CN103052857B - 用于在清洁过程之后干燥工件的设备 - Google Patents

Abstract

为了提供用于在清洁过程之后干燥工件的、包括用于真空干燥待干燥工件的真空室的设备，该设备使得待干燥工件的无再污染的干燥成为可能，本发明建议，该设备包括在真空室中通入的至少一个鼓风喷嘴，待干燥工件能够借助该至少一个鼓风喷嘴用鼓风介质加载。

Description

用于在清洁过程之后干燥工件的设备

技术领域

本发明涉及用于在清洁过程之后干燥工件的设备，其中，该设备包括用于真空干燥待干燥工件的真空室。

背景技术

这样的设备尤其用于工件在含水的清洁设施中清洁之后的干燥。在此，该干燥大多通过在鼓风区中的经由鼓风机产生的鼓风或压缩空气以及在真空室内的紧接着的真空干燥来进行。

但在此存在很大的风险，即，已清洁的工件由在鼓风区内的污物颗粒再次污染。

通过工件在鼓风区内相对短的停留时间，鼓风的流动速度必然会极高。通过这种高流动速度，污物颗粒被带动并被导引到待干燥的工件上，由此存在工件再次污染的风险。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，创造前述类型的用于在清洁过程之后干燥工件的设备，该设备使得待干燥工件的很大程度上没有再污染的干燥成为可能。

按照本发明，该技术问题通过如下方式来解决，即，提供一种用于在清洁过程之后干燥工件的设备，该设备包括用于真空干燥待干燥工件的真空室，其中，该设备包括在真空室中通入的至少一个鼓风喷嘴，待干燥工件能够借助该至少一个鼓风喷嘴用鼓风介质加载，其中，该设备除了至少一个鼓风喷嘴之外还包括在真空室中通入的至少一个清洁喷嘴，通过清洁喷嘴能将清洁剂给出到真空室的内腔中，该设备包括用于产生鼓风介质脉冲的装置，该鼓风介质脉冲具有1.0秒或更少的持续时间。。

按本发明的技术方案以这样的设计方案为基础，即，在用于真空干燥的真空室内部执行在待干燥工件上的扫气过程。

通过在真空室内执行扫气过程，明显降低了待干燥工件的再次污染的风险。

按本发明的用于干燥工件的设备优选不具有布置在真空室之外的用来对工件扫气的鼓风区。在这种情况下，待干燥的工件被直接在清洁过程之后置入到真空干燥室内。因而排除了由在单独的鼓风区内的预干燥过程的再污染。

来自鼓风喷嘴的鼓风介质的定位和/或出口方向优选是能够调整的，从而使得借助鼓风喷嘴产生的鼓风介质射束尤其可以指向到在待干燥工件上的空隙上，在这些空隙中仍有附着在工件上的清洁液体。

原则上每一种流体介质、例如环境空气、压缩空气或蒸汽都可以用作鼓风介质。

当鼓风介质具有相对室温更高的温度时，那么这提供了如下优势，即，避免了工件在干燥过程期间的不期望的冷却。

按本发明用于干燥工件的设备尤其可以包括用于加热鼓风介质的设备。通过加热鼓风介质来避免工件在干燥过程期间的预期的冷却。

在本发明的优选的设计方案中设置，用于干燥工件的设备包括用于产生鼓风介质脉冲的装置。借助这种鼓风介质脉冲、尤其是借助压缩空气脉冲可以尤其加载只通过真空干燥过程没有被干燥的极限部位，以便将附着在这些部位上的清洁剂大面积地分配到工件表面上。紧接着储存在工件内的热能支持通过真空过程的干燥。

