CN116884885B - 一种晶圆精洗工装 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆精洗工装，涉及晶圆精洗工装技术领域，包括底座，所述底座的上方依次设有三个分别用于清洗、冲洗、烘干的精洗滚筒，所述精洗滚筒的两端均转动连接有支撑筒，所述精洗滚筒的上方间隔设置有四个传料筒，所述支撑筒均通过隔离箱与传料筒固定连通，所述精洗滚筒的内侧壁上均螺纹套接有载物短筒，所述精洗滚筒之间设置有用于对载物短筒传动的筒内传动结构，所述载物短筒的侧壁上铰接有活动盖板，所述载物短筒的侧壁上共同转动连接有两个限位传动杆，通过上述技术方案，其目的在于，在晶圆双面高效清洗工装为行业内多样性研发提供的方向上，提供一种能够对晶圆进行双面高效精洗，以及避免精洗过程二次污染的精洗工装。

Description

一种晶圆精洗工装

技术领域

本发明涉及晶圆精洗工装技术领域，尤其涉及一种晶圆精洗工装。

背景技术

半导体清洗技术可分为湿法和干法两种，湿法清洗是目前主流技术路线，占芯片制造清洗步骤数量的90%以上，湿法清洗采用特定的化学药液和去离子水，对晶圆表面进行无损伤清洗，对晶圆精洗时，通过精洗工装完成清洗、冲洗和烘干过程。

现有技术为行业内多样性研发提供新方向，因此本发明提出一种晶圆精洗工装，对晶圆进行双面高效精细，提高精细效率，清洗、冲洗和烘干过程隔离进行，避免二次污染。

发明内容

本发明的目的是在晶圆双面高效清洗工装为行业内多样性研发提供的方向上，提供一种能够对晶圆进行双面高效精洗，以及避免精洗过程二次污染的精洗工装。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种晶圆精洗工装，包括底座，所述底座的上方依次设有三个分别用于清洗、冲洗、烘干的精洗滚筒，所述精洗滚筒的两端均转动连接有支撑筒，所述精洗滚筒的上方间隔设置有四个传料筒，所述支撑筒均通过隔离箱与传料筒固定连通，所述精洗滚筒的内侧壁上均螺纹套接有载物短筒，所述精洗滚筒之间设置有用于对载物短筒传动的筒内传动结构，所述载物短筒的侧壁上铰接有活动盖板，所述载物短筒的侧壁上共同转动连接有两个限位传动杆，所述载物短筒内部设置有用于将晶圆同步夹持在限位传动杆上的固位结构，所述活动盖板通过固位结构在载物短筒的侧壁上开合，所述载物短筒的内部设置有用于清洗、冲洗、烘干的精洗结构，所述隔离箱与支撑筒之间安装有控制隔离箱密封与连通的封闭结构，所述传料筒内部设置有将晶圆在精洗滚筒之间传递的递进式上下料组件，所述筒内传动结构与任意一个限位传动杆的外侧壁之间连接有驱动组件，两个所述限位传动杆之间通过驱动组件传动连接。

至少一些实施例中，所述固位结构包括开合驱动杆，所述开合驱动杆的一端依次贯穿转动连接支撑筒的侧壁并延伸至支撑筒的外部，所述活动盖板与载物短筒的铰接轴均滑动套接开合驱动杆的外侧壁上，所述开合驱动杆位于支撑筒外部的一端铰接有推板，所述推板远离开合驱动杆的一端铰接有电推杆，所述电推杆的尾端铰接在支撑筒的外侧壁上，所述活动盖板的内侧壁上安装有两个顶轮，所述载物短筒的内侧壁上安装有底轮，所述底轮的轮轴均滑动套接在限位传动杆的外侧壁上，所述顶轮和底轮用于共同夹持晶圆。

