CN111356563B

CN111356563B - 监视方法

Info

Publication number: CN111356563B
Application number: CN201880075578.XA
Authority: CN
Inventors: 吉田雅也; 冈田拓之; 中矢敦史
Original assignee: Kawasaki Jukogyo KK
Current assignee: Kawasaki Motors Ltd
Priority date: 2017-11-24
Filing date: 2018-09-10
Publication date: 2023-02-17
Anticipated expiration: 2038-09-10
Also published as: JP7001439B2; TWI687290B; KR102366250B1; US11440200B2; TW201927498A; WO2019102688A1; KR20200070351A; US20200298416A1; CN111356563A; JP2019093503A

Abstract

用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法，其特征在于包括：准备运转工序，将规定的工序动作进行一次以上，在多个工序部分的各者中，对于进行动作的驱动部，检测所设定的所有监视参数；分级工序，对于准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从负荷程度大者起依序将检测出的所有监视参数进行分级；以及通常运转工序，主要对分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。

Description

监视方法

技术领域

本发明涉及用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法。

背景技术

以往，已知对具有多个驱动部（例如，在多个关节轴分别设置的马达等）、且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法。这种监视方法利用例如专利文献1中记载的异常判定装置来进行。

专利文献1的异常判定装置基于将由各检测部检测出的各电流值进行运算后的运算值、以及与每个动作模式相关联而预先设定的运算值的允许范围，来判定是否对机器人装置施加了异常的外力。另外，基于将由各检测部检测出的各电流值合计后的电流值、以及由取得部取得的动作电流的合计值的允许范围，来判定机器人装置的动作是否异常。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：日本特开2013-66987号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

但，专利文献1中，将由多个检测部检测出的电流值分别进行运算而取得运算值，将该多个运算值与对每个动作模式预先设定的运算值的允许范围进行比较等，来判定异常的有无。因此，专利文献1的异常判定装置存在所处理的数据量变大的问题。藉此，产生例如处理速度变得缓慢，运算处理等的可靠性下降，另外，需要昂贵的装置等问题。

因此，本发明的目的为提供一种可藉由与以往相比减少所处理的数据量来消除各种问题的用于监视机器人的监视方法。

解决问题的手段：

为解决上述课题，本发明的监视系统其特征在于，是用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法，将上述多个驱动部中的至少一个设定为监视对象，对设定为监视对象的驱动部分别预先设定与其动作相关的至少一种监视参数，上述规定的工序动作包括在时间轴上依序进行的多个工序部分，在上述多个工序部分的各者中被设定为监视对象的至少一个驱动部进行动作，并且包括：将上述规定的工序动作进行一次以上，在上述多个工序部分的各者中，对进行动作的被设定为监视对象的所有驱动部，检测所设定的所有监视参数的准备运转工序；对于上述准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从上述负荷程度大者起，依序将上述检测出的所有监视参数进行分级的分级工序；以及主要对上述分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视的通常运转工序。

根据上述构成，主要对分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。其结果为，可提供相比于以往减少所处理的数据量从而可消除各种问题的用于监视机器人的监视方法。

上述驱动部可为在上述机器人所具有的至少一个关节轴分别设置的马达。

根据上述构成，进行在机器人所具有的至少一个关节轴分别设置的马达的监视时，可减少所处理的数据量。

上述通常运转工序中，亦可仅对上述分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。

根据上述构成，可进一步减少所处理的数据量。其结果为，可使上述本发明所发挥的效果显著。

例如，亦可将与上述驱动部的动作相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差、以及电流值中的至少一种设定为上述监视参数。