鼓风介质脉冲优选具有约1.0秒或更少的持续时间。

工件的这种脉冲式扫气可以在真空干燥过程之前、期间和/或之后进行。

当真空室能通过至少一个鼓风喷嘴通风时，真空室在真空干燥之后的通风可以以能简单控制的方式以及很大程度上没有再污染地进行。

为了防止来自鼓风介质的污物颗粒污染待干燥的工件，设备优选包括至少一个精细过滤器，鼓风介质能通过该精细过滤器输入给至少一个鼓风喷嘴。

精细过滤器优选具有约10μm或更少、优选约5μm或更少的过滤精度。在此，过滤精度说明了颗粒大小，从该颗粒大小起颗粒由过滤器截留。

精细过滤器可以尤其构造成HEPA过滤器(高效微粒空气过滤器)。

为了能方便地清洁真空室的内腔以及由此避免会再次污染待干燥工件的污物在真空室内部的积聚，有利的是，设备包括至少一个通入真空室的清洁喷嘴。

通过清洁喷嘴能将清洁剂，优选液态的清洁剂，给出到真空室的内腔中。

在此，清洁喷嘴中的至少一个可以能转动地构造，因而能通过该清洁喷嘴用清洁剂加载真空室的内腔的尽量大的区域。

为了能将清洁剂和/或落在真空室的内腔中的冷凝物从真空室的内腔中排出，真空室可以包括至少一个液体排出口。

液体排出口优选这样地构造，从而使得液体能从真空室的内腔的最深的部位通过液体排出口从真空室排出。

真空室优选这样地构造，从而使得它的内壁尽量靠近待干燥工件的外轮廓分布，从而使得在待干燥工件的表面和真空室的内壁之间仅保留很小的间隙。由此实现了能快速将真空室抽真空以及在真空室的内腔中在工件之外保留仅很少的死区，在该死区内可能积聚污物颗粒。

真空室的内腔的自由容积、也就是说真空室的内腔的整个能抽真空的容积优选是待干燥工件占据的容积的最高约200％、优选最高约150％，其中，在这个限定下，由待干燥工件占据的容积属于真空室的内腔的自由容积。

为了防止液体、尤其是冷凝物可能在真空室的内腔的处在待干燥工件上方的部分上积聚以及从那里滴落到工件上，有利的是，真空室的内腔的至少一个垂直地布置在处在真空室内部的工作定位中的工件上方的部分相对水平线倾斜地和/或弯曲地构造。

特别有利的是，基本上真空室的整个内壁相对水平线倾斜和/或弯曲地构造。

例如可以设置，真空室包括基本上柱体形的基体。

为了用待干燥工件装载真空室，有利的是，设备包括工件容纳部，该工件容纳部能在真空室内部的工作定位和工件容纳部至少部分、优选基本上完全布置在真空室之外的装载定位之间运动。

在本发明的优选的设计方案中设置，设备为了干燥工件包括盖，当工件容纳部处在其工作定位中时，这个盖能和工件容纳部一起运动并且封闭真空室的入口开口。

在按本发明的设备的设计方案中设置，真空室具有纵向方向，该纵向方向在待干燥的工件置入真空室中期间基本上水平地取向。

工件容纳部从装载定位到工作定位的运动方向优选基本上平行于真空室的该纵向方向取向。

真空室的纵向方向优选是真空室的对称轴线的方向和/或这样一个方向，在该方向上真空室的扩展最大。

在本发明的备选的设计方案中设置，设备为了干燥工件具有如下纵向方向，该纵向方向在待干燥工件置入到真空室中期间基本上竖直地取向。

尤其地，为了能在真空干燥之前和/或真空干燥期间清空待干燥工件的掏挖部分，有利的是，真空室具有如下纵向方向，该纵向方向的取向在工件布置在真空室内部期间尤其能通过用于转动或翻转真空室的设备而改变，特别是能转动和/或能翻转。

