CN110431932A - 元件安装机和吸嘴高度控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供元件安装机和吸嘴高度控制方法，拍摄包含元件(P)和向元件(P)下降的吸嘴(41)这两者的图像(I)(步骤(S104))。而且，基于该图像(I)，对在安装处理中使吸嘴(41)停止的目标高度(Zt)进行控制(步骤(S105～S107))。由此，能够不依赖于从吸嘴(41)抽吸的空气的流量地对使吸嘴(41)向元件P下降时的目标高度(Zt)进行控制。

Description

元件安装机和吸嘴高度控制方法

技术领域

本发明涉及将由吸嘴吸附的元件安装于基板的元件安装技术。

背景技术

专利文献1、2中记载的元件安装机随着使吸嘴向元件下降并在目标高度停止而抽吸吸嘴，由此将元件吸附于吸嘴。此时，为了牢固地吸附元件，需要设定目标高度以使吸嘴在该目标高度与元件接触。因此，在专利文献1中，基于对从吸嘴抽吸的空气的流量进行检测的结果，设定目标高度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-133796号公报

专利文献2：日本特开2003-133791号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在上述方法中，例如在诸如因附着于吸嘴的垃圾等的影响致使流量发生了变化这类情况下，可能无法正确地设定目标高度。因此，需要能够不依赖于从吸嘴抽吸的空气的流量来控制吸嘴的目标高度的技术。

本发明鉴于上述课题而完成，其目的在于提供一种能够不依赖于从吸嘴抽吸的空气的流量来对使吸嘴向元件下降时的目标高度进行控制的技术。

用于解决课题的技术方案

本发明的元件安装机具备：基板保持部，保持基板；元件供给部，供给收纳于收纳凹部的元件；安装头，执行如下安装处理：使向元件下降的吸嘴在目标高度停止，由在目标高度与元件接触的吸嘴吸附元件后，将元件安装于基板；拍摄部，拍摄包含元件和向元件下降的吸嘴这两者的图像，或者拍摄包含收纳凹部和向元件下降的吸嘴这两者的图像；及控制部，基于由拍摄部拍摄到的图像，对在安装处理中使吸嘴停止的目标高度进行控制。

本发明的吸嘴高度控制方法具备如下工序：拍摄包含元件和向元件下降的吸嘴这两者的图像，或者拍摄包含收纳元件的收纳凹部和向元件下降的吸嘴这两者的图像；执行如下安装处理：使向元件下降的吸嘴在目标高度停止，由在目标高度与元件接触的吸嘴吸附元件后，将元件安装于基板，基于图像对在安装处理中使吸嘴停止的目标高度进行控制。

在如此构成的本发明(元件安装机、吸嘴高度控制方法)中，拍摄包含元件和向元件下降的吸嘴这两者的图像，或者拍摄包含收纳元件的收纳凹部和向元件下降的吸嘴这两者的图像。而且，基于该图像对在安装处理中使吸嘴停止的目标高度进行控制。由此，能够不依赖于从吸嘴抽吸的空气的流量地对使吸嘴向元件下降时的目标高度进行控制。

另外，也可以将元件安装机构成为，控制部基于在安装处理中在使吸嘴向元件下降的同时由拍摄部拍摄到的图像，对使下降中的吸嘴停止的目标高度进行控制。在该结构中，即使在例如元件的厚度因个体差而不均的情况下，也能相对于元件的厚度，适当地控制吸嘴的目标高度。

另外，也可以将元件安装机构成为，控制部基于图像所包含的吸嘴的下端部和元件的上端部各自的拍摄部侧的边缘，对在安装处理中使吸嘴停止的目标高度进行控制。在该结构中，能够基于在图像处理中能较容易地识别的边缘，适当地对吸嘴的目标高度进行控制。

