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CN115356899A - 马达监控管理方法、光刻机及计算机可读存储介质 - Google Patents

马达监控管理方法、光刻机及计算机可读存储介质 Download PDF

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CN115356899A
CN115356899A CN202211042234.3A CN202211042234A CN115356899A CN 115356899 A CN115356899 A CN 115356899A CN 202211042234 A CN202211042234 A CN 202211042234A CN 115356899 A CN115356899 A CN 115356899A
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CN
China
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motor
management method
working
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computer
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CN202211042234.3A
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常欢
谢华
陆捷
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Shanghai Huali Microelectronics Corp
Original Assignee
Shanghai Huali Microelectronics Corp
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01M15/00—Testing of engines
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
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    • G06T11/00—2D [Two Dimensional] image generation
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    • G—PHYSICS
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Abstract

本发明提供了马达监控管理方法、光刻机及计算机可读存储介质，属于半导体器件制造技术领域，该马达监控管理方法，包括以下步骤：按照预定的时间间隔获取机台中处于运行状态中的马达的工作数据；将所述工作数据绘制成随时间变化的散点图，将所述散点图输出展示在显示装置上；根据所述散点图中的所述工作数据输出每个所述马达的告警信号或正常工作信号，并生成对应的所述马达的工作状态表格。通过对光刻机中的马达进行监控，采集马达的工作数据生成相应的图表以实时且直观地反映马达的性能，并捕捉马达工作的异常值发出告警信号，以解决马达的管理和监控的缺失的问题。

