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CN119284335A - 上开式基板容器的固持装置 - Google Patents

上开式基板容器的固持装置 Download PDF

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CN119284335A
CN119284335A CN202311613546.XA CN202311613546A CN119284335A CN 119284335 A CN119284335 A CN 119284335A CN 202311613546 A CN202311613546 A CN 202311613546A CN 119284335 A CN119284335 A CN 119284335A
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CN
China
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substrate
container
holding device
pushing
holding
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CN202311613546.XA
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邱铭乾
潘咏晋
钟承恩
刘维虔
黄子宁
赵子齐
黄姿维
刘家良
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Original Assignee
Gudeng Precision Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

本发明提供一种上开式基板容器的固持装置，包含固持组件用以推抵基板活动件作动，基板活动件设置于基板的外侧部。固持组件包括固持本体及推抵活动件，推抵活动件包括：第一导引斜面，用以抵持容器门体的内表面的第二导引斜面，第一导引斜面依据容器门体的抵持力，使第一导引斜面与第二导引斜面之间相应推抵位移；推抵部连接于第一导引斜面，且可依据第一导引斜面推抵位移程度相应推抵基板活动件作动，使基板活动件位移基板并使基板彼此层叠定位。固持装置适用于上开式基板容器及其载运保存的半导体工件。

Description

上开式基板容器的固持装置
技术领域
本发明提供一种固持装置，特别是一种使容器内所承载基板稳定保持而免于受损以及可调整不同承载基板数量的上开式基板容器的固持装置。
背景技术
工业上的电子元件相关片状物产品，例如电路板、晶圆、玻璃等片状物半导体工件，往往需以容器容纳这些片状物半导体工件并加以保护、承载或运送，而承载这些电子元件相关产品或半导体制程相关元件的片状物半导体工件的容器，需要设计良好的保护措施及固持装置以避免内部存放承载的基板或半导体工件受损。
常见的基板或半导体工件受损因素诸如因震动或摩擦产生的磨损、刮损、粒子粉尘污染，或是容器或容器内部结构不够稳固而使基板晃动、跳动、跳脱造成基板撞击或破裂，均会造成基板在基板容器的存放、承载、运送过程中的品质与良率下降，以及基板或半导体工件产品的损坏等，故如何稳定固持多层基板，避免基板之间的震动、碰撞、位移或摩擦等问题是业界亟需解决的课题。
另，现有的基板容器的承载空间设计规格，只能限定堆叠一定数量的基板，其功能与尺寸单一，基板容器必须因应不同承载基板数量而重新开模制作，不仅成本高与使用利用率差，亦无稳持固定基板的功能。
又如，现有的基板容器若承载的基板尺寸较大或是数量较多而导致整体重量很重，用来盖合基板容器的门体容易在搬运过程中因地心引力而使重量集中下坠，导致门体变形而影响气密性，因此如何在承载重量较重的基板容器条件下仍可以维持气密性是极具挑战的解决方案。
发明内容
有鉴于此，本发明提供的上开式基板容器的固持装置，兼具能够稳定抵持固定多层基板、维持气密性、因应不同承载基板数量的共用容器等诸多功能性，以及具有可避免基板之间的震动、碰撞、位移或摩擦等问题的解决方案。
本发明的一实施例提供一种上开式基板容器的固持装置，上开式基板容器包括一容器本体及一容器门体，容器门体配置用以结合容器本体以界定一收纳空间，收纳空间用以收纳多个基板，固持装置包含：一基板活动件，设置于基板的外侧部；以及一固持组件，设置收纳空间内，固持组件用以推抵基板活动件作动，固持组件包括：一固持本体，设置于容器本体的内侧部；以及一推抵活动件，设置于固持本体，推抵活动件包括：一第一导引斜面，用以抵持容器门体的内表面的一第二导引斜面，第一导引斜面依据容器门体的抵持力，使第一导引斜面与第二导引斜面之间相应推抵位移；以及一推抵部连接于第一导引斜面，推抵部对应于基板活动件的位置，推抵部依据第一导引斜面推抵位移程度相应推抵基板活动件作动，使基板活动件位移基板，直至多个基板彼此层叠定位。
于一实施例中，其中，固持本体包括一倾斜导槽，推抵活动件包括连接于推抵部的一导引部，导引部凸设于倾斜导槽中，导引部依据容器门体的抵持力相应于倾斜导槽中位移，使推抵活动件靠近固持本体或远离固持本体。
于一实施例中，其中，固持组件还包括：一弹性件，设置于固持本体与推抵活动件之间，弹性件配置为依据容器门体的抵持力以提供导引部沿倾斜导槽远离固持本体方向位移、或导引部沿倾斜导槽靠近固持本体方向位移的弹性变化量。