另外，也可以将元件安装机构成为，控制部执行在使吸嘴向元件下降的同时使拍摄部拍摄图像并求取在根据图像确认出吸嘴与元件接触时的吸嘴的高度作为目标高度的预处理，使在安装处理中下降的吸嘴在预处理中求得的目标高度停止。在该结构中，在安装处理之前的预处理中，求取吸嘴与元件接触时的吸嘴的高度作为吸嘴的目标高度。因此，能够在之后的安装处理中在适当的目标高度使吸嘴的下降停止。

另外，可以将元件安装机构成为，控制部基于图像所包含的吸嘴的下端部和元件的上端部各自的拍摄部侧的边缘的位置，来确认吸嘴与元件的接触。在该结构中，能够基于图像处理中能较容易地识别的边缘，正确地判别吸嘴与元件的接触。

另外，也可以将元件安装机构成为，控制部在预处理中，在使吸嘴向元件下降的同时使拍摄部多次拍摄图像，当拍摄到吸嘴的下端部和元件的上端部各自的拍摄部侧的边缘的位置满足预定关系的图像时，判断为吸嘴与元件接触。在该结构中，能够基于多个图像，正确地判别吸嘴是否与元件接触。

另外，也可以将元件安装机构成为，还具备对在预处理中拍摄到的图像进行显示的显示部。在该结构中，作业者通过对显示于显示部的图像进行目视观察，能够确认例如吸嘴对元件的吸附错误的重要因素。

另外，可以将元件安装机构成为，拍摄部安装于安装头，从相对于铅垂方向倾斜的方向拍摄图像。通过该拍摄部，能够正确地拍摄包含元件和向元件下降的吸嘴这两者的图像、或者包含收纳元件的收纳凹部和向元件下降的吸嘴这两者的图像。

发明效果

根据本发明，能够不依赖于从吸嘴抽吸的空气的流量地对使吸嘴向元件下降时的目标高度进行控制。

附图说明

图1是示出本发明的元件安装机的示意局部俯视图。

图2是示出图1的元件安装机所具备的电结构的框图。

图3是示出吸嘴控制相机的结构的一个例子的示意图。

图4是示出吸嘴控制相机所拍摄的图像的一个例子的示意图。

图5是示出根据吸嘴控制相机所拍摄到的图像算出吸嘴与元件之间的距离的方法的一个例子的示意图。

图6是本发明的第1实施方式的流程图。

图7是本发明的第2实施方式的流程图。

图8是示出图7的预处理中所拍摄的图像的一个例子的示意图。

具体实施方式

图1是示出本发明的元件安装机的示意局部俯视图。图2是示出图1的元件安装机所具备的电结构的框图。在图1和以下图中，适当示出以Z方向为铅垂方向的XYZ正交坐标。如图2所示，元件安装机1具备对装置整体统一进行控制的控制器100。控制器100是具有由CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)构成的处理器即运算处理部110和由HDD(Hard Disk Drive)构成的存储部120的计算机。

控制器100具有对元件安装机1的驱动系统进行控制的驱动控制部130和对元件安装机1的拍摄系统进行控制的拍摄控制部140。而且，运算处理部110通过控制驱动控制部130和拍摄控制部140来按照预定的顺序执行元件安装。并且，在元件安装机1设置有显示/操作单元150，运算处理部110将元件安装机1的状况显示于显示/操作单元150、或接受输入于显示/操作单元150的来自作业者的指示。

如图1所示，元件安装机1具备设置于基台11上的一对输送机12、12。而且，元件安装机1对通过输送机12从X方向(基板输送方向)的上游侧搬入至安装处理位置(图1的基板B的位置)的基板B安装元件P，通过输送机12将结束了元件安装的基板B从安装处理位置向X方向的下游侧搬出。

