CN102747320A - 贵金属纳米颗粒阵列的制备方法 - Google Patents
贵金属纳米颗粒阵列的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102747320A CN102747320A CN2012102678208A CN201210267820A CN102747320A CN 102747320 A CN102747320 A CN 102747320A CN 2012102678208 A CN2012102678208 A CN 2012102678208A CN 201210267820 A CN201210267820 A CN 201210267820A CN 102747320 A CN102747320 A CN 102747320A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- noble metal
- nano
- template
- preparation
- shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 50
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims description 18
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 title abstract description 13
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims abstract description 83
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims abstract description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 36
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 17
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 15
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 claims description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 claims description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 6
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 5
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 claims description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims 1
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 claims 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 claims 1
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 claims 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 claims 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 claims 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims 1
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 abstract description 2
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 abstract 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 abstract 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 abstract 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 17
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 9
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 7
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002063 nanoring Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000012154 double-distilled water Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 229920006328 Styrofoam Polymers 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002772 conduction electron Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000004005 microsphere Substances 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 239000002078 nanoshell Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000008261 styrofoam Substances 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000001105 surface plasmon resonance spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002525 ultrasonication Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Catalysts (AREA)
Abstract
本发明提供了一种可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的方法，该方法先利用聚苯乙烯胶体球间的自组装，在衬底上制备出单一粒径的二维单层的六角密排结构模板，此后在上述模板上沉积贵金属薄膜，经有机溶剂超声除去胶体球掩膜板后，可在衬底上得到三角形结构的贵金属纳米颗粒阵列。将超声后的聚苯乙烯胶体球浸入氯仿溶液中溶解掉胶体球从而得到碗状壳层贵金属纳米阵列。该方法还可以通过离子刻蚀/退火等技术手段使得聚苯乙烯胶体球之间排列不紧密，从而在衬底上将得到环状结构的贵金属纳米颗粒阵列。这种有序纳米颗粒阵列在化学和生物传感器、超高密度数据存储介质、光电器件和化学催化剂等方面有着广泛的应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及贵金属纳米颗粒阵列的制备方法，尤其涉及可制备出大小、形状和材料种类可调节的贵金属纳米阵列的制备方法。
背景技术
贵金属纳米颗粒在可见光范围内伴随有强烈的吸收峰，这是由于颗粒内大量的传导电子的振动频率和入射光波的频率相等，产生表面等离子体共振效应，从而产生强烈的吸收峰。表面等离子体共振光谱峰位对纳米颗粒的形状、大小、分布、外部介质环境的变化非常敏感。随着现代纳米技术的发展，不同形貌的贵金属纳米颗粒的制备及它们相应光学特性的研究引起了人们广泛的兴趣。在不同形貌的贵金属纳米结构中，二维有序纳米颗粒阵列日益受到人们的关注。
所谓二维有序纳米颗粒阵列，是指纳米颗粒在二维方向上按照一定的规律有序排列的结构，人们可通过颗粒大小、间距乃至成分来大范围地控制其特性。纳米颗粒阵列在生物传感、医学、光电、催化、检测等领域具有潜在的应用前景。基于此，发展和衍生出了大量的制备纳米或微米以下尺度结构的工艺，如光刻蚀法、电子束刻蚀法、X射线刻蚀法等。但这些刻蚀技术设备复杂、成本昂贵、效率低，对于制作大尺度的纳米颗粒阵列体系还存在困难。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，该方法设备简单、实验手段便利灵巧、效率高效。
本发明的制备方法是采用聚苯乙烯胶体球自组装和薄膜沉积技术相结合的方法，整体思路如下:
（1）该方法利用聚苯乙烯胶体球间的自组装，在衬底上制备出二维单层聚苯乙烯胶体球的六角密排模板；
（2）采用垂直蒸发或倾斜溅射技术在聚苯乙烯胶体球自组装二维单层模板上沉积贵金属薄膜；
（3）超声溶解除去聚苯乙烯胶体球模板，将得到了不同形貌结构的贵金属钠米颗粒阵列。
根据所制得的纳米颗粒阵列形貌的不同，本发明方法可以细分为几个具体的技术方案。
方案一，
（1） 利用聚苯乙烯胶体球间的自组装，在衬底上制备出单层二维聚苯乙烯胶体球的六角密排结构；
（2） 采用电子束蒸镀技术在聚苯乙烯胶体球单层模板上沉积50～200nm厚度的贵金属薄膜；
（3） 超声溶解除去聚苯乙烯胶体球粒子，在衬底上得到三角形单元组成的贵金属纳米颗粒阵列。
所述的衬底可以为Al2O3、GaN或石英玻璃。
当统一粒径的聚苯乙烯胶体球紧密排列呈六角密排结构时，由于此时聚苯乙烯胶体球掩膜板中，胶体球之间的排列比较紧密，间隙较小。通过电子束蒸镀技术的垂直蒸发，使得贵金属纳米颗粒通过聚苯乙烯胶体球之间的间隙垂直入射到衬底。虽然在蒸镀沉积过程当中，衬底以一定的角速度在旋转，但是电子束蒸镀的绕射性较差，所以只是在聚苯乙烯胶体球之间的间隙处形成类似三角形状贵金属纳米颗粒。当聚苯乙烯胶体球掩膜板被超声溶解以后，就会在衬底上形成由类似三角形颗粒单元所组成的贵金属纳米颗粒阵列。此过程对应实验示意图1中路线1。
方案二，
（1） 利用聚苯乙烯胶体球间的自组装，在衬底上制备出单层二维聚苯乙烯胶体球的六角密排结构；
（2） 采用电子束蒸镀技术在聚苯乙烯胶体球单层模板上沉积100～300nm厚度的贵金属薄膜；
（3） 将衬底浸入氯仿溶液中，将聚苯乙烯胶体球顶端的纳米颗粒壳层从胶体球模板上剥离掉，形成碗状壳层纳米阵列。
所述的衬底可以为Al2O3、GaN或石英玻璃。