于一实施例中，其中，基板活动件包括：一连接部，固定连接于基板的外侧部；一弹性变形部，连接于连接部，弹性变形部对应推抵部位置，弹性变形部依据推抵部的推抵位移程度以提供弹性变形及推抵基板的位移量；以及一第一固定部，设置于弹性变形部的一侧部，第一固定部用于固定相邻的基板的一第二固定部。
于一实施例中，其中，容器本体的内表面底部还包含一底部定位件，基板具有对应底部定位件的一基板定位件，底部定位件用以定位位于收纳空间中最靠近内表面底部的基板。
于一实施例中，其中，容器本体的内表面底部还包含一底部卡合件，用以卡合固定位于收纳空间中最靠近内表面底部的基板及其设置于上的基板活动件之间。
于一实施例中，其中，各基板之上、下表面具有适配的一堆叠固定部，相邻的基板经堆叠固定部彼此层叠固定。
于一实施例中，还包含至少一弹性抵持件，设置于基板的底侧部，用以弹性抵持承载基板上的一半导体工件。
于一实施例中，其中，弹性抵持件包括一固定端以及一弹性抵持臂，固定端可拆卸地设置于基板的底侧部，弹性抵持臂的一端连接于固定端，弹性抵持臂的另一端弹性抵顶半导体工件的边缘表面。
于一实施例中，其中，容器本体的内侧墙设置有一防呆件(error proofing)，用以限制些基板收纳于收纳空间中的方向。
本发明的一实施例提供一种上开式基板容器的固持装置，上开式基板容器包括一容器本体及一容器门体，容器门体配置用以结合容器本体以界定一收纳空间，收纳空间用以收纳多个基板，固持装置包含：一框架本体，设置于收纳空间中，用以承载基板；多个快拆件，分别配置于框架本体的外侧部，各快拆件包括一抵靠件及一对肩部，对肩部连接于抵靠件的两侧，容器本体的内侧墙还设有多个压扣件，抵靠件抵靠于内侧墙，各压扣件压扣于对肩部，以固定框架本体；以及多个让位部，提供设置于收纳空间内的一固持组件的让位空间。
于一实施例中，其中，当抵靠件受力离开内侧墙一距离时，对肩部脱离压扣件，使得框架本体为一可拆卸状态。
于一实施例中，其中，容器本体的内表面底部还包含一底部定位件，框架本体具有对应底部定位件的一框架定位件，底部定位件用以定位框架定位件，以界定出框架本体与容器本体的内表面底部之间一高度距离，底部定位件与压扣件为同一水平高度。
于一实施例中，其中，容器本体的内侧墙设置有一防呆件(error proofing)，用以限制框架本体设置于收纳空间中的方向。
本发明的一实施例提供一种上开式基板容器的固持装置，上开式基板容器包括一容器本体及一容器门体，容器门体配置用以结合容器本体，容器门体具有容置闩锁机构的容置空间，固持装置包括：至少一整平元件，设置于容置空间内，整平元件为整体延伸抵持容器门体的相对两内壁，且整平元件与闩锁机构为平行设置。
于一实施例中，其中，整平元件为一碳棒，碳棒的整体高度低于容置空间的总深度。
通过本发明的上开式基板容器的固持装置，通过推抵活动件与倾斜导槽的设置，在容器门体闭合于容器本体过程中，同时提供推抵活动件抵持力，使推抵活动件顺着倾斜导槽方向作动位移，进而使推抵活动件的推抵部向基板方向位移以抵持基板活动件并固定基板，达成稳持固定所运载基板的效果。
附图说明
图1为本发明一实施例中上开式基板容器的立体外观示意图；
图2A为本发明一实施例中上开式基板容器的爆炸示意图；
图2B为本发明一实施例中上开式基板容器的另一爆炸示意图；
图3A为本发明一实施例中固持组件的安装方式示意图；
图3B为本发明一实施例中固持组件的侧视示意图；
图3C为本发明一实施例中容器门体与固持组件的立体示意图；
图4A为本发明一实施例中基板与基板活动件的立体示意图；
图4B为本发明一实施例中基板与基板活动件的部分放大的俯视示意图；
图4C为本发明一实施例中基板、基板活动件与固持组件的爆炸示意图；
图4D为本发明一实施例中基板活动件的弹性变形部于未变形状态的示意图；
图4E为本发明一实施例中固持组件的推抵前示意图；
图4F为本发明一实施例中固持组件的推抵后示意图；
图5A为本发明一实施例中基板的堆叠固定部的部分放大立体示意图；
图5B为本发明一实施例中容器本体的部分放大立体示意图；
图5C为本发明一实施例中容器本体的另一部分放大立体示意图；
图6A为本发明一实施例中弹性抵持件的组装方式示意图；
图6B为本发明一实施例中弹性抵持件的立体示意图；
图6C为本发明一实施例中弹性抵持件于另一视角的立体示意图；
图7A为本发明一实施例中上开式基板容器的爆炸示意图；
图7B为本发明一实施例中框架本体的安装示意图；
图8A为本发明一实施例中框架本体及快拆件的俯视示意图；
图8B为本发明一实施例中框架本体的部分放大示意图；
图8C为本发明一实施例中框架本体的剖面示意图；
图8D为本发明一实施例中的框架本体的一变体的剖面示意图；
图8E为本发明一实施例中的框架本体的另一变体的剖面示意图；
图9为本发明一实施例中容器门体的爆炸示意图。
附图标记
10上开式基板容器
100容器本体
110底部卡合件
120内侧安装部
130底部定位件
140支撑件
150压扣件
160支撑辅助件
170防呆件
180收纳空间
190内表面底部
200容器门体
210内表面
211第二导引斜面
220门板
230闩锁机构
231操控元件
232闩锁臂
240整平元件
250门壳
251容置空间
252耳部
300固持组件
310固持本体
311倾斜导槽
320推抵活动件
321导引部