在元件安装机1中，设置有沿Y方向延伸的一对Y轴轨道21、21、沿Y方向延伸的Y轴滚珠丝杠22及驱动Y轴滚珠丝杠22旋转的Y轴马达My(伺服马达)，X轴轨道23以能够在Y方向上移动地支承于一对Y轴轨道21、21的状态，固定于Y轴滚珠丝杠22的螺母。在X轴轨道23安装有沿X方向延伸的X轴滚珠丝杠24和驱动X轴滚珠丝杠24旋转的X轴马达Mx(伺服马达)，头单元20以能够在X方向上移动地支承于X轴轨道23上的状态，固定于X轴滚珠丝杠24的螺母。因此，驱动控制部130能够利用Y轴马达My使Y轴滚珠丝杠22旋转，使头单元20沿Y方向移动，或者利用X轴马达Mx使X轴滚珠丝杠24旋转，使头单元20沿X方向移动。

在一对输送机12、12的Y方向上的两侧，分别在X方向上排列有2个元件供给部3。多个带式供料器31沿X方向排列，以能够拆装的方式安装于各元件供给部3。带式供料器31沿Y方向延伸配置，向Y方向上的头单元20侧的前端部供给集成电路、晶体管、电容器等小片状的元件P。即，在各带式供料器31上配装有在以预定间距排列的多个袋部Tp中分别收纳有元件P的带，各带式供料器31将带朝向头单元20侧沿Y方向间歇地送出。由此，带内的元件P被沿Y方向送出，向各带式供料器31的前端部(图1的袋部Tp的位置)依次供给。

头单元20具有所谓旋转式的安装头4。即，在安装头4以能够拆装的方式安装有以旋转轴A4为中心呈圆周状等角度间隔地排列的多个(8个)吸嘴41，多个吸嘴41受到R轴马达Mr(伺服马达)的驱动力而能够以旋转轴A4为中心旋转。而且，安装头4借助Z轴马达Mz(伺服马达)的驱动力使吸嘴41升降，实施元件P的吸附和安装。此外，驱动控制部130在基于Z轴马达Mz的编码器的输出确认吸嘴41的高度的同时，使吸嘴41升降。另外，在头单元20安装有吸嘴控制相机5，基于由吸嘴控制相机5拍摄到的图像I对吸附元件P时的元件P的高度进行控制。

具体而言，头单元20将作为吸附对象的元件P收入于吸嘴控制相机5的视场，并且使多个吸嘴41旋转，使该元件P从上方与一个吸嘴41相向。然后，安装头4使吸嘴41下降，使吸嘴41的下端面与元件P的上表面接触。此时，拍摄控制部140利用吸嘴控制相机5拍摄包含元件P和吸嘴41这两者的图像I，运算处理部110基于该图像I对驱动控制部130进行控制，来对吸嘴41的下降进行调整。由此，能够使吸嘴41正确地与元件P接触。接着，安装头4通过在由吸嘴41吸附元件P的同时使吸嘴41上升，来保持(拾取)安装头4。通过反复进行该动作，能够将多个元件P保持于安装头4。

并且，元件安装机1在沿X方向排列的2个元件供给部3之间具备朝向上方安装于基台11的元件识别相机6。元件识别相机6从下方拍摄吸嘴41或吸附于吸嘴41的元件P。而且，运算处理部110基于经由拍摄控制部140取得的元件识别相机6的拍摄结果，能够识别吸嘴41的外形、吸嘴41对元件P的吸附状态。

图3是示出吸嘴控制相机的结构的一个例子的示意图。此外，在该图中，一并示出了头单元20等其他部件和吸嘴控制相机5。另外，多个吸嘴41中，代表性地示出2个吸嘴41，并且一并示出了吸嘴41与元件P分离的状态(实线)和吸嘴41与元件P接触的状态(双点划线)。吸嘴控制相机5具有拍摄元件51、远心透镜52及反射镜53，从拍摄对象物(元件P、吸嘴41)射出并在反射镜53反射后的光由远心透镜52在拍摄元件51上成像。另外，吸嘴控制相机5具有照明54，在由照明54照射拍摄对象物的状态下，利用拍摄元件51对拍摄对象物进行拍摄。拍摄元件51是由CMOS(Complementary MOS)图像传感器或CCD(Charge CoupledDevice)图像传感器这样的固体拍摄元件构成的区域传感器，由拍摄元件51拍摄到的图像I被向拍摄控制部140输出。

