CN111826628B - 一种使用磁铁控制石英坩埚的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，属于石英坩埚设备技术领域，包括石英坩埚本体和加热炉本体，石英坩埚本体设置在加热炉本体内；石英坩埚本体包括石英管、石英盖板和石英坩埚座，石英管固定连接在石英坩埚座上，石英坩埚座内设有腔体，石英盖板活动连接在石英坩埚座的腔体内，石英管内设有耐高温金属丝，耐高温金属丝的一端连接有钕铁硼磁铁，钕铁硼磁铁位于石英管内，耐高温金属丝的另一端连接有氧化铝线，氧化铝线贯穿石英管的内壁，氧化铝线的一端连接在石英盖板上，石英管的一端外侧套设有与钕铁硼磁铁配合的钕铁硼磁环；本发明解决了现有技术中石英坩埚的位置固定无法移动和无法控制打开和闭合的石英坩埚的问题。
Description
技术领域
本发明涉及石英坩埚设备技术领域，更具体地说，涉及一种使用磁铁控制石英坩埚的装置。
背景技术
现有石英坩埚直接水平放置在炉管内，炉子烧结之前放进去，只能放置在一个固定位置，烧结过程中不能移动，也不能倾斜，不利于样品在不同温度下实现沉积或者镀膜。亟需一种可以在真空状态下控制打开和闭合的石英坩埚，通过移动小石英管上钕铁硼磁环，利用控制钕铁硼磁环与磁铁之间的磁力来实现石英坩埚的打开和闭合，以合理的对基片实行沉积或者蒸镀。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，解决了现有技术中石英坩埚的位置固定无法移动和无法控制打开和闭合的石英坩埚的问题。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现：
一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，包括石英坩埚本体和加热炉本体，所述石英坩埚本体设置在加热炉本体内；所述石英坩埚本体包括石英管、石英盖板和石英坩埚座，所述石英管固定连接在石英坩埚座上，所述石英坩埚座内设有腔体，所述石英盖板活动连接在石英坩埚座的腔体内，石英管内设有耐高温金属丝，所述耐高温金属丝的一端连接有钕铁硼磁铁，所述钕铁硼磁铁位于石英管内，所述耐高温金属丝的另一端连接有氧化铝线，所述氧化铝线贯穿石英管的内壁，所述氧化铝线的一端连接在石英盖板上，石英管的一端外侧套设有与钕铁硼磁铁配合的钕铁硼磁环。
作为本发明的一种优选方案，所述石英坩埚座与水平面呈度倾斜放置。
作为本发明的一种优选方案，所述石英盖板与水平面呈度倾斜放置。
作为本发明的一种优选方案，所述石英管为单端封口管。
作为本发明的一种优选方案，所述加热炉本体包括石英通道管和炉体保温层，所述炉体保温层套设在石英通道管上，所述石英通道管一端设有第一法兰，所述，所述石英通道管另一端设有第二法兰，所述第一法兰上固定连接有第一进气通道、第二进气通道和第三进气通道，所述第一进气通道、第二进气通道和第三进气通道上均设有第一波纹管，所述第一进气通道的一端连接有第一蒸发源，所述第二进气通道的一端连接有第二蒸发源，所述第三进气通道的一端连接有第三蒸发源，所述第二法兰上固定连接有坩埚管，所述坩埚管上设有第二波纹管。
本发明的有益效果：
本发明结构设计合理，石英坩埚座倾斜放置，设置石英盖板可以控制打开和闭合，并可以随时被移动，方便基片在加热炉本体的炉膛内随时选择合适的位置进行完全蒸镀或者镀膜，为整个实验节约了时间并使整个实验方便操作。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实施例的结构示意图；
图2为石英坩埚本体的立体图；
图3为石英坩埚本体的俯视图；
图4为图3中AA处的剖视图。
图中标号说明：
1、基片；2、石英盖板；3、氧化铝线；4、石英坩埚座；5、石英管；6、耐高温金属丝；7、钕铁硼磁环；8、钕铁硼磁铁；9、第一波纹管；10、第一法兰；11、炉体保温层；12、第二法兰；13、第二波纹管；14、坩埚管；15、石英通道管；16、第一蒸发源；17、第二蒸发源；18、第三蒸发源；19、第一进气通道；20、第二进气通道；21、第三进气通道；22、石英坩埚本体；23、加热炉本体。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1所示，一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，包括石英坩埚本体22和加热炉本体23，如图2、图3和图4所示，石英坩埚本体22设置在加热炉本体23内；石英坩埚本体22包括石英管5、石英盖板2和石英坩埚座4，石英管5固定连接在石英坩埚座4上，石英坩埚座4内设有腔体，石英盖板2活动连接在石英坩埚座4的腔体内，石英管5内设有耐高温金属丝6，耐高温金属丝6的一端连接有钕铁硼磁铁8，钕铁硼磁铁8位于石英管5内，耐高温金属丝6的另一端连接有氧化铝线3，氧化铝线3贯穿石英管5的内壁，氧化铝线3的一端连接在石英盖板2上，石英管5的一端外侧套设有与钕铁硼磁铁8配合的钕铁硼磁环7。