至少一些实施例中，所述筒内传动结构包括转动连接在底座上的传动转杆，所述传动转杆的外侧壁上固接有三个传动齿轮，所述精洗滚筒的外侧壁上均固定套接有传动齿环，所述传动齿环均与传动齿轮啮合连接，所述传动转杆的一端与驱动组件连接。

至少一些实施例中，所述精洗结构包括三对分别固接在载物短筒内侧壁上的喷头，同对所述喷头之间通过短管固定连通，用于清洗的所述精洗滚筒内的载物短筒中设有一对清洗刷，所述精洗滚筒的一端均固定连通有内藏管，所述内藏管的侧壁上均固接有螺旋管，所述螺旋管的一端均与喷头固定连通，所述螺旋管的另一端分别固定连通有通水管、通水管、气泵，所述通水管的外侧壁上均固定连通有水泵，所述通水管位于水泵两侧的管壁上均设置有水阀，所述水泵的进水端可与相邻的内藏管固定连通用于循环同一精洗滚筒内部药液。

至少一些实施例中，所述封闭结构包括六个分别固接在支撑筒上的弧形滑轨，所述弧形滑轨与隔离箱之间均滑动连接有弧形封板，所述弧形封板用于封堵隔离箱与支撑筒，所述弧形封板的外侧壁上均设置有封闭咬齿，所述弧形封板均通过外侧壁上的封闭咬齿啮合连接有封闭齿轮，所述封闭齿轮的内侧壁共同固定套接有封闭转杆，所述封闭转杆安装在传料筒的外侧壁上，所述封闭转杆的一端固接有驱动电机。

至少一些实施例中，所述递进式上下料组件包括滑杆和螺纹丝杆，所述滑杆和螺纹丝杆的一端均依次贯穿固定连接传料筒的侧壁，所述滑杆的外侧壁与传料筒固接，所述螺纹丝杆的外侧壁与传料筒转动连接，所述螺纹丝杆的输出端上固接有传动电机，所述传料筒的内部均设有架板，所述架板的一端滑动套接在滑杆的外侧壁上，另一端螺纹套接在螺纹丝杆的外侧壁上，所述架板的外侧壁上均滑动套接有两个横向活动板，所述横向活动板与架板之间均固接有气缸，所述横向活动板的侧壁上均滑动套接有竖向活动杆，同一所述传料筒中竖向活动杆内侧壁上共同滑动套接有横杆，所述架板的顶部均固接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的输出端均与横杆的中部固接，所述竖向活动杆的底端均固接有夹板。

至少一些实施例中，所述限位传动杆均为多棱柱体，所述限位传动杆的外侧壁均通过密封轴套与支撑筒的侧壁转动连接。

至少一些实施例中，所述开合驱动杆为多棱柱体，所述开合驱动杆的外侧壁均通过密封轴套与支撑筒的侧壁转动连接。

至少一些实施例中，所述支撑筒的顶部均开设有用于晶圆与递进式上下料组件穿过的归置口。

与现有技术相比，本发明的优点和积极效果在于：

1、本发明中，通过设置载物短筒、活动盖板、限位传动杆、底轮、筒内传动结构、驱动组件、固位结构，使精洗滚筒旋转螺纹传动载物短筒在其内部移动，带动晶圆在两个支撑筒之间传动的同时，同步旋转，通过设置精洗结构和递进式上下料组件，晶圆在传料筒和精洗滚筒内交替传动，在三个精洗滚筒内部传动的过程中，完成晶圆双面清洗、冲洗和烘干过程，且清洗、冲洗和烘干过程同步进行，对晶圆进行高效精洗。

2、本发明中，通过设置传料筒、隔离箱和封闭结构，晶圆在精洗滚筒内部传动和精洗过程中，通过封闭结构对相邻两个精洗滚筒之间的隔离箱封堵，在精洗滚筒通过筒内传动结构对载物短筒传动过程中，对精洗滚筒两端的支撑筒进行密封，避免精洗过程中清洗后的药液对冲洗和烘干过程中的晶圆造成污染。

