CN111699285B - 电解研磨用电极框架及包括其的电解研磨装置 - Google Patents

Abstract

实施例涉及电解研磨用电极框架及包括其的电解研磨装置。实施例的电解研磨用电极框架作为在内部配备有容纳电解研磨对象物和电解液的容纳空间的电解槽中使用的电极框架，可以包括：电极放置构件，其结合于所述电解研磨对象物的至少一个以上的凸出部；及第一负极框架，其以格子结构形成，至少一个以上的一侧与所述电极放置构件结合，与所述电解研磨对象物的研磨面隔开既定间隔配置。所述电极放置构件可以包括与所述电解研磨对象物的凸出部结合的第一面、与所述第一负极框架结合的第二面。所述电极放置构件即使不利用放出口，也可以与所述电解研磨对象物的凸出部结合。

Description

电解研磨用电极框架及包括其的电解研磨装置

技术领域

实施例涉及电解研磨用电极框架及包括其的电解研磨装置，涉及一种用于提高电解研磨对象物的研磨品质的电解研磨装置。

背景技术

一般而言，电解研磨(Electro polishing)是一种将溶解于电解液的金属制品用作正极(Anode)、将在电解液中不溶性的金属用作负极(Cathode)，通过向所述正极与负极之间施加电压，在作为电解研磨对象物的金属制品的表面引起电解来研磨金属制品表面的方法。

为了利用电解研磨来研磨金属，在电解槽中填充电解液，将要研磨的金属安装为正极，将不溶解于电解液的金属安装为负极，然后向正极和负极施加直流。

进行电解研磨后，大量含有从正极溶解的金属离子的高粘度液体层(粘性层)包围正极。在因金属离子而饱和的液体层中，金属不再溶解，形成高正极电位，因而与氧活跃地结合而形成氧化物皮膜。此时，溶解的金属离子主要累积于金属表面的凹陷部分，在凹陷部分，金属离子的移动和扩散小，电气导通不畅，因而金属不溶解。相反，在金属表面的凸出部分，金属离子层形成得薄，因而电流集中，容易使金属表面溶解，整体而言，金属表面变得平滑。

电解研磨通过电解研磨装置实施，以往技术的电解研磨装置在电解槽内配置具有正极电位的电解研磨对象物，使负极板隔开地配置于所述电解研磨对象物的研磨面而构成。负极板应根据电解研磨对象物的形状而变更，因而根据电解研磨对象物的形状组装后，安装于电解槽内。

如上所述组装的负极板应以不与电解研磨对象物接触的方式安装于电解槽内。可是，负极板只有与电解研磨对象物接近地保持既定距离并配置，才能实现均一研磨，提高电解研磨品质。

但是在以往技术中，实际上无法将负极板以与电解研磨对象物接近地保持既定距离的方式坚固地配置。

另一方面，本件申请的发明人研发了在电解研磨对象物上形成的放出口使用负极托架而在使负极板接近电解研磨对象物一侧的同时均一地固定的发明，并获专利授权(参照韩国授权专利10-1183218号)。

但是，电解研磨对象物由于其形状多种多样，因而发生在电解研磨对象物上没有诸如放出口的放置区域的情形。因此，碰到了无法使负极板在接近电解研磨对象物的同时均一地安装的技术问题。

现在，作为原有行业技术，将负极棒垂挂于电解槽，或以负极网形态形成大网后，将其垂挂于电解槽而大致地进行电解研磨，但却是电解研磨品质或工序效率非常低的状态。

另外，当电解研磨对象物无诸如放出口的放置区域时，根据电解研磨对象物的形状，发生需每次独立地设置负极板的放置区域的麻烦。因此，设置放置区域直到执行电解研磨所需的时间相当长，发生组装费用上升的问题。特别是当电解研磨对象物的形状为相当复杂的结构时，发生无法将负极框架设置于电解研磨对象物一侧的情形。

现在，作为原有行业的技术，负极框架设置不触及研磨对象构件程度的距离而将负极棒垂挂于电解槽，或以负极网形态形成大网后，将其垂挂于电解槽，大致进行电解研磨，但负极棒或负极网无法与研磨对象构件均一且接近地固定，因而实际上电解研磨品质或工序效率很低。

另一方面，以往技术的负极板借助于作为另外的支撑构件的夹具而支撑，但负极板与电解研磨对象物之间的距离非常接近地配置，因而难以在负极板与电解研磨对象物之间的狭小空间安装夹具。即，由于夹具以导电性材质形成，因此，如果夹具与正极的电解研磨对象物接触，则与具有负极的负极板发生电气短路。

发明内容

(要解决的技术问题)

实施例目的在于提供一种用于即使在没有另外的放出口的区域，也将负极框架接近并均一地安装于电解研磨对象物一侧的电解研磨用电极框架及包括其的电解研磨装置。

另外，实施例又一目的是提供一种用于防止因夹具而在负极板与电解研磨对象物之间的电气短路的电解研磨装置。

另外，实施例目的是提供一种用于在没有另外的托架的电解研磨对象物一侧有效设置负极框架的电解研磨装置。

另外，实施例又一目的是提供一种用于防止因夹具而发生负极板与电解研磨对象物之间的电气短路的电解研磨装置。

(解决问题的手段)

实施例的电解研磨用电极框架作为在内部配备有容纳电解研磨对象物和电解液的容纳空间的电解槽中使用的电极框架，可以包括：电极放置构件，其结合于所述电解研磨对象物的至少一个以上的凸出部；及第一负极框架，其以格子结构形成，至少一个以上的一侧与所述电极放置构件结合，与所述电解研磨对象物的研磨面隔开既定间隔配置。

所述电极放置构件可以包括与所述电解研磨对象物的凸出部结合的第一面、与所述第一负极框架结合的第二面。

所述电极放置构件即使不利用放出口，也可以与所述电解研磨对象物的凸出部结合。

另外，实用例的电解研磨用电极框架作为在内部配备有容纳电解研磨对象物和电解液的容纳空间的电解槽使用的电极框架，可以包括：负极框架，其配置于所述电解研磨对象物的研磨面的一侧；及电极隔开构件，其结合于所述负极框架，使所述负极框架从所述电解研磨对象物的底面隔开。

所述电极隔开构件可以包括接合于所述电解研磨对象物的底面并支撑所述负极框架的第一电极隔开构件。

所述第一电极隔开构件即使不利用放出口，也可以支撑所述负极框架。

实施例的电解研磨装置可以包括所述电极框架。

(发明的效果)

实施例通过对可以利用在电解研磨对象物上形成的凸出部来支撑负极框架的电极放置构件进行配置，从而具有即使在没有放出口的区域的电解研磨对象物上，也可以有效安装负极框架的效果。

另外，实施例在对相同的制品进行电解研磨时，可以将已经组装的负极框架组装于电极放置构件进行研磨，因而具有可以缩短负极框架安装及拆卸所需时间及研磨时间的效果。

另外，实施例具有的效果是，即使电解研磨对象物的底部或侧壁部中某一者没有凸出部，也可以在电解研磨对象物的全体研磨面容易地安装负极框架。

另外，实施例通过在电极放置构件上配置负极框架托架，从而具有可以提高负极框架的结合位置的自由度、有效安装电极框架的效果。

另外，实施例的夹具还形成绝缘部，从而具有可以在负极框架与电解研磨对象物之间的狭小空间可以容易地安装的效果。

另外，实施例通过在负极框架一侧配置电极隔开构件，使负极框架配置于电解研磨对象物上，从而可以将负极框架有效地配置于没有另外的托架的电解研磨对象物的内部或外部，因而可以将负极框架迅速配置于电解研磨对象物，可以在提高电解研磨的工序效率的同时接近且均一地配置，电解研磨的品质可以显著提高。

