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CN111975818A - 手套箱内部自动防尘传输系统 - Google Patents

手套箱内部自动防尘传输系统 Download PDF

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CN111975818A CN202010845472.2A CN202010845472A CN111975818A CN 111975818 A CN111975818 A CN 111975818A CN 202010845472 A CN202010845472 A CN 202010845472A CN 111975818 A CN111975818 A CN 111975818A
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董招生
王云飞
王雷
周军
吴清财
李建华
王淦龙
咸云飞
吴佰胜
徐洪飞
朱军
武茂浦
吴鹏
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Jiangsu Jierui Information Technology Co Ltd
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Jiangsu Jierui Information Technology Co Ltd
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Abstract

一种手套箱内部自动防尘传输系统，该传输系统包括主支撑板和通过位置调节机构安装在主支撑板上的可调支撑板，在可调支撑板上横向安装有主驱动轴和用于驱动主驱动轴转动的动力机构，在主支撑板上纵向安装有若干与主驱动轴传动连接的从动轴，从动轴的两端分别延伸至主支撑板的两侧、并安装有用于石英基板传输的主传动轮，在主支撑板上还安装有若干与主传动轮配合的辅助支撑轮和导向装置。该传输系统设计合理、传输稳定，能够很好的满足在半导体芯片生产过程中手套箱内部传输时的传输平稳要求，并最大限度地减少了扬尘以及芯片传输过程中产生的微尘。