3、本发明中，通过设置精洗结构，清洗和冲洗过程使用的药液，能够通过水泵与通水管循环使用，冲洗过程中使用的药液，即冲洗用精洗滚筒内部的药液，可直接将冲洗过程药液泵入清洗过程药液，能够再次使用，从而降低精洗成本。

附图说明

图1为本发明提出一种晶圆精洗工装的整体立体示意图；

图2为本发明提出一种晶圆精洗工装中精洗滚筒与传料筒的爆炸图；

图3为本发明提出一种晶圆精洗工装精洗滚筒与支撑筒的爆炸图；

图4为本发明提出一种晶圆精洗工装中载物短筒与活动盖板的立体示意图；

图5为本发明提出一种晶圆精洗工装中载物短筒与活动盖板的结构示意图；

图6为本发明提出一种晶圆精洗工装中活动盖板合并状态的结构示意图；

图7为本发明提出一种晶圆精洗工装中传料筒与递进式上下料组件的爆炸图；

图8为本发明提出一种晶圆精洗工装中封闭结构的部分立体图；

图9为本发明提出一种晶圆精洗工装中弧形封板82封闭状态的结构示意图；

图10为本发明提出一种晶圆精洗工装中递进式上下料组件的部分立体图

图11为本发明提出一种晶圆精洗工装中精洗结构的部分结构示意图；

图12为本发明提出一种晶圆精洗工装中固位结构与驱动组件的结构示意图。

图例说明：1、精洗滚筒；11、支撑筒；12、归置口；

2、传料筒；21、隔离箱；

3、载物短筒；31、活动盖板；32、限位传动杆；33、底轮；

4、筒内传动结构；41、传动转杆；42、传动齿轮；43、传动齿环；

5、驱动组件；

6、固位结构；61、开合驱动杆；62、电推杆；63、推板；64、顶轮；

7、精洗结构；71、清洗刷；72、喷头；73、内藏管；74、螺旋管；75、水泵；76、气泵；77、通水管；

8、封闭结构；81、弧形滑轨；82、弧形封板；83、封闭齿轮；84、封闭咬齿；85、封闭转杆；

9、递进式上下料组件；91、滑杆；92、螺纹丝杆；93、架板；94、横向活动板；95、电动伸缩杆；96、横杆；97、竖向活动杆；98、夹板。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本发明做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

为此本发明实施例提供一种晶圆精洗工装，其目的至少在于，在晶圆双面高效清洗工装为行业内多样性研发提供的方向上，提供一种能够对晶圆进行双面高效精洗，以及避免精洗过程二次污染的精洗工装。

实施例1

根据图1－图12，如图1所示，本发明实施例提供的一种晶圆精洗工装包括底座，所述底座的上方依次设有三个分别用于清洗、冲洗、烘干的精洗滚筒1，所述精洗滚筒1的两端均转动连接有支撑筒11，精洗滚筒1通过支撑筒11安装在底座上，所述精洗滚筒1的上方间隔设置有四个传料筒2，所述支撑筒11均通过隔离箱21与传料筒2固定连通，使两个精洗滚筒1之间通过隔离箱21和传料筒2相连通，所述精洗滚筒1的内侧壁上均螺纹套接有载物短筒3，所述精洗滚筒1之间设置有用于对载物短筒3传动的筒内传动结构4，所述载物短筒3的侧壁上铰接有活动盖板31，所述载物短筒3的侧壁上共同转动连接有两个限位传动杆32，所述载物短筒3内部设置有用于将晶圆同步夹持在限位传动杆32上的固位结构6，所述活动盖板31通过固位结构6在载物短筒3的侧壁上开合，所述载物短筒3的内部设置有用于清洗、冲洗、烘干的精洗结构7，所述隔离箱21与支撑筒11之间安装有控制隔离箱21密封与连通的封闭结构8，所述传料筒2内部设置有将晶圆在精洗滚筒1之间传递的递进式上下料组件9，所述筒内传动结构4与任意一个限位传动杆32的外侧壁之间连接有驱动组件5，两个所述限位传动杆32之间通过驱动组件5传动连接。

