节点2之间。

在一种可行的实施方式中，如果起始触发时间节点1与结束触发时间节点1、起始触发时间节点2与结束触发时间节点2为主流程中原有设定的节点，则当切出作业节点与切入作业节点为新增或者修改后的作业节点时，需要确定切出作业节点与切入作业节点之间的试验流程是否已设置有安全作业时间，若未设置，则输出提醒消息，以提醒用户设置安全作业时间。

当切出作业节点与切入作业节点为需要删除的作业节点时，则可以确定用户是否存在删除触发时间节点的操作，若不存在，则输出提醒消息，提醒用户删除对应的安全作业时间，例如提醒用户删除起始触发时间节点1、结束触发时间节点1、起始触发时间节点2与结束触发时间节点2。

在另一种可行的实施方式中，如果切出作业节点与切入作业节点为主流程中原有设定的作业节点，则当起始触发时间节点1、结束触发时间节点1、起始触发时间节点2与结束触发时间节点2为新增或者修改后的作业节点时，需要确定切出作业节点与切入作业节点之间的试验流程是否已设置有安全作业时间，若未设置，则输出提醒消息，以提醒用户设置安全作业时间。此时，用户可以通过在主流程中添加新的起始触发时间节点与结束触发时间节点的方式，来添加安全作业时间。

当起始触发时间节点1、结束触发时间节点1、起始触发时间节点2与结束触发时间节点2为需要删除的作业节点时，则可以确定用户是否存在删除切入作业节点与切出作业节点的操作，若不存在，则输出提醒消息，提醒用户删除对应的试验流程，例如提醒用户删除切出作业节点与切入作业节点。

本申请实施例所提供的工艺流程管理方法，当主流程中的切出作业节点与切入作业节点被相关的两个触发时间节点分割/跳过，或者相关的两个触发时间节点被切出作业节点与切入作业节点分割/跳过时，通过输出提醒消息来提醒用户设置新的安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制，既能够避免浪费生产资源，又能够保障生产效率和产品的质量，良率以及可靠性。

基于上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中还提供一种工艺流程管理装置。参照图8，图8为本申请实施例中提供的一种工艺流程管理装置的程序模块示意图，该工艺流程管理装置包括：

存储模块801，用于提供工件待加工的主流程，该主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，和位于各主工艺步骤前后以及相邻主工艺步骤之间的作业节点。

接收模块802，用于接收对工件的流程项目变更请求，该流程项目变更请求包括变更作业时间控制区间请求；其中，作业时间控制区间起始于第一作业节点，结束于第二作业节点，第一作业节点和第二作业节点取自主流程上的作业节点，且第一作业节点和第二作业节点之间至少包含一个主工艺步骤。

响应模块803，用于响应流程项目变更请求，输出第一提醒消息，第一提醒消息用于提醒用户对流程项目变更请求设置安全作业时间。

本申请实施例所提供的工艺流程管理方装置，在变更作业时间控制区间后，通过输出提醒消息来提醒用户设置新的安全作业时间，从而可以防止工艺流程的作业时长失去控制，既能够避免浪费生产资源，又能够保障生产效率。

在一种可行的实施方式中，上述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改试验流程替换所述主流程中的子流程，其中，所述试验流程和所述子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，第三作业节点和第四作业节点取自主流程上的作业节点，上述试验流程或子流程与上述作业时间控制区间具有交集。

在一种可行的实施方式中，响应模块803用于：

响应流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一试验流程；当第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内时，确定第一试验流程是否已设置安全作业时间；若第一试验流程未设置安全作业时间，则输出第一提醒消息，用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，上述变更作业时间控制区间请求还包括：删除试验流程。

响应模块803还用于：

在删除所述试验流程后，确定已删除的试验流程是否设置有安全作业时间；若已删除的试验流程设置有安全作业时间，则输出第三提醒消息，用于提醒用户删除所述已删除的试验流程对应的安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，上述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改上述作业时间控制区间。

在一种可行的实施方式中，响应模块803具体用于：

响应流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一作业时间控制区间；确定是否存在第一试验流程替换所述主流程中的第一子流程，其中，第一试验流程和第一子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，第三作业节点和第四作业节点取自所述主流程上的作业节点，且试验流程或子流程与第一作业时间控制区间具有交集；若存在第一试验流程，则输出第一提醒消息，用于提醒用户对第一试验流程设置安全作业时间。

