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CN116253301A - 一种五氟化磷气体的制备方法 - Google Patents

一种五氟化磷气体的制备方法 Download PDF

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CN116253301A
CN116253301A CN202211740261.8A CN202211740261A CN116253301A CN 116253301 A CN116253301 A CN 116253301A CN 202211740261 A CN202211740261 A CN 202211740261A CN 116253301 A CN116253301 A CN 116253301A
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electrode
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Abstract

本发明提供一种五氟化磷气体的制备方法。所述制备方法包括以下步骤：(1)将磷源和无水氢氟酸反应得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理后得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体。本发明制备得到的五氟化磷气体具有低杂质和高纯的效果。制备成本低、纯度高、可连续化生产、能耗低等优点。

Description

一种五氟化磷气体的制备方法
技术领域
本发明属于锂离子电池技术领域，具体涉及一种五氟化磷气体的制备方法。
背景技术
六氟磷酸锂是一种性能优良的常用锂离子电池锂盐，在目前六氟磷酸锂的生产中，得到高纯度的六氟磷酸锂是优化锂离子电池电解液的重点，六氟磷酸锂纯度太低，会导致电池的内阻过大，从而影响电池的电化学性能。
近年来，随着锂电池的发展，五氟化磷作为生产锂电池电解质六氟磷酸锂材料的重要原料，因此，五氟化磷的需求和品质要求也日益提高，制备五氟化磷气体是制备高质量六氟磷酸锂的关键。
目前，对于五氟化磷气体的制备主要是加压精馏。但是五氟化磷中的氟化氢气体在加压精馏下很难被去除，难以制备得到纯净的五氟化磷气体。
如何制备得到一种高纯度五氟化磷气体，是本领域重要研究方向。
发明内容
本发明的目的在于提供一种五氟化磷气体的制备方法，制备得到高纯的五氟化磷气体。
为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种五氟化磷气体的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
(1)将磷源和无水氢氟酸反应得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；
(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理后得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体。
本发明对第二生成物进行预处理(包括初步的去硫酸处理、冷凝、洗涤、降温处理和精馏处理中的一种或几种)后，得到的粗制五氟化磷气体中包括氟化氢气体杂质和五氟化磷气体。
由于气体分子可以分为两类，非极性分子和极性分子，非极性分子的结构对称。氟化氢气体为极性气体，五氟化磷气体为非极性气体。在电场力的作用下，极性气体氟化氢能较快的透过渗透膜，非极性气体五氟化磷较慢的透过渗透膜，在附加上不对称静电场后，极性气体氟化氢的渗透速率将更快，从而在渗透室一侧使得极性气体氟化氢更快的富集，经过电离吸附处理，将非极性气体和极性气体分离开来，并采用吸附件吸附氟化氢气体，达到去除粗制五氟化磷气体中的氟化氢气体的效果，得到高纯的五氟化磷气体。本发明采用一系列的除杂处理和电离吸附的手段，利用气体分子之间的特性，达到气体分子分离的效果，设置吸附件对分离开的氟化氢气体进行吸附，防止五氟化磷制备过程中向大气中排放氟化氢气体，实现环保绿色生产的目的。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述磷源包括多聚磷酸和/或磷酸，进一步优选多聚磷酸。
优选地，步骤(1)所述磷源和无水氢氟酸的质量比为1：(1.4-10)，其中所述进料质量速率比可以是1:1.5、1:2、1:3、1:4、1:5、1:6、1:7、1:8、1:9或1:10等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)所述反应的温度-25-25℃，其中所述温度可以是-25℃～25℃，其中所述温度可以是-25℃、-20℃、-15℃、-10℃、-5℃、0℃、5℃、10℃、15℃、20℃或25℃等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)所述第一生成物包括六氟磷酸、水和氢氟酸。