根据图2、图3、图4、图6和图12所示，如图3，所述固位结构6包括开合驱动杆61，所述开合驱动杆61的一端依次贯穿转动连接支撑筒11的侧壁并延伸至支撑筒11的外部，如图4，所述活动盖板31与载物短筒3的铰接轴均滑动套接开合驱动杆61的外侧壁上，如图12，所述开合驱动杆61位于支撑筒11外部的一端铰接有推板63，所述推板63远离开合驱动杆61的一端铰接有电推杆62，所述电推杆62的尾端铰接在支撑筒11的外侧壁上，如图5，所述活动盖板31的内侧壁上安装有两个顶轮64，所述载物短筒3的内侧壁上安装有底轮33，所述底轮33的轮轴均滑动套接在限位传动杆32的外侧壁上，所述顶轮64和底轮33用于共同夹持晶圆，电推杆62通过顶出其输出端，带动电推杆62尾部在支撑筒11上转动，顶端推动推板63带动开合驱动杆61转动，通过开合驱动杆61带动活动盖板31在载物短筒3上转动，使得载物短筒3侧壁敞口足以向内部置放晶圆，同时能够带动开合驱动杆61反向转动以带动活动盖板31在载物短筒3上合并，使载物短筒3和活动盖板31合并，通过外壁螺纹在精洗滚筒1的内部传动，且带动两个顶轮64与晶圆抵触，使两个顶轮64与两个限位传动杆32上的底轮33共同夹持在晶圆外部，从而在限位传动杆32转动时，通过载物短筒3筒内传动结构4带动晶圆在载物短筒3的内部旋转。

如图3所示，所述支撑筒11的顶部均开设有用于晶圆与递进式上下料组件9穿过的归置口12；

所述开合驱动杆61为多棱柱体，所述开合驱动杆61的外侧壁均通过密封轴套与支撑筒11的侧壁转动连接；所述限位传动杆32均为多棱柱体，所述限位传动杆32的外侧壁均通过密封轴套与支撑筒11的侧壁转动连接。

根据图2、图3、图7和图12，如图3，所述筒内传动结构4包括转动连接在底座上的传动转杆41，所述传动转杆41的外侧壁上固接有三个传动齿轮42，所述精洗滚筒1的外侧壁上均固定套接有传动齿环43，所述传动齿环43均与传动齿轮42啮合连接，如图12，所述传动转杆41的一端与驱动组件5连接，传动转杆41的一端与任意一限位传动杆32的一端之间通过链带、链轮组件连接，相邻两个限位传动杆32的外侧壁之间通过链带、链轮组件连接，传动转杆41的一端固接有动力电机，带动传动转杆41转动，从而通过传动齿轮42与传动齿环43的啮合连接关系带动精洗滚筒1在两个支撑筒11之间转动，螺纹给进由限位传动杆32限位的载物短筒3在精洗滚筒1内部移动；

如图3、图4、图6和图11，如图11，所述精洗结构7包括三对分别固接在载物短筒3内侧壁上的喷头72，同对所述喷头72之间通过短管固定连通，如图3－图6，用于清洗的所述精洗滚筒1内的载物短筒3中设有一对清洗刷71，如图11，所述精洗滚筒1的一端均固定连通有内藏管73，所述内藏管73的侧壁上均固接有螺旋管74，所述螺旋管74的一端均与喷头72固定连通，所述螺旋管74的另一端分别固定连通有通水管77、通水管77、气泵76，所述通水管77的外侧壁上均固定连通有水泵75，所述通水管77位于水泵75两侧的管壁上均设置有水阀，所述水泵75的进水端可与相邻的内藏管73固定连通用于循环同一精洗滚筒1内部药液，清洗用精洗滚筒1使用时，内部的载物短筒3上的喷头72通过螺旋管74连通水泵75，循环清洗用精洗滚筒1中药液，并通过喷头72在晶圆两侧喷射，同时清洗刷71对旋转的晶圆进行清洗，冲洗用精洗滚筒1使用时，内部的载物短筒3上的喷头72可向晶圆喷射循环的冲洗药液，烘干用精洗滚筒1使用时，内部的载物短筒3上的喷头72通过螺旋管74连通气泵76向晶圆两侧喷射烘干气体；