另外，实施例逐渐减小地形成电极隔开构件的下部宽度，插入结合于在电解研磨对象物的底部形成的槽或孔，从而具有能够更有效地固定负极框架的效果。

实施例通过使电极隔开构件配置于电解研磨对象物的侧壁部上部，从而具有在使负极框架从电解研磨对象物的底部隔开的同时可以稳定地支撑负极框架的效果。

另外，实施例通过使电极隔开构件不与电解研磨对象物的底部接触地配置，从而具有能够防止因电极隔开构件与电解研磨对象物接触导致的损伤的效果。

另外，实施例通过利用支架，从而具有可以将负极框架有效安装于电解研磨对象物的内侧及外侧的效果。

附图说明

图1是显示第一实施例的电解研磨装置的分解立体图。

图2是显示第一实施例的电解研磨装置的结合立体图。

图3是显示第一实施例的电解研磨装置的电极框架结合的状态的结合立体图。

图4a及图4b是显示第一实施例的电解研磨装置的夹具的立体图。

图5是显示第一实施例的电解研磨装置的负极框架的变形例的立体图。

图6至图8是显示第一实施例的电解研磨装置的变形例的立体图。

图9是显示第二实施例的电解研磨装置的剖面图。

图10是显示图9的电极隔开构件的立体图。

图11是显示图9的电极隔开构件固定于电解研磨对象物的状态的概略立体图。

图12至图14是显示第二实施例的电极隔开构件的多样结构的立体图。

图15是显示图9的负极框架的变形例的立体图。

图16及图17是显示第二实施例的电解研磨装置的变形例的剖面图。

图18是显示图17的负极框架结合于支架的状态的立体图。

图19是显示第二实施例的电解研磨装置另一变形例的剖面图。

具体实施方式

下面参照附图，详细说明实施例。

图1是显示第一实施例的电解研磨装置的分解立体图，图2是显示第一实施例的电解研磨装置的结合立体图，图3是显示第一实施例的电解研磨装置的电极框架结合的状态的结合立体图，图4a及图4b是显示第一实施例的电解研磨装置的夹具的立体图，图5是显示第一实施例的电解研磨装置的负极框架的变形例的立体图。

在实施例中，电极框架可以包括负极框架，但并非限定于此。

如果参照图1及图2，第一实施例的电解研磨用电极框架作为在内部配备有容纳电解研磨对象物200和电解液的容纳空间的电解槽100中使用的电解研磨用电极框架，可以包括：多个电极放置构件400，其结合于所述电解研磨对象物200的至少一个以上的凸出部210；负极框架300，其以格子结构形成，至少一个以上的一侧与所述多个电极放置构件400结合，与所述电解研磨对象物200的研磨面隔开既定间隔配置。

另外，第一实施例的电解研磨装置可以包括：电解槽100，其在内部配备有容纳在研磨面形成有既定形状的凸出部210的电解研磨对象物200和电解液的容纳空间；多个电极放置构件400，其结合于所述电解研磨对象物200的至少一个以上的凸出部；负极框架300，其以格子结构形成，至少一个以上的一侧与所述多个电极放置构件400结合，与所述电解研磨对象物200的研磨面隔开既定间隔配置。

在图1中，图示了凸出部210在电解研磨对象物200的上侧形成的示例，但并非限定于此，也可以在电解研磨对象物200的侧面或下面形成。

电解槽100可以以在内部配备有容纳空间的箱形状形成。电解槽100可以包括圆筒形、多边箱或环形状，但其形状并不限定。

在电解槽100的内部可以填充有电解液。作为电解液，可以将从由蒸馏水(H₂O)、硫酸(H₂SO₄)类、磷酸(H₃PO₄)类、铬酸类、硝酸钠(NaNO₃)、氯化钠(NaCl)、甘油类构成的组中选择的至少一种物质混合构成，但并不限定于此。

电解液可以在填充于电解槽100的状态下，在结束电解研磨对象物200的电解研磨后更换。不同于此，电解液可以借助于在电解槽100的一侧独立地形成的泵而流入、流出。在电解槽100与泵之间，可以形成有电解液流入管、电解液流出管，可以还包括电解液流量调节部、过滤器。过滤器可以过滤电解液中包含的加工物渣滓及异物质。

在电解槽100的内部可以容纳电解研磨对象物200。电解槽100的大小可以大于电解研磨对象物200地形成。电解研磨对象物200可以为多边形的板状，但并不限定于此。电解研磨对象物200可以为多边形或圆筒形的腔室或箱子。电解研磨对象物200可以是用于OLED制造的腔室。另一方面，在电解研磨对象物200为OLED用腔室或LED用MOCVD腔室等的情况下，也存在其重量为数百kg到数千kg(数吨)的巨大的情形。

另外，电解研磨对象物200也可以是OLED腔室的一部分构成部件。电解研磨对象物200可以为板、箱形状或上下贯通形成的环形状。

电解研磨对象物200并不限定于此，可以将所有金属材质制品指定为电解研磨对象物。电解研磨对象物200浸于电解液110内。电解研磨对象物200的研磨面可以包括电解研磨对象物200的所有表面。

在电解槽100的一侧可以还配置有整流器。整流器可以向电解研磨对象物200接入正极(+)电压，可以向负极框架300接入负极(-)电压。整流器借助于电线等而可以向电解研磨对象物200接入电。

负极框架300可以配置于电解研磨对象物200的研磨面的一侧。负极框架300可以与电解研磨对象物200的研磨面隔开既定间隔均一地配置。例如，负极框架300与电解研磨对象物200按50mm±20mm距离均一地隔开配置，因而电解研磨效率提高，电解研磨品质非常优秀。

负极框架300可以包括格子结构的板形状。负极框架300也可是导电率及耐酸性卓越的不锈钢材料，但并不限定于此。负极框架300可以为条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、圆形状、线网形状、孔板形状的板。

负极框架300可以包括第一负极板310和第二负极板330。第一负极板310和第二负极板330可以配置得构成格子结构。第一负极板310可以以条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、圆形状、线网形状、孔板金属形状形成，但并不限定于此。第一负极板310可以由多个板构成，构成得相互隔开配置。

第二负极板330可以与第一负极板310的形状相同地形成，但并不限定于此。第二负极板330可以由多个板构成，配置得相互隔开。第一负极板310和第二负极板330可以配置得构成90度，但并不限定于此。

第一负极板310与第二负极板330交叉的区域，可以通过包括铆钉(Rivet)、螺栓(Bolt)或焊接等的通常的组装装置而结合。不同于此，第一负极板310与第二负极板330交叉的区域，也可以借助于C型夹具而固定。

上面对负极框架具有固定长度的结构进行了说明，但可以使用使负极框架大小随着电解研磨对象物增大而可变的可变结构的负极框架。

如图5所示，负极框架300可以包括第一负极板310和第二负极板330。第一负极板310和第二负极板330可以配置得构成格子结构。

第一负极板310可以由多个支架构成，可以以其长度能够变长或减小的方式构成。第二负极板330的结构可以与第一负极板310的结构相同。下面，以第一负极板310的结构为中心进行说明。

第一负极板310可以构成得使多个支架连接。第一负极板310可以一部分重叠地配置，向相互远离或靠近的方向移动。第一负极板310可以由3个以上支架构成，但出于说明的便利，以第一负极板310由第一支架312和与所述第一支架312连接的第二支架314构成的结构为中心进行说明。

第一支架312可以为L字形状，但并不限定于此。第一支架312的一部分区域可以与第二支架314的一部分区域重叠形成。第一支架312与第二支架314的重叠的区域可以借助于C型夹具500而支撑，在这种重叠的区域配置的C型夹具500可以称为第三夹具。

第一支架312与第二支架314可以沿相互远离或靠近的方向移动。C型夹具500可以以第一支架312与第二支架314可以相互移动的程度的力，支撑第一支架312和第二支架314。不同于此，C型夹具400可以在使第一支架312和第二支架314移动后，进一步施加固定力，支撑第一支架312和第二支架314。

第二负极板330可以与第一负极板310相同地包括第一支架和第二支架。第二负极板330可以杆形状的板形成，但并不限定于此。第二负极板330的第一支架332可以沿从第二支架334远离或靠近的方向移动。

第二负极板330的第一支架332和第二支架334可以一部分重叠地配置。第二负极板330的第一支架332与第二支架334的重叠的区域，可以借助于C型夹具500而支撑。因此，第二负极板330长度可变。

返回图1，负极框架300如果与正极的电解研磨对象物200接触，则发生短路。为了防止这种情况，负极框架300应构成得与电解研磨对象物200的研磨面隔开。

以往，使负极框架300固定于在电解研磨对象物200上形成的放出口，但在本实施例中，当在电解研磨对象物200上无放出口时，为了安装负极框架300而可以配备有电极放置构件400。

电极放置构件400可以包括L字形状、条(bar)形状、角形状、棒形状，但并不限定于此。

电极放置构件400可以结合于电解研磨对象物200的一侧。例如，电极放置构件400可以结合于在电解研磨对象物200上形成的加强肋(Rib)而形成。电极放置构件400可以配置有多个。通常而言，在电解研磨对象物200上，可以形成有诸如加强肋、边缘等的凸出部210。在本实施例中，提出了利用在电解研磨对象物200上形成的凸出部210来安装负极框架300的结构。