322第一导引斜面
323推抵部
330弹性件
400基板活动件
410第一固定部
420弹性变形部
430连接部
500弹性抵持件
510固定端
520弹性抵持臂
600框架本体
610快拆件
611抵靠件
612对肩部
620让位部
631框架定位件
640堆叠对位部
650凸升承载面
660凹陷承载面
700基板
710堆叠固定部
720第二固定部
800半导体工件
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容，以下结合实施方式并配合图式作进一步说明。需注意的是，在本文的内容中，诸如「第一」、「第二」及「第三」等用语系用于区分元件之间的不同，而非用于限制元件本身或表示元件的特定排序。此外，在本文的内容中，在未特别指出具体数量的情况下，冠词「一」系指一个元件或多于一个元件。
为充分了解本发明的目的、特征及效果，通过下述具体的实施例，并配合所附之图式，对本发明详细说明如下。
图1为本发明一实施例中上开式基板容器的立体外观示意图；图2A为本发明一实施例中上开式基板容器的爆炸示意图；图2B为本发明一实施例中上开式基板容器的另一爆炸示意图，并调整元件角度以助说明。
请同时参考如图1、图2A及图2B所示，本发明一实施例的上开式基板容器的固持装置适用的上开式基板容器10，其包含容器本体100、容器门体200。容器门体200适用于与容器本体100相结合，以界定收纳空间180，容器本体100的收纳空间180用以收纳多个基板700，基板700可为用来承载半导体工件(如晶圆或PCB)的载盘(Tray)；当然，容器本体100亦适用于收纳各种形式的片状物基板，以及适于收纳承载诸如工业上的电子元件相关片状物产品，包含但不限于电路板、晶圆、基板、玻璃等片状物半导体工件。于本发明一实施例中，容器门体200位于容器本体100的上方开口，用以封闭容器本体100的上方开口，容器门体200及容器本体100夹合形成的内部空间即为收纳空间180，可用于收纳堆叠多个片状物的基板700。
如图2A及图2B所示，上开式基板容器10的容器本体100内可容置基板700，在本实施例中，基板700以Tray为例说明。基板700用以承载保持片状半导体工件，每个半导体工件可由一个基板700单独承托，其中，基板700数量可为一个或多个，多个基板700可以彼此对位堆叠，使得所承载半导体工件彼此保持一定距离并保持存放于上开式基板容器10中。需注意的是，图示的基板700形状仅为示例，任何形状结构的承载半导体工件的装置均可为基板700的变化形态。
如图2A及图2B所示，固持装置适用于上开式基板容器10。固持装置包含设置于容器本体100的固持组件300以及基板活动件400，基板活动件400设置于基板700的外侧部，固持组件300设置收纳空间180内，固持组件300用于推抵基板活动件400作动以固持基板700。其中，固持组件300包括固持本体310、推抵活动件320，固持本体310设置于容器本体100的内侧部，推抵活动件320设置于固持本体310，推抵活动件320包括第一导引斜面322及推抵部323。其中，第一导引斜面322用以抵持容器门体200的内表面210的第二导引斜面211，请配合3C图。第一导引斜面322依据容器门体200的抵持力，使第一导引斜面322与第二导引斜面211之间相应推抵位移。其中，推抵部323连接于第一导引斜面322，推抵部323对应于基板活动件400的位置，推抵部323依据第一导引斜面322推抵位移程度相应推抵基板活动件400作动，使基板活动件400位移基板700，直至多个基板700彼此层叠定位。于本发明一实施例中，固持组件300还包括弹性件330，并详述于后。
于本发明一实施例中，固持组件300为多个，例如八个，分别环绕设置于容器本体100朝向收纳空间180的一侧，以提供稳定夹持基板700的周缘，确保基板700不会震动、晃动或彼此撞击；在此固持组件300数量可因应需求而调整，在此不加以局限。
请同时参阅图3A至3C。图3A为本发明一实施例中固持组件300的安装方式示意图；图3B为本发明一实施例中固持组件300的侧视示意图；图3C为本发明一实施例中容器门体与固持组件的立体示意图。
固持组件300设置于容器本体100面对于收纳基板700处的内侧的内侧安装部120，内侧安装部120可例如为凹槽或卡槽，并具有卡扣结构以与固持组件300的固持本体310卡扣固定，以稳定固定固持组件300，并使固持组件300为可弹性拆卸调整。
在此先说明固持组件300的运作方式。固持本体310包括倾斜导槽311，推抵活动件320包括连接于推抵部323的一导引部321，导引部321凸设于倾斜导槽311中，使导引部321仅能在倾斜导槽311轴线位移。请同时配合图4C，弹性件330设置于固持本体310与推抵活动件320之间，同时通过导引部321凸设于倾斜导槽311中，使推抵活动件320可以装设于固持本体310而不脱落。当容器门体200向容器本体100进行盖合过程中，容器门体200的内表面210朝向推抵活动件320，使第二导引斜面211向下抵持推抵活动件320的第一导引斜面322，第一导引斜面322依据容器门体200的抵持力，使第一导引斜面322与第二导引斜面211之间相应推抵位移。同时间，推抵部323因连接于第一导引斜面322，故推抵部323会依据第一导引斜面322的推移行程而相应作动。其中，第一导引斜面322仅有端点接触第二导引斜面211，除了可以增加施力点集中，又可以减少接触面积，以避免摩擦产生粉尘问题。