上述监视参数亦可对于各驱动部分别设定多个。

根据上述构成，可利用多个监视参数来多方面地监视各驱动部，从而，可提高监视的精度。

上述多个工序部分亦可分别藉由将上述规定的工序动作按上述机器人进行的每个作业单元或者动作单元划分而构成。

根据上述构成，可对在机器人进行的哪个作业或者动作下，机器人的哪个部分上施加的负荷程度大进行分级。

也可以是，在上述分级工序的结束时报知其意思。

根据上述构成，在分级工序的结束时，用户可获知其意思。

也可以是，在上述通常运转工序中，在监视的驱动部的负荷程度超过规定阈值的情况下发出警报。

根据上述构成，在驱动部的负荷程度超过规定阈值的情况下，用户可获知其意思。

上述机器人亦可为在制造现场进行上述规定的工序动作的搬送用机器人。

根据上述构成，可监视在制造现场进行规定的工序动作的搬送用机器人。

上述制造现场亦可为半导体制造现场，上述机器人亦可为用于搬送半导体晶圆的搬送用机器人。

根据上述构成，可对在半导体制造现场进行规定的工序动作的用于搬送半导体晶圆的搬送用机器人进行监视。

发明效果：

本发明可提供相比于以往减少所处理的数据量从而可消除各种问题的用于监视机器人的监视方法。

附图说明

图1为示出实行本发明的实施形态的监视方法的机器人系统的概略图；

图2为本发明的实施形态的监视方法的流程表；

图3为示出本发明的实施形态的监视方法的分级工序中所取得的位置偏差等级的一例的图；

图4为示出本发明的实施形态的监视方法的分级工序中所取得的速度偏差等级的一例的图；

图5为示出本发明的实施形态的监视方法的分级工序中所取得的加速度偏差等级的一例的图；

图6为示出本发明的实施形态的监视方法的分级工序中所取得的电流值等级的一例的图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施形态进行说明。此外，以下，在所有图中对同一或相当的要素均标注同一参照符号，且省略其重复的说明。图1为表示实行本实施形态的监视方法的机器人系统的概略图。

（机器人系统10）

本实施形态的监视方法为了对在作为半导体制造现场的无尘室内进行规定的工序作业的机器人20进行监视，而在包括该机器人20的机器人系统10中实行。

如图1所示，机器人系统10包括：机器人20、用于容纳半导体晶圆W的容纳部50、用于进行半导体晶圆W的角度对准的预对准器70、以及用于对半导体晶圆W实施处理的处理装置90。容纳部50介由配置有机器人20及预对准器70的空间，与处理装置90分离而配置。

（机器人20）

本实施形态的机器人20是用于在作为半导体制造现场的无尘室内搬送半导体晶圆W的搬送用机器人。另外，机器人20为所谓的水平多关节型的三轴机器人，具备三个关节轴（第一关节轴AX1、第二关节轴AX2、及第三关节轴AX3）。机器人20包括：基台22、设置于基台22的上表面且可在上下方向伸缩的升降轴（未图示）、安装于该升降轴的上端部的机器手臂30、安装于机器手臂30的梢端部的末端执行器38、以及控制机器手臂30及末端执行器38的机器人控制部40。

设置于基台22的上表面的升降轴利用未图示的气缸等而构成为可伸缩。

机器手臂30包含由在水平方向上延伸的长条状构件构成的第一手臂32a、第二手臂32b及手腕部32c。第一手臂32a的长度方向的一端部经由以未图示的马达（驱动部）驱动的第一关节轴AX1，安装于升降轴的上端部。藉此，第一手臂32a以可绕铅直方向延伸的轴线转动的状态安装于升降轴上。第二手臂32b的长度方向的一端部经由以未图示的马达（同上）驱动的第二关节轴AX2，安装于第一手臂32a的另一端部。藉此，第二手臂32b以可绕铅直方向延伸的轴线转动的状态安装于第一手臂32a上。手腕部32c的长度方向的一端部经由以未图示的马达（同上）驱动的第三关节轴AX3，安装于第二手臂32b的另一端部。藉此，手腕部32c以可绕铅直方向延伸的轴线转动的状态安装于第二手臂32b上。

末端执行器38的梢端侧分成两股，俯视时构成为Y字状。末端执行器38的基端部固定于手腕部32c的梢端侧。

机器人控制部40的具体结构并无特别限定，例如可为藉由公知的处理器（CPU等）依据存储于存储部（内存）中的程序进行工作来实现的结构。此外，本实施形态的监视方法藉由该机器人控制部40控制机器人20而在机器人系统10中实行。