如图7、图10和图12所示，如图7，所述递进式上下料组件9包括滑杆91和螺纹丝杆92，所述滑杆91和螺纹丝杆92的一端均依次贯穿固定连接传料筒2的侧壁，所述滑杆91的外侧壁与传料筒2固接，所述螺纹丝杆92的外侧壁与传料筒2转动连接，如图12，所述螺纹丝杆92的输出端上固接有传动电机，如图10，所述传料筒2的内部均设有架板93，所述架板93的一端滑动套接在滑杆91的外侧壁上，另一端螺纹套接在螺纹丝杆92的外侧壁上，所述架板93的外侧壁上均滑动套接有两个横向活动板94，所述横向活动板94与架板93之间均固接有气缸，所述横向活动板94的侧壁上均滑动套接有竖向活动杆97，同一所述传料筒2中竖向活动杆97内侧壁上共同滑动套接有横杆96，所述架板93的顶部均固接有电动伸缩杆95，所述电动伸缩杆95的输出端均与横杆96的中部固接，所述竖向活动杆97的底端均固接有夹板98，通过传动电机控制螺纹丝杆92转动，能够螺纹给进传料筒2内的架板93在滑杆91上横移，从而在传料筒2的内部移动，通过架板93上的气缸带动两个横向活动板94相互靠近，控制两个夹板98夹持晶圆，并通过电动伸缩杆95的输出端提升横杆96，带动竖向活动杆97在横向活动板94上滑动，通过电动伸缩杆95控制夹板98带动晶圆提升。