具体来说，推抵部323对应于基板活动件400的位置，当推抵部323依据第一导引斜面322推抵位移程度，使导引部321在倾斜导槽311中轴线位移，直至导引部321限位于倾斜导槽311的封闭端312，如图3B的箭头方向所示，进而让推抵活动件320远离固持本体310。其中，弹性件330配置为依据容器门体200的抵持力以提供导引部321沿倾斜导槽311远离固持本体310方向位移的弹性变化量(弹性拉伸)。换言之，推抵活动件320的导引部321于固持本体310的倾斜导槽311进行向下导引位移行程，使弹性件330逐渐被拉伸，推抵活动件320稍微远离固持本体310，此时，推抵活动件320朝向夹持基板700的基板活动件400方向移动。
反之，当容器门体200向容器本体100进行开启过程中，弹性件330依据容器门体200的抵持力以提供导引部321沿倾斜导槽311远离封闭端312，并靠近固持本体310方向位移的弹性变化量(弹性复位)。换言之，当容器门体200被移除，弹性件330释放弹性位能，推抵活动件320的导引部321于固持本体310的倾斜导槽311进行向上导引的位移行程，推抵活动件320朝向固持本体310靠拢，推抵活动件320即远离基板活动件400而呈卸除对基板活动件400的抵持状态。同时，解除对基板活动件400的施力，弹性变形部420亦随之解除变形，从而让第一固定部410与第二固定部720解除干涉，层叠的基板700不再彼此固定，装设于最底部的基板700的基板活动件400之第一固定部410也与容器本体100底部的底部卡合件110不再干涉，从而方便机台或机械手臂或由人工的方式自由地逐一或整叠取出多个基板700。
借此，通过对基板700的弹性锁固及解除机制，使具有本发明的固持装置的上开式基板容器10具有操作简便、直觉且防呆等诸多优点。操作人员或自动化机台只要盖上容器门体200，不需额外操作流程就可对基板700执行稳固且有效的锁固固定；而只要移除容器门体200，又可自然地恢复基板700的非干涉状态。
其中，弹性件330例如设置于推抵活动件320相对于固持本体310的另一侧，弹性件330的一端固定于固持本体310，另一端固定于推抵活动件320。
其中，第一导引斜面322的斜面法向量与第二导引斜面211的斜面法向量平行，即其具有相同的斜面角度。第二导引斜面211的角度与尺寸适配于第一导引斜面322。第一导引斜面322的斜面长度与倾斜导槽311的位移行程长度相同。借此，通过容器门体200上之第二导引斜面211的设置，可以确保当容器门体200垂直抵顶于推抵活动件320时，推抵活动件320在沿倾斜导槽311位移的过程中，第一导引斜面322部分能同步进行位移，而能确保推抵活动件320提供稳定的向下作用力。
其中，推抵活动件320的第一导引斜面322与容器门体200的第二导引斜面211可为其他结构形式，只要能互相配合滑移，且以较小接触面积相互抵触的结构皆属于本发明专利保护范畴。
接续说明固持组件300与基板活动件400之间的运作关系，以及基板活动件400的细部结构。请同时参阅图4A至图4F。图4A为本发明一实施例中基板与基板活动件的立体示意图；图4B为本发明一实施例中基板与基板活动件的部分放大的俯视示意图；图4C为本发明一实施例中基板、基板活动件与固持组件的爆炸示意图；图4D为本发明一实施例中基板活动件的弹性变形部于未变形状态的示意图。图4E为本发明一实施例中固持组件的推抵前示意图；图4F为本发明一实施例中固持组件的推抵后示意图，并且，图4E至图4F系图1中沿A-A’线段的剖面图。
基板活动件400适用于作为推抵活动件320与基板700之间的缓冲、夹持、固定的缓冲弹性元件。基板活动件400包括连接部430、弹性变形部420及第一固定部410。连接部430固定连接于基板700的外侧部，如边缘。连接部430位于弹性变形部420的两端，并以夹持形式固定连接于基板700的外侧部。弹性变形部420连接于连接部430，弹性变形部420配置为对应推抵部323位置。第一固定部410设置于弹性变形部420的一侧部，如下方位置，第一固定部410用于固定相邻的基板700的一第二固定部720。
其中，当推抵活动件320受到容器门体200的抵持力，而远离固持本体310，并朝向弹性变形部420方向施予抵持力时，使弹性变形部420对应推抵部323位置，弹性变形部420依据推抵部323之推抵位移程度以提供弹性变形及推抵基板700的位移量。换言之，推抵活动件320的推抵部323抵接于弹性变形部420，弹性变形部420连动第一固定部410朝向相邻的基板700的第二固定部720位移，直至容器门体200完全盖合容器本体100，弹性变形部420受最大抵持力而将第一固定部410固定相邻的基板700的第二固定部720上。由于收纳空间180用以收纳多个基板，通过固持组件300与基板活动件400两者间配合的作动方式，使得各第一固定部410能依序层层相扣于相邻的基板700，达到多个基板700彼此层叠定位的效果。
以上述的运作原理，通过推抵活动件320施力于基板活动件400的弹性变形部420，使多个互相堆叠的基板700都可通过第一固定部410与第二固定部720的相互配合对接，而达到基板700层层定位效果，直至容器门体200盖合容器本体100才停止推抵活动件320的推抵动作。其中，位于最上方的基板700亦可不承载半导体工件，以降低基板受损风险。