（容纳部50）

容纳部50包括相互邻接而配置的第一容纳部52、第二容纳部54、第三容纳部56及第四容纳部58，在第一容纳部52、第二容纳部54、第三容纳部56及第四容纳部58分别预先容纳有半导体晶圆W。第一容纳部52、第二容纳部54、第三容纳部56及第四容纳部58均为在其前表面整个区域形成有开口的中空的长方体形状，末端执行器38从该开口向各内部插入。第一容纳部52、第二容纳部54、第三容纳部56及第四容纳部58均可将多片半导体晶圆W以隔开规定的间隔而在上下方向上积层的状态容纳。

（预对准器70）

预对准器70包括：预对准器主体72、载置半导体晶圆W的转盘74、用于使转盘74旋转的未图示的驱动源、对藉由该驱动源而旋转的状态的半导体晶圆W的外缘部分进行检测的光学传感器76、以及将由光学传感器76检测出的信息等进行处理的未图示的处理部。通过上述结构，预对准器70藉由使形成于半导体晶圆W的外周的缺口（notch）或直线部（orientation flat）的在周方向上的位置对准，来进行半导体晶圆W的角度对准。

（处理装置90）

处理装置90接收由预对准器70进行了角度对准的半导体晶圆W，对该半导体晶圆W实施处理。处理装置90包括用于实施处理的处理室91，在形成处理室91的外壁上，贯穿设置有：用于将未处理的半导体晶圆W插入处理室91中的插入口92、以及用于将在处理室91中实施了处理的半导体晶圆W取出的取出口94。

（规定的工序动作）

此处，对于在上述机器人系统10中机器人20所进行的规定的工序动作进行详细说明。该规定的工序动作包括在时间轴上依序进行的多个工序部分。本实施形态中，该多个工序部分分别藉由将规定的工序动作按机器人20进行的每个动作单元划分而构成。

例如，本实施形态的规定的工序动作以将机器人20设为规定的平台姿势时作为初始状态，包括以下的第1～44工序部分。

具备：第1工序部分，从初始状态起，直至成为可将容纳于第一容纳部52中的半导体晶圆W1加以保持的姿势为止；以及第2工序部分，从进行该第1工序部分后，直至将容纳于第一容纳部52中的半导体晶圆W1加以保持为止。

另外，规定的工序动作还具备：第3工序部分，从进行该第2工序部分后，直至搬送半导体晶圆W1而在预对准器70的转盘74上使该半导体晶圆W1成为可载置的姿势为止；第4工序部分，从进行该第3工序部分后，直至在转盘74上载置半导体晶圆W1为止；以及第5工序部分，从进行该第4工序部分后，直至将载置于转盘74上的角度对准完毕的半导体晶圆W1再次保持为止。

而且，规定的工序动作还具备：第6工序部分，从进行该第5工序部分后，搬送半导体晶圆W1，通过插入口92，直至成为可在处理室91内载置该半导体晶圆W1的姿势为止；第7工序部分，从进行该第6工序部分后，直至在处理室91内载置半导体晶圆W1为止；第8工序部分，从进行该第7工序部分后，直至使在处理室91内实施了处理的半导体晶圆W1成为可通过取出口94保持的姿势为止；以及第9工序部分，从进行该第8工序部分后，直至将载置于处理室91内的处理完毕的半导体晶圆W1再次保持为止。

另外，规定的工序动作还具备：第10工序部分，从进行该第9工序部分后，将处理完毕的半导体晶圆W1搬送，直至成为可在第一容纳部52中载置该半导体晶圆W1的姿势为止；以及第11工序部分，从进行该第10工序部分后，直至将该半导体晶圆W1载置于第一容纳部52中而再次容纳为止。

而且，规定的工序动作还具备：第12工序部分，从进行该第11工序部分后，直至使容纳于第二容纳部54中的半导体晶圆W2成为可保持的姿势为止；第13～22工序部分，从进行该第12工序部分后，对容纳于第二容纳部54中的半导体晶圆W2进行与上述第2～11工序部分相同的动作；以及第23～44工序部分，从进行该第22工序部分后，对容纳于第三容纳部56中的半导体晶圆W3、以及容纳于第四容纳部58中的半导体晶圆W4，依序进行与上述第12～22工序部分相同的动作。

（监视参数）

分别在第一～第三关节轴AX1～AX3上设置的马达（多个驱动部）中的至少一个被设定为监视对象，对于设定为监视对象的马达分别预先设定与其动作相关的至少一种监视参数。本实施形态中，与马达的动作相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差、以及电流值被设定为监视参数。而且，在上述第1～44工序部分（多个工序部分）的各者中设定为监视对象的至少一个马达进行动作。