基片1放置在石英坩埚座4内，移动石英盖板2以实现石英坩埚本体22的打开和闭合。石英管5内为真空状态。钕铁硼磁环7通过吸引力控制钕铁硼磁铁8单端封口的石英管5内的耐高温金属丝6和氧化铝线3实现对石英盖板2的移动，从而实现石英坩埚本体22的打开和闭合，方便对基片1进行物理化学沉积或者蒸镀。
石英坩埚座4与水平面呈45度倾斜放置，以方便基片被物理化学沉积或者蒸镀。石英盖板2与水平面呈45度倾斜放置。石英盖板2以45度倾斜上下移动，实现石英坩埚的打开和闭合，方便基片被物理化学沉积或者蒸镀。石英管5为单端封口管。
如图1所示，加热炉本体23包括石英通道管15和炉体保温层11，炉体保温层11套设在石英通道管15上，石英通道管15一端设有第一法兰10，，石英通道管15另一端设有第二法兰12，第一法兰10上固定连接有第一进气通道19、第二进气通道20和第三进气通道21，第一进气通道19、第二进气通道20和第三进气通道21上均设有第一波纹管9，第一进气通道19的一端连接有第一蒸发源16，第二进气通道20的一端连接有第一蒸发源16，第三进气通道21的一端连接有第三蒸发源18，第二法兰12上固定连接有坩埚管14，坩埚管14上设有第二波纹管13。第一波纹管9和第二波纹管13可以伸长或者压缩。通过拉伸或者压缩第一波纹管9控制第一蒸发源16、第二蒸发源17和第三蒸发源18在加热炉本体23内的位置，进而控制加热炉。通过拉伸或者压缩第二波纹管13控制石英坩埚本体22在加热炉本体23内的位置，进而控制加热炉。
本方案结构设计合理，石英坩埚座4倾斜放置，设置石英盖板2可以控制打开和闭合，并可以随时被移动，方便基片1在加热炉本体23的炉膛内随时选择合适的位置进行完全蒸镀或者镀膜，为整个实验节约了时间并使整个实验方便操作。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。
Claims (3)
1.一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，其特征在于：包括石英坩埚本体(22)和加热炉本体(23)，所述石英坩埚本体(22)设置在加热炉本体(23)内；所述石英坩埚本体(22)包括石英管(5)、石英盖板(2)和石英坩埚座(4)，所述石英管(5)固定连接在石英坩埚座(4)上，所述石英坩埚座(4)内设有腔体，所述石英盖板(2)活动连接在石英坩埚座(4)的腔体内，石英管(5)内设有耐高温金属丝(6)，所述耐高温金属丝(6)的一端连接有钕铁硼磁铁(8)，所述钕铁硼磁铁(8)位于石英管(5)内，所述耐高温金属丝(6)的另一端连接有氧化铝线(3)，所述氧化铝线(3)贯穿石英管(5)的内壁，所述氧化铝线(3)的一端连接在石英盖板(2)上，石英管(5)的一端外侧套设有与钕铁硼磁铁(8)配合的钕铁硼磁环(7)，所述石英坩埚座(4)与水平面呈45度倾斜放置，所述石英盖板(2)与水平面呈45度倾斜放置。
2.根据权利要求1所述的一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，其特征在于：所述石英管(5)为单端封口管。
3.根据权利要求1所述的一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，其特征在于：所述加热炉本体(23)包括石英通道管(15)和炉体保温层(11)，所述炉体保温层(11)套设在石英通道管(15)上，所述石英通道管(15)一端设有第一法兰(10)，所述石英通道管(15)另一端设有第二法兰(12)，所述第一法兰(10)上固定连接有第一进气通道(19)、第二进气通道(20)和第三进气通道(21)，所述第一进气通道(19)、第二进气通道(20)和第三进气通道(21)上均设有第一波纹管(9)，所述第一进气通道(19)的一端连接有第一蒸发源(16)，所述第二进气通道(20)的一端连接有第二蒸发源(17)，所述第三进气通道(21)的一端连接有第三蒸发源(18)，所述第二法兰(12)上固定连接有坩埚管(14)，所述坩埚管(14)上设有第二波纹管(13)。
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