优选地，步骤(1)所述分解在发烟硫酸的存在下进行。
优选地，所述发烟硫酸和第一生成物的质量比为(1～5)：1，例如可以为1:1、2:1、3:1、4:1或5:1等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)所述分解的温度-15～15℃，例如可以为-15℃、-10℃、-5℃、0℃、5℃、10℃或15℃等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)所述分解的时间为0.5～5h，例如可以为1h、1.5h、2h、2.5h、3h、3.5h、4h或4.5h等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述分解得到的第二生成物包括五氟化磷、氟化氢、硫酸、氢氟酸、氟磺酸和三氟氧磷等。
优选地，所述第二生成物包括气相组分和液相组分，所述气相组分中五氟化磷、氟化氢、三氟氧磷质量分数分别为50-75％(例如52％、55％、58％、60％、62％、65％、68％、70％、72％或74％等)、25-50％(例如28％、30％、32％、35％、38％、40％、42％、45％或48％等)和0.01-5％(例如0.05％、0.1％、0.3％、0.5％、0.8％、1％、1.5％、2％、2.5％、3％、3.5％、4％或4.5％等)。
优选地，所述液相组分中硫酸、氢氟酸、氟磺酸、含磷元素的酸质量分数比例分别为85-99％(例如86％、88％、90％、91％、93％、95％、97％或98％等)、1-10％(例如2％、3％、4％、5％、6％、7％、8％或9％等)、1-7％(例如2％、3％、4％、5％或6％等)和0.1-5％(例如0.3％、0.5％、0.8％、1％、1.5％、2％、2.5％、3％、3.5％、4％或4.5％等)。
作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述预处理包括去硫酸处理、冷凝、洗涤和精馏中的一种或至少两种的组合。
优选地，所述去硫酸处理的方法包括使用无水氢氟酸喷淋洗涤。
优选地，所述去硫酸处理去除硫酸、氢氟酸和氟磺酸。
优选地，所述冷凝用于回收氟化氢气体，并将冷凝得到的无水氢氟酸通入洗涤塔中。
优选地，所述冷凝的温度为-35～-75℃，例如可以为-40℃、-45℃、-50℃、-55℃、-60℃、-65℃或-70℃等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用；低温下的冷凝处理可以使残留的三氟氧磷冷凝为固体，从而与气态的五氟化磷分离。
优选地，所述冷凝后气体中的五氟化磷、氟化氢的质量分数分别为95-99.9％(例如96％、96.5％、97％、97.5％、98％、98.5％、99％、99.5％、99.6％或99.8％等)、0.1-5％(例如0.3％、0.5％、0.8％、1％、1.5％、2％、2.5％、3％、3.5％、4％或4.5％等)。
优选地，所述冷凝后气体中的三氟氧磷含量小于1000ppm，例如可以为0、10ppm、30ppm、50ppm、80ppm、100ppm、200ppm、300ppm、400ppm、500ppm、600ppm、700ppm、800ppm或900ppm等。
作为本发明优选的技术方案，所述洗涤的温度为-70～-20℃，所述洗涤的温度可以是-70℃、-65℃、-60℃、-55℃、-50℃、-45℃、-40℃、-35℃、-30℃、-25℃或-20℃等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，其中所述温度可以是优选为-70～-50℃。
优选地，所述洗涤包括用无水氢氟酸对五氟化磷气体进行洗涤。
洗涤处理中，同时将部分无水氟化氢和三氟氧磷再低温下去除得到三氟氧磷固体，对洗涤釜底部的三氟氧磷固体进行回收利用。
作为本发明优选的技术方案，所述精馏的压力为0.3-2MPa，其中所述压力可以是0.3MPa、0.5MPa、0.8MPa、1.0MPa、1.2MPa、1.4MPa、1.6MPa、1.8MPa或2MPa等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述粗制五氟化磷气体包括五氟化磷气体和氟化氢气体。
优选地，步骤(2)所述电离吸附处理在气体分离装置中进行。
优选地，所述气体分离装置包括原料室、渗透室、渗透膜、脱酸树脂吸附件和电极。
优选地，所述电极包括位于原料室一侧的第一电极和位于渗透室一侧的第二电极。
优选地，所述第一电极和第二电极选自平板电极和针状电极。
优选地，所述脱酸树脂吸附件为市售的脱酸树脂吸附柱。
优选地，所述脱酸树脂吸附件上设置有与气体渗透方向平行的至少一个通孔。