其中，通过弹性变形的弹性变形部420，使基板活动件400具有良好的形变弹性与缓冲效果，当推抵活动件320接近抵接时，基板活动件400能够平缓并稳固地固定基板700。
借此，通过固持组件300的推抵活动件320的抵持，除了能稳定固定基板活动件400所连接固定的基板700之外，亦能同持抵持固定相邻的基板700，达成稳定锁固层叠的多个基板700的效果。此外，每一个基板700均具有其对应的基板活动件400，借此能够将每一个基板700层层相扣抵持固定，达成整组上开式基板容器10中的所有基板700彼此稳定夹持固定的效果，而不受容器本体100晃动震动造成基板700摩擦、撞击的影响。
其中，弹性变形部420不需变形过大的行程即能达成第一固定部410与第二固定部720的卡合相接，并且，通过卡合相接的对应结构特征，除了提供水平方向的抵持固定之外，通过卡合的结构本身，亦能进一步提供垂直方向的卡合固定，以增加抵持固定的强度。
请同时参阅图5A至图5C。图5A为本发明一实施例中基板700的堆叠固定部710的部分放大立体示意图；图5B为本发明一实施例中容器本体100的部分放大立体示意图；图5C为本发明一实施例中容器本体100的另一部分放大立体示意图。
容器本体100的内表面底部190还包含一底部定位件130，用以卡合固定位于收纳空间180中最靠近内表面底部190的基板700及其设置于上的基板活动件400之间。底部定位件130较佳设置位置为收纳空间180内缘角边，以稳固定位于基板700的各角边；当然不限于底部定位件130设置位置与数量，只要能配合基板700的形状即属于本专利保护范筹。其中，各基板700之上、下表面具有适配的一堆叠固定部710，相邻的基板700经堆叠固定部710彼此层叠固定。最靠近内表面底部190的基板700的堆叠固定部710同时也适配于底部定位件130，能够将堆叠固定部710对应底部定位件130的位置对位固定。
容器本体100装设固持组件300的内侧安装部120的下方还具有底部卡合件110，用以抵接于位在最底层的基板700对应的基板活动件400的第一固定部410，以稳定固持最底层的基板700。底部卡合件110具有倒勾结构，以与最底层基板700对应的第一固定部410卡合固定，增强整组基板700与容器本体100的固定性。
其中，容器本体100的内侧墙设置有防呆件(error proofing)170，用以限制基板700收纳于收纳空间180中的方向，其中，防呆件170例如为凸出的柱状结构，以对应于基板700边缘的凹状结构，以使基板700能以正确的方位置放于容器本体100中。
其中，堆叠固定部710可为凹凸对应的结构，借此达到定位、对准堆叠的效果。需注意的是，堆叠固定部710不限定于凹凸之对应堆叠结构，举凡其他可堆叠以限位的结构均为本发明的思想所及，包含但不限于其他种类的结构构或应用力学以外的原理，例如磁吸以使所有基板700互相堆叠的方式等，使多个基板700彼此上下对位堆叠，并减少其基板700之间的左右晃动。
请同时参阅图6A至图6C。图6A为本发明一实施例中弹性抵持件500的组装方式示意图；图6B为本发明一实施例中弹性抵持件500的立体示意图；图6C为本发明一实施例中弹性抵持件500于另一视角的立体示意图。
固持装置还包含弹性抵持件500，设置于基板700的底侧部，例如基板700边缘的底侧，弹性抵持件500用于弹性抵持承载于基板700上的半导体工件800，例如接近基板700边缘的平面处，用以弹性抵顶相邻基板700承载的半导体工件800的边缘表面。其中，弹性抵持件500的弹性抵持压制下方相邻基板700所承载的半导体工件800，以防止半导体工件800位移。位于最上方的基板700可不承载半导体工件800，可通过弹性抵持件500的弹性抵持即足以利用其压制固定下方相邻基板700所承载的半导体工件800。借此，当基板700层层堆叠放置时，通过弹性抵持件500得以提供基板700所载半导体工件800的抵持固定，减少并防止其基板700或半导体工件800之间的位移、震动与摩擦。
其中，弹性抵持件500包括固定端510以及弹性抵持臂520，固定端510可拆卸地相邻设置于基板700的边缘底侧部，弹性抵持臂520的一端连接于固定端510，弹性抵持臂520的另一端弹性抵顶半导体工件800的边缘表面。其中，弹性抵持臂520是由固定端510向两端延伸并弹性抵持半导体工件800的边缘表面，以水平方向点接触不仅可稳固抵持基板700，又可以减少摩擦面积。
接续说明本发明具有可调整不同承载基板数量的固持装置的结构设计与运作方式。请同参阅图7A至图8E。图7A为本发明一实施例中上开式基板容器的爆炸示意图；图7B为本发明一实施例中框架本体的安装示意图；图8A为本发明一实施例中框架本体及快拆件的俯视示意图；图8B为本发明一实施例中框架本体的部分放大示意图。
本发明的固持装置适用于上开式基板容器10，本发明使用相同上开式基板容器10、基板活动件400与固持组件300，相同结构、相同功能性与相同元件符号在此不再赘述，仅说明差异处。在本实施例中，仅说明本发明以新颖结构的固持装置，解决单一功能尺寸的上开式基板容器10因承载重量、承载数量的限制而缺乏应用弹性的问题，解决当装载的基板700的数量低于容器预设的承载数量时，容器本体100上方与容器开口之间的空间缺乏填充，而使基板700不能被有效抵顶，而容易在容器本体100中晃动、震动、跳动而破损的问题，达成解决容器本体100通常只能承载刚好为预设数量的基板700，而不能承载更多或更少数量的基板700的问题的效果。