Description

手套箱内部自动防尘传输系统
技术领域
本发明涉及半导体芯片生产技术领域，特别是一种手套箱内部自动防尘传输系统。
背景技术
我国半导体市场进口率高，大部分的半导体器件是进口的；国内半导体产业收入远小于国内市场规模。随之信息技术的发展，目前半导体行业属于产业大发展的战略机遇期，半导体芯片生产环境要求高洁净度的无尘环境，MOCVD及CVD生产工艺环境要求更高。
手套箱是MOCVD及CVD生产工艺中常见的设备，多用于半导体芯片的装卸载使用，自动传输系统是手套箱中的关键设备，无尘洁净环境要求传输系统传输稳定，并最大限度地减少扬尘及传送过程中产生的微尘；因此，非常需要开发一种手套箱内部使用的自动防尘传输系统。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种传输稳定，并且能够尽量减少微尘产生的手套箱内部自动防尘传输系统。
本发明所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本发明是一种手套箱内部自动防尘传输系统，该传输系统包括主支撑板和通过位置调节机构安装在主支撑板上的可调支撑板，在可调支撑板上横向安装有主驱动轴和用于驱动主驱动轴转动的动力机构，在主支撑板上纵向安装有若干与主驱动轴传动连接的从动轴，从动轴的两端分别延伸至主支撑板的两侧、并安装有用于石英基板传输的主传动轮，在主支撑板上还安装有若干与主传动轮配合的辅助支撑轮和导向装置。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，所述位置调节机构包括固定支板、压紧螺栓和提拉螺栓，固定支板固定安装在主支撑板上，压紧螺栓和提拉螺栓均通过锁紧螺母安装在固定支板上，提拉螺栓的螺纹端与可调支撑板固定连接。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，所述动力机包括电机，主驱动轴通过支撑轴承固定安装在可调支撑板上，电机通过减速器与主驱动轴传动连接。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，所述支撑轴承为带盖轴承。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，在主驱动轴上固定安装有驱动皮带轮，在从动轴上固定安装有从动皮带轮，驱动皮带轮和从动皮带轮上套装有圆皮带。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，所述导向装置包括横向支撑杆、竖向支撑杆和安装在竖向支撑杆上的导向轮，横向支撑杆固定安装在主支撑板上，竖向支撑杆固定安装在横向支撑杆上。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，在主传动轮处的主支撑板上还固定安装有若干用于石英基板位置检测的接近开关。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，所述主传动轮和辅助支撑轮均采用陶瓷材料或peek材料制成。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现，对于以上所述的手套箱内部自动防尘传输系统，在主支撑板上还安装有用于主驱动轴、动力机构进行包覆的不锈钢罩。
与现有技术相比，本发明的显著优点：
1、本发明采用了圆皮带摩擦传动，比目前常用的同步带轮传动更加平稳；同时去除了常用圆皮带传动工程中需要惰轮进行张紧的结构，而采用了位置调节机构来调整驱动皮带轮与从动皮带轮的间距来实现；
2、本发明的轴承部件均采用了带盖轴承，主传动系统采用不锈钢罩包覆，且主传动轮及辅助支撑轮采用了陶瓷材料或peek材料，最大限度地减少了微尘产生，从而实现了防尘传动的目的。
附图说明
图1为本发明的一种结构示意图；
图2为本发明主驱动轴的安装结构示意图；
图3为本发明位置调节机构的结构示意图；
图4为本发明的一种使用状态图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图1-4，一种手套箱内部自动防尘传输系统，该传输系统包括主支撑板1和通过位置调节机构18安装在主支撑板1上的可调支撑板6，在可调支撑板6上横向安装有主驱动轴5和用于驱动主驱动轴5转动的动力机构2，在主支撑板1上纵向安装有若干与主驱动轴5传动连接的从动轴9，从动轴9的两端分别延伸至主支撑板1的两侧、并安装有用于石英基板19传输的主传动轮10，在主支撑板1上还安装有若干与主传动轮10配合的辅助支撑轮11和导向装置12，主传动轮10、辅助支撑轮11及导向装置12的位置精度均由主支撑板1的加工精度保证，从而保证了传动平稳；位置调节机构18的设置用于调整可调支撑板6的高度位置，进而调整主驱动轴5与从动轴9之间的传动距离，从而达到传动平稳的目的；从动轴9均通过轴承和轴承座安装在主支撑板1上，便于转动；动力机构2驱动主驱动轴5转动，进而带动从动轴9转动，再通过从动轴9带动主传动轮10转动，实现石英基板19的传输，辅助支撑轮11与导向装置12用于与主传动轮10配合，实现石英基板19的平稳、精确传输；主传动轮10、辅助支撑轮11和导向装置12的数量一致，按照主传动轮10、导向装置12、辅助支撑轮11的顺序依次重复设置。
所述位置调节机构18包括固定支板16、压紧螺栓14和提拉螺栓17，固定支板16固定安装在主支撑板1上，压紧螺栓14和提拉螺栓17均通过锁紧螺母15安装在固定支板16上，固定支板16上设置有与压紧螺栓14和提拉螺栓17配合的安装孔，提拉螺栓17的螺纹端与可调支撑板6固定连接。在可调支撑板6上设置有滑块，在主支撑板1上设置有于滑块配合的腰型孔，便于可调支撑板6调整位置；压紧螺栓14和提拉螺栓17上均旋接有分别设置在固定支板16上下两侧的上锁紧螺母15和下锁紧螺母15，通过旋转提拉螺栓17上的上锁紧螺母15和下锁紧螺母15可以调整可调支撑板6的高度位置，通过旋转压紧螺栓14上的上锁紧螺母15和下锁紧螺母15可以对可调支撑板6进行压紧、固定，避免可调支撑板6发生晃动，保证传输的稳定性。
所述动力机包括电机，主驱动轴5通过支撑轴承3固定安装在可调支撑板6上，电机通过减速器与主驱动轴5传动连接。本申请采用的电机为减速电机，通过传动齿轮驱动主驱动轴5转动，进而带动从动轴9转动，实现主传动轮10转动，对石英基板19进行传输。
所述支撑轴承3为带盖轴承。带盖轴承为现有技术中带有防尘盖的轴承，既可以防止外界灰尘进入轴承，又可防止轴承内部的灰尘移出轴承。
在主驱动轴5上固定安装有驱动皮带轮4，在从动轴9上固定安装有从动皮带轮8，驱动皮带轮4和从动皮带轮8上套装有圆皮带7。主驱动轴5与从动轴9垂直，驱动皮带轮4与从动皮带轮8也垂直，从而圆皮带7呈近8字形交叉传动；驱动皮带轮4设置有若干，便于通过多条圆皮带7带动多组从动轴9同时转动。
所述导向装置12包括横向支撑杆、竖向支撑杆和安装在竖向支撑杆上的导向轮，横向支撑杆固定安装在主支撑板1上，竖向支撑杆固定安装在横向支撑杆上。导向轮用于与石英基板19进行配合，对石英基板19进行导向，避免石英基板19跑偏；竖向支撑杆用于对导向轮进行竖向支撑，横向支杆用于对导向轮进行横向支撑。
在主传动轮10处的主支撑板1上还固定安装有若干用于石英基板19位置检测的接近开关13。主支撑板1的两侧均至少设置有3个接近开关13，用于对石英基板19的传进与传出进行检测，便于了解该传输系统上是否有石英基板19。
所述主传动轮10和辅助支撑轮11均采用陶瓷材料或peek材料制成。陶瓷材料和peek材料硬度都比较高，耐磨性好，不易损坏，既能够进行石英基板19的传输，又能够最大限度地减少了微尘产生，实现了防尘传动的目的。
在主支撑板1上还安装有用于主驱动轴5、动力机构2进行包覆的不锈钢罩。不锈钢罩的设置用于覆盖到该传输系统的主驱动部分，以减少微尘。
本发明的发明点在于：
（1）本发明采用了圆皮带摩擦传动，比目前常用的同步带轮传动更加平稳；同时去除了常用圆皮带传动工程中需要惰轮进行张紧的结构，而采用了螺钉拉顶机构来调整驱动皮带轮与从动皮带轮的间距来实现。
（2）本发明的轴承部件均采用了带盖轴承、主传动系统采用不锈钢罩包覆，且主传动轮及辅助支撑轮采用了陶瓷材料或peek材料，最大限度地减少了微尘产生。从而实现了防尘传动的目的。