如图3所示，电极放置构件400可以与电解研磨对象物200的研磨面垂直地配置。在电极放置构件400的一侧结合有负极框架300，负极框架300可以与电解研磨对象物200的研磨面隔开配置。

电极放置构件400可以以导电性物质形成。电极放置构件400可以为耐酸性强的钢板、铝或不锈钢材料。电极放置构件400由于固定于正极的电解研磨对象物200的凸出部2100，因而可以带正极电荷。因此，如果具有负极的负极框架300结合于电极放置构件400的一侧，则会在电极放置构件400与负极框架300之间发生电气短路。

为了防止这种情况，在电极放置构件400与负极框架300之间，可以还配置有绝缘构件700。绝缘构件700可以包括PVC、橡胶、聚氨酯橡胶、电木中某一者。绝缘构件700可以大于负极框架300宽度地形成，但并不限定于此。

另一方面，电极放置构件400可以由绝缘物质形成。如果以绝缘物质形成电极放置构件400，则在电极放置构件400与负极框架300之间配置的绝缘构件700可以去除。

电极放置构件400可以包括第一面410和第二面430。电极放置构件400的第二面430可以从电极放置构件400的第一面410折弯既定角度形成。在本实施例中，电极放置构件400的第一面410与电极放置构件400的第二面430构成的角度θ1可以包括90度，但并不限定于此。

电极放置构件400的第一面410可以与电解研磨对象物200的凸出部210的一侧结合。电极放置构件400的第一面410可以在重叠配置于电解研磨对象物的凸出部210的状态下，借助于C型夹具500而固定。配置于所述第一面410的C型夹具500可以称为第一夹具，配置于所述第二面430的C型夹具500可以称为第二夹具。

C型夹具500可以包括相向配置的固定部510。固定部510可以配置于重叠配置的电极放置构件400的一侧与凸出部210的另一侧，使电极放置构件400稳定地固定于凸出部210。C型夹具500可以以耐酸性优秀的不锈钢材料形成。不同于此，C型夹具500可以以绝缘件520形成固定部510一侧。C型夹具500由于不使负极框架300与电极放置构件400永久地固定，因而如果使用C型夹具500，则使得可以容易地安装及分离负极框架300与电极放置构件400。即，电极放置构件400的安装位置会因电解研磨对象物200的形状而异，因而C型夹具500可以容易地变更结合于负极框架300的电极放置构件400的安装位置。

另一方面，C型夹具500以导电性材质形成，因而安装于负极框架300与电解研磨对象物200之间窄小空间的C型夹具500与电解研磨对象物200接触，在负极框架300与电解研磨对象物200之间会发生电气短路。

为了防止这种情况，如图4a及图4b所示，在固定负极框架300与电极放置构件400的固定部510的一侧，可以还形成有绝缘部520。其中，固定部510可以分别配置于第一主体540和第二主体550的一侧。第二主体550可以以C字形状形成，与第一主体540结合。第一主体540可以结合于第二主体550并上下移动。因此，相向配置于第一主体540与第二主体550的固定部510，可以沿相互靠近方向或远离方向移动。

绝缘部520可以在固定部510的一侧形成，与负极框架300及电极放置构件400接触。因此，C型夹具500即使与电解研磨对象物200的一侧接触，也可以在电解研磨对象物200与负极框架300之间防止电气短路。绝缘部520可以包括具有弹性的材质。绝缘部520可以包括PVC、橡胶、聚氨酯橡胶、电木等，但并不限定于此。

另外，C字形状的第二主体550的一部分可以与电解研磨对象物200或负极板的一侧接触。为了防止这种情况，可以在第二主体550的表面还包括绝缘膜550b。第二主体550的内部为了保持刚性而可以由导电性物质550a构成，可以在第二主体550的外侧面涂布形成有绝缘膜550b。

另外，在C型夹具500上，为了使相互结合的框架的固定力最大化，还可以形成有凸起530。凸起530具有能够防止C型夹具500例如从负极框架300打滑、防止C型夹具500从负极框架300脱离的效果。

上面虽然是在C型夹具500的固定部510的一侧形成绝缘部520，但可以以绝缘材质形成固定部520，去除绝缘部520。

返回图3，电极放置构件400的第二面430可以与第一负极板310的一侧结合。第一负极板310可以与电极放置构件400垂直地结合。第一负极板310可以与电解研磨对象物200的研磨面水平地配置。其中，第一负极板310可以包括第一面312和第二面314。第一负极板310的第二面314可以从第一面312折弯形成。第一负极板310的第一面312与第二面314之间的角度θ2可以为90，但并不限定于此。电极放置构件410的第二面430可以固定于第一负极板310的第一面312。电极放置构件400的第二面430可以在与第一负极板310的第一面312重叠的状态下，借助于C型夹具500而固定。

电极放置构件400包括与凸出部210结合的第一面410和与第一负极板310结合的第二面430，从而具有能够使凸出部210与负极框架300在窄小空间中有效结合的效果。

第一实施例的电解研磨用电极框架及包括其的电解研磨装置通过利用在电解研磨对象物上形成的凸出部，从而具有可以将负极框架有效安装于没有放置区域的电解研磨对象物的效果。

返回图1及图2，如果考查电解研磨对象物200的电解研磨过程，首先，可以利用C型夹具500，将电极放置构件400安装于在电解研磨对象物200一侧形成的凸出部210。此时，电极放置构件400可以以能够均衡地支撑负极框架300的方式安装于多个凸出部210。

接着，可以在电极放置构件400的一侧安装负极框架300。负极框架300可以在与电极放置构件400的一侧结合的状态下，安装成格子形状。不同于此，如果具有针对相同的制品执行电解研磨的经验，已经是负极框架300组装成格子形状的状态，则可以将格子形状的负极框架300轻松地放置于电极放置构件400的一侧。

结束电解研磨对象物200的研磨面的电解研磨后，将C型夹具500分离，可以将负极框架300从电极放置构件400去除。接着，如果使电极放置构件400从电解研磨对象物200分离，则可以结束电解研磨的所有步骤。

然后，如果对相同的制品进行电解研磨，则按与前面说明顺序的倒序进行组装，负极安装在短时间结束，具有可以缩短组装时间及研磨时间的效果。

图6是显示第一实施例的变形例的电解研磨装置的立体图。

如果参照图6，第一实施例的电解研磨装置可以包括：电解槽100，其在内部配备有容纳形成有既定形状的凸出部210的电解研磨对象物200和电解液的容纳空间；多个电极放置构件400，其结合于所述电解研磨对象物200的至少一个以上的凸出部；负极框架300，其以格子结构形成，至少一个以上的一侧与所述多个电极放置构件400结合，与所述电解研磨对象物200的研磨面隔开既定间隔配置。

电解槽100可以以在内部配备有容纳空间的箱形状形成。在电解槽100的内部可以填充有电解液。在电解槽100的内部可以容纳电解研磨对象物200。

电解研磨对象物200可以包括底部200a和侧壁部200b。在附图中虽然图示了形成有1个侧壁部200b的情形，但并不限定于此，可以沿着底部200a的侧面而形成有多个侧壁部200b。因此，电解研磨对象物200可以包括箱形状。

负极框架300可以包括格子结构的板形状。负极框架300也可是导电率及耐酸性卓越的不锈钢材料，但并不限定于此。负极框架300可以是条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、圆形状、线网、孔板形状的板。负极框架300可以包括第一负极框架300a和第二负极框架300b。

第一负极框架300a可以对电解研磨对象物200的底部进行电解研磨。第一负极框架300a可以与电解研磨对象物200的底面隔开配置。第二负极框架300b可以对电解研磨对象物200的侧壁部进行电解研磨。第二负极框架300b可以与电解研磨对象物200的内侧面隔开配置。

第一负极框架300a可以包括多个第一负极板310a和多个第二负极板330a。第一负极板310a与第二负极板330a可以配置得构成格子结构。第一负极板310a与第二负极板330a可以配备得构成90度，但并不限定于此。第二负极框架300b的构成与第一负极框架300a的构成相同，因而省略其说明。