（监视方法）

对上述机器人系统10中实行的本实施形态的监视方法的一例进行说明。图2为本实施形态的监视方法的流程表。

如图2所示，本实施形态的监视方法具备：准备运转工序S1、在进行该准备运转工序S1之后进行的分级工序S2、以及在进行该分级工序S2之后进行的通常运转工序S3。

（准备运转工序S1）

准备运转工序S1中，将上述规定的工序动作进行一次以上，在上述第1～44工序部分的各者中，对于进行动作的设定为监视对象的所有马达，检测所设定的所有监视参数（本实施形态中，与马达的动作相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差、及电流值）。

例如，在第1工序部分中，在第一关节轴AX1、及第二关节轴AX2的各马达进行动作，且第三关节轴AX3的马达不动作的情况下，对于第一关节轴AX1、及第二关节轴AX2的马达，检测所设定的所有监视参数。

该检测可藉由马达构成为伺服马达而由马达自身来进行，亦可藉由与马达分开设置位置传感器、速度传感器、加速度传感器及电流计等，而由其来进行。此外，对于不动作的第三关节轴AX3，可不检测所设定的监视参数。

此外，此处对所有马达（第一关节轴AX1、第二关节轴AX2及第三关节轴AX3）为监视对象的情况进行说明，若例如在存在负荷程度明显小的关节轴，则亦可将该关节轴的马达从监视对象中除外。

此外，当将规定的工序进行一次以上时，可以例如仅进行一次，从而使准备运转工序S1在短时间内结束，亦可进行两次以上并将检测出的监视参数平均化，来提高精度。另外，当将规定的工序进行一次以上时，可以例如以一天或者一个月等期间进行规定而进行。

（分级工序S2）

分级工序S2中，对于上述准备运转工序S1中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法而导出负荷程度，从该负荷程度大者起依序将检测出的所有监视参数进行分级。此处所谓的负荷评价方法例如可为：算出所检测出的位置偏差、速度偏差、及加速度偏差分别相对于预先决定的允许限度达到何种程度的比例，或者关于电流值，相对于预先决定的超过基准值的允许限度达到何种程度等，来导出负荷程度（例如，相对于允许限度100%，达到90%等）。此外，在负荷程度大的情况下，通常，流经马达的电流值变大，故而可利用上述负荷评价方法等来导出负荷程度。

图3～6为表示本发明的实施形态的监视方法的分级工序中取得的分级结果的一例的图。如图3～6所示，本实施形态中，在各监视参数（位置偏差、速度偏差、加速度偏差及电流值）上对每个关节轴的马达（AX1、AX2及AX3）进行分级。此外，图3～6中，分别分级至第三，但并不限定于该情况，亦可根据内存容量而分级至第二，或者亦可分级至第四以上。

图3为表示本发明的实施形态的监视方法的分级工序中取得的位置偏差等级的一例的图。此处，位置偏差等级是指对于准备运转工序S1中检测的所有位置偏差，基于上述规定的负荷评价方法导出负荷程度，从该负荷程度大者起依序分级的结果。

如图3所示，本实施形态的位置偏差等级中，第一关节轴AX1的马达中，80%的负荷程度的第10工序部分分级为第一，75%的负荷程度的第25工序部分分级为第二，71%的负荷程度的第42工序部分分级为第三。另外，第二关节轴AX2的马达中，90%的负荷程度的第3工序部分分级为第一，85%的负荷程度的第12工序部分分级为第二，82%的负荷程度的第10工序部分分级为第三。而且，第三关节轴AX3的马达中，77%的负荷程度的第5工序部分分级为第一，63%的负荷程度的第2工序部分分级为第二，60%的负荷程度的第38工序部分分级为第三。

图4为表示本发明的实施形态的监视方法的分级工序中取得的速度偏差等级的一例的图。此外，速度偏差等级的含意，除了对准备运转工序S1中检测的所有速度偏差进行之外，与上述位置偏差等级同样，因此，此处不重复其说明。