本实施例中，三个精洗滚筒1依次分别用于清洗、冲洗、烘干，位于两端的传料筒2，其一端均连通一个隔离箱21，其另一端分别用于上料、下料，并分别配备有上料架、下料架（图中未示出），通过控制递进式上下料组件9夹持提升上料架的晶圆，并在传料筒2内部传动至另一端后，通过归置口12穿过清洗用精洗滚筒1上的支撑筒11，下放至载物短筒3内，其在将晶圆置于两个底轮33上后，控制螺纹丝杆92反向旋转，使架板93复位，控制电推杆62的输出端收缩，带动活动盖板31在载物短筒3上旋转后合并，通过活动盖板31上的两个顶轮64与限位传动杆32上的两个底轮33共同夹持晶圆，启动传动转杆41上的动力电机，通过传动转杆41与限位传动杆32之间的链条、链轮组件以及两个限位传动杆32两者之间的链条、链轮组件同步传动，传动转杆41通过传动齿轮42和传动齿环43带动精洗滚筒1在两个支撑筒11之间转动，载物短筒3和活动盖板31在合并后，由于合并后载物短筒3外侧壁上有用于在精洗滚筒1内部传动的螺旋纹，且载物短筒3始终通过此螺旋纹保持与精洗滚筒1的螺纹传动关系，两个限位传动杆32均与载物短筒3转动连接，限制载物短筒3的旋转，从而将载物短筒3从一侧的支撑筒11中经过精洗滚筒1传动至另一侧的支撑筒11内，同时限位传动杆32在驱动组件5的带动下在此传动过程中，通过底轮33带动夹持的晶圆旋转，此过程中，用于清洗的精洗滚筒1中载物短筒3内的两个喷头72通过螺旋管74连通水泵75，在晶圆两侧喷射药液，两侧清洗刷71对旋转的晶圆进行清洗，清洗结束后，将此支撑筒11连通的隔离箱21上的封闭结构8开启后，通过递进式上下料组件9夹持提升清洗后的晶圆至传料筒2内，而清洗用精洗滚筒1另一端的传料筒2中，递进式上下料组件9同步夹持提升上料架上的晶圆至传料筒2内，递进式上下料组件9将晶圆传动至传料筒2的另一端，此过程中，控制精洗滚筒1反向旋转，载物短筒3均经过精洗滚筒1的传动复位，通过递进式上下料组件9将清洗后的晶圆置于冲洗用精洗滚筒1中的载物短筒3内，待清洗的晶圆同步置于清洗用精洗滚筒1中的载物短筒3内，而后控制递进式上下料组件9复位，再次通过驱动组件5，使载物短筒3在精洗滚筒1的内部传动，冲洗用精洗滚筒1中的载物短筒3上通过喷头72向旋转晶圆喷射药液进行冲洗，在传动至精洗滚筒1另一端的支撑筒11中后，开启封闭结构8，使隔离箱21与支撑筒11连通，通过递进式上下料组件9夹持提升冲洗后的晶圆至传料筒2中，递进式上下料组件9在前两个传料筒2中，分别提升待清洗晶圆、清洗后的晶圆，通过递进式上下料组件9将三个晶圆分别传动至传料筒2的另一端，传动的过程中，再次控制精洗滚筒1反向旋转，使载物短筒3复位，将冲洗后的晶圆通过隔离箱21置于烘干用精洗滚筒1中的载物短筒3内，递进式上下料组件9将待清洗晶圆置于清洗用精洗滚筒1内的载物短筒3中，将清洗后的晶圆置于冲洗用精洗滚筒1内的载物短筒3中，而后复位，通过控制烘干用精洗滚筒1旋转将载物短筒3传动至另一侧支撑筒11内部的过程中，此载物短筒3上喷头72通过螺旋管74与气泵76连通，气泵76将烘干气体通过喷头72向旋转的晶圆喷射，将晶圆烘干，烘干后，通过递进式上下料组件9将烘干后的晶圆提升至传料筒2内，递进式上下料组件9在前三个传料筒2中，分别提升待清洗晶圆、清洗后的晶圆、冲洗后的晶圆，再次控制精洗滚筒1反向旋转，使载物短筒3复位，并通过递进式上下料组件9将烘干后的晶圆在传料筒2内部移动并置于下料架上，递进式上下料组件9在前三个传料筒2中，分别将待清洗晶圆置于清洗用精洗滚筒1内的载物短筒3中，将清洗后的晶圆置于冲洗用精洗滚筒1内的载物短筒3中，将冲洗后的晶圆置于烘干用精洗滚筒1内的载物短筒3中；

通过递进式上下料组件9将晶圆在传料筒2中递进式上料下料，晶圆在四个传料筒2与三个精洗滚筒1之间交替传动，并在三个精洗滚筒1中分别进行清洗、冲洗和烘干操作，且三个载物短筒3中的晶圆同步在精洗滚筒1的内部传动并在底轮33的带动下同步旋转，两端传料筒2之间的载物短筒3分别进行清洗、冲洗和烘干操作，且清洗、冲洗和烘干的操作同步进行，清洗和冲洗时，晶圆两侧的喷头72（喷水喷头）向旋转的晶圆喷射药液，一侧带有清洗刷71的载物短筒3对晶圆进行双面清洗，中间的载物短筒3对晶圆进行冲洗，另一侧载物短筒3中的喷头72（喷气喷头）通过螺旋管74与气泵76连通，在晶圆两侧喷射烘干气体，进行烘干操作，进行高效精洗；

水泵75不仅能够循环使用清洗用精洗滚筒1、冲洗用精洗滚筒1内部药液，在需要冲洗用药液也可通过开启通水管77上与清洗用精洗滚筒1连通的阀门，将冲洗用药水泵75入清洗用精洗滚筒1的内部，重复利用药液，降低精洗成本。