负极框架300如果与正极的电解研磨对象物200接触，则发生短路。为了防止这种情况，负极框架300应构成得与电解研磨对象物200的研磨面隔开。

以往，使负极框架300固定于在电解研磨对象物200上形成的放出口，但在本实施例中，当在电解研磨对象物200上无放出口时，为了安装负极框架300而可以配备有电极放置构件400。

在第二实施例中，电极放置构件400可以只安装于电解研磨对象物200的底部。当在电解研磨对象物200的底部和侧壁部全部形成有凸出部时，可以在电解研磨对象物200的底部和侧壁部均形成电极放置构件400，安装负极框架300，但在第二实施例中，对只在电解研磨对象物200的底部形成有凸出部、在电解研磨对象物200的侧壁部不形成凸出部的情形进行说明。

电极放置构件400的一侧可以与电解研磨对象物200的凸出部210的一侧结合。电极放置构件400可以与电解研磨对象物200的凸出部210中配置于边缘区域的凸出部210的一侧结合。

电极放置构件400可以包括第一面和第二面。电极放置构件400的第二面可以从电极放置构件400的第一面折弯即定角度形成。在本实施例中，电极放置构件400的第一面与电极放置构件400的第二面构成的角度θ1可以包括90度，但并不限定于此。

电极放置构件400的另一侧可以与第一负极框架300a结合。当电极放置构件400以导电性物质形成时，在电极放置构件400与第一负极框架300之间，为了防止两者间的电气短路，可以配置有绝缘构件700。电极放置构件400与第一负极框架300a可以利用C型夹具500进行固定。C型夹具500以导电性材质形成，因而可以在C型夹具500与第一负极框架300a之间还配备有绝缘构件700。

上面对以L字形状形成电极放置构件400的结构进行了说明，但并不限定于此，可以为条(bar)形状、角形状、棒形状、圆形状的板。

与电解研磨对象物200的侧壁部邻接的电极放置构件400a，可以以与电解研磨对象物200的侧壁部200b高度对应的方式长长地形成。与电解研磨对象物200的侧壁部200b邻接的电极放置构件400a，可以与电解研磨对象物200的侧壁部200b的研磨面隔开配置。

第二负极框架300b可以配置于与电解研磨对象物200的侧壁部200b邻接的电极放置构件210a之间。第二负极框架300b的一侧可以借助于C型夹具500而固定于电极放置构件400a。其中，在电极放置构件400与第二负极框架300b之间、第二负极框架300b与C型夹具500之间，可以还配置有绝缘构件。因此，第二负极框架300b可以地对电解研磨对象物200的侧壁研磨面有效地进行电解研磨。

第二实施例的电解研磨用电极框架及包括其的电解研磨装置具有的效果是，即使在电解研磨对象物的底部或侧壁部中某一者没有凸出部，也可以将负极框架容易地安装于电解研磨对象物的研磨面。

图7是显示第一实施例另一变形例的电解研磨装置的分解立体图，图8是显示第一实施例另一变形例的电解研磨装置的结合立体图。

如果参照图7及图8，第一实施例变形例的电解研磨装置可以包括：电解槽100，其在内部配备有容纳形成有既定形状的凸出部210的电解研磨对象物200和电解液的容纳空间；多个电极放置构件400，其结合于所述电解研磨对象物200的至少一个以上的凸出部；负极框架300，其与所述电极放置构件400的一侧结合；负极框架300，其以格子结构形成，至少一个以上的一侧与所述多个负极框架托架600结合，与所述电解研磨对象物200的研磨面隔开既定间隔配置。

电解槽100可以以在内部配备有容纳空间的箱形状形成。在电解槽100的内部可以填充有电解液。在电解槽100的内部可以容纳电解研磨对象物200。

电解研磨对象物200可以为多边形的板状，但并不限定于此。可以将所有电解研磨对象物200的金属材质制品指定为电解研磨对象物。在电解研磨对象物200上可以形成有诸如加强肋、边缘等的凸出部210。

负极框架300可以包括格子结构的板形状。负极框架300也可是导电率及耐酸性卓越的不锈钢材料，但并不限定于此。负极框架300可以是条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、圆形状、线网、孔板形状的板。

负极框架300可以包括多个第一负极板310和多个第二负极板330。第一负极板310与第二负极板330可以配置得构成格子结构。第一负极板310和第二负极板330可以配置得构成90度，但并不限定于此。

负极框架300如果与正极的电解研磨对象物200接触，则发生短路。为了防止这种情况，负极框架300应构成得与电解研磨对象物200的研磨面隔开。

以往，使负极框架300固定于在电解研磨对象物200上形成的放出口，但在本实施例中，当电解研磨对象物200没有放出口时，为了安装负极框架300，可以配备有电极放置构件400及负极框架托架600。

电极放置构件400可以与电解研磨对象物200的凸出部210的一侧结合。电极放置构件400可以包括第一面和第二面。电极放置构件400的第二面可以从电极放置构件400的第一面折弯即定角度形成。电极放置构件400的第一面与电极放置构件400的第二面构成的角度θ1可以包括90度，但并不限定于此。电极放置构件400可以向上部凸出形成。电极放置构件400可以与凸出部210垂直地配置，但并不限定于此。

上面对以L字形状形成电极放置构件400的结构进行了说明，但并不限定于此，可以为条(bar)形状、角形状、棒形状、圆形状的板。

负极框架托架600可以结合于电极放置构件400的一侧。负极框架托架600可以以金属材质形成。当负极框架托架600以金属材质形成时，在电极放置构件400与负极框架托架600之间，可以还配置有诸如绝缘板的绝缘构件700。绝缘构件700可以配置于电极放置构件400与负极框架托架600之间、负极框架托架600与C型夹具500之间。

负极框架托架600可以以绝缘构件700为介质，与电极放置构件400的第二面结合，但并不限定于此。负极框架托架600可以以与负极框架对应的形状形成。负极框架托架600可以与电极放置构件400垂直地配置，但并不限定于此。

负极框架托架600可以与电解研磨对象物200的研磨面保持水平，以便负极框架300能够与电解研磨对象物200的研磨面保持水平。负极框架托架600可以支撑负极框架300的末端。不同于此，负极框架托架600可以支撑负极框架300的某一部分。

负极框架托架600可以以L字形状形成。负极框架托架600可以构成得包括第一面和第二面。负极框架托架600除L字形状之外，可以包括条(bar)形状、角形状、棒形状、圆形状、线网、孔板的板。负极框架托架600可以借助于C型夹具500而与负极框架300固定。负极框架托架600在与负极框架310的一侧重叠的状态下，可以借助于C型夹具而固定。

负极框架托架600以与负极框架300相同的形状形成，与负极框架300接触的面积加宽，具有可以进一步提高负极框架托架600与负极框架300的结合力的效果。

另外，如果负极框架托架600与负极框架300的接触面积加宽，则导电性进一步提高，电解研磨对象物200的电解研磨效率变好，具有可以缩短电解研磨工序需要的时间的效果。

负极框架托架600可以与电极放置构件400构成既定角度地配置。负极框架托架600根据负极框架300的形状，可以与电极放置构件400构成既定角度地配置，使负极框架300有效结合于电极放置构件400。即，电极放置构件400根据电解研磨对象物200的凸出部210的结构及位置，会不容易结合负极框架300。此时，如果使负极框架托架600配置于电极放置构件400，则具有可以提高负极框架300的结合位置自由度、有效安装负极框架300的效果。

实施例通过对可以利用在电解研磨对象物上形成的凸出部来支撑负极框架的电极放置构件进行配置，从而具有即使在没有放出口的区域的电解研磨对象物上，也可以有效安装负极框架的效果。

另外，实施例在对相同的制品进行电解研磨时，可以将已经组装的负极框架组装于电极放置构件进行研磨，因而具有可以缩短负极框架安装及拆卸所需时间及研磨时间的效果。

另外，实施例具有的效果是，即使电解研磨对象物的底部或侧壁部中某一者没有凸出部，也可以在电解研磨对象物的全体研磨面容易地安装负极框架。

另外，实施例通过在电极放置构件上配置负极框架托架，从而具有可以提高负极框架的结合位置的自由度、有效安装电极框架的效果。

然后，图9是显示第二实施例的电解研磨装置的剖面图，图10是显示图9的电极隔开构件的立体图，图11是显示图9的电极隔开构件固定于电解研磨对象物的状态的概略立体图。

图12至图14是显示第二实施例的电极隔开构件的多样结构的立体图，图15是显示图9的负极框架的变形例的立体图。

如果参照图9，实施例的电极框架作为在内部配备有容纳电解研磨对象物和电解液的容纳空间的电解槽使用的电极框架，可以包括：负极框架3000，其配置于所述电解研磨对象物的研磨面的一侧；及电极隔开构件4000，其配置于所述负极框架的一侧，使所述负极框架从所述电解研磨对象物的侧面或底面隔开。