如图4所示，本实施形态的速度偏差等级中，第一关节轴AX1的马达中，75%的负荷程度的第41工序部分分级为第一，74%的负荷程度的第4工序部分分级为第二，73%的负荷程度的第26工序部分分级为第三。另外，第二关节轴AX2的马达中，68%的负荷程度的第22工序部分分级为第一，63%的负荷程度的第2工序部分分级为第二，59%的负荷程度的第41工序部分分级为第三。而且，第三关节轴AX3的马达中，78%的负荷程度的第8工序部分分级为第一，72%的负荷程度的第18工序部分分级为第二，68%的负荷程度的第38工序部分分级为第三。

图5为表示本发明的实施形态的监视方法的分级工序中取得的加速度偏差等级的一例的图。此外，加速度偏差等级的含意，除了对准备运转工序S1中检测出的所有加速度偏差进行之外，与上述位置偏差以及速度偏差等级同样，因此，此处不重复其说明。

如图5所示，本实施形态的速度偏差等级中，第一关节轴AX1的马达中，97%的负荷程度的第7工序部分分级为第一，95%的负荷程度的第11工序部分分级为第二，88%的负荷程度的第32工序部分分级为第三。另外，第二关节轴AX2的马达中，91%的负荷程度的第20工序部分分级为第一，88%的负荷程度的第22工序部分分级为第二，79%的负荷程度的第13工序部分分级为第三。而且，第三关节轴AX3的马达中，90%的负荷程度的第21工序部分分级为第一，89%的负荷程度的第17工序部分分级为第二，84%的负荷程度的第5工序部分分级为第三。

图6为表示本发明的实施形态的监视方法的分级工序中取得的电流值等级的一例的图。此外，电流值等级的含意，除了对准备运转工序S1中检测出的所有电流值进行之外，与上述位置偏差、速度偏差、以及加速度偏差等级同样，因此，此处不重复其说明。

如图6所示，本实施形态的电流值等级中，第一关节轴AX1的马达中，97%的负荷程度的第7工序部分分级为第一，95%的负荷程度的第11工序部分分级为第二，89%的负荷程度的第29工序部分分级为第三。另外，第二关节轴AX2的马达中，91%的负荷程度的第20工序部分分级为第一，81%的负荷程度的第22工序部分分级为第二，79%的负荷程度的第30工序部分分级为第三。而且，第三关节轴AX3的马达中，90%的负荷程度的第21工序部分分级为第一，79%的负荷程度的第17工序部分分级为第二，77%的负荷程度的第43工序部分分级为第三。

此外，亦可在分级工序S2的结束时报知该意思。该报知的形态并无特别限定，例如可由显示器来输出文字或者图像，亦可由扬声器来输出声音，或者亦可由LED（lightemitting diode，发光二极管）等光源来输出光。

（通常运转工序S3）

通常运转工序S3中，主要对分级工序S2中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的马达（驱动部）进行监视。此外，在本实施形态中，在通常运转工序S3中，仅对分级工序S2中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的马达（驱动部）进行监视。

此外，本实施形态中，将分级至第三的监视参数设为上位，但并不限定于此，亦可仅将分级至第一的监视参数设为上位，亦可将分级至第二、第三、或者第四的监视参数设为上位，或者亦可将分级至第六以后的监视参数设为上位。

此外，亦可在通常运转工序S3中监视的马达的负荷程度超过规定阈值的情况下发出警报。该警报的形态并无特别限定，与在上述分级工序S2的结束时报知该意思的情况相同，例如可由显示器来输出文字或者图像，亦可由扬声器来输出声音，或者亦可由LED等光源来输出光。

（效果）

本实施形态的监视方法主要对分级工序S2中分级为上位（此处为至图3～6分别所示的第三）的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的马达（驱动部）进行监视。

此处，例如在上述第1～44工序部分中，不包括将半导体晶圆W1从第一容纳部52搬送至第二容纳部54等在容纳部50内进行半导体晶圆W的搬送的作业，但机器人20以可进行包括这种作业的各种作业的形式设计。即，在设计阶段，未考虑到机器人20具体如何运用，若未实际运用，则难以预测对各关节轴的马达施加何种程度的负荷程度。