Description

马达监控管理方法、光刻机及计算机可读存储介质
技术领域
本发明涉及半导体器件制造技术领域，特别涉及马达监控管理方法、光刻机及计算机可读存储介质。
背景技术
光刻机是半导体生产制造的主要生产设备之一，也是决定整个半导体生产工艺水平高低的核心技术机台。一台光刻机包含了光学系统、微电子系统、计算机系统、精密机械系统和控制系统等构件。光刻机各个构件中的驱动装置都是必不可少的存在，尤其是驱动装置中的马达，而马达一旦出现故障，则需要整机排查故障，进行检修，维修时长一般三到七天不等，最长甚至能够达到一个月，十分影响产能。针对马达的管理和监控，常通过万用表测量对应的连接点，获取马达的阻抗，再根据各个连接点的测量数据分析判断马达的工况，这样的监控方法获取的仅是马达当时的数据，难以全程实时监控马达工况，还十分耗费机时和人力，影响光刻机生产过程的连贯性。
基于上述监控管理方法的弊端，需要一种新的马达监控管理方法，在耗费较少的人力和机时的同时，能够实时且直观地反映光刻机机台中各个马达的性能，以弥补马达的管理和监控的缺失。
发明内容
本发明的目的在于提供一种马达监控管理方法，以解决马达的管理和监控的缺失的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种马达监控管理方法，包括以下步骤：
按照预定的时间间隔获取机台中处于运行状态中的马达的工作数据；
将所述工作数据绘制成随时间变化的散点图，将所述散点图输出展示在显示装置上；
根据所述散点图中的所述工作数据输出每个所述马达的告警信号或正常工作信号，并生成对应的所述马达的工作状态表格。
优选地，所述工作数据至少包括所述马达工作时的位置偏移量、与所述马达连接的功率放大器输出的功率数值。
优选地，在形成所述散点图时，还对所述散点值中的各点进行拟合形成对应的曲线。
优选地，根据预先配置的每个马达的所述工作数据对应的异常值识别规则，检测所述工作数据中是否存在异常值。
优选地，检测所述马达的所述工作数据中是否具有所述异常值：若具有所述异常值，则输出告警信号到对应的所述马达的工作表格中；若不具有所述异常值，则输出正常工作信号到对应的所述马达的工作表格中。
优选地，所述异常值识别规则包括拉以达方法、DBSCAN方法、Z-score方法。
优选地，在所述散点图上拟合形成对应曲线的步骤包括：获取所述异常值，后剔除所述异常值再进行拟合。
优选地，还同步存储生成的所述散点图、曲线及对应的所述工作状态表格。
本发明还提供了一种光刻机，采用上述任一项所述的马达监控管理方法。
本发明还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机执行上述任一项所述的马达监控管理方法。
在本发明提供的马达监控管理方法，通过对光刻机中的马达进行监控，并根据采样所得的工作数据生成相应的图表以实时且直观地反映马达的性能，以及，及时捕捉马达工作的异常值，操作人员能够根据异常值排查马达的故障情况，从而通过检查维护等手段尽量延长马达寿命，同时减少人力和机时，保证生产的连续性，填补了光刻机马达监控管理的缺失。本发明提供的马达监控管理方法还对马达的历史工作数据进行保存，在排查故障时，可以借助历史工作数据和故障状况进行参考判断，另一方面还可以提早预防马达故障，预先准备好维修步骤所用的零件、工具备库、人力，节省维修前期准备时间，尽量缩减宕机时间，减少产能损失。
附图说明
图1是本发明提供的一种实施方式的执行流程图；
图2是本发明提供的一种实施方式根据马达的位置偏移量绘制的散点图和拟合的曲线；
图3是本发明提供的一种实施方式根据马达的功率放大器的输出数值绘制的散点图和拟合的曲线。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的马达监控管理方法、光刻机及计算机可读存储介质作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
发明人研究发现，光刻机是由多个关键单元组成的设备，每个运动单元都靠马达驱动，比如露光台、掩膜版和镜片传送单元以及光路中的关键光学部品等，都是靠马达驱动从而达到露光的目的。一般在马达出现故障之后再进行整机排查维修，维修流程繁琐且耗时长，而采用万用表时时检测马达的连接点获取数据获取马达的工况，无法做到实时性监控且耗费机时和人力，影响生产连贯性。
基此，在本发明实的核心思想在于，通过从光刻机中获取实时的监控数据，并对应绘制成图表，直观地监视马达的工作状态，并根据获得的监控数据输出报警信号或正常工作信号，便于判断马达的工作状态，进行后续的维护保养或是检修准备。
具体的，请参考图1，其为本发明实施例的执行流程图。如图1所示，一种马达监控管理方法，包括以下步骤：
S1，按照预定的时间间隔获取机台中处于运行状态中的马达的工作数据。
在一种实施方式中，光刻机会输出格式为log的日志文件，因此，可以直接获取光刻机输出的日志，并提取其中描述马达工作状态的工作数据，且在这一过程中，光刻机可以不停机继续作业，不影响光刻机本身的生产制造进程。
例如，工作数据至少包括马达工作时的位置偏移量、与马达连接的功率放大器输出的功率数值。通过马达工作时的位置偏移量来判断马达是否出现振动或异响，以及，根据功率放大器输出的数值来判断马达输出的推力是否正常，综合对马达的工作状态进行初步判断，再进行后续的维护检修工作。
S2，将工作数据绘制成随时间变化的散点图，将散点图输出展示在显示装置上。
具体地，在形成散点图时，还对散点值中的各点进行拟合形成对应的曲线。正如图2和图3所示，分别是马达的位置偏移量随时间变化的散点图及拟合的曲线、马达的功率放大器输出的数值随时间变化的散点图及拟合的曲线，其中，图2的横坐标为时间轴，纵坐标则为马达的位置偏移量且单位为纳米，图3的横坐标为时间轴，纵坐标为马达的功率放大器输出的马达的出力数值且单位为牛，这里进行拟合的方法包括但不限于利用高阶多项式函数拟合曲线。