另外，第二实施例的电解研磨装置可以包括：电解槽1000，其在内部配备有容纳电解研磨对象物2000和电解液1100的容纳空间；负极框架3000，其配置于所述电解研磨对象物2000的研磨面的一侧；电极隔开构件4000，其配置于所述负极框架3000的一侧，使所述负极框架3000从所述电解研磨对象物2000的底面隔开。

电解槽1000可以以在内部配备有容纳空间的箱形状形成。电解槽1000可以包括圆筒形、多边箱或环形状，但其形状并不限定。

在电解槽1000的内部可以填充有电解液1100。作为电解液1100，可以将从由蒸馏水(H₂O)、硫酸(H₂SO₄)类、磷酸(H₃PO₄)类、铬酸类、硝酸钠(NaNO₃)、氯化钠(NaCl)、甘油类构成的组中选择的至少一种物质混合构成，但并不限定于此。

电解液1100在填充于电解槽1000的状态下结束电解研磨对象物2000的电解研磨后，可以更换。不同于此，电解液1100可以借助于在电解槽1000的一侧独立地形成的泵而流入、流出。在电解槽1000与泵之间，可以形成有电解液流入管、电解液流出管，可以还包括电解液流量调节部、过滤器。过滤器可以过滤电解液中包含的加工物渣滓及异物质。

在电解槽1000的内部可以容纳电解研磨对象物2000。电解槽1000的大小可以大于电解研磨对象物2000地形成。电解研磨对象物2000可以为多边形或圆筒形的腔室或箱子。电解研磨对象物2000可以是用于OLED制造的腔室。另外，电解研磨对象物2000也可以是OLED腔室的一部分构成部件。电解研磨对象物2000可以为板、箱形状或上下贯通形成的环形状。电解研磨对象物2000并不限定于此，可以将所有金属材质制品指定为电解研磨对象物。电解研磨对象物2000浸于电解液1100内。

电解研磨对象物2000由于其重量相当大，因此，例如可以在利用起重机等吊起的状态下，容纳于电解槽1000的容纳空间。例如，在电解研磨对象物2000为OLED用腔室或LED用MOCVD腔室等的情况下，也存在其重量为数百kg至数千kg(数吨)的巨大的情形。

电解研磨对象物2000的研磨面可以包括电解研磨对象物2000的外侧、内侧、底面等。

在电解槽2000的一侧可以还配置有整流器。整流器可以向电解研磨对象接入正极(+)的电压，可以向负极框架3000接入负极(-)的电压。整流器可以借助于电线等而与电解研磨对象物2000电气连接。

负极框架3000可以配置于电解研磨对象物2000的内部及/或外部。负极框架3000可以与电解研磨对象物2000的研磨面隔开既定间隔配置。例如，负极框架3000与电解研磨对象物2000按50mm±20mm距离均一地隔开配置，因而电解研磨效率提高，电解研磨品质非常优秀。

负极框架3000可以选择性地研磨作为电解研磨对象物2000研磨面的内侧、外侧或底面，或可以同时研磨所有面。在本实施例中，为了说明的便利，对负极框架3000配置于电解研磨对象物2000的内侧的结构进行说明。

负极框架3000可以包括格子结构的板形状。负极框架3000可以为导电率、耐酸性卓越的不锈钢材料，但并不限定于此。负极框架3000可以为条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、线网、孔板金属、圆形状的板。

负极框架3000沿着电解研磨对象物2000的研磨面配置，因而当电解研磨对象物2000以上部开放的四边箱形状形成时，与此对应，多个负极框架3000可以以四边箱形状形成。

负极框架3000可以包括第一负极板3100和第二负极板3200。第一负极板3100和第二负极板3200可以配置得构成格子结构。第一负极板3100可以以长杆形状形成。第一负极板3100可以由多个板构成，构成得上下隔开地配置。

第二负极板3200可以以长杆形状形成。第二负极板3200可以由多个板构成，左右隔开地配置。第一负极板3100和第二负极板3200可以配置得构成90度，但并不限定于此。

第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域可以借助于螺丝等而铆合。不同于此，第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域，也可以借助于C型夹具而固定。

上面对负极框架具有固定长度的结构进行了说明，但可以使用使负极框架大小随着电解研磨对象物增大而可变的可变结构的负极框架。

如图15所示，负极框架3000可以包括第一负极板3100和第二负极板3300。第一负极板3100和第二负极板3300可以配置得构成格子结构。

第一负极板3100可以由多个支架构成，可以以其长度能够变长或减小的方式构成。第二负极板3300的结构可以与第一负极板3100的结构相同。下面，以第一负极板3100的结构为中心进行说明。

第一负极板3100可以构成得使多个支架连接。第一负极板3100可以一部分重叠地配置，向相互远离或靠近的方向移动。第一负极板3100可以由多个支架构成，出于说明的便利，以第一负极板3100由第一支架3120和与所述第一支架3120连接的第二支架3140构成的结构为中心进行说明。

第一支架3120可以为L字形状，但并不限定于此。第一支架3120的一部分区域可以与第二支架3140的一部分区域重叠形成。第一支架3120与第二支架3140的重叠的区域可以借助于C型夹具500而支撑。支撑所述第一支架3120与所述第二支架3140的重叠区域的C型夹具500可以称为第二夹具。

第一支架3120与第二支架3140可以沿相互远离或靠近的方向移动。C型夹具500可以以第一支架3120与第二支架3140可以相互移动的程度的力，支撑第一支架3120和第二支架3140。不同于此，C型夹具500可以在使第一支架3120和第二支架3140移动后，进一步施加固定力，支撑第一支架3120和第二支架3140。

第二负极板3300可以与第一负极板3100相同地包括第一支架和第二支架。第二负极板3300可以杆形状的板形成，但并不限定于此。第二负极板3300的第一支架3320可以沿从第二支架3340远离或靠近的方向移动。

第二负极板3300的第一支架3320和第二支架3340可以一部分重叠地配置。第二负极板3300的第一支架3320与第二支架3340的重叠的区域，可以借助于C型夹具500而支撑。因此，第二负极板3300长度可变。

返回图9，负极框架3000如果与正极的电解研磨对象物2000接触，则发生短路。为了防止这种情况，负极框架3000应构成得与电解研磨对象物2000的底面及侧面隔开。

在本实施例中，可以配备有电极隔开构件4000，以便使负极框架3000从电解研磨对象物2000的底面及侧面隔开。

电极隔开构件4000可以结合于负极框架3000的一侧。电极隔开构件4000可以结合于位于最下方的第一负极板3100的一侧。电极隔开构件4000以从第一负极板3100向下部凸出的方式结合于第一负极板3100的一侧。因此，电极隔开构件4000可以与电解研磨对象物2000的底面接触。

电极隔开构件4000可以以从第一负极板3100向侧面凸出的方式结合于第一负极板3100的一侧。因此，电极隔开构件4000可以与电解研磨对象物2000的侧面接触。

为了借助于电极隔开构件4000而防止负极框架3000与电解研磨对象物2000短路，电极隔开构件4000可以以绝缘材质形成。电极隔开构件4000可以以能够承受负极框架3000重量且耐酸性强的材质形成。电极隔开构件4000可能包括PVC、橡胶、聚氨酯橡胶、电木中某一者。负极框架3000及电极隔开构件4000可以借助于C型夹具500而结合。结合所述负极框架3000与所述电极隔开构件4000的C型夹具500可以称为第一夹具。

C型夹具500不使负极框架3000与电极隔开构件4000永久地固定，因而如果使用C型夹具500，则可以容易地进行负极框架3000与电极隔开构件4000的安装及分离。即，电极隔开构件4000的安装位置会因电解研磨对象物2000的形状而异，因而C型夹具500可以容易地变更结合于负极框架3000的电极隔开构件4000的安装位置。C型夹具500可以采用图4a及4的结构。