该吸嘴控制相机5的光轴OA相对于Z方向(铅垂方向)倾斜倾斜角θ(90°＞θ＞0°)，换言之，吸嘴控制相机5从斜上方对拍摄对象物进行拍摄。由此，吸嘴控制相机5能够一边将元件P和朝向该元件P下降的吸嘴41同时收入视场一边拍摄包含元件P和吸嘴41这两者的图像I。而且，拍摄控制部140基于根据该图像I算出的吸嘴41与元件P之间的距离H，对使吸嘴41下降的目标高度Zt进行调整。

图4是示出吸嘴控制相机所拍摄的图像的一个例子的示意图，图5是示出根据吸嘴控制相机所拍摄到的图像算出吸嘴与元件之间的距离的方法的一个例子的示意图。此外，在图4和图5中，示出吸嘴41的中心线C41与元件P的上表面Pa的中心(几何重心)对齐的情况。

如图4所示，在由吸嘴控制相机5拍摄到的图像I中，显示出吸嘴41的下端面41a的吸嘴控制相机5侧的边缘41b与元件P的上表面Pa的吸嘴控制相机5侧的边缘Pb之间的距离L。而且，拍摄控制部140基于通过边缘检测等图像处理对各边缘41b、Pb进行检测而得到的结果，求取该距离L。

相对于此，由图5可知，吸嘴41与元件P之间在Z方向上的距离H通过以下关系式求取。

h1＝L/cos(90°－θ)…式1

h2＝ΔW×tan(90°－θ)…式2

H＝h1+h2…式3

这里，尺寸差ΔW为吸嘴41的下端面41a在X方向(吸嘴控制相机5的进深方向)上的宽度W41与元件P的上表面Pa在X方向上的宽度Wp之差的一半。吸嘴41的宽度W41根据例如由元件识别相机6拍摄吸嘴41的下端面41a而得到的结果求取，元件P的宽度Wp根据例如由吸嘴控制相机5拍摄元件P的上表面Pa而得到的结果求取。而且，运算处理部110基于通过式1～式3算出的吸嘴41与元件P之间在Z方向上的距离H，将使吸嘴41下降的目标高度Zt调整至元件P的上表面Pa。

图6是本发明的第1实施方式的流程图，具体而言，示出图1的元件安装机1所执行的安装处理的一个例子。该流程图通过运算处理部110的控制而执行。顺便说一下，图6所示的安装处理是由安装头4利用各吸嘴41从元件供给部3依次吸附元件P并将各元件P安装于基板B的处理，元件安装机1根据需要，反复执行安装处理，由此结束元件P在基板B上的安装。

在安装处理中，随着带式供料器31供给元件P(步骤S101)，吸嘴41向由带式供料器31供给的元件P的上方移动(步骤S102)。此外，在步骤S102中，利用与日本特开2015-90925号公报相同的方法，在X方向和Y方向上对吸嘴41与元件P的位置关系进行调整，由此使吸嘴41从Z方向与元件P的上表面Pa中的吸附位置相向。具体而言，运算处理部110基于吸嘴控制相机5对元件P的拍摄结果，求取元件P的上表面Pa的中心(吸附位置)，以吸嘴41的中心线C41与该中心对齐的方式使吸嘴41移动。由此，在从Z方向俯视观察下，元件P的吸附位置与吸嘴41的中心线C41重叠。

接着，吸嘴41开始朝向元件P下降(步骤S103)。吸嘴41的下降从开始至预定时间，以速度Va执行，当从开始经过了预定时间时，以比速度Va慢的速度Vb执行。而且，在吸嘴41以速度Va下降期间，控制相机5拍摄如吸嘴图4所例示的包含吸嘴41和元件P的图像I(步骤S104)。