先说明固持装置的细部结构设计，固持装置包含一框架本体600、多个快拆件610以及多个让位部620。框架本体600设置于收纳空间180中，用以承载基板700。框架本体600包括框架定位件631，容器本体100包括支撑件140，此支撑件140于收纳空间180中可为不同高度设计，因应框架本体600装设的位置，以作为框架本体600的底部定位件，据以架高框架本体600离收纳空间180的内表面底部190一高度。框架定位件631与支撑件140相配合固定，以提供重量支撑与限位功能。其中，支撑件140可为凸起结构，在此不局限形状结构设计，以用以卡扣于框架定位件631以限位框架本体600。容器本体100具有支撑辅助件160，以与框架本体600相配合以提供重量支撑及/或限位。
多个快拆件610分别配置于框架本体600的外侧部，例如边缘，各快拆件610包括一抵靠件611及一对肩部612。对肩部612连接于抵靠件611的两侧，容器本体100的内侧墙还设有多个压扣件150，抵靠件611抵靠于内侧墙，各压扣件150压扣于对肩部612，以固定框架本体600。多个让位部620提供设置于收纳空间180内的固持组件300的让位空间，使原先容器本体100中的结构特征或构造不需因应框架本体600而作调整。
其中，容器本体100的内侧墙设置有防呆件170，用以限制框架本体600设置于收纳空间180中的方向，其中，防呆件170例如为凸出的柱状结构，以对应于框架本体600边缘的对应凹状结构，以使框架本体600能以正确的方位置放于容器本体100中。
其中，快拆件610设于框架本体600边缘并具有让位部特征，抵靠件611连接于框架本体600，并以向下弯折并于末端上勾的形式形成具有弹性的抵顶勾，并其抵顶勾末端可具有平面以增加与容器本体100抵顶的面积，其中，对肩部612位于抵靠件611的末端，并具有两端相较于顶勾末端平面凸起的特征，以限位于容器本体100的压扣件150之中。当抵靠件611受力离开内侧墙一段距离时，对肩部612脱离压扣件150，使得框架本体600为一可拆卸状态。
其中，对肩部612可为环形结构或半环形结构，以提供具形变缓冲的卡扣限位结构，并可提供相关卸除卡合固定的工具对应施力而使其脱离压扣件150。抵靠件611可利用结构或材料的方式调整为较高的硬度，以避免人为错误操作轻易将框架本体600移除，导致后续制程中产生承载基板700种类与数量错误的情形发生。需注意的是，本实施例并不局限快拆件610与压扣件150的结构或形式，任何能将框架本体600卡合固定于容器本体100内的结构，均属本发明专利保护范畴。
框架本体600设置于收纳空间180中具有不同的装设方式。举例来说，框架本体600包括凸升承载面650，用以承载基板700，以进一步提高所承载基板700的承载平面，也就是提高框架本体600离收纳空间180的内表面底部190的高度，据以减少所承载基板700的数量，并使所承载之基板700能更向容器门体200的方向靠近。
又一实施例中，框架本体600包括凹陷承载面660，用以承载基板700，以相较于原承载垫高的高度进一步降低所承载基板700的承载平面，也就是减少框架本体600离收纳空间180的内表面底部190的高度，以增加能够承载之基板700的数量。借此，通过框架本体600不同变体之凸升承载面650以及凹陷承载面660，可使框架本体600更弹性自由地应用于不同种类、尺寸、厚度的基板700，大幅拓展上开式基板容器10的通用性。
通过本发明之一实施例提供的固持装置的框架本体600，除了得以在装载较少数量的基板700时使其接近容器开口并提升其整体重心，以增加基板700不易在其内晃动的安全性及稳固性之外，亦达成一种尺寸的容器本体100即能有效用于装载不同种类、尺寸、厚度的基板700的效果。
其中，框架本体600包括堆叠对位部640，用以卡扣固定基板700，其中基板700系用以承载半导体工件800。如前所述基板700具有上、下表面的堆叠固定部710，堆叠对位部640为适配于堆叠固定部710的结构或功能特征，以使基板700得以固定限位于框架本体600。框架本体600的结构特征配置于框架本体600的正、反两面，使其得以以任何表面进入固定于容器本体100，并均能维持其结构功能，大幅增加使用的便利性。
本发明的框架本体600可将承载的基板700垫高后，除了解决在容器本体100装载较少基板700时容易晃动的问题之外，亦可进一步提高其整体重心，以在基板700非常重的情况下，能够安全且有效搬运及运载上开式基板容器10。再者，通过本发明的框架本体600亦解决上开式基板容器10为因应不同种类、尺寸、厚度、密度规格的基板700的设计，必须重新开模设计符合不同种类与规格基板700的上开式基板容器10的问题，通过本发明提供的框架本体600，仅需重新设计框架本体600即可使单一功能尺寸的上开式基板容器10应用于不同种类、尺寸、厚度、密度规格的基板700，达成大幅降低制造成本并提升使用效率的效果。
图9为本发明一实施例中固持装置适用的容器门体的爆炸示意图。本发明的固持装置适用于上开式基板容器10，本发明使用相同上开式基板容器10、基板活动件400与固持组件300，相同结构、相同功能性与相同元件符号在此不再赘述，仅说明差异处。在本实施例中，仅说明本发明以新颖结构的固持装置，以达到容器门体200在承载重量较重的上开式基板容器10条件下仍可以维持气密性的功能。