在上述实验过程中,当贵金属薄膜沉积时间较长，聚苯乙烯胶体表面将覆盖一层贵金属薄膜。此时，把衬底浸入氯仿溶液中，可溶解并将聚苯乙烯胶体球顶端的壳层从衬底上剥离掉，溶解掉聚苯乙烯胶体球“核心”后，将得到的贵金属壳层为碗状壳层结构纳米阵列。碗状壳层纳米阵列仍保留着聚苯乙烯胶体球膜板的周期性有序结构，这是由于聚苯乙烯胶体球与球之间彼此接触，在沉积贵金属的过程中，贵金属颗粒会在聚苯乙烯胶体球之间的接触区域聚积，因而碗状壳层单元会彼此相连起来而形成有序结构。碗状壳层结构坚实，即使在TEM样品制备过程中经受较长时间超声的情况下也能保证结构完整有序。通过控制贵金属薄膜的沉积时间和选择不同大小的聚苯乙烯胶体球作为掩膜板，我们可以调整半球形纳米壳层的厚度和内部直径。这些碗状壳层具有许多独特的性质，如：大的比表面积、有序结构、弱对称性等，它们在等离子体器件、生物传感器、微反应容器、催化剂等方面具有良好的应用前景。(此过程对应实验示意图1中路线2)
方案三，
（1） 利用聚苯乙烯胶体球间的自组装，在衬底上制备出单层二维聚苯乙烯胶体球的六角密排结构；
（2） 采用磁控溅射技术，在聚苯乙烯胶体球单层模板上倾斜沉积50～200nm厚度的贵金属薄膜；
（3） 超声溶解除去聚苯乙烯胶体球粒子，在衬底上得到网格单元组成的贵金属纳米颗粒阵列。
所述的衬底可以为Al2O3、GaN或石英玻璃。
当统一粒径的聚苯乙烯胶体球紧密排列呈六角密排结构时，由于聚苯乙烯胶体球掩膜板之中胶体球之间的排列比较紧密，因此聚苯乙烯胶体球之间的间隙较小。选择磁控溅射作为贵金属薄膜沉积技术，由于磁控溅射系统在沉积贵金属薄膜过程中，贵金属颗粒是倾斜入射到聚苯乙烯胶体球模板上，且磁控溅射的绕射性较强，因此随着溅射时间的增加，贵金属颗粒主要沉积在胶体球的阴影边缘和空隙部分。当聚苯乙烯胶体球掩膜板被三氯甲烷(CHCl3)等有机溶液超声溶解以后，衬底上就会形成由网格状单元所组成的贵金属纳米阵列。(此过程对应实验示意图1中路线3)
方案四，
（1） 利用聚苯乙烯胶体球间的自组装，在衬底上制备出单层二维聚苯乙烯胶体球的六角密排结构；
（2） 通过离子束刻蚀和热退火技术使聚苯乙烯胶体球粒径变小；
（3） 采用磁控溅射技术在聚苯乙烯胶体球单层模板上倾斜溅射沉积50～200nm厚度的贵金属薄膜；
（4） 超声溶解除去聚苯乙烯胶体球粒子，在衬底上得到环状单元组成的贵金属纳米颗粒阵列。
所述的衬底可以为Al2O3、GaN或石英玻璃。
当聚苯乙烯胶体球粒子经过离子束刻蚀后，聚苯乙烯胶体球单层掩膜板之间的胶体球粒子排列不再紧密，即聚苯乙烯胶体球之间存在的较大间隙。选择磁控溅射作为贵金属薄膜沉积技术，由于磁控溅射系统在沉积贵金属薄膜过程中，贵金属颗粒是倾斜入射到聚苯乙烯胶体球掩模板，随着溅射过程中衬底的旋转，贵金属颗粒主要沉积在聚苯乙烯胶体球底部一周。当聚苯乙烯胶体球掩膜板被超声溶解以后，就会在衬底上形成由环状单元所组成的贵金属纳米阵列。这种纳米环的有序阵列结构在表面增强拉曼衬底、传感器、芯片等方面有着巨大的应用前景。(此过程对应实验示意图1中路线4)
本发明中的这种制备方法可拓展到其它材料，因为磁控溅射和电子束蒸镀技术可以沉积可控厚度的各种不同材料。另外，选择不同大小的聚苯乙烯胶体球可制备出不同大小结构单元的纳米颗粒阵列。所得到的这种阵列结构可作为表面增强拉曼基底使用，因为入射光与所得到的贵金属颗粒的表面等离子体发生共振时可大大的增强电磁场。
附图说明
图1是用本发明方法制备不同结构的纳米阵列的示意图。
图2是本发明提出的制备聚苯乙烯胶体球的漂移法示意图。
图3是本发明方法制备的三角形纳米阵列的扫描电子显微镜图片。
图4是本发明方法制备的碗状壳层纳米阵列的扫描电子显微镜图片。
图5是本发明方法制备的网格状纳米阵列的扫描电子显微镜图片。
图6是本发明方法制备的环状纳米阵列的扫描电子显微镜图片。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步说明。
实施例1，首先制备单层六角密排聚苯乙烯胶体球掩膜板。模板的制备过程如下：
1) 实验试剂与仪器：载玻片，聚苯乙烯微球，石英片，95%乙醇，2%、10%十二烷基硫酸钠(dodecylsodiumsulfate, SDS)，双蒸水，培养皿，移液枪，聚苯乙烯胶体球。
2) 衬底清洗：将衬底先放入丙酮、95%ETOH分别各超声10 min，再用水冲洗；将冲洗后的衬底放入先前配制好的10%SDS溶液中浸泡24 h；浸泡后的衬底再经水冲洗，清除残留在衬底上的SDS后放入双蒸水中备用。清洗后的石英片作为衬底使用，载玻片在滴加聚苯乙烯胶体球溶液过程中作为引流片使用。
该方法主要是基于聚苯乙烯胶体球胶体粒子在两相(气-液)界面的自组装，通过引流片将所配制的聚苯乙烯胶体球溶液缓慢的引入到液面，降低了由聚苯乙烯胶体球液滴重力所引起液面浑浊现象，有效的避免了聚苯乙烯胶体球在液面的多层排列，并自组织形成无序单层膜。静置几分钟后，将制好的2%SDS滴加到液面空白区域来改变水表面张力，目的是在水表面形成高密度、大面积、有序排列的单层聚苯乙烯胶体球胶体球膜，静置待液面稳定后，用镊子夹住清洗处理后衬底的一角，将其浸没于空白液面处，从有序聚苯乙烯胶体球区域将其缓慢从液面提拉出水面，再把它放入空的表面皿中，在相对稳定的气流和温度下将其晾干。以上操作方法简单，可以任何衬底上制备出大面积按六角密排结构排列的结构。
接下来采用磁控溅射和电子束蒸镀技术作为贵金属薄膜的沉积方法，使用两种技术在聚苯乙烯胶体球(直径460nm)单层掩模板上沉积不同厚度的贵金属薄膜；随后，超声溶解除去聚苯乙烯胶体球粒子，在衬底上得到了不同形貌结构的贵金属颗粒阵列。
实施例2