因此，本实施形态的监视方法在准备运转工序S1中进行一次以上的规定的工序动作，基于检测出的监视参数，来把握对关节轴（或者马达（驱动部））施加的负荷程度。而且，如上所述，主要对分级工序S2中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的马达进行监视。

即，本实施形态的监视方法主要对分级为上位的负荷程度大的监视参数，认为在该监视参数下发生异常的可能性较高，针对检测出该监视参数的工序部分中的马达进行监视。另一方面，对未分级为上位而负荷程度小的监视参数，视为在该监视参数下难以发生异常，对于检测出该监视参数的工序部分中的马达不进行监视。其结果为，能够提供相比于以往减少所处理的数据量从而消除各种问题的用于监视机器人的监视方法。

本实施形态中，驱动部为在机器人20所具有的第一关节轴AX1、第二关节轴AX2及第三关节轴AX3的各者上设置的马达。藉此，当对分别设置于机器人20所具有的第一关节轴AX1、第二关节轴AX2及第三关节轴AX3的马达进行监视时，可减少所处理的数据量。

本实施形态中，在通常运转工序S3中，仅对分级工序S2中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的马达（驱动部）进行监视。藉此，可进一步减少所处理的数据量。其结果为，可使上述本发明所发挥的效果显著。

本实施形态中，将与马达（驱动部）的动作相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差、及电流值设定为监视参数。藉此，可利用多个监视参数来多方面地监视各马达，因此可提高监视的精度。

本实施形态中，第1～44工序部分（多个工序部分）分别藉由将规定的工序动作按机器人20进行的每个动作单元划分而构成。藉此，可对在机器人20进行的哪个动作下，哪个关节轴（或者马达（驱动部））上施加的负荷程度大进行分级。

本实施形态中，可在分级工序S2的结束时报知该意思。藉此，在分级工序S2的结束时，用户可获知该意思。因此，例如可在开始进行通常运转工序S3之前实施如下对策，即，对检测出分级为上位的监视参数的工序部分中的马达进行维护作业等。

本实施形态中，也可以是，在通常运转工序S3中所监视的马达（驱动部）的负荷程度超过规定阈值的情况下发出警报。藉此，在马达的负荷程度超过规定阈值的情况下，用户可获知该意思。因此，可对检测到产生异常的监视参数的工序部分中的马达进行维护作业。

本实施形态中，机器人20是在半导体制造现场进行规定的工序动作的用于搬送半导体晶圆W的搬送用机器人。藉此，可对在半导体制造现场进行规定的工序动作的用于搬送半导体晶圆的搬送用机器人进行监视。

（变形例）

根据上述说明，对本领域技术人员而言，本发明的多种改良或其他实施形态明确。因此，上述说明应仅作为例示来解释，是出于对本领域技术人员教示实施本发明的最佳形态的目的而提供。只要不脱离本发明的精神，则可实质性变更其构造及/或功能的详细内容。

上述实施形态中，已对第1～44工序部分（多个工序部分）分别藉由将规定的工序动作按机器人20所进行的每个动作单元划分而构成的情况进行说明，但并不限定于此。即，上述实施形态中，说明了规定的工序动作以包括例如从初始状态至成为可将容纳于第一容纳部52中的半导体晶圆W1加以保持的姿势为止的第1工序部分，以及从该第1工序部分之后，直至将容纳于第一容纳部52中的半导体晶圆W1加以保持为止的第2工序部分的形式，以动作单元来详细划分的情况，但并不限定于此。

即，也可以是，藉由规定的工序动作按每个如下作业单元划分而构成：例如，从初始状态起，将容纳于第一容纳部52中的半导体晶圆W1搬送至预对准器70，将由预对准器70进行了角度对准的半导体晶圆W1从插入口92中插入并搬送至处理室91内，将处理完毕的半导体晶圆W1从取出口94中取出并搬送至第一容纳部52，直至再次容纳为止。

上述实施形态中，已对将与马达（驱动部）的动作相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差、及电流值设定为监视参数的情况进行说明，但并不限定于此。例如，作为监视参数，亦可设定与马达相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差、及电流值中的至少一种，亦可设定其他种类的监视参数。此外，在仅设定一种监视参数的情况下，为了在分级工序S2中进行分级，机器人20需具备两个以上的关节轴。