纵向方向的取向优选能在工件置入到真空室中之后和/或工件从真空室取出之前改变。

尤其可以设置，真空室的纵向方向能以45°或更多、优选以约90°例如从水平的取向转动或翻转到竖直的取向或从竖直的取向转动或翻转到水平的取向。

此外，本发明还涉及用于在清洁过程之后干燥工件的方法。

本发明所要解决的其它技术问题是，创造用于在清洁过程之后干燥工件的方法，在该方法中很大程度上避免对待干燥工件的再次污染。

该技术问题通过用于在清洁过程之后干燥工件的方法来解决，该方法包括下列方法步骤：

-将待干燥的工件置入真空室；

-在真空室内部通过至少一个鼓风喷嘴用鼓风介质加载工件；

-将真空室抽真空以执行工件的真空干燥；

-给真空室通风；

-将工件从真空室中取出。

在此，所提到的方法步骤也能在不同于前述列举顺序的顺序中实施。

在按本发明的方法的优选的设计方案中设置，真空室的通风用处在提高的压力下的通风气体来进行。这种通风气体在进入真空室时膨胀，由此通风气体被冷却且其本身冷却已干燥的工件。通过在给真空室通风的情况下对在真空室内部的工件的该冷却，缩小了工件温度与室温的差别，从而使得可以缩短或完全取消工件在真空室之内或之外的紧接着的冷却过程。

优选地，通风气体的压力高于环境大气的大气压力至少约1bar、优选至少约5bar。

通过工件的扫气和工件的真空干燥在同一个真空室内的结合来达到在干燥过程中的效率提升。

针对干燥过程所需的能量被减少，且干燥很大程度上无污染地进行。

此外能为真空室的抽真空使用具有较小功率的真空泵。

附图说明

本发明其它的特征和优势是实施例的接下来的说明和图示的主题。

附图中：

图1示出了用于在清洁过程之后干燥工件的设备的示意性侧视图，其中，该设备包括真空室，真空室具有在待干燥的工件置入到真空室中的情况下基本上水平取向的纵向轴线；

图2示出了穿过带有其内布置的工件的真空室的、沿图1中的线2-2的示意性横截面；

图3示出了用于在清洁过程之后干燥工件的设备的第二种实施形式的示意性侧视图，其中，该设备包括真空室，真空室具有在待干燥的工件置入到真空室中的情况下基本上竖直取向的纵向方向；以及

图4示出了穿过由图3的真空室和其内布置的工件的、沿图3中的线4-4的示意性横截面。

相同的或功能等效的元件在所有附图中都用同一个附图标记标注。

具体实施方式

在图1和图2中示出的、作为整体用附图标记100标注的用于在清洁过程之后干燥工件的设备包括真空室102，该真空室包括例如基本上柱体形的基体104，该基体在一个端缘侧上通过例如锥形的封闭区段106封闭。

在与封闭区段106对置的侧面上，真空室102具有例如基本上圆形的入口开口108，该入口开口可以借助盖110封闭。

盖110与工件容纳部112连接，该工件容纳部具有用于将待干燥的工件116锁止在工件容纳部112上的锁止设备114。

工件容纳部112和盖110一起能够从在图1中用实线示出的装载定位运动到在图1中用虚线示出的工作定位，在装载定位中工件容纳部112至少部分、优选基本上完全地布置在真空室102之外，在工作定位中工件容纳部112则完全布置在真空室的内腔118中并且盖110基本上气密地封闭真空室102的入口开口108。

运动设备120用于工件容纳部112和盖110从装载定位到工作定位中的运动以及从工作定位回到装载定位中的运动，该运动设备在图1中仅示出了的导引装置122。

导引装置122可以例如包括与盖110连接的导引杆124，该导引杆贯穿导引钻孔126，这些导引钻孔例如设置在各一个导引板128上。

运动设备120此外包括(未示出的)马达式驱动器，例如电动的、气动的或液压的驱动器，驱动器尤其作用在导引杆124上，以便使导引杆沿其平行于工件容纳部112和盖110的运动方向130分布的纵向方向运动。

运动方向130基本上平行于真空室102的纵向方向132以及(在真空室102的图1中所示的位置中)基本上平行于水平线134取向。

真空室的纵向方向132尤其平行于真空室102的柱体形基体104的纵向中轴线分布。

为了能将在盖110封闭真空室102的入口开口108的封闭状态下的真空室102抽真空，设备100此外包括真空发生器138，例如形式为真空泵140，该真空泵通过抽真空管路142与真空室102的内腔118连接。

在抽真空管路142中布置有截止机构144。

为了能用鼓风介质加载布置在真空室102中的工件116，设备100此外包括鼓风设备146，该鼓风设备带有多个通入在真空室102中的鼓风喷嘴148，这些鼓风喷嘴的出口开口150指向到待干燥的工件116的表面上，如果工件116处在真空室102的内腔118内的工作定位中的话。