其中，在散点图上拟合形成对应曲线的步骤包括：通过判断单元获取异常值，后剔除异常值再进行拟合。在正常工作情况下，散点图上的数值点均匀分布在拟合的曲线周围，为直观地读取马达正常工作状态下的数据变化趋势，在拟合时先剔除存在的异常值。
作为补充地，还可以获取一段时间内的工作数据，并将工作数据绘制成箱式图，同样便于直观地读取到异常值。
在一种实施方式中，生成的散点图、曲线及对应的工作状态表格还同步保存在存储单元中。保存下来的马达历史工作数据，还可以作为参考数据了解马达的工作特征，以维护马达的工作状态。
S3，根据散点图中的工作数据输出每个马达的告警信号或正常工作信号，并生成对应的马达的工作状态表格。
在一种实施方式中，在判断单元中，预先配置有每个马达的工作数据对应的异常值识别规则，以检测工作数据中是否存在异常值。需要注意的是，在一台光刻机中具有多个马达，各马达的工作状态相同或不同，各个马达的工作数据的散点图可以绘制在同一张图表上，但各个马达所采用的异常值识别规则可以相同或不同。
可以理解的，基于历史数据分析，马达正常工作的情况下的工作数据波动较小，当平稳变化的工作数据出现跳变或突变的数值则可以认定为马达的工作状态发生了变化，需要进一步地维护或检修，基于此，检测马达的工作数据中是否具有异常值：若具有异常值，则输出告警信号到对应的马达的工作表格中；若不具有异常值，则输出正常工作信号到对应的马达的工作表格中。其中，异常值识别规则包括拉以达方法、DBSCAN方法、Z-score方法。
另外，经过功率放大器输出的散点图以及拟合的曲线，如图3所示，一般是正弦曲线，当拟合的正弦曲线的偏距发生变化，但大致仍为周期变化的正弦曲线的形态，操作人员可以根据该变化分析是功率放大器本身出现异常。
进一步的，根据输出的马达的工作状态表格中的告警信号或正常工作信号，当马达具有告警信号时，操作人员可以先比对保存在存储单元中的历史工作数据，后检修对应的马达。
本发明还提供了一种光刻机，采用了上述任一项的马达监控管理方法。
本发明还提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机指令，计算机指令用于使计算机执行如上述任一项的马达监控管理方法。该计算机可读存储介质中存储有指令，当其在计算机上运行时，使得计算机执行上述实施例中的马达监控管理方法。
在上述实施例中，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本发明实施例的流程或功能。计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(DSL)) 或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。可用介质可以是磁性介质，(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质(例如，DVD)、或者半导体介质(例如固态硬盘Solid State Disk(SSD))等。
综上可见，在本发明实施例提供的马达监控管理方法中，通过对光刻机中的马达进行监控，并生成相应的图表以实时且直观地反映马达的性能，以及，便于及时捕捉马达工作的异常值，操作人员能够根据异常值排查马达的故障情况，从而通过检查维护等手段尽量延长马达寿命，同时减少人力和机时，保证生产的连续性，填补了光刻机马达监控管理的缺失。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种马达监控管理方法，其特征在于，包括以下步骤：
按照预定的时间间隔获取机台中处于运行状态中的马达的工作数据；
将所述工作数据绘制成随时间变化的散点图，将所述散点图输出展示在显示装置上；
根据所述散点图中的所述工作数据输出每个所述马达的告警信号或正常工作信号，并生成对应的所述马达的工作状态表格。
2.如权利要求1所述的马达监控管理方法，其特征在于，所述工作数据至少包括所述马达工作时的位置偏移量、与所述马达连接的功率放大器输出的功率数值。
3.如权利要求1所述的马达监控管理方法，其特征在于，在形成所述散点图时，还对所述散点值中的各点进行拟合形成对应的曲线。
4.如权利要求1所述的马达监控管理方法，其特征在于，根据预先配置的每个马达的所述工作数据对应的异常值识别规则，检测所述工作数据中是否存在异常值。
5.如权利要求4所述的马达监控管理方法，其特征在于，检测所述马达的所述工作数据中是否具有所述异常值：若具有所述异常值，则输出告警信号到对应的所述马达的工作表格中；若不具有所述异常值，则输出正常工作信号到对应的所述马达的工作表格中。
6.如权利要求4所述的马达监控管理方法，其特征在于，所述异常值识别规则包括拉以达方法、DBSCAN方法、Z-score方法。
7.如权利要求4所述的马达监控管理方法，其特征在于，在所述散点图上拟合形成对应曲线的步骤包括：获取所述异常值，后剔除所述异常值再进行拟合。
8.如权利要求1所述的马达监控管理方法，其特征在于，还同步存储生成的所述散点图、曲线及对应的所述工作状态表格。
9.一种光刻机，其特征在于，采用如权利要求1-8任一项所述的马达监控管理方法。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机执行如权利要求1-8任一项所述的马达监控管理方法。
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