上述实施形态中，已对机器人20具备第一关节轴AX1、第二关节轴AX2、及第三关节轴AX3这三个关节轴的情况进行说明，但并不限定于此。即，机器人20可具备一个或两个关节轴，或者亦可具备四个以上的关节轴（即，至少一个关节轴）。而且，亦可以在这些所有关节轴的各者上设置的马达（驱动部）为对象来执行本发明的监视方法。此外，在机器人20仅具备一个关节轴的情况下，为了在分级工序S2中进行分级，需设定两种以上的监视参数。

上述实施形态中，已对监视方法在机器人控制部40中实行的情况进行说明，但并不限定于此。即，监视方法亦可包含在与机器人控制部40分开而设置于上位的监视用控制部中。此外，在分级工序S2的结束时报知该意思的情况下，以及在通常运转工序S3中监视的马达的负荷程度超出规定阈值时发出警报的情况下，可藉由从机器人控制部40发出输出指令来进行，或者亦可从上述监视用控制部发出输出指令来进行。

上述实施形态中，已对机器人20为在半导体制造现场进行规定的工序动作的搬送用机器人的情况进行说明，但并不限定于此。即，机器人20亦可为在例如食品制造现场或汽车制造现场等进行规定的工序动作的其他搬送用机器人。这种情况下，机器人20例如亦可代替搬送半导体晶圆W，而搬送任意的食品或者汽车的零件等。另外，机器人20亦可为搬送用途以外所使用的其他机器人。这种情况下，机器人20亦可为例如进行焊接的焊接用机器人等。

上述实施形态中，已对驱动部构成为在第一关节轴AX1、第二关节轴AX2及第三关节轴AX3的各者上设置的马达的情况进行说明，但并不限定于此。例如，驱动部亦可构成为设置于末端执行器38上的保持机构（吸引及把持等）、或由机器人控制部40所控制的周边机器等的所谓的外部轴的马达。另外，例如，驱动部亦可不为马达，而是构成为油压缸等。

符号说明：

10：机器人系统

20：机器人

30：机器手臂

32a：第一手臂部

32b：第二手臂部

32c：手腕部

38：末端执行器

40：机器人控制部

50：容纳部

52：第一容纳部

54：第二容纳部

56：第三容纳部

70：预对准器

72：预对准器主体

74：转盘

76：光学传感器

90：处理装置

91：处理室

92：插入口

94：取出口

AX：关节轴

S1：准备运转工序

S2：分级工序

S3：通常运转工序

W：半导体晶圆。

Claims

1.一种监视方法，其特征在于，是用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法：

将上述多个驱动部中的至少一个设定为监视对象，

对设定为监视对象的驱动部分别预先设定与上述驱动部的动作相关的位置偏差、速度偏差、加速度偏差以及电流值中的至少一种的监视参数，

上述规定的工序动作包括在时间轴上依序进行的多个工序部分，在上述多个工序部分的各者中被设定为监视对象的至少一个驱动部进行动作，并且

包括：将上述规定的工序动作进行一次以上，在上述多个工序部分的各者中，对进行动作的被设定为监视对象的所有驱动部，检测所设定的所有监视参数的准备运转工序；

对于上述准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从上述负荷程度大者起依序将上述检测出的所有工序部分进行分级的分级工序；以及

对上述分级工序中分级为上位的工序部分，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视的通常运转工序。

2.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

上述驱动部为在上述机器人所具有的至少一个关节轴分别设置的伺服马达。

3.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

上述通常运转工序中，仅对上述分级工序中分级为上位的工序部分，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。

4.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

对于各驱动部分别设定多个上述监视参数。

5.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

上述多个工序部分分别藉由将上述规定的工序动作按上述机器人进行的每个作业单元或动作单元划分而构成。

6.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

在上述分级工序的结束时报知其意思。

7.根据权利要求1所述的监视方法，其特征在于，

在上述通常运转工序中，在监视的驱动部的负荷程度超过规定阈值的情况下发出警报。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的监视方法，其特征在于，

上述机器人为在制造现场进行上述规定的工序动作的搬送用机器人。

9.根据权利要求8所述的监视方法，其特征在于，

上述制造现场为半导体制造现场，且上述机器人为用于搬送半导体晶圆的搬送用机器人。