电极隔开构件4000可以隔开地配置于在最下方配置的第一负极板3100的一侧及另一侧。电极隔开构件4000可以保持均衡地进行支撑，以便负极框架3000的重量不偏向一个方向。电极隔开构件4000的安装个数不限定，可以以3个以上形成。电极隔开构件4000可以在与电解研磨对象物2000内侧的另一研磨面隔开配置的多个负极框架3000下部形成。

另外，固定于电解研磨对象物2000的底部及侧面的隔开构件4000如果安装于负极框架3000的角部，则可以掌握负极框架3000的中心，更坚固地安装负极框架3000。

电极隔开构件4000可以以L字形状、条(bar)形状、角形状、棒形状形成，但并不限定于此。下面对电极隔开构件4000的形状为前面言及的形状中某一者进行说明。但是，电极隔开构件4000的形状并不限定于以下说明的形状。

如图10所示，电极隔开构件4000可以形成得下部宽度变小。由此，可以使电极隔开构件4000与电解研磨对象物2000相接的区域最小化，保持电解研磨对象物2000的整体均匀的电解研磨品质。

电极隔开构件4000的长度L可以形成得大于电极隔开构件4000的宽度W。电极隔开构件4000的长度L可以形成得大于第一负极板3100的宽度。因此，电极隔开构件4000可以配置得向第一负极板3100的下部凸出。

作为一个示例，电极隔开构件4000的长度L可以包括8㎝至12㎝。电极隔开构件4000的宽度W可以包括2㎝至7㎝。电极隔开构件4000的厚度T可以包括2nm至7nm。电极隔开构件4000的长度L、宽度W及厚度T并不限定于此。

电极隔开构件4000可以包括第一支撑部4100、第二支撑部4300。第一支撑部4100可以以四边板状形成，但并不限定于此。第二支撑部4300可以形成得其宽度向下部越来越小。作为一个示例，第二支撑部4300可以以在下部具有顶点的倒三角形形状形成，但并不限定于此。在电解研磨对象物2000的底面，第一支撑部4100的侧面中某一者的面或第二支撑部4300的侧面中某一者的面可以实现面接触。

如图11所示，第二支撑部4300的顶点可以与电解研磨对象物2000的底面或侧面接触。电解研磨对象物2000可以根据其形状而在底面形成有槽或孔。电极隔开构件4000的一部分可以插入于在电解研磨对象物2000上形成的槽或孔2100。在电解研磨对象物2000上形成的槽或孔2100中，电极隔开构件4000的第二支撑部4300的顶点区域可以插入结合。第二支撑部4300下部宽度狭窄地形成，因而第二支撑部4300的一部分可以与槽或孔2100大小无关地插入、结合。因此，当电解研磨对象物2000的底部存在槽或孔2100时，具有可以利用槽或孔2100更有效地使负极框架4000固定的效果。

即使在电解研磨对象物2000上未形成槽或孔2100，由于隔开构件4000接触电解研磨对象物2000的底面和侧面并固定，因而具有负极框架3000可以更坚固地安装的效果。

前面说明的电极隔开构件4000可以以多样形状形成。电极隔开构件400可以如图12至图14所示形成。

如图12所示，电极隔开构件4000可以包括内侧支撑构件4500、所述外侧支撑构件4600。内侧支撑构件4500可以包括具有坚硬强度的混凝土用胀塞或铁片，但并不限定于此。内侧支撑构件4500可以提高电极隔开构件4000的硬度。外侧支撑构件4600可以在内侧支撑构件4500的表面形成。外侧支撑构件4600可以包括绝缘材质的材料。外侧支撑构件4600可以包括诸如塑料的绝缘材料，但并不限定于此。

如图13所示，电极隔开构件4000可以包括第一支撑部4100、第二支撑部4300。第一支撑部4100可以以四边板状形成，但并不限定于此。第二支撑部4300可以形成得其宽度向下部越来越小。

第二支撑部4300可以是下部面宽度小于上部面宽度的梯形形状。第二支撑部4300的下部面可以与电解研磨对象物的底面接触。第二支撑部4300的下部面与棱角尖锐的电极隔开构件相比，与电解研磨对象物2000的接触面积宽，因而具有可以更有效支撑负极框架3000的效果。当在电解研磨对象物2000的底部形成有槽或孔时，第二支撑部4300的一部分可以插入于电解研磨对象物2000的槽或孔。

如图14所示，电极隔开构件4000可以包括第一支撑部4100、第二支撑部4300。第一支撑部4100可以以四边板状形成，但并不限定于此。第二支撑部4300可以形成得其宽度向下部越来越小。

第二支撑部4300可以形成得下部具有圆棱角。第二支撑部4300的下部面可以与电解研磨对象物2000的底面接触。第二支撑部4300的下部面具有在与电解研磨对象物2000接触时，可以防止在电解研磨对象物出现疤痕的效果。当在电解研磨对象物2000的底部形成有槽或孔时，第二支撑部4300的一部分可以插入于电解研磨对象物2000的槽或孔。

第二实施例的电极隔开构件4000配置于负极框架3000下部，从而可以将负极框架3000有效配置于没有另外的托架的电解研磨对象物2000。

当电解研磨对象物2000为诸如门的板形状时，在借助于电极隔开构件4000而支撑负极框架3000的状态下，配置于电解研磨对象物2000的上部后，可以执行电解研磨。接着，在去除负极框架3000的状态下，倒转配置电解研磨对象物2000，可以将负极框架3000重新配置于电解研磨对象物的上部。接着，如果对电解研磨对象物2000执行电解研磨，则具有可以缩短安装及电解研磨所需的时间的效果。

上面说明了电极隔开构件4000与电解研磨对象物2000的底部接触的结构，但不同于此，可以以与电解研磨对象物的侧壁部接触的结构形成电极隔开构件4000，使负极框架从电解研磨对象物的研磨面隔开。

下面参照图16至图19，考查多样实施例的电解研磨装置的结构。

图16是显示第二实施例的电解研磨装置的变形例的剖面图。

如果参照图16，电解研磨装置可以包括：电解槽1000，其在内部配备有容纳电解研磨对象物2000和电解液的容纳空间；负极框架3000，其配置于所述电解研磨对象物2000的研磨面的一侧；电极隔开构件4000，其配置于所述负极框架3000的一侧，使所述负极框架3000从所述电解研磨对象物200的底面隔开。

电解槽1000可以以在内部配备有容纳空间的箱形状形成。电解槽1000可以包括圆筒形、多边箱或环形状，但其形状并不限定。在电解槽1000的内部可以填充有电解液1100。作为电解液110，可以将从由蒸馏水(H₂O)、硫酸(H₂SO₄)类、磷酸(H₃PO₄)类、铬酸类、硝酸钠(NaNO₃)、氯化钠(NaCl)、甘油类构成的组中选择的至少一种物质混合构成，但并不限定于此。

在电解槽1000的内部可以容纳电解研磨对象物2000。电解研磨对象物2000浸于电解液1100内。电解研磨对象物2000的研磨面可以包括电解研磨对象物的外侧、内侧、底面等。在电解槽2000的外侧还可以配置有整流器。整流器可以向电解研磨对象接入正极(+)的电压，可以向负极框架3000接入负极(-)的电压。整流器可以借助于电线等而与电解研磨对象物2000电气连接。

负极框架3000可以配置于电解研磨对象物2000的内部及外部。负极框架3000可以与电解研磨对象物2000的研磨面隔开既定间隔配置。负极框架3000可以选择性地研磨作为电解研磨对象物2000研磨面的内侧、外侧或底面，或者研磨所有面。在本实施例中，为了说明的便利，对负极框架3000配置于电解研磨对象物2000的内侧的结构进行说明。

负极框架3000可以包括格子结构的板形状。负极框架3000可以为导电率卓越的不锈钢材料，但并不限定于此。负极框架3000可以为条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、线网、孔板金属、圆形状的板。

负极框架3000沿着电解研磨对象物2000的研磨面配置，因而当电解研磨对象物2000以上部开放的四边箱形状形成时，与此对应，多个负极框架3000可以以四边箱形状形成。

负极框架3000可以包括第一负极板3100和第二负极板3200。第一负极板3100与第二负极板3200以格子结构形成。第一负极板3100可以以长杆形状形成。第一负极板3100可以由多个板构成，构成得上下隔开地配置。

第二负极板3200可以以长杆形状形成。第二负极板3200可以由多个板构成，构成得左右隔开配置。第一负极板3100和第二负极板3200可以配置得构成90度，但并不限定于此。