实施例2

如图7－图9和图12所示，基于上述实施例1的相同构思，如图7，所述封闭结构8包括六个分别固接在支撑筒11上的弧形滑轨81，如图9，所述弧形滑轨81与隔离箱21之间均滑动连接有弧形封板82，所述弧形封板82用于封堵隔离箱21与支撑筒11，所述弧形封板82的外侧壁上均设置有封闭咬齿84，所述弧形封板82均通过外侧壁上的封闭咬齿84啮合连接有封闭齿轮83，所述封闭齿轮83的内侧壁共同固定套接有封闭转杆85，所述封闭转杆85安装在传料筒2的外侧壁上，如图12，所述封闭转杆85的一端固接有驱动电机，通过驱动电机带动封闭转杆85旋转，封闭转杆85带动封闭齿轮83转动，封闭齿轮83通过封闭齿轮83、封闭咬齿84带动弧形封板82在弧形滑轨81与隔离箱21之间滑动，控制弧形封板82对隔离箱21和支撑筒11之间封堵和连通。

本实施例中，精洗滚筒1通过驱动组件5带动载物短筒3在其内部传动过程中，即对晶圆进行清洗、冲洗、烘干过程中，隔离箱21中，封闭转杆85通过封闭齿轮83、封闭咬齿84带动弧形封板82在弧形滑轨81的外侧壁上滑动，直至弧形滑轨81完全封堵在隔离箱21内，将支撑筒11与传料筒2的连通封闭，并在需要将晶圆在传料筒2内完成转移时开启，将清洗用精洗滚筒1、冲洗用精洗滚筒1、烘干用精洗滚筒1隔分，清洗过程、冲洗过程与烘干过程互不干扰，清洗环境、冲洗环境、冲洗环境中的晶圆不会交叉污染。

以上，仅是本发明的较佳实施例而已，并非是对本发明作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (9)