鼓风喷嘴148联接到分配通道152上，鼓风介质输入管路154通入该分配通道。

分配通道152可以布置在真空室102之外。

分配通道152可以尤其构造成弧形并且能够关于真空室102的纵向中轴线136延伸经过至少约90°、优选至少约120°、尤其至少约180°的圆周角。

鼓风喷嘴148优选从多个侧面、尤其从至少三个侧面指向到待干燥的工件116上。

在鼓风介质输入管路154中布置有截止机构156。

截止机构156能由设备100的(未示出的)控制设备这样在干燥过程的扫气阶段中操控，从而使得该截止机构在例如约0.5秒至约0.1秒的很短的时间段期间释放鼓风介质输入管路154，从而使得鼓风喷嘴148将相应的很短的鼓风介质脉冲给出到工件116上。

在该扫气阶段中也可以产生多个这样的很短的鼓风介质脉冲。

在设备100的通风阶段期间，截止机构156能这样由控制设备操控，从而使得该截止机构释放鼓风介质输入管路154，直至在真空室102的内腔118中基本上达到了如在真空室102的外腔中那样的相同的压力以及由此真空室102通风，从而使得可以再次打开入口开口108。

此外，鼓风介质输入管路154内布置有精细过滤器158，鼓风介质在通过鼓风喷嘴148被给出到工件116上之前，通过该精细过滤器被过滤。

精细过滤器158可以布置在截止机构156的流动下游或流动上游。

精细过滤器158是具有例如约10μm或更小、优选约5μm或更小的过滤精度的过滤器。

在此，过滤精度说明了颗粒大小，从该颗粒大小起颗粒就由过滤器截留。

精细过滤器158优选构造成网眼细密的精细过滤器。

精细过滤器158可以尤其构造成HEPA过滤器(高效微粒空气过滤器)。这种过滤器具有按欧洲标准EN1822-1:1998的过滤级H10或更高。

鼓风介质输入管路154联接到鼓风介质源160上。

鼓风介质源160可以例如是压缩空气源，在相对大气压力更高的压力条件下的压缩空气可以从该压缩空气源输入鼓风介质输入管路154。

这种压缩空气源可以尤其是制造车间的压缩空气网络。

压缩空气在这种情况下优选具有相对大气压力约1bar或更多、尤其是约5bar或更多的超压。

作为此的备选也可以设置，鼓风介质源160由在真空室102的外腔162中的环境空气形成。

在这种情况下，所输入的鼓风介质具有大气压力。

此外，鼓风介质源160可以是蒸汽的发生和/或储存设备。

蒸汽优选具有处在环境温度之上的温度。由此达到用鼓风介质加载的工件116不冷却或工件116通过用利用鼓风介质的扫气甚至被加热，这促进了工件116的干燥。

为同一目的也可以设置，鼓风设备146具有(未示出的)用于加热鼓风介质的装置，如果鼓风介质例如由环境空气或由压缩空气形成的话。

鼓风介质到真空室102内的输入以如下方式进行，即，在真空室102的内腔118中没有污物颗粒被扬起。由此避免了待干燥的工件116被来自真空室102的污物污染。

鼓风介质到真空室102中的进入从上方和从侧面、但优选不从下方进行。由此也避免了待干燥的工件116被可能由鼓风介质带给工件116的污物颗粒污染。

鼓风喷嘴148能(手动地或马达式地)在它们的喷嘴出口开口的定位和取向方面调整，以便能够将鼓风介质射束指向到待干燥的工件116的表面的特定的期望部位上。

特别有利的是，鼓风喷嘴148能这样调整，从而使得由鼓风喷嘴产生的鼓风介质射束指向到在工件116上的空隙、例如深置的钻孔上，因为这些空隙形成了仅通过真空干燥可能没法被充分干燥的极限部位。

真空室102构造成，使它的内壁164尽量靠近待干燥工件116的外轮廓地分布，从而使得在待干燥工件116的表面和真空室102的内壁164之间保留尽量少的间隙。以此方式实现了将真空室102快速抽真空以及在真空室102的内腔118中在工件116之外保留了仅很少的死区，在该死区内可以积聚污物颗粒。