在一种可行的实施方式中，变更作业时间控制区间请求包括：删除作业时间控制区间；

响应模块803还用于：

在删除作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与结束作业节点与已删除的作业时间控制区间相同的目标子流程；若存在目标子流程，则输出第二提醒消息，第二提醒消息用于提醒用户删除目标子流程。

需要说明的是，本申请实施例中存储模块801、接收模块802、响应模块803具体执行的内容与上述实施例中所描述的工艺流程管理方法中各个步骤所执行的内容一致，具体可以参阅上述实施例中所描述的工艺流程管理方法中的各个步骤，本申请实施例中不再赘述。

进一步的，基于上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中还提供了一种用户设备，该用户设备包括至少一个处理器和存储器；其中，存储器存储计算机执行指令；上述至少一个处理器执行存储器存储的计算机执行指令，以实现如上述实施例中所描述的工艺流程管理方法中的各个步骤。

为了更好的理解本申请实施例，参照图9，图9为本申请实施例提供的一种电子设备的硬件结构示意图。

如图9所示，本实施例的电子设备90包括：处理器901以及存储器902；其中：

存储器902，用于存储计算机执行指令；

处理器901，用于执行存储器存储的计算机执行指令，以实现上述实施例中所描述的工艺流程管理方法中各个步骤，具体可以参阅上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中不再赘述。

可选地，存储器902既可以是独立的，也可以跟处理器901集成在一起。

当存储器902独立设置时，该设备还包括总线903，用于连接所述存储器902和处理器901。

进一步的，基于上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，当处理器执行所述计算机执行指令时，可以实现上述实施例中所描述的工艺流程管理方法中各个步骤，具体可以参阅上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中不再赘述。

进一步的，基于上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中还提供了一种计算机程序产品，该计算机程序产品包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时，可以实现上述实施例中所描述的工艺流程管理方法中各个步骤，具体可以参阅上述实施例中所描述的内容，本申请实施例中不再赘述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的设备和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个模块可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。

另外，在本申请各个实施例中的各功能模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个模块单独物理存在，也可以两个或两个以上模块集成在一个单元中。上述模块集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。

上述以软件功能模块的形式实现的集成的模块，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。上述软件功能模块存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)或处理器(英文：processor)执行本申请各个实施例所述方法的部分步骤。

应理解，上述处理器可以是中央处理单元(英文：Central Processing Unit，简称：CPU)，还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(英文：Digital Signal Processor，简称：DSP)、专用集成电路(英文：Application Specific Integrated Circuit，简称：ASIC)等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。结合申请所公开的方法的步骤可以直接体现为硬件处理器执行完成，或者用处理器中的硬件及软件模块组合执行完成。

存储器可能包含高速RAM存储器，也可能还包括非易失性存储NVM，例如至少一个磁盘存储器，还可以为U盘、移动硬盘、只读存储器、磁盘或光盘等。

总线可以是工业标准体系结构(Industry Standard Architecture，ISA)总线、外部设备互连(Peripheral Component，PCI)总线或扩展工业标准体系结构(ExtendedIndustry Standard Architecture，EISA)总线等。总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，本申请附图中的总线并不限定仅有一根总线或一种类型的总线。

上述存储介质可以是由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现，如静态随机存取存储器(SRAM)，电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)，可擦除可编程只读存储器(EPROM)，可编程只读存储器(PROM)，只读存储器(ROM)，磁存储器，快闪存储器，磁盘或光盘。存储介质可以是通用或专用计算机能够存取的任何可用介质。

一种示例性的存储介质耦合至处理器，从而使处理器能够从该存储介质读取信息，且可向该存储介质写入信息。当然，存储介质也可以是处理器的组成部分。处理器和存储介质可以位于专用集成电路(Application Specific Integrated Circuits，简称：ASIC)中。当然，处理器和存储介质也可以作为分立组件存在于电子设备或主控设备中。

本领域普通技术人员可以理解：实现上述各方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成。前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中。该程序在执行时，执行包括上述各方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括：ROM、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (17)

1.一种工艺流程管理方法，其特征在于，包括：

提供工件待加工的主流程，所述主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，和位于各所述主工艺步骤前后以及相邻所述主工艺步骤之间的作业节点；

接收对所述工件的流程项目变更请求，所述流程项目变更请求包括变更作业时间控制区间请求；其中，所述作业时间控制区间起始于第一作业节点，结束于第二作业节点，所述第一作业节点和所述第二作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述第一作业节点和所述第二作业节点之间至少包含一个所述主工艺步骤；