另外，拍摄控制部140根据上述式1～式3算出吸嘴41与元件P之间在Z方向上的距离H(步骤S105)，基于该距离H，设定目标高度Zt(步骤S106)。具体而言，在步骤S104～S105的执行期间，将向下从距离H减去吸嘴41下降了的距离ΔH后的下降距离(＝H－ΔH)后的高度设定为目标高度Zt。

运算处理部110当确认为吸嘴41的下端面41a下降至目标高度Zt时(在步骤S107中为“是”)，使吸嘴41的下降停止(步骤S108)，使吸嘴41吸附元件P(步骤S109)。如此，通过在基于拍摄有吸嘴41和元件P的图像I而设定的目标高度Zt使吸嘴41的下降停止，能够使吸嘴41正确地接触元件P，抑制吸嘴41对元件P的吸附错误的发生。而且，在切换吸嘴41的同时重复进行步骤S102～S109，直至对在该安装处理中应吸附的全部元件P的吸附结束(在步骤S110中为“否”)。当全部元件P的吸附结束时(在步骤S110中为“是”)，安装头4向基板B的上方移动，将由各吸嘴41保持的元件P安装于基板B(步骤S111)。

在以上说明的第1实施方式中，拍摄包含元件P和向元件P下降的吸嘴41这两者的图像I(步骤S104)。而且，基于该图像I对在安装处理中使吸嘴41停止的目标高度Zt进行控制(步骤S105～S107)。由此，能够不依赖于从吸嘴41抽吸的空气的流量地对使吸嘴41向元件P下降时的目标高度Zt进行控制。

另外，控制器100基于在安装处理中使吸嘴41向元件P下降的同时由吸嘴控制相机5拍摄到的图像I，对使下降中的吸嘴41停止的目标高度Zt进行控制(步骤S103～S107)。在该结构中，能够根据包含由下降中的吸嘴41预定吸附的元件P的图像I对吸嘴41的目标高度Zt进行调整，因此即使在例如元件P的厚度因个体差而不均的情况下，也能相对于元件P的厚度，适当地控制吸嘴41的目标高度Zt。

另外，控制器100基于图像I所包含的吸嘴41的下端面41a和元件P的上表面Pa各自的吸嘴控制相机5侧的边缘41b、Pb，对在安装处理中使吸嘴41停止的目标高度Zt进行控制。在该结构中，能够基于在图像处理中能较容易地识别的41b、Pb，适当地对吸嘴41的目标高度Zt进行控制。

另外，吸嘴控制相机5经由头单元20安装于安装头4，从相对于Z方向倾斜的方向拍摄图像I。利用该吸嘴控制相机5，能够正确地拍摄包含元件P和向元件P下降的吸嘴41这两者的图像I。

图7是本发明的第2实施方式的流程图，具体而言，示出图1的元件安装机1在安装处理前执行的预处理的一个例子。该流程图通过运算处理部110的控制而被执行。图8是示出在图7的预处理中所拍摄的图像的一个例子的示意图。

在预处理中，随着带式供料器31供给元件P(步骤S201)，吸嘴41向由带式供料器31供给的元件P的上方移动(步骤S202)。此外，在步骤S202中，采用与日本特开2015-90925号公报相同的方法，在X方向和Y方向上对吸嘴41与元件P的位置关系进行调整，由此使吸嘴41的边缘41b与元件P的边缘Pb相向。具体而言，运算处理部110根据吸嘴控制相机5对元件P的拍摄结果，求取元件P的边缘Pb，使吸嘴41移动，使吸嘴41的边缘41b从上方与元件P的边缘Pb相向。此时，吸嘴41的边缘41b的位置基于元件识别相机6对吸嘴41的拍摄结果而预先算出。此外，各边缘41b、Pb能够通过边缘检测等图像处理求取。通过执行该步骤S202，在从Z方向俯视观察下，元件P的边缘Pb与吸嘴41的边缘41b重叠。