1.一种晶圆精洗工装，包括底座，其特征在于：所述底座的上方依次设有三个分别用于清洗、冲洗、烘干的精洗滚筒（1），所述精洗滚筒（1）的两端均转动连接有支撑筒（11），所述精洗滚筒（1）的上方间隔设置有四个传料筒（2），所述支撑筒（11）均通过隔离箱（21）与传料筒（2）固定连通，所述精洗滚筒（1）的内侧壁上均螺纹套接有载物短筒（3），所述精洗滚筒（1）之间设置有用于对载物短筒（3）传动的筒内传动结构（4），所述载物短筒（3）的侧壁上铰接有活动盖板（31），所述载物短筒（3）的侧壁上共同转动连接有两个限位传动杆（32），所述载物短筒（3）内部设置有用于将晶圆同步夹持在限位传动杆（32）上的固位结构（6），所述活动盖板（31）通过固位结构（6）在载物短筒（3）的侧壁上开合，所述载物短筒（3）的内部设置有用于清洗、冲洗、烘干的精洗结构（7），所述隔离箱（21）与支撑筒（11）之间安装有控制隔离箱（21）密封与连通的封闭结构（8），所述传料筒（2）内部设置有将晶圆在精洗滚筒（1）之间传递的递进式上下料组件（9），所述筒内传动结构（4）与任意一个限位传动杆（32）的外侧壁之间连接有驱动组件（5），两个所述限位传动杆（32）之间通过驱动组件（5）传动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述固位结构（6）包括开合驱动杆（61），所述开合驱动杆（61）的一端依次贯穿转动连接支撑筒（11）的侧壁并延伸至支撑筒（11）的外部，所述活动盖板（31）与载物短筒（3）的铰接轴均滑动套接开合驱动杆（61）的外侧壁上，所述开合驱动杆（61）位于支撑筒（11）外部的一端铰接有推板（63），所述推板（63）远离开合驱动杆（61）的一端铰接有电推杆（62），所述电推杆（62）的尾端铰接在支撑筒（11）的外侧壁上，所述活动盖板（31）的内侧壁上安装有两个顶轮（64），所述载物短筒（3）的内侧壁上安装有底轮（33），所述底轮（33）的轮轴均滑动套接在限位传动杆（32）的外侧壁上，所述顶轮（64）和底轮（33）用于共同夹持晶圆。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述筒内传动结构（4）包括转动连接在底座上的传动转杆（41），所述传动转杆（41）的外侧壁上固接有三个传动齿轮（42），所述精洗滚筒（1）的外侧壁上均固定套接有传动齿环（43），所述传动齿环（43）均与传动齿轮（42）啮合连接，所述传动转杆（41）的一端与驱动组件（5）连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述精洗结构（7）包括三对分别固接在载物短筒（3）内侧壁上的喷头（72），同对所述喷头（72）之间通过短管固定连通，用于清洗的所述精洗滚筒（1）内的载物短筒（3）中设有一对清洗刷（71），所述精洗滚筒（1）的一端均固定连通有内藏管（73），所述内藏管（73）的侧壁上均固接有螺旋管（74），所述螺旋管（74）的一端均与喷头（72）固定连通，所述螺旋管（74）的另一端分别固定连通有通水管（77）、通水管（77）、气泵（76），所述通水管（77）的外侧壁上均固定连通有水泵（75），所述通水管（77）位于水泵（75）两侧的管壁上均设置有水阀，所述水泵（75）的进水端可与相邻的内藏管（73）固定连通用于循环同一精洗滚筒（1）内部药液。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述封闭结构（8）包括六个分别固接在支撑筒（11）上的弧形滑轨（81），所述弧形滑轨（81）与隔离箱（21）之间均滑动连接有弧形封板（82），所述弧形封板（82）用于封堵隔离箱（21）与支撑筒（11），所述弧形封板（82）的外侧壁上均设置有封闭咬齿（84），所述弧形封板（82）均通过外侧壁上的封闭咬齿（84）啮合连接有封闭齿轮（83），所述封闭齿轮（83）的内侧壁共同固定套接有封闭转杆（85），所述封闭转杆（85）安装在传料筒（2）的外侧壁上，所述封闭转杆（85）的一端固接有驱动电机。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述递进式上下料组件（9）包括滑杆（91）和螺纹丝杆（92），所述滑杆（91）和螺纹丝杆（92）的一端均依次贯穿固定连接传料筒（2）的侧壁，所述滑杆（91）的外侧壁与传料筒（2）固接，所述螺纹丝杆（92）的外侧壁与传料筒（2）转动连接，所述螺纹丝杆（92）的输出端上固接有传动电机，所述传料筒（2）的内部均设有架板（93），所述架板（93）的一端滑动套接在滑杆（91）的外侧壁上，另一端螺纹套接在螺纹丝杆（92）的外侧壁上，所述架板（93）的外侧壁上均滑动套接有两个横向活动板（94），所述横向活动板（94）与架板（93）之间均固接有气缸，所述横向活动板（94）的侧壁上均滑动套接有竖向活动杆（97），同一所述传料筒（2）中竖向活动杆（97）内侧壁上共同滑动套接有横杆（96），所述架板（93）的顶部均固接有电动伸缩杆（95），所述电动伸缩杆（95）的输出端均与横杆（96）的中部固接，所述竖向活动杆（97）的底端均固接有夹板（98）。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述限位传动杆（32）均为多棱柱体，所述限位传动杆（32）的外侧壁均通过密封轴套与支撑筒（11）的侧壁转动连接。

8.根据权利要求2所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述开合驱动杆（61）为多棱柱体，所述开合驱动杆（61）的外侧壁均通过密封轴套与支撑筒（11）的侧壁转动连接。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆精洗工装，其特征在于：所述支撑筒（11）的顶部均开设有用于晶圆与递进式上下料组件（9）穿过的归置口（12）。