响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述流程项目变更请求设置安全作业时间。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改试验流程替换所述主流程中的子流程，其中所述试验流程和所述子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，所述试验流程或所述子流程与所述作业时间控制区间具有交集。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，包括：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一试验流程；

当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内时，确定所述第一试验流程是否已设置安全作业时间；

若所述第一试验流程未设置安全作业时间，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求还包括：

删除所述试验流程；

所述方法还包括：

在删除所述试验流程后，确定已删除的试验流程是否设置有安全作业时间；

若所述已删除的试验流程设置有安全作业时间，则输出第三提醒消息，所述第三提醒消息用于提醒用户删除所述已删除的试验流程对应的安全作业时间。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求包括：新增或修改所述作业时间控制区间。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，包括：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一作业时间控制区间；

确定是否存在第一试验流程替换所述主流程中的第一子流程，其中，所述第一试验流程和所述第一子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述试验流程或所述子流程与所述第一作业时间控制区间具有交集；

若存在所述第一试验流程，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求包括：

删除所述作业时间控制区间；

所述方法还包括：

在删除所述作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与结束作业节点与已删除的所述作业时间控制区间相同的目标子流程；

若存在所述目标子流程，则输出第二提醒消息，所述第二提醒消息用于提醒用户删除所述目标子流程。

8.一种工艺流程管理装置，其特征在于，包括：

存储模块，用于提供工件待加工的主流程，所述主流程包括按预设顺序设置的多个主工艺步骤，和位于各所述主工艺步骤前后以及相邻所述主工艺步骤之间的作业节点；

接收模块，用于接收对所述工件的流程项目变更请求，所述流程项目变更请求包括变更作业时间控制区间请求；其中，所述作业时间控制区间起始于第一作业节点，结束于第二作业节点，所述第一作业节点和所述第二作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述第一作业节点和所述第二作业节点之间至少包含一个所述主工艺步骤；

响应模块，用于响应所述流程项目变更请求，输出第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述流程项目变更请求设置安全作业时间。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求包括：

新增或修改试验流程替换所述主流程中的子流程，其中所述试验流程和所述子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，所述试验流程或所述子流程与所述作业时间控制区间具有交集。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述响应模块用于：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一试验流程；

当所述第一试验流程的起始作业节点和结束作业节点不在同一个作业时间控制区间内时，确定所述第一试验流程是否已设置安全作业时间；

若所述第一试验流程未设置安全作业时间，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求还包括：

删除所述试验流程；

所述响应模块还用于：

在删除所述试验流程后，确定已删除的试验流程是否设置有安全作业时间；

若所述已删除的试验流程设置有安全作业时间，则输出第三提醒消息，所述第三提醒消息用于提醒用户删除所述已删除的试验流程对应的安全作业时间。

12.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求包括：新增或修改所述作业时间控制区间。

13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述响应模块具体用于：

响应所述流程项目变更请求，确定新增或修改后的第一作业时间控制区间；

确定是否存在第一试验流程替换所述主流程中的第一子流程，其中，所述第一试验流程和所述第一子流程均起始于第三作业节点，结束于第四作业节点，所述第三作业节点和所述第四作业节点取自所述主流程上的所述作业节点，且所述试验流程或所述子流程与所述第一作业时间控制区间具有交集；

若存在所述第一试验流程，则输出所述第一提醒消息，所述第一提醒消息用于提醒用户对所述第一试验流程设置安全作业时间。

14.根据权利要求13所述的装置，其特征在于，所述变更作业时间控制区间请求包括：

删除所述作业时间控制区间；

所述响应模块还用于：

在删除所述作业时间控制区间后，确定是否存在起始作业节点与结束作业节点与已删除的所述作业时间控制区间相同的目标子流程；

若存在所述目标子流程，则输出第二提醒消息，所述第二提醒消息用于提醒用户删除所述目标子流程。

15.一种电子设备，其特征在于，包括：至少一个处理器和存储器；

所述存储器存储计算机执行指令；

所述至少一个处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令，使得所述至少一个处理器执行如权利要求1至7任一项所述的工艺流程管理方法。

16.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令，当处理器执行所述计算机执行指令时，实现如权利要求1至7任一项所述的工艺流程管理方法。

17.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时，实现权利要求1至7任一项所述的工艺流程管理方法。

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