本发明的固持装置包括至少一整平元件240。容器门体200包括门壳250与门板220，门板220用以结合门壳250以界定容置空间251，容置空间251用以容置闩锁机构230。整平元件240设置于容置空间251内，整平元件240为整体延伸抵持容器门体200的相对两内壁，也就是门壳250的相对两内壁，且整平元件240与闩锁机构230为平行设置。整平元件240为一碳棒，碳棒的整体高度低于容置空间251的总深度。整平元件240亦可为其他具有高刚性且质量轻的具延展性材料元件。
整平元件240用以通过延伸抵持门壳250的相对两内壁的延伸长度，提供门壳250结构性支撑及力量传导分担，进而提供门壳250结构性的加强以及均匀受力的效果。其中，整平元件240设置于邻近容器门体200的搬运位置，例如图9所示的两端耳部252。
借此，通过固持装置于容器门体200内的整平元件240的设置，整平元件240得以将容器门体200在运载过程中其受力点集中在闩锁机构230与容器本体100锁固处及两侧耳部的大量受力通过整平元件240的延伸长度分担至门壳250，进而解决上开式基板容器10具有承载重量的限制条件，同时解决当承载重量达上限值时，在繁复搬运及运载过程中，容易使上开式基板容器10的容器门体200扭曲变形，进而影响气密性或更甚容器门体200变形分离导致摔落损坏的问题。
此外，由于整平元件240的元件重量相较闩锁结构230的重量非常轻，亦解决上开式基板容器10为了稳定锁固而使用多个闩锁结构230分布装设在容器门体200各处的问题，这种作法虽于上开式基板容器10移载时，此多个闩锁结构230可以分散向上抬升的荷重以改善门体变形的状况，但却因此需要使用多组闩锁结构230，反而导致上开式基板容器10整体重量增加、组装变得更加复杂且制造成本高，以及为了分散荷重而提升容器门体200及多个闩锁结构230设计困难，但通过本发明的整平元件240，其重量远低于闩锁结构230，因此得以在维持少量闩锁结构230的情况下，通过整平元件240达成解决容器门体200变形问题的效果，并得以在轻量元件的情况下增强其门体气密性。
于本发明一实施例中，闩锁机构230亦仍可为多个，以提供更多数量的锁固位置或不同结构搭配，例如两个闩锁机构230，以有效达成锁固与重量分配的平衡。
于本发明一实施例中，整平元件240为多个，以提供门壳250在多个不同位置、不同受力热点的结构支撑与力量分散。其中，多个整平元件240，例如为两个，分别固设于门壳250内的两侧，以提供门壳250边缘的受力均匀分散，并可加强门壳250的耳部252的结构支撑与受力分散。
于本发明一实施例中，整平元件240之延伸长度由门壳250的一端延伸至门壳250的另一端并延伸抵持容器门体200的相对两内壁，以完整分散整个门壳250长边的受力并提供整个门壳250长边的结构性支撑。
于本发明一实施例中，整平元件240与闩锁机构230为平行设置，以提供接近于闩锁机构230锁固位置的力量分散与结构支撑。将整平元件240与闩锁机构230平行设置，得以就近将耳部之受力点与闩锁机构230的锁固受力点的受力均匀分散，同时亦利于门壳250内的空间分配设计。其中，整平元件240及闩锁机构230为对称设置，以使支撑结构及受力分散得以对称，免于容器门体200的偏斜或变形。
于本发明一实施例中，闩锁机构230包括操控元件231以及闩锁臂232，操控元件231控制闩锁臂232选择性地凸伸至门壳250外以控制将容器门体200锁固于容器本体100，或控制将闩锁臂232收缩以解除容器门体200与容器本体100的锁固。其中，操控元件231例如为凸轮，通过旋转凸轮而带动连接于凸轮的闩锁臂232凸伸或缩回。其中，整平元件240与闩锁机构230的闩锁臂232为平行设置，提供接近于闩锁臂232与容器门体200的锁固位置的力量分散与结构支撑，并且得以就近将耳部252的受力点与闩锁臂232的锁固受力点的受力均匀分散，同时亦利于门壳250内的空间分配设计，以减少使整平元件240与闩锁臂232交叠设置的情况，以维持整平元件240的延伸长度进而达成有效的结构支撑与力量分散。需注意的是，整平元件240及闩锁机构230的数量与位置并不以本实施例的示例为限。
通过本发明的一实施例提供的固持装置的整平元件240，得以通过整平元件240以分散容器门体200的整体荷重，加强门壳250的平整度以防止容器门体200与容器本体100之间的气密胶条露出空隙，同时提高容器门体200的强度以达到平整度与气密的效果。此外，整平元件240可取代部分数量的闩锁机构230，以使闩锁机构230的数量最小化，除了减轻整体容器门体200的重量外，亦可节省零件的耗用及降低生产制造成本。
借此，通过本发明的固持装置，除了能够紧密稳定固定上开式基板容器所载运的基板以避免基板的晃动与撞击之外，亦能够在装载不同数量的基板时维持其稳固性以避免其中的晃动与重心过低的危害，并能够维持容器门体的结构强度与气密性以保护其内基板的洁净度与降低摔落风险，进而达成保护所载运基板容器的效果。
本发明在上文中已以较佳实施例揭露，然本领域技术人员应理解的是，该实施例仅用于描绘本发明，而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是，举凡与该实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本发明的范畴内。因此，本发明的保护范围当以申请专利范围所界定者为准，并所附请求项的范围应采最广义解释，以将所有诸如修改、相似的安排以及流程等包含于其中。