①沉积金属：为了得到三角形银纳米颗粒阵列，采用电子束蒸镀的方法（真空压强1×10-4Pa）在聚苯乙烯胶体球单层掩膜板上沉积贵金属银薄膜（厚度约100 nm）。②除去聚苯乙烯胶体球模板：通过在三氯甲烷(CHCl3)等有机溶剂中超声除去聚苯乙烯胶体球模板。③所得大范围的二维周期性三角形纳米颗粒阵列结构可用扫描电子显微镜、原子力显微镜等进行表征。所得结果的三角形银纳米颗粒阵列的的扫描电子显微镜图片如图3所示。
通过改变沉积时间，可以得到颗粒大小统一而高度不同的银颗粒阵列，在此模板基础上，颗粒的大小相对集中的分布在110-140 nm之间。这种方法制备出的纳米颗粒，其形状大小统一，分布规则均匀，可以通过改变聚苯乙烯胶体球球的大小和沉积厚度来调节纳米颗粒的大小、间距等参数，从而便于定量研究其光学性质。
实施例3
①沉积金属：为了得到碗状壳层结构的银纳米阵列，采用电子束蒸镀的方法（真空压强1×10-4Pa）在聚苯乙烯胶体球单层掩膜板上沉积贵金属银薄膜（厚度约100 nm）。②除去聚苯乙烯胶体球模板：把衬底浸入三氯甲烷(CHCl3)溶液中超声，以促进聚苯乙烯胶体球顶端的壳层从衬底上的“剥离”，最后将得到的银纳米壳层在95%乙醇中超声清洗2-3次。将得到碗状壳层结构纳米阵列。③所得大范围的二维周期性碗状壳层结构的银纳米阵列可用扫描电子显微镜、原子力显微镜和投射电子显微镜等进行表征。所得结果的碗状壳层结构的银纳米阵列的透射电子显微镜图片如图4所示。
实施例4
①沉积金属：为了得到网格状银纳米颗粒阵列，采用磁控溅射的方法（真空压强2.5×10-4Pa，功率=120w）在聚苯乙烯胶体球单层掩膜板上沉积贵金属银薄膜（厚度约200 nm）。②除去聚苯乙烯胶体球模板：把衬底浸入三氯甲烷(CHCl3)溶液中超声除去聚苯乙烯胶体球模板。③所得大范围的网格状银纳米颗粒阵列结构可用扫描电子显微镜、原子力显微镜等进行表征。所得结果的网格状银纳米颗粒阵列的扫描电子显微镜图片如图5所示。
实施例5
①离子束刻蚀：通过离子束刻蚀（功率=80w，时间=20s），使聚苯乙烯胶体球粒径变小，球与球之间的间距变大。②沉积金属：为了得到环状银纳米颗粒阵列，采用磁控溅射的方法（真空压强2.5×10-4Pa，功率=120w）在聚苯乙烯胶体球单层掩膜板上沉积贵金属银薄膜（厚度约200 nm）。③除去聚苯乙烯胶体球模板：把衬底浸入三氯甲烷(CHCl3)溶液中超声除去聚苯乙烯胶体球模板。④所得大范围的环状银纳米颗粒阵列结构可用扫描电子显微镜、原子力显微镜等进行表征。所得结果的环状银纳米颗粒阵列的扫描电子显微镜图片如图6所示。
纳米环的位置刚好位于聚苯乙烯胶体球底部，它的直径大约200 nm，纳米环保持了聚苯乙烯胶体球的周期性有序排列结构。通过选择不同粒径大小的聚苯乙烯胶体球作为模板，可以调控纳米环阵列结构的周期。另外，选择不同元素组成的靶材，也可以制备出不同组成元素的纳米环阵列结构。
Claims (10)
1.一种可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：采用聚苯乙烯胶体球自组装手段和薄膜沉积技术相结合的方法制备，具体步骤如下：
（1）该方法利用聚苯乙烯胶体球间的自组装，在Al2O3、GaN或石英玻璃衬底上制备出二维单层聚苯乙烯胶体球的六角密排模板；
（2）采用垂直蒸发或倾斜溅射技术在聚苯乙烯胶体球自组装二维单层模板上沉积贵金属薄膜；
（3）超声溶解除去聚苯乙烯胶体球模板，得到不同形貌结构的贵金属钠米颗粒阵列。
2.根据权利要求1所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：采用垂直蒸发技术在模板上沉积贵金属,通过在有机溶剂中超声除去模板后衬底上得到三角形纳米颗粒阵列。
3.根据权利要求1所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：采用垂直蒸发技术沉积贵金属后,将衬底浸入氯仿溶液中超声，将聚苯乙烯胶体球顶端的纳米颗粒壳层从胶体球模板上剥离掉，形成碗状壳层纳米阵列。
4.根据权利要求1所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：采用倾斜溅射技术在模板上沉积贵金属,将衬底置于有机溶剂中超声除去模板后衬底上得到网格状纳米颗粒阵列。
5.根据权利要求1所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：使聚苯乙烯胶体球变小,球与球之间排列不再紧密，采用倾斜溅射技术在模板上沉积贵金属,将衬底置于有机溶剂中超声除去模板后衬底上得到环状纳米颗粒阵列。
6.根据权利要求1所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：选择不同大小的聚苯乙烯胶体球制备出不同大小结构单元的纳米颗粒阵列。
7.根据权利要求1所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：通过溅射沉积不同的贵金属材料得到不同成分的纳米颗粒阵列。
8.根据权利要求3所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：通过调节薄膜沉积时间和改变胶体球的大小而调整半球形纳米壳层的厚度和内部直径。
9.根据权利要求5所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：通过反应离子束刻蚀和热退火等技术使得聚苯乙烯胶体球之间排列不紧密。