真空室102的内腔118的自由容积、也就是说内腔118的整个能抽真空的容积优选是由待干燥工件占据的容积的最高约200％、优选最高约150％(在此情况下要注意的是，在真空室102的内腔118的自由容积的这个限定下，在设备100运行中由待干燥工件116占据的容积形成了这个自由容积的一部分)。

此外，真空室102的内腔实施成，使没有污物可以积聚且没有液滴、尤其是冷凝物落到工件116上。

这在真空室102的在图1和图2中所示的实施形式中尤其通过如下方式来实现，即，真空室102的内壁164，尤其是内壁164的垂直地在处在工作定位中的工件116上方布置的部分以弯曲的方式构造。

为了防止污物在真空室102的内腔118内积聚，设备100此外包括清洁设备166，真空室102的内腔118能借助该清洁设备清洁。

清洁设备166可以尤其包括一个或多个冲洗喷嘴或清洁喷嘴168，它们布置在真空室102的内腔118内且借助它们优选液态的清洁剂能给出到内腔118中。

清洁喷嘴168中的至少一个可以尤其构造成能转动，因此能通过该清洁喷嘴168用清洁剂加载真空室102的内腔118的尽可能大的区域。

相关的清洁喷嘴168的转动运动优选能马达式驱动。

清洁喷嘴168通过清洁剂输入管路170与清洁剂储备容器172连接。

在清洁剂输入管路170中布置有截止机构174。

为了能将清洁剂和/或落在真空室102的内腔118中的冷凝物从内腔118排出，真空室102此外设有液体排出口176。

液体排出口176优选在真空室102的内腔118的最深的部位上通入该内腔118。

此外，液体出口176设有截止机构178。

前述用于在清洁过程之后干燥工件的设备100如下运转：

工件116在接在设备100之前的清洁设备中优选在加工过程之后被清洁。

工件116优选是金属工件。

工件尤其可以是马达构件、例如马达缸体或气缸头。

工件116可以尤其具有空隙或另外的掏挖部分，其中，清洁液体可能积聚。

工件116被直接在清洁过程之后置入真空室102。工件116在被置入真空室102之前尤其不经历扫气过程。因此在此处说明的设备100以及用该设备执行的干燥方法的情况下取消了否则很常见的在鼓风区内的预干燥过程，以便避免通过这种干燥过程的再污染。

能在装载定位和工作定位之间运动的工件容纳部112形成了穿梭系统，真空室102能借助该穿梭系统用工件116装载并且工件116能借助该穿梭系统又从真空室102卸载。

因此可以取消用于用待干燥的工件116装载和卸载真空室102的辊道。这带来这样的优势，即，可以使用很小的真空室102且不会形成在使用辊道的情况下经常会出现的污物聚集。

工件容纳部112被带至在图1中以实线示出的装载定位中，在该装载定位中，待干燥的工件116被套装到工件容纳部112上并且借助锁止设备114锁止在工件容纳部112上。

紧接着工件容纳部112从装载定位运动到在图1中以虚线示出的工作定位中，其中，真空室102的入口开口108同时借助盖110被气密地封闭。

真空室102的内腔118借助真空发生器138被抽真空至在约30mbar或更少的范围内、优选在5mbar或更少的范围内的最终压力。

工件116的仅通过真空干燥没有被干燥的极限部位、例如在工件116上的深置的钻孔借助鼓风设备146通过鼓风喷嘴148用很短的鼓风介质脉冲(具有例如1.0秒或更少、优选约0.5秒或更少的持续时间)来加载。