第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域可以借助于螺丝等而铆合。第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域也可以借助于C型夹具而固定。

负极框架3000如果与电解研磨对象物2000接触，则发生短路。为了防止这种情况，负极框架3000应构成得与电解研磨对象物2000的侧面及底面隔开。电解研磨对象物2000的侧面可以调节负极框架3000的第一负极板3100的长度，从电解研磨对象物2000隔开配置。

在本实施例中，可以配备有电极隔开构件4000，以便使负极框架3000从电解研磨对象物2000的底面隔开。

电极隔开构件4000可以以绝缘材质形成。电极隔开构件4000可以以能够承受负极框架3000重量且耐酸性强的材质形成。电极隔开构件4000可能包括PVC、橡胶、聚氨酯橡胶、电木中某一者。电极隔开构件4000以绝缘材质形成，从而可能防止负极框架3000与作为正极的电解对象物2000短路。电极隔开构件4000的形状可能具有宽度向下部越来越窄的形状，但并不限定于此。

电极隔开构件4000可以结合于负极框架300的一侧。电极隔开构件4000可以结合于在最上方配置的第一负极板3100的一侧。电极隔开构件4000可以与在最上方配置的第一负极板3100重叠配置。电极隔开构件4000可以借助于C型夹具500而固定于在最上方配置的第一负极板3100。

其中，在最上方配置的第一负极板3100的长度可以形成得长于其他第一负极板3100的长度。在最上方配置的第一负极板3100可以配置于电解研磨对象物2000的侧壁部的上部。电极隔开构件4000可以与电解研磨对象物2000的侧壁部上部接触。电极隔开构件4000可以沿电解研磨对象物2000的侧壁部的上部面配置多个。

电极隔开构件4000具有在使负极框架3000从电解研磨对象物2000的底部隔开的同时可以稳定地支撑负极框架3000的效果。

另外，第二实施例的电极隔开构件4000不与电解研磨对象物2000的底部接触，因而具有可以防止因电极隔开构件4000与电解研磨对象物2000接触导致的损伤的效果。

图17是显示第二实施例的电解研磨装置的另一变形例的剖面图，图18是显示图17的负极框架结合于支架的状态的立体图。

如果参照图17，第二实施例变形例的电解研磨装置可以包括：电解槽1000，其在内部配备有容纳电解研磨对象物2000和电解液1100的容纳空间；负极框架3000，其配置于所述电解研磨对象物2000的研磨面的一侧；支架7000，其结合于所述负极框架3000的一侧；电极隔开构件4000，其结合于所述支架7000的一侧，使所述负极框架3000从所述电解研磨对象物的底面隔开。

电解槽1000可以以在内部配备有容纳空间的箱形状形成。电解槽1000可以包括圆筒形、多边箱或环形状，但其形状并不限定。在电解槽1000的内部可以填充有电解液1100。作为电解液1100，可以将从由蒸馏水(H₂O)、硫酸(H₂SO₄)类、磷酸(H₃PO₄)类、铬酸类、硝酸钠(NaNO₃)、氯化钠(NaCl)、甘油类构成的组中选择的至少一种物质混合构成，但并不限定于此。

在电解槽1000的内部可以容纳电解研磨对象物2000。电解研磨对象物2000浸于电解液1100内。电解研磨对象物2000的研磨面可以包括电解研磨对象物2000的外侧、内侧、底面等。在电解槽1000的外侧还可以配置有整流器。整流器可以向电解研磨对象接入正极(+)的电压，可以向负极框架300接入负极(-)的电压。整流器可以借助于电线等而与电解研磨对象物200电气连接。

负极框架3000可以配置于电解研磨对象物2000的内部及外部。负极框架3000可以与电解研磨对象物2000的研磨面隔开既定间隔配置。负极框架3000可以选择性地研磨作为电解研磨对象物2000研磨面的内侧、外侧或底面，或者研磨所有面。在本实施例中，为了说明的便利，对负极框架3000配置于电解研磨对象物2000的内侧的结构进行说明。

负极框架3000可以包括格子结构的板形状。负极框架3000可以为导电率卓越的不锈钢材料，但并不限定于此。负极框架3000可以为条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、线网、孔板金属、圆形状的板。

负极框架3000沿着电解研磨对象物200的研磨面配置，因而当电解研磨对象物2000以上部开放的四边箱形状形成时，与此对应，多个负极框架3000可以以四边箱形状形成。

负极框架3000可以包括第一负极板3100和第二负极板3200。第一负极板3100与第二负极板3200以格子结构形成。第一负极板3100可以以长杆形状形成。第一负极板3100可以由多个板构成，构成得上下隔开地配置。

第二负极板3200可以以长杆形状形成。第二负极板3200可以由多个板构成，构成得左右隔开配置。第一负极板3100和第二负极板3200可以配置得构成90度，但并不限定于此。

第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域可以借助于螺丝等而铆合。第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域也可以借助于C型夹具而固定。

负极框架3000如果与电解研磨对象物2000接触，则发生短路。为了防止这种情况，负极框架3000应构成得与电解研磨对象物2000的侧面及底面隔开。电解研磨对象物2000的侧面可以调节负极框架3000的第一负极板3100的长度，从电解研磨对象物隔开配置。

负极框架3000可以配备有本实施例的电极隔开构件4000，以便从电解研磨对象物2000的底面隔开。

电极隔开构件4000可以以绝缘材质形成。电极隔开构件4000可以以能够承受负极框架3000重量且耐酸性强的材质形成。电极隔开构件4000可能包括PVC、橡胶、聚氨酯橡胶、电木中某一者。电极隔开构件4000以绝缘材质形成，从而可以防止负极框架与作为正极的电解对象物短路。电极隔开构件4000的形状可能具有宽度向下部越来越窄的形状，但并不限定于此。

电极隔开构件4000可以配置于电解研磨对象物2000的侧壁上部。在负极框架3000的一侧，为了支撑负极框架3000而可以结合有支架7000。支架7000可以以条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、线网、孔板金属、圆形状形成。支架7000可以与第一负极板310平行地配置。支架7000可以与第二负极板3300的上部一侧结合。支架7000可以与第二负极板3200的一部分或全体结合。支架7000可以以配置于电解研磨对象物2000侧壁上部的方式长长地形成。支架7000可以与电解研磨对象物2000的一侧连接。支架7000可以以金属材质形成。支架7000可以是与电解研磨对象物2000连接而用于传递正极的正极支架。

在支架7000与负极框架3000之间，可以还配置有绝缘板5000。负极框架3000、绝缘板5000及支架7000在重叠的状态下，可以借助于C型夹具500而坚固固定。如果支架7000不与电解研磨对象物2000连接，而是起到作为普通支架的作用，则负极框架3000与支架7000之间的绝缘板5000可以去除。另外，如果支架7000起到作为普通支架的作用，则可以由绝缘材质的材料形成。

第二实施例变形例的电解研磨装置具有的效果是，可以利用支架，将负极框架有效安装于电解研磨对象物的内侧及外侧。

图19是显示第二实施例的电解研磨装置另一变形例的剖面图。电解研磨装置以负极框架配置于电解研磨装置外侧的结构为中心进行说明。

如果参照图19，第二实施例另一变形例的电解研磨装置可以包括：电解槽1000，其在内部配备有容纳电解研磨对象物2000和电解液1100的容纳空间；负极框架3000，其配置于所述电解研磨对象物2000的研磨面的外侧；支架7000，其结合于所述负极框架3000的一侧；电极隔开构件4000，其结合于所述支架7000的一侧，使所述负极框架3000从所述电解研磨对象物的底面隔开。

电解槽1000可以以在内部配备有容纳空间的箱形状形成。电解槽1000可以包括圆筒形、多边箱或环形状，但其形状并不限定。在电解槽1000的内部可以填充有电解液1100。作为电解液1100，可以将从由蒸馏水(H₂O)、硫酸(H₂SO₄)类、磷酸(H₃PO₄)类、铬酸类、硝酸钠(NaNO₃)、氯化钠(NaCl)、甘油类构成的组中选择的至少一种物质混合构成，但并不限定于此。

在电解槽1000的内部可以容纳电解研磨对象物2000。电解研磨对象物2000浸于电解液1100内。电解研磨对象物2000的研磨面可以包括电解研磨对象物2000的外侧、内侧、底面等。在电解槽1000的外侧还可以配置有整流器。整流器可以向电解研磨对象接入正极(+)的电压，可以向负极框架3000接入负极(-)的电压。整流器可以借助于电线等而与电解研磨对象物2000电气连接。