10.根据权利要求9所述的可制备出大小、形状和材料种类可调节的纳米颗粒阵列的制备方法，其特征在于：通过反应离子束刻蚀的能量和时间以及热退火温度参数实现对胶体球粒子间空隙大小的调控。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012102678208A CN102747320A (zh) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | 贵金属纳米颗粒阵列的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012102678208A CN102747320A (zh) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | 贵金属纳米颗粒阵列的制备方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102747320A true CN102747320A (zh) | 2012-10-24 |
Family
ID=47027805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012102678208A Pending CN102747320A (zh) | 2012-07-31 | 2012-07-31 | 贵金属纳米颗粒阵列的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102747320A (zh) |
Cited By (42)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102923647A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-02-13 | 武汉大学 | 间距与形貌可调控的金属纳米颗粒有序阵列的制备方法 |
| CN102928909A (zh) * | 2012-10-29 | 2013-02-13 | 浙江大学 | 一种基于表面等离激元的相位延迟器 |
| CN102942178A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-02-27 | 武汉大学 | 一种贵金属纳米阵列与单层石墨烯复合基底及其制备方法 |
| CN103078031A (zh) * | 2013-01-23 | 2013-05-01 | 南京大学 | 一种纳米银圆环局域表面等离激元增强型发光二极管及其制备方法 |
| CN103512875A (zh) * | 2013-09-23 | 2014-01-15 | 武汉大学 | 一种表面增强拉曼光谱复合基底的制备方法 |
| WO2014082515A1 (zh) * | 2012-11-13 | 2014-06-05 | 东北大学 | 表面等离子体滤光器及其制备方法 |
| CN104078625A (zh) * | 2014-07-04 | 2014-10-01 | 宁波工程学院 | 一种提高金属纳米环结构可控出光效率的方法 |
| CN104808269A (zh) * | 2014-01-23 | 2015-07-29 | 清华大学 | 碗状金属纳米结构 |
| CN104979312A (zh) * | 2014-04-14 | 2015-10-14 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 半导体结构及其制备方法 |
| CN105084307A (zh) * | 2015-07-15 | 2015-11-25 | 西安交通大学 | 一种共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法 |
| CN105350077A (zh) * | 2015-10-20 | 2016-02-24 | 同济大学 | 一种利用聚合物模板制备光子晶体闪烁体的方法 |
| CN106270534A (zh) * | 2016-08-08 | 2017-01-04 | 玉环县中科应用技术成果中心 | 有序金属纳/微米环的制备方法 |
| CN107620038A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-01-23 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 纳米金属颗粒阵列结构的制备方法 |
| CN107739612A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-02-27 | 五邑大学 | 一种十字锥形量子点及其制备方法、应用 |
| CN108169171A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-06-15 | 苏州大学 | 一种基于表面等离子激元共振的折射率测试及其制作方法 |
| CN108455522A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-08-28 | 肇庆市华师大光电产业研究院 | 一种六边形有序垂直耦合等离子体阵列及其制备方法和应用 |