鼓风介质的压力在此可以相应于大气压力，或在使用压缩空气的情况下处在大气压力之上，优选超过大气压力至少约1bar、尤其是至少约5bar。

通过用鼓风介质脉冲加载工件116将附着在工件116上的清洁液体、例如水大面积地在工件表面上分配。储存在工件116中的热能支持了接下来的真空干燥过程。

为了执行真空干燥过程，在真空室102内的压力在预先确定的时间段期间被保持在前述很低的最终压力。

在真空干燥过程期间也能用鼓风介质脉冲来加载工件116。

在真空干燥过程之后，真空室102被通风。

为此，指向到工件116上的鼓风喷嘴148被供应已经导引通过精细过滤器158的鼓风介质。

用于通风的鼓风介质可以是为了产生鼓风介质脉冲而在干燥过程开始时就已使用的同一种介质，或可以是与之不同的鼓风介质。

尤其可以为了给真空室102的内腔118通风而使用环境空气或优选来自压缩空气网络的压缩空气。

在通过鼓风喷嘴148给真空室102的内腔118通风的情况下，所输入的鼓风介质在进入真空室102时膨胀，由此，鼓风介质被冷却且其本身冷却工件116，鼓风介质射束在真空室102的通风的情况下指向到工件上。

通过在真空室通风的情况下工件116在真空室102内部的的这种冷却，缩小了工件温度与室温的差别，从而使得可以缩短或完全取消工件116在真空室102之内或之外的紧接着的冷却过程。

通过全部发生在真空室102的内腔118内的工件116的扫气、工件116的真空干燥和工件116的冷却的组合实现了干燥过程的大幅缩短。干燥过程被十分节能且无污染地执行。

此外，在按本发明的设备100中能够使用具有较小功率的真空泵140。

在用于在清洁过程之后干燥工件116的设备100的于图1和图2中示出的前述实施形式的变型方案中，该设备100此外设有(未示出的)用于转动或翻转真空室102的设备，真空室102可以利用该设备从图1和图2中所示的、真空室102的纵向方向132基本上水平地取向的起始位置出发被带至真空室102的纵向方向132基本上竖直地取向的最终位置。

在此，真空室102从起始位置到最终位置的转移优选在工件116置入到真空室102的内腔118中之后和在执行真空干燥过程之前或期间进行。

在将工件116从真空室102的内腔118取出之前，真空室102优选又从最终位置运动回到起始位置。

通过带有其内布置的工件116的真空室102从起始位置到最终位置的以例如约90°角度的运动，工件116的在处在起始位置中的工件116的情况下仍保留在工件116内的掏挖部分(尤其工件116的以清洁液体填充的空隙)被清空，从而使得积聚在这些部分内的清洁液体从工件116中被去除。

此外，用于在清洁过程之后干燥工件116的设备100的该变型方案在结构和工作方式方面与在图1和图2中所示的实施形式一致，就这点而言参考在图1和图2中所示的实施形式的前述说明。

在图3和图4中示出的用于在清洁过程之后干燥工件116的设备100的第二种实施形式与在图1和图2中示出的第一种实施形式的区别在于，真空室102的纵向方向132，进而尤其是还有真空室102的纵向中轴线136不是基本上水平地取向，而是基本上平行于竖直线180地取向。

当在清洁过程之后仍保留在工件116内的清洁液体在工件116竖立布置的情况下、也就是说在工件116的竖直取向的纵向方向182的情况下可以更为方便地从工件116流出时，设备100的该实施形式尤其值得推荐。

在所有另外的情况下，设备100的在图1和图2中所示的第一种实施形式都是优选的，在该实施形式中，真空室102的纵向方向132至少在用工件116装载真空室102期间基本上水平地取向，因为在这种布置下，工件116的操作以及该工件在工件容纳部112上的锁止更为简单。

此外，设备100的在图3和图4中所示的第二种实施形式与第一种实施形式的区别在于，液体排出口176在第二种实施形式中不是布置在真空室102的基体104的周边壁上，而是取而代之地在真空室102的封闭区段106的尖端上通入真空室102的内腔118中。由此实现了在第二种实施形式中，液体也能从真空室102的最深的部位通过液体排出口176从真空室102排出。

抽真空管路142与之相反在第二种实施形式中优选通过真空室102的基体102的周边壁通入真空室102的内腔118中。

通过将盖110的内侧面构造成凹形弯曲，实现了真空室102的内壁164、尤其是内壁164的垂直地布置在处在工作定位中的工件116上的部分以弯曲的方式构造，从而使得在那里能够没有液体积聚以及落到工件116上。