本发明中脱酸树脂吸附件上设置的与气体渗透方向平行的通孔是为了确保电场施压的正常进行，同时部分氟化氢气体在通孔中运动，被通孔壁的脱酸树脂吸收，增大了脱酸树脂吸附件对氟化氢气体的吸附面积。
作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述电离吸附处理包括将粗制五氟化磷气体通入原料室中，在不对称静电场的电位梯度作用下，氟化氢气体在原料室中以化学位梯度作为推动力透过渗透膜进入渗透室被脱酸树脂吸附件吸收。
优选地，所述渗透膜的材料包括氟代聚合物。
优选地，所述氟代聚合物包括氟代乙烯-丙烯共聚物、聚(乙烯、氟代三氟乙烯)、聚(氯代三氟乙烯)、聚(四氟乙烯)或聚(1，1-二氟乙烯)中的任意一种。
本发明中选用耐氟化氢的无孔半渗透聚合物膜，可以抵抗因长期接触HF而产生的降解的聚合物。
作为本发明优选的技术方案，所述不对称静电场由平板电极和针状电极产生。
优选地，所述电极施加的直流电压为10～1000V，其中所述直流电压可以是10V、100V、200V、300V、400V、500V、600V、700V、800V、900V或1000V等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。优选为500～1000V。
优选地，所述电离吸附处理的温度为-50～100℃，其中所述温度可以是-50℃、-20℃、-10℃、0℃、10℃、20℃、40℃、60℃、80℃、90℃或100℃等，但不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为-30～30℃。
作为本发明优选的技术方案，所述制备方法包括以下步骤：
(1)将质量比为1：(1.4-10)的磷源和无水氢氟酸于-15℃～25℃反应，得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；
(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理，得到粗制五氟化磷气体，所述预处理包括去硫酸处理、冷凝、洗涤或精馏中的任意一种或至少两种的组合；
将所述粗制五氟化磷气体通入气体分离装置中进行经电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体；
所述气体分离装置包括原料室、渗透室、渗透膜、脱酸树脂吸附件、第一电极和第二电极，所述第一电极位于原料室一侧，所述第二电极位于渗透室一侧，所述第一电极与第二电极之间施加电压并产生不对称静电场；所述脱酸树脂吸附件设置于渗透室中，其上设置有与气体渗透方向平行的至少一个通孔；
所述粗制五氟化磷气体在不对称静电场的电位梯度作用下，氟化氢气体在原料室中以化学位梯度作为推动力透过渗透膜进入渗透室被脱酸树脂吸附件吸收。
相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
本发明制备得到高纯五氟化磷气体，采用一系列的除杂处理和电离吸附的手段，利用气体分子之间的特性，达到气体分子分离的效果，设置吸附剂对分离开的氟化氢气体进行吸附，其中，五氟化磷气体的纯度可以达到99.999％以上，设置脱酸树脂吸附件对分离开的氟化氢气体进行吸附，防止五氟化磷制备过程中向大气中排放氟化氢气体，实现环保绿色生产的目的。
附图说明
图1为本发明实施例1-5中的气体分离装置的结构示意图。
图中：1-原料室；2-渗透室；3-渗透膜；4-脱酸树脂吸附件；5-平板电极；6-针状电极；7-通孔。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
本发明提供一种如图1所示的气体分离装置，所述气体分离装置包括原料室1、渗透室2、渗透膜3、脱酸树脂吸附件4和电极。
进一步地，所述电极包括位于原料室1一侧的平板电极5和位于渗透室2一侧的至少一个针状电极6。
进一步地，所述脱酸树脂吸附件4上设置有与气体渗透方向平行的至少一个通孔7。
本发明中脱酸树脂吸附件4上设置的与气体渗透方向平行的通孔7是为了确保电场施压的正常进行，同时部分氟化氢气体在通孔7中运动，被通孔7壁的脱酸树脂吸收，增大了脱酸树脂吸附件4对氟化氢气体的吸附面积。
进一步地，步骤(2)所述电离吸附处理包括将粗制五氟化磷气体通入原料室1中，在不对称静电场的电位梯度作用下，氟化氢气体在原料室1中以化学位梯度作为推动力透过渗透膜3进入渗透室2被脱酸树脂吸附件4吸收。
进一步地，所述脱酸树脂吸附件4为市售的脱酸树脂吸附柱。
进一步地，所述渗透膜3的材料包括氟代聚合物。
进一步地，所述氟代聚合物包括氟代乙烯-丙烯共聚物、聚(乙烯、氟代三氟乙烯)、聚(氯代三氟乙烯)、聚(四氟乙烯)或聚(1，1-二氟乙烯)中的任意一种。
本发明中选用耐氟化氢的无孔半渗透聚合物膜，可以抵抗因长期接触HF而产生的降解的聚合物。
进一步地，所述不对称静电场由平板电极5和针状电极6产生。
进一步地，所述电极施加的直流电压为10～1000V，优选为500～1000V。
进一步地，所述电离吸附处理的温度为-50～100℃。