Claims (9)

1.一种手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：该传输系统包括主支撑板和通过位置调节机构安装在主支撑板上的可调支撑板，在可调支撑板上横向安装有主驱动轴和用于驱动主驱动轴转动的动力机构，在主支撑板上纵向安装有若干与主驱动轴传动连接的从动轴，从动轴的两端分别延伸至主支撑板的两侧、并安装有用于石英基板传输的主传动轮，在主支撑板上还安装有若干与主传动轮配合的辅助支撑轮和导向装置。
2.根据权利要求1所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：所述位置调节机构包括固定支板、压紧螺栓和提拉螺栓，固定支板固定安装在主支撑板上，压紧螺栓和提拉螺栓均通过锁紧螺母安装在固定支板上，提拉螺栓的螺纹端与可调支撑板固定连接。
3.根据权利要求1所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：所述动力机包括电机，主驱动轴通过支撑轴承固定安装在可调支撑板上，电机通过减速器与主驱动轴传动连接。
4.根据权利要求3所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：所述支撑轴承为带盖轴承。
5.根据权利要求1所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：在主驱动轴上固定安装有驱动皮带轮，在从动轴上固定安装有从动皮带轮，驱动皮带轮和从动皮带轮上套装有圆皮带。
6.根据权利要求1所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：所述导向装置包括横向支撑杆、竖向支撑杆和安装在竖向支撑杆上的导向轮，横向支撑杆固定安装在主支撑板上，竖向支撑杆固定安装在横向支撑杆上。
7.根据权利要求1所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：在主传动轮处的主支撑板上还固定安装有若干用于石英基板位置检测的接近开关。
8.根据权利要求1所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：所述主传动轮和辅助支撑轮均采用陶瓷材料或peek材料制成。
9.根据权利要求1所述的手套箱内部自动防尘传输系统，其特征在于：在主支撑板上还安装有用于主驱动轴、动力机构进行包覆的不锈钢罩。
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