负极框架3000可以配置于电解研磨对象物2000的外部。负极框架3000可以与电解研磨对象物2000外侧的研磨面隔开既定间隔配置。

负极框架3000可以包括格子结构的板形状。负极框架3000可以为导电率卓越的不锈钢材料，但并不限定于此。负极框架3000可以为条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、线网、孔板金属、圆形状的板。

负极框架3000沿着电解研磨对象物2000的研磨面配置，因而当电解研磨对象物2000以上部开放的四边箱形状形成时，与此对应，多个负极框架3000可以以四边箱形状形成。

负极框架3000可以包括第一负极板3100和第二负极板3200。第一负极板3100与第二负极板3200以格子结构形成。第一负极板3100可以以长杆形状形成。第一负极板3100可以由多个板构成，构成得上下隔开地配置。

第二负极板3200可以以长杆形状形成。第二负极板3200可以由多个板构成，构成得左右隔开配置。第一负极板3100和第二负极板3200可以配置得构成90度，但并不限定于此。

第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域可以借助于螺丝等而铆合。第一负极板3100与第二负极板3200交叉的区域也可以借助于C型夹具而固定。

电极隔开构件4000可以以绝缘材质形成。电极隔开构件4000可以以能够承受负极框架3000重量且耐酸性强的材质形成。电极隔开构件4000可能包括PVC、橡胶、聚氨酯橡胶、电木中某一者。电极隔开构件4000以绝缘材质形成，从而可以防止负极框架3000与作为正极的电解对象物2000短路。电极隔开构件4000的形状可能具有宽度向下部越来越窄的形状，但并不限定于此。

电极隔开构件4000可以配置于电解研磨对象物2000的侧壁上部。在负极框架3000的一侧，为了支撑负极框架3000而可以结合有支架7000。

支架7000可以包括第一支架7100和第二支架7200。第一支架7100可能支撑在电解研磨对象物2000内侧配置的负极框架3000。第二支架7200可以与第一支架7100垂直地配置，但并不限定于此。第二支架7200可以以条(bar)形状、L字形状、角形状、棒形状、线网、孔板金属、圆形状形成。

在第二支架7200，可以与配置于最外廓的第二负极板3300的上部一侧结合。第二支架7200可以与第二负极板3200的一部分或全体结合。

支架7000可以是与电解研磨对象物2000连接而用于传递正极的正极支架。此时，在第二支架7200与第二负极板3300之间可以还配置有绝缘板。第二负极板3300、绝缘板及第二支架7200在重叠状态下，可以借助于C型夹具500坚固地固定。如果支架7000不与电解研磨对象物2000连接，而是起到作为普通支架的作用，则第二负极板3300与第二支架7200之间的绝缘板可以去除。另外，如果支架7000起到作为普通支架的作用，则可以由绝缘材质的材料形成。

第二实施例变形例的电解研磨装置具有的效果是，可以利用支架，将负极框架有效安装于电解研磨对象物的内侧及外侧。

实施例通过在负极框架一侧配置电极隔开构件，使负极框架配置于电解研磨对象物上，从而可以将负极框架有效配置于没有另外的托架的电解研磨对象物的内部或外部，因而可以将负极框架迅速配置于电解研磨对象物，可以在提高电解研磨工序效率的同时，接近而均一地配置，电解研磨品质可以显著提高。

另外，实施例逐渐减小地形成电极隔开构件的下部宽度，插入结合于在电解研磨对象物的底部形成的槽或孔，从而具有能够更有效地固定负极框架的效果。

实施例通过使电极隔开构件配置于电解研磨对象物的侧壁部上部，从而具有在使负极框架从电解研磨对象物的底部隔开的同时可以稳定地支撑负极框架的效果。

另外，实施例通过使电极隔开构件不与电解研磨对象物的底部接触地配置，从而具有能够防止因电极隔开构件与电解研磨对象物接触导致的损伤的效果。

另外，实施例通过利用支架，从而具有可以将负极框架有效安装于电解研磨对象物的内侧及外侧的效果。

(产业上的可利用性)

实施例通过对可以利用在电解研磨对象物上形成的凸出部来支撑负极框架的电极放置构件进行配置，从而具有即使在没有放出口的区域的电解研磨对象物上，也可以有效安装负极框架的效果。

另外，实施例在对相同的制品进行电解研磨时，可以将已经组装的负极框架组装于电极放置构件进行研磨，因而具有可以缩短负极框架安装及拆卸所需时间及研磨时间的效果。

另外，实施例具有的效果是，即使电解研磨对象物的底部或侧壁部中某一者没有凸出部，也可以在电解研磨对象物的全体研磨面容易地安装负极框架。

另外，实施例通过在电极放置构件上配置负极框架托架，从而具有可以提高负极框架的结合位置的自由度、有效安装电极框架的效果。

另外，实施例的夹具还形成绝缘部，从而具有可以在负极框架与电解研磨对象物之间的狭小空间可以容易地安装的效果。

另外，实施例通过在负极框架一侧配置电极隔开构件，使负极框架配置于电解研磨对象物上，从而可以将负极框架有效地配置于没有另外的托架的电解研磨对象物的内部或外部，因而可以将负极框架迅速配置于电解研磨对象物，可以在提高电解研磨的工序效率的同时接近且均一地配置，电解研磨的品质可以显著提高。

另外，实施例逐渐减小地形成电极隔开构件的下部宽度，插入结合于在电解研磨对象物的底部形成的槽或孔，从而具有能够更有效地固定负极框架的效果。

实施例通过使电极隔开构件配置于电解研磨对象物的侧壁部上部，从而具有在使负极框架从电解研磨对象物的底部隔开的同时可以稳定地支撑负极框架的效果。

另外，实施例通过使电极隔开构件不与电解研磨对象物的底部接触地配置，从而具有能够防止因电极隔开构件与电解研磨对象物接触导致的损伤的效果。

另外，实施例通过利用支架，从而具有可以将负极框架有效安装于电解研磨对象物的内侧及外侧的效果。

在上面，参照附图和实施例进行了说明，但是本技术领域的熟练的技术人员能够理解在不脱离记载于所附权利要求范围中的实施例的技术思想的范围内可以多样地修改和变更实施例。

Claims (6)

1.一种电解研磨用电极框架，所述电极框架在内部配备有容纳电解研磨对象物和电解液的容纳空间的电解槽中使用，包括：

电极放置构件，其结合于所述电解研磨对象物的至少一个以上的凸出部；及

第一负极框架，其以格子结构形成，至少一个以上的一侧与所述电极放置构件结合，与所述电解研磨对象物的研磨面隔开既定间隔配置；

所述电极放置构件包括：

与所述电解研磨对象物的凸出部结合的第一面，

与所述第一负极框架结合的第二面；

所述电极放置构件即使不利用放出口，也与所述电解研磨对象物的凸出部结合。

2.根据权利要求1所述的电解研磨用电极框架，其中，

所述第二面与所述第一面以既定角度折弯形成，所述第一面借助于所述电解研磨对象物的凸出部和第一夹具而固定，

所述电极放置构件的第二面借助于所述第一负极框架的一侧和第二夹具而固定。

3.根据权利要求2所述的电解研磨用电极框架，其中，

所述电解研磨对象物包括形成有下部凸出部的底部、从所述底部向侧面折弯形成的一个以上的侧壁部，

还包括与所述电解研磨对象物的侧壁部相向配置的第二负极框架；

所述电极放置构件从所述电解研磨对象物的底部与侧面隔开地延长形成，

所述第二负极框架固定于所述电极放置构件。

4.根据权利要求2所述的电解研磨用电极框架，其中，

在所述电极放置构件，还配置有用于放置所述第一负极框架的负极框架托架，

所述负极框架托架与所述电极放置构件的第二面结合，

所述第一负极框架与所述负极框架托架重叠固定。

5.根据权利要求1所述的电解研磨用电极框架，其中，

所述第一负极框架包括沿第一方向配置并由多个支架构成的第一负极板、沿与所述第一方向构成既定角度的第二方向配置并由多个支架构成的第二负极板，

所述第一负极板包括第一支架和第二支架，所述第一支架在一部分重叠于所述第二支架的状态下，沿从所述第二支架远离或靠近的方向移动。

6.一种包括权利要求1至5中任意一项的电极框架的电解研磨装置。

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