接着，该吸嘴41开始向元件P下降(步骤S203)。而且，在吸嘴41下降期间，吸嘴控制相机5拍摄包含吸嘴41和元件P的图像I(步骤S204)。反复执行步骤S204的拍摄，直至在步骤S205中通过图像I确认为吸嘴41的边缘41b与元件P的边缘Pb在Z方向上重合(接触)。由此，拍摄出图8的“第一次”、“第二次”及“第三次”各栏所示的图像I。此外，这些图像I显示于显示/操作单元150。如图8的“第三次”栏所示，当取得吸嘴41的边缘41b与元件P的边缘Pb接触的图像I时(在步骤S205中为“是”)，将拍摄该图像I的时刻的吸嘴41的下端面41a的高度设定为目标高度Zt(步骤S206)。

而且，元件安装机1在之后执行的安装处理中，使吸嘴41向该目标高度Zt下降。若使用图6的安装处理的流程图进行说明，则步骤S101～S103按照与上述相同的要领执行。另一方面，省略步骤S104～S106，在步骤S107中，判定吸嘴41是否下降至在图8的预处理中设定的目标高度Zt。而且，当确认为吸嘴41下降至目标高度Zt时(在步骤S107中为“是”)，按照与上述相同的要领执行步骤S108～S111。如此在第2实施方式中，也能通过在基于拍摄吸嘴41和元件P所得的图像I而设定的目标高度Zt使吸嘴41的下降停止，来使吸嘴41正确地与元件P接触，抑制吸嘴41对元件P的吸附错误的产生。

在以上说明的第2实施方式中，拍摄包含元件P和向元件P下降的吸嘴41这两者的图像I(步骤204)。而且，基于该图像I对在安装处理中使吸嘴停止的目标高度Zt进行控制(步骤S206、S107)。由此，能够不依赖于从吸嘴41抽吸的空气的流量地对使吸嘴41向元件P下降时的目标高度Zt进行控制。

另外，控制器100执行如下预处理：在使吸嘴41向元件P下降的同时使吸嘴控制相机5拍摄图像I，求取根据图像I确认出吸嘴41与元件P的接触时的吸嘴41的高度作为目标高度Zt。而且，控制器100使在安装处理中下降的吸嘴41在预处理中求得的目标高度Zt停止。在该结构中，在安装处理之前的预处理中，求取使吸嘴41与元件P接触时的吸嘴41的高度作为吸嘴41的目标高度Zt。因此，在之后的安装处理中，能够在适当的目标高度Zt使吸嘴41的下降停止。

另外，控制器100基于图像I所包含的吸嘴41的下端面41a和元件P的上表面Pa各自的吸嘴控制相机5侧的边缘41b、Pb的位置，确认吸嘴41与元件P的接触。在该结构中，基于在图像处理中能够较容易地识别的边缘41b、Pb，能够正确地判别吸嘴41与元件P的接触。

另外，控制器100在预处理中，在使吸嘴41向元件P下降的同时使吸嘴控制相机5多次拍摄图像I(步骤S203～S205)。而且，当拍摄到吸嘴41的下端面41a和元件P的上表面Pa各自的吸嘴控制相机5侧的边缘41b、Pb的位置满足预定关系的图像I(图8的“第三次”栏)时，控制器100判断为吸嘴41与元件P接触。在该结构中，能够基于多个图像I，正确地判别吸嘴41是否与元件P接触。

另外，元件安装机1将在预处理中拍摄到的图像I显示于显示/操作单元150。因此，作业者通过目视观察在显示/操作单元150显示的图像I，能够确认例如吸嘴41对元件P的吸附错误的重要因素。