| CN108982464A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-12-11 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种高分布密度纳米间隙有序阵列及其制备方法与应用 |
| CN108996462A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-14 | 广东工业大学 | 一种纳米阵列复合材料的制备方法 |
| CN109504994A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-03-22 | 上海科技大学 | 一种新型阳极氧化铝模板以及纳米阵列的制备方法 |
| CN109545553A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-29 | 武汉大学 | 一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法 |
| CN109592635A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-04-09 | 杭州电子科技大学 | 一种可控制备复合型纳米图纹阵列的方法 |
| CN109648096A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-04-19 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种任意纳米锥阵列原位转化为银纳米片构筑的微/纳米结构阵列的方法 |
| CN109671826A (zh) * | 2017-10-17 | 2019-04-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发光二极管及其制作方法以及显示装置 |
| CN109963409A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-07-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板侧面导线的制造方法和基板结构 |
| CN110441986A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-12 | 肇庆市华师大光电产业研究院 | 一种纳米微球光刻模板的制备方法 |
| CN110540372A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-12-06 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种非密排二氧化硅环纳米阵列及其制备方法 |
| CN110616408A (zh) * | 2019-09-18 | 2019-12-27 | 北京工业大学 | 基于二维材料的多层金属纳米结构的制备方法 |
| CN110844876A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-28 | 北京工业大学 | 一种石墨烯辅助制备大面积金属纳米颗粒阵列的工艺方法 |
| CN110931576A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-03-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种日盲紫外探测器及其制备方法 |
| CN111349892A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-06-30 | 扬州大学 | 一种银叠加三角形纳米颗粒阵列及其制备方法 |
| CN111929277A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-11-13 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 间距可调的贵金属纳米粒子一维组装体及其在纳米传感器中的应用 |
| CN112113949A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-12-22 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 间隙可动态调控的有序聚苯乙烯@金复合微球阵列及其制备方法和用途 |
| CN112763557A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-05-07 | 西北工业大学 | 一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法 |
| CN112981324A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-06-18 | 南京大学 | 一种液相纳米红外光谱等离激元共振增强基底及其制备方法和应用 |
| CN113652689A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-11-16 | 杭州电子科技大学 | 一种曲面蜂巢阵列的构筑方法及其曲面蜂巢阵列的应用 |