Claims (16)

1.一种上开式基板容器的固持装置，其特征在于，该上开式基板容器包括一容器本体及一容器门体，该容器门体配置用以结合该容器本体以界定一收纳空间，该收纳空间用以收纳多个基板，该固持装置包含：
一基板活动件，设置于该基板的外侧部；以及
一固持组件，设置该收纳空间内，该固持组件用以推抵该基板活动件作动，该固持组件包括：
一固持本体，设置于该容器本体的内侧部；以及
一推抵活动件，设置于该固持本体，该推抵活动件包括：
一第一导引斜面，用以抵持该容器门体的内表面的一第二导引斜面，该第一导引斜面依据该容器门体的抵持力，使该第一导引斜面与第二导引斜面之间相应推抵位移；以及
一推抵部连接于该第一导引斜面，该推抵部对应于该基板活动件的位置，该推抵部依据第一导引斜面推抵位移程度相应推抵该基板活动件作动，使该基板活动件位移该基板，直至多个该基板彼此层叠定位。
2.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于，该固持本体包括一倾斜导槽，该推抵活动件包括连接于该推抵部的一导引部，该导引部凸设于该倾斜导槽中，该导引部依据该容器门体的该抵持力相应于该倾斜导槽中位移，使该推抵活动件靠近该固持本体或远离该固持本体。
3.根据权利要求2所述的固持装置，其特征在于，该固持组件还包括：
一弹性件，设置于该固持本体与该推抵活动件之间，该弹性件配置为依据该容器门体的该抵持力以提供该导引部沿该倾斜导槽远离该固持本体方向位移、或该导引部沿该倾斜导槽靠近该固持本体方向位移的弹性变化量。
4.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于，该基板活动件包括：
一连接部，固定连接于该基板的该外侧部；
一弹性变形部，连接于该连接部，该弹性变形部对应该推抵部位置，该弹性变形部依据该推抵部的推抵位移程度以提供弹性变形及推抵该基板的位移量；以及
一第一固定部，设置于该弹性变形部的一侧部，该第一固定部用于固定相邻的该基板的一第二固定部。
5.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于，该容器本体的内表面底部还包含一底部定位件，该基板具有对应该底部定位件的一基板定位件，该底部定位件用以定位位于该收纳空间中最靠近该内表面底部的该基板。
6.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于，该容器本体的内表面底部还包含一底部卡合件，用以卡合固定位于该收纳空间中最靠近该内表面底部的该基板及其设置于上的该基板活动件之间。
7.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于，各该基板之上、下表面具有适配的一堆叠固定部，相邻的该基板经该堆叠固定部彼此层叠固定。
8.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于，还包含至少一弹性抵持件，设置于该基板的底侧部，用以弹性抵持承载该基板上的一半导体工件。
9.根据权利要求8所述的固持装置，其特征在于，该弹性抵持件包括一固定端以及一弹性抵持臂，该固定端可拆卸地设置于该基板的该底侧部，该弹性抵持臂的一端连接于该固定端，该弹性抵持臂的另一端弹性抵顶该半导体工件的边缘表面。
10.根据权利要求1所述的固持装置，其特征在于，该容器本体的内侧墙设置有一防呆件，用以限制该些基板收纳于该收纳空间中的方向。
11.一种上开式基板容器的固持装置，其特征在于，该上开式基板容器包括一容器本体及一容器门体，该容器门体配置用以结合该容器本体以界定一收纳空间，该收纳空间用以收纳多个基板，该固持装置包含：
一框架本体，设置于该收纳空间中，用以承载该基板；
多个快拆件，分别配置于该框架本体的外侧部，各该快拆件包括一抵靠件及一对肩部，该对肩部连接于该抵靠件的两侧，该容器本体的内侧墙还设有多个压扣件，该抵靠件抵靠于该内侧墙，各该压扣件压扣于该对肩部，以固定该框架本体；以及
多个让位部，提供设置于该收纳空间内的一固持组件的让位空间。
12.根据权利要求11所述的固持装置，其特征在于，当该抵靠件受力离开该内侧墙一距离时，该对肩部脱离该压扣件，使得该框架本体为一可拆卸状态。
13.根据权利要求11所述的固持装置，其特征在于，该容器本体的内表面底部还包含一底部定位件，该框架本体具有对应该底部定位件的一框架定位件，该底部定位件用以定位该框架定位件，以界定出该框架本体与该容器本体的该内表面底部之间一高度距离，该底部定位件与该些压扣件为同一水平高度。
14.根据权利要求11所述的固持装置，其特征在于，该容器本体的内侧墙设置有一防呆件，用以限制该框架本体设置于该收纳空间中的方向。
15.一种上开式基板容器的固持装置，其特征在于，该上开式基板容器包括一容器本体及一容器门体，该容器门体配置用以结合该容器本体，该容器门体具有容置闩锁机构的容置空间，该固持装置包括：
至少一整平元件，设置于该容置空间内，该整平元件为整体延伸抵持该容器门体的相对两内壁，且该整平元件与该闩锁机构为平行设置。
16.根据权利要求15所述的固持装置，其特征在于，该整平元件为一碳棒，该碳棒的整体高度低于该容置空间的总深度。
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