实施例1
本实施例提供一种五氟化磷气体的制备方法，包括以下步骤：
(1)将质量比为1：2.5的磷源(多聚磷酸H6P4O13)和无水氢氟酸在10℃下进行充分反应，得到第一生成物；所述第一生成物与发烟硫酸按照质量比为1:2混合，于10℃下进行分解(充分脱水)，得到第二生成物，第二生成物中包括五氟化磷、氟化氢、硫酸、氢氟酸、氟磺酸和三氟氧磷等。
(2)对步骤(1)所述第二生成物依次进行去硫酸处理去除硫酸、氢氟酸和氟磺酸、-65℃冷凝洗涤去除三氟氧磷和部分氟化氢，得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净五氟化磷气体，其中，电离吸附处理采用如图1所示的气体分离装置，渗透膜3的材料为聚(四氟乙烯)，电极施加的直流电压为5000V，电离吸附处理的温度为0℃。
实施例2
本实施例提供一种五氟化磷气体的制备方法，包括以下步骤：
(1)将质量比为1：2的磷源(H6P4O13)和无水氢氟酸在12℃下进行充分反应，得到第一生成物；所述第一生成物与发烟硫酸按照质量比为1:2.5混合，于10℃下进行分解(充分脱水)，得到第二生成物，第二生成物中包括五氟化磷、氟化氢、硫酸、氢氟酸、氟磺酸和三氟氧磷等。
(2)对步骤(1)所述第二生成物依次进行去硫酸处理去除硫酸、氢氟酸和氟磺酸、-70℃冷凝洗涤去除三氟氧磷和部分氟化氢，得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净五氟化磷气体，其中，电离吸附处理采用如图1所示的气体分离装置，渗透膜3的材料为聚(氯代三氟乙烯)，电极施加的直流电压为10000V，电离吸附处理的温度为-30℃。
实施例3
本实施例提供一种五氟化磷的制备方法，包括以下步骤：
(1)将质量比为1：3的磷源(H6P4O13)和无水氢氟酸在5℃下进行充分反应，得到第一生成物；所述第一生成物与发烟硫酸按照质量比为1:3混合，于10℃下进行分解(充分脱水)，得到第二生成物，第二生成物中包括五氟化磷、氟化氢、硫酸、氢氟酸、氟磺酸和三氟氧磷等。
(2)对步骤(1)所述第二生成物依次进行去硫酸处理去除硫酸、氢氟酸和氟磺酸、-65℃冷凝洗涤去除三氟氧磷和部分氟化氢，得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净五氟化磷气体，其中，电离吸附处理采用如图1所示的气体分离装置，渗透膜3的材料为聚(1，1-二氟乙烯)，电极施加的直流电压为8000V，电离吸附处理的温度为30℃。
实施例4
本实施例除将电极施加的直流电压替换为100V外，其他条件均与实施例1相同。
实施例5
本实施例除将电离吸附处理的温度替换为-50℃外，其他条件均与实施例1相同。
实施例6
本实施例除不在脱酸树脂吸附件上设置通孔外，其他条件均与实施例1相同。
实施例7
本实施例除将脱酸树脂吸附件替换为氢氧化钠吸附件外，其他条件均与实施例1相同。
实施例8
本实施例除不设置脱酸树脂吸附件，即仅在气体分离装置中进行电离吸附处理，其他条件均与实施例1相同。
对比例1
本对比例除将电极产生的直流电压替换为0V，也就是不进行电离吸附处理，仅用脱酸树脂吸附件进行吸附处理，其他条件均与实施例1相同。
对实施例1-8和对比例1中制备方法得到的五氟化磷进行纯度的测试，测试方法为采用气体纯度分析仪。测试结构如表1所示。
表1
五氟化磷纯度
实施例1 99.999％
实施例2 99.999％
实施例3 99.999％
实施例4 99.987％
实施例5 99.380％
实施例6 98.625％
实施例7 99.076％
实施例8 98.856％
对比例1 97.556％
通过上述结果可知，实施例1-3在电压较高的电场中进行电离吸附处理，氟化氢气体几乎全部透过渗透膜被脱酸树脂吸附，与五氟化磷气体分离。实施例4采用低电压进行电离吸附处理，氟化氢在电离后，在原料室有残余，不能在五氟化磷气体中完全被分离，最终得到的五氟化磷气体的纯度下降。实施例5和实施例1对比可知，电离吸附处理的温度过低，氟化氢气体与五氟化磷气体的分离速率会有影响，导致最终留在原料室随五氟化磷气体排出的杂质多，五氟化磷气体的纯度下降。实施例6不在脱酸树脂吸附件上设置通孔，脱酸树脂吸附件将不对称静电场隔离，使得氟化氢受力微弱，难以快速通过渗透膜，导致五氟化磷与氟化氢气体的分离不彻底。实施例7将脱酸树脂吸附件替换为氢氧化钠吸附柱，对氟化氢的吸附能力变弱，导致最终的五氟化磷气体的纯度变差。实施例8中不设置脱酸树脂吸附件，氟化氢气体的吸附能力降低，当渗透室中氟化氢浓度过大时，部分氟化氢气体会通过渗透膜回到原料室，导致五氟化磷气体的吸附能力变弱。对比例1中不对电场进行直流电压的设置，氟化氢无法和五氟化磷进行分离，仅仅在渗透室被脱酸树脂吸附一部分，五氟化磷的浓度接近粗制五氟化磷的浓度。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种五氟化磷气体的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