此外，用于在清洁过程之后干燥工件116的设备100的在图3和图4中所示的第二种实施形式在结构和工作方式方面与在图1和图2中所示的第一种实施形式一致，就这点而言可以参考第一种实施形式的前述说明。

尤其在第二种实施形式的变型方案中同样可以设置，存在用于转动或翻转真空室102的设备，真空室102借助该设备能从在图3和图4中所示的、真空室102的纵向方向132基本上竖直地取向的起始位置带至真空室102的纵向方向132基本上水平地取向的最终位置。由此可以在转动例如约90°期间将工件116的掏挖部分清空，该掏挖部分在处在起始位置中的工件116的情况下还保持被清洁液体填充。

Claims (14)

1.用于在清洁过程之后干燥工件(116)的设备，所述设备包括用于真空干燥待干燥工件(116)的真空室(102)，其中，所述设备(100)包括在所述真空室(102)中通入的至少一个鼓风喷嘴(148)，所述待干燥工件(116)能够借助所述至少一个鼓风喷嘴用鼓风介质加载，其中，所述设备(100)除了所述至少一个鼓风喷嘴(148)之外还包括在所述真空室(102)中通入的至少一个清洁喷嘴(168)，通过所述清洁喷嘴能将清洁剂给出到所述真空室(102)的内腔中，其特征在于，所述设备(100)包括用于产生鼓风介质脉冲的装置，所述鼓风介质脉冲具有1.0秒或更少的持续时间。

2.按权利要求1所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)能通过至少一个鼓风喷嘴(148)通风。

3.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述设备(100)包括至少一个精细过滤器(158)，鼓风介质能通过所述精细过滤器输入给至少一个鼓风喷嘴(148)。

4.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)包括至少一个液体排出口(176)。

5.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)的自由容积是由所述待干燥工件(116)占据的容积的最高200％。

6.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)的内壁(164)的至少一个垂直地布置在处在所述真空室(102)内部的工作定位中的所述待干燥工件(116)上方的部分相对水平线(134)倾斜和/或弯曲地构造。

7.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述设备(100)包括工件容纳部(112)，所述工件容纳部能在所述真空室(102)内部的工作定位和所述工件容纳部(112)至少部分布置在所述真空室(102)之外的装载定位之间运动。

8.按权利要求7所述的设备，其特征在于，所述设备(100)包括盖(110)，所述盖能和所述工件容纳部(112)一起运动并且当所述工件容纳部(112)处在其工作定位中时封闭所述真空室(102)的入口开口(108)。

9.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)具有如下纵向方向(132)，所述纵向方向在所述待干燥工件(116)置入到所述真空室(102)中期间基本上水平地取向。

10.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)具有如下纵向方向(132)，所述纵向方向在所述待干燥工件(116)置入到所述真空室(102)中期间基本上竖直地取向。

11.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)具有如下纵向方向(132)，所述纵向方向的取向在所述待干燥工件(116)布置在所述真空室(102)内部期间能改变。

12.按权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述真空室(102)具有如下纵向方向(132)，所述纵向方向的取向在所述待干燥工件(116)布置在所述真空室(102)内部期间能转动和/或能翻转。

13.用于在清洁过程之后干燥工件(116)的方法，包括下列方法步骤：

-将待干燥工件(116)置入真空室(102)；

-在所述真空室(102)内部通过至少一个鼓风喷嘴(148)用鼓风介质脉冲加载所述待干燥工件，所述鼓风介质脉冲具有1.0秒或更少的持续时间；

-将所述真空室(102)抽真空以执行所述待干燥工件(116)的真空干燥；

-给所述真空室(102)通风；

-将干燥后的工件(116)从所述真空室(102)中取出；

其中，将清洁剂通过在所述真空室(102)中通入的、除了所述至少一个鼓风喷嘴(148)之外设置的至少一个清洁喷嘴(168)给出到所述真空室(102)的内腔中。

14.按权利要求13所述的方法，其特征在于，所述真空室(102)的通风用处在相对大气压力提高的压力下的通风气体来进行。