如此，在本实施方式中，元件安装机1相当于本发明的“元件安装机”的一个例子，输送机12相当于本发明的“基板保持部”的一个例子，基板B相当于本发明的“基板”的一个例子，元件供给部3相当于本发明的“元件供给部”的一个例子，袋部Tp相当于本发明的“收纳凹部”的一个例子，元件P相当于本发明的“元件”的一个例子，上表面Pa相当于本发明的“上端部”的一个例子，边缘Pb相当于本发明的“边缘”的一个例子，安装头4相当于本发明的“安装头”的一个例子，吸嘴41相当于本发明的“吸嘴”的一个例子，下端面41a相当于本发明的“下端部”的一个例子，边缘41b相当于本发明的“边缘”的一个例子，目标高度Zt相当于本发明的“目标高度”的一个例子，步骤S101～S111相当于本发明的“安装处理”的一个例子，吸嘴控制相机5相当于本发明的“拍摄部”的一个例子，图像I相当于本发明的“图像”的一个例子，控制器100相当于本发明的“控制部”的一个例子，步骤S201～S206相当于本发明的“预处理”的一个例子，显示/操作单元150相当于本发明的“显示部”的一个例子，Z方向相当于本发明的“铅垂方向”的一个例子。

此外，本发明并不局限于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围对上述方式施加各种变更。例如，在图6的安装处理的步骤S102中，将元件P的上表面Pa的中心作为吸附位置，使吸嘴41向吸附位置的上方移动。然而，元件P的吸附位置并不局限于元件P的上表面Pa的中心，能够根据元件P的形状、重量等，适当地变更。此时，也可以根据吸附位置的变更对基于图5的式1～式3适当地进行变形，算出吸嘴41与元件P在Z方向上的距离H。

另外，在图6的安装处理中，在吸嘴41开始下降之前，对吸嘴41与元件P在XY方向上的位置关系进行了调整(步骤S103)。然而，也可以在使吸嘴41下降的同时调整吸嘴41与元件P在XY方向上的位置关系。此时，图像I的拍摄可以在该位置关系的调整结束后实施。

另外，在步骤S104中拍摄图像I的时机并不局限于上述例子，也可以适当地变更。因此，可以在将吸嘴41的下降速度从速度Va切换为速度Vb之后，拍摄图像I。

另外，在图7的预处理中，在步骤S202中，使吸嘴41的边缘41b从上方与元件P的边缘Pb相向。然而，步骤S202中的元件P的边缘Pb与吸嘴41的边缘41b的位置关系并不局限于此，也可以在从Z方向俯视观察下，吸嘴41的边缘41b相对于元件P的边缘Pb偏移。此时，只要在步骤S205中考虑其偏移量，判断吸嘴41与元件P的接触即可。

另外，在图6的安装处理、图7的预处理中，基于吸嘴41的边缘和元件P的边缘，判断了吸嘴41的位置与元件P的位置之间的位置关系。然而，用于判断这些位置关系的基准并不局限于边缘。

另外，在第1实施方式的步骤S104～S107中，基于包含元件P和吸嘴41的图像I对吸嘴41的高度进行了控制。然而，也可以基于包含袋部Tp和吸嘴41的图像I，对吸嘴41的高度进行控制。即，能够推断为元件P和收容元件P的袋部Tp具有预定的位置关系，例如元件P的上表面Pa存在于比袋部Tp的上端低预定间隙的位置处。因此，也可以在步骤S104中拍摄包含袋部Tp和吸嘴41的图像I，在步骤S105中根据吸嘴41与袋部Tp的位置关系，算出吸嘴41与元件P之间在Z方向上的距离H。

另外，在第2实施方式的步骤S204～S205中，基于包含元件P和吸嘴41的图像I，判断吸嘴41与元件P的接触。然而，也可以基于包含袋部Tp和吸嘴41的图像I来判断吸嘴41与元件P的接触。即，可以在步骤S204中拍摄包含袋部Tp和吸嘴41的图像I，在步骤S205中根据吸嘴41与袋部Tp的位置关系，判断吸嘴41与元件P的接触。