(1)将磷源和无水氢氟酸反应得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；
(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理后得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述磷源包括多聚磷酸和/或磷酸；
优选地，步骤(1)所述磷源和无水氢氟酸的质量比为1：(1.4～10)；
优选地，步骤(1)所述反应的温度-25～25℃；
优选地，步骤(1)所述第一生成物包括六氟磷酸、水和氢氟酸。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述分解在发烟硫酸的存在下进行；
优选地，步骤(1)所述分解得到的第二生成物包括五氟化磷、氟化氢、硫酸、氢氟酸、氟磺酸和三氟氧磷；
优选地，所述第二生成物包括气相组分和液相组分，所述气相组分中五氟化磷、氟化氢、三氟氧磷质量分数分别为50-75％、25-50％和0.01-5％，所述液相组分中硫酸、氢氟酸、氟磺酸、含磷元素的酸质量分数比例分别为85-99％、1-10％、1-7％和0.1-5％。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述预处理包括去硫酸处理、冷凝、洗涤和精馏中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述去硫酸处理去除硫酸、氢氟酸和氟磺酸；
优选地，所述冷凝用于回收氟化氢气体，并将冷凝得到的无水氢氟酸通入洗涤塔中；
优选地，所述冷凝的温度为-35～-75℃。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述洗涤的温度为-70～-20℃，优选为-70～-50℃；
优选地，所述洗涤包括用无水氢氟酸对五氟化磷气体进行洗涤。
6.根据权利要求4或5所述的制备方法，其特征在于，所述精馏的压力为0.3-2MPa。
7.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述粗制五氟化磷气体包括五氟化磷气体和氟化氢气体；
优选地，步骤(2)所述电离吸附处理在气体分离装置中进行；
优选地，所述气体分离装置包括原料室、渗透室、渗透膜、脱酸树脂吸附件和电极；
优选地，所述电极包括位于原料室一侧的第一电极和位于渗透室一侧的第二电极；
优选地，所述第一电极和第二电极选自平板电极和针状电极；
优选地，所述脱酸树脂吸附件设置于渗透室中；
优选地，所述脱酸树脂吸附件上设置有与气体渗透方向平行的至少一个通孔。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述电离吸附处理包括将粗制五氟化磷气体通入原料室中，在不对称静电场的电位梯度作用下，氟化氢气体在原料室中以化学位梯度作为推动力透过渗透膜进入渗透室被脱酸树脂吸附件吸收；
优选地，所述渗透膜的材料包括氟代聚合物；
优选地，所述氟代聚合物包括氟代乙烯-丙烯共聚物、聚(乙烯、氟代三氟乙烯)、聚(氯代三氟乙烯)、聚(四氟乙烯)或聚(1，1-二氟乙烯)中的任意一种。
9.根据权利要求7或8所述的制备方法，其特征在于，所述不对称静电场由平板电极和针状电极产生；
优选地，所述电极施加的直流电压为10～1000V，优选为500～1000V；
优选地，所述电离吸附处理的温度为-50～100℃，优选为-30～30℃。
10.根据权利要求1-9任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
(1)将质量比为1：(1.4-10)的磷源和无水氢氟酸于-15℃～25℃反应，得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；
(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理，得到粗制五氟化磷气体，所述预处理包括去硫酸处理、冷凝、洗涤或精馏中的任意一种或至少两种的组合；
将所述粗制五氟化磷气体通入气体分离装置中进行电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体；
所述气体分离装置包括原料室、渗透室、渗透膜、脱酸树脂吸附件、第一电极和第二电极，所述第一电极位于原料室一侧，所述第二电极位于渗透室一侧，所述第一电极与第二电极之间施加电压并产生不对称静电场；所述脱酸树脂吸附件设置于渗透室中，其上设置有与气体渗透方向平行的至少一个通孔；
所述粗制五氟化磷气体在不对称静电场的电位梯度作用下，氟化氢气体在原料室中以化学位梯度作为推动力透过渗透膜进入渗透室被脱酸树脂吸附件吸收。
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