另外，上述第1实施方式、第2实施方式并不排除基于从吸嘴41抽吸的空气的流量的控制，也能够补充性地使用该控制。

另外，元件供给部3的结构并不局限于利用上述带式供料器供给元件P，也可以使用托盘供给元件P。

附图标记说明

1…元件安装机 12…输送机(基板保持部) 3…元件供给部4…安装头 41…吸嘴41a…下端面(下端部) 41b…边缘 5…吸嘴控制相机(拍摄部) 100…控制器(控制部)150…显示/操作单元(显示部) B…基板 I…图像 P…元件 Pa…上表面(上端部) Pb…边缘 Tp…袋部(收纳凹部) Z…铅垂方向 Zt…目标高度 S101～S111…安装处理 S201～S206…预处理。

Claims (9)

1.一种元件安装机，具备：

基板保持部，保持基板；

元件供给部，供给收纳于收纳凹部的元件；

安装头，执行如下安装处理：使向所述元件下降的吸嘴在目标高度停止，由在所述目标高度与所述元件接触的所述吸嘴吸附所述元件后，将所述元件安装于所述基板；

拍摄部，拍摄包含所述元件和向所述元件下降的所述吸嘴这两者的图像，或者拍摄包含所述收纳凹部和向所述元件下降的所述吸嘴这两者的图像；及

控制部，基于由所述拍摄部拍摄到的所述图像，对在所述安装处理中使所述吸嘴停止的所述目标高度进行控制。

2.根据权利要求1所述的元件安装机，其中，

所述控制部基于在所述安装处理中在使所述吸嘴向所述元件下降的同时由所述拍摄部拍摄到的所述图像，对使下降中的所述吸嘴停止的所述目标高度进行控制。

3.根据权利要求2所述的元件安装机，其中，

所述控制部基于所述图像所包含的所述吸嘴的下端部和所述元件的上端部各自的所述拍摄部侧的边缘，对在所述安装处理中使所述吸嘴停止的所述目标高度进行控制。

4.根据权利要求1所述的元件安装机，其中，

所述控制部执行在使所述吸嘴向所述元件下降的同时使所述拍摄部拍摄所述图像并求取在根据所述图像确认出所述吸嘴与所述元件接触时的所述吸嘴的高度作为所述目标高度的预处理，使在所述安装处理中下降的所述吸嘴在所述预处理中求得的所述目标高度停止。

5.根据权利要求4所述的元件安装机，其中，

所述控制部基于所述图像所包含的所述吸嘴的下端部和所述元件的上端部各自的所述拍摄部侧的边缘的位置，来确认所述吸嘴与所述元件的接触。

6.根据权利要求5所述的元件安装机，其中，

所述控制部在所述预处理中，在使所述吸嘴向所述元件下降的同时使所述拍摄部多次拍摄所述图像，当拍摄到所述吸嘴的下端部和所述元件的上端部各自的所述拍摄部侧的边缘的位置满足预定关系的所述图像时，判断为所述吸嘴与所述元件接触。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的元件安装机，其中，

还具备对在所述预处理中拍摄到的所述图像进行显示的显示部。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的元件安装机，其中，

所述拍摄部安装于所述安装头，从相对于铅垂方向倾斜的方向拍摄所述图像。

9.一种吸嘴高度控制方法，具备如下工序：

拍摄包含元件和向所述元件下降的吸嘴这两者的图像，或者拍摄包含收纳所述元件的收纳凹部和向所述元件下降的吸嘴这两者的图像；及

执行如下安装处理：使向所述元件下降的所述吸嘴在目标高度停止，由在所述目标高度与所述元件接触的所述吸嘴吸附所述元件后，将所述元件安装于所述基板，

基于所述图像对在所述安装处理中使所述吸嘴停止的所述目标高度进行控制。