| CN114481043A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-05-13 | 暨南大学 | 一种大面积纳米盘的制备方法 |
| CN114524406A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-05-24 | 浙江大学 | 一种通过操纵衬底宏观移动轨迹实现纳米结构书写的方法 |
| CN115561225A (zh) * | 2022-11-02 | 2023-01-03 | 曲阜师范大学 | 一种直接在光纤端面制备有序金银复合纳米腔阵列的方法 |
| CN116031326A (zh) * | 2022-10-25 | 2023-04-28 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种非密排贵金属纳米颗粒有序点阵及其制备方法 |
| CN117165900A (zh) * | 2023-08-18 | 2023-12-05 | 合肥工业大学 | 在倾斜光纤光栅侧表面组装金纳米帽阵列的方法 |
| CN117268276A (zh) * | 2023-03-10 | 2023-12-22 | 暨南大学 | 一种柔性应变传感器及其制备方法和应用 |
| CN117265471A (zh) * | 2023-09-22 | 2023-12-22 | 合肥芯金点检测科技有限公司 | 基于微观复杂表面的六方非密排金颗粒阵列及其制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101014421A (zh) * | 2004-09-10 | 2007-08-08 | 马克思-普朗克科学促进协会 | 表面结构化的基片及其制备 |
| WO2011090262A2 (ko) * | 2010-01-22 | 2011-07-28 | 한국생명공학연구원 | 경사 증착을 이용한 리소그래피 방법 |
| CN102530846A (zh) * | 2012-02-14 | 2012-07-04 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 带有尖端的金属纳米带阵列的制备方法 |
-
2012
- 2012-07-31 CN CN2012102678208A patent/CN102747320A/zh active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101014421A (zh) * | 2004-09-10 | 2007-08-08 | 马克思-普朗克科学促进协会 | 表面结构化的基片及其制备 |
| WO2011090262A2 (ko) * | 2010-01-22 | 2011-07-28 | 한국생명공학연구원 | 경사 증착을 이용한 리소그래피 방법 |
| CN102530846A (zh) * | 2012-02-14 | 2012-07-04 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 带有尖端的金属纳米带阵列的制备方法 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| YU LU,等: "Nanophotonic Crescent Moon Structures with Sharp Edge for Ultrasensitive Biomolecular Detection by Local Electromagnetic Field Enhancement Effect", 《NANO LETTERS》 * |
| 刘斌斌等: "基于纳米球刻蚀的银纳米颗粒阵列和有序纳米壳层的制备", 《武汉大学学报（理学版）》 * |
Cited By (66)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102928909A (zh) * | 2012-10-29 | 2013-02-13 | 浙江大学 | 一种基于表面等离激元的相位延迟器 |
| CN102928909B (zh) * | 2012-10-29 | 2015-10-21 | 浙江大学 | 一种基于表面等离激元的相位延迟器 |
| WO2014082515A1 (zh) * | 2012-11-13 | 2014-06-05 | 东北大学 | 表面等离子体滤光器及其制备方法 |
| CN102942178A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-02-27 | 武汉大学 | 一种贵金属纳米阵列与单层石墨烯复合基底及其制备方法 |
| CN102923647A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-02-13 | 武汉大学 | 间距与形貌可调控的金属纳米颗粒有序阵列的制备方法 |
| CN103078031A (zh) * | 2013-01-23 | 2013-05-01 | 南京大学 | 一种纳米银圆环局域表面等离激元增强型发光二极管及其制备方法 |
| CN103512875A (zh) * | 2013-09-23 | 2014-01-15 | 武汉大学 | 一种表面增强拉曼光谱复合基底的制备方法 |
| CN104808269A (zh) * | 2014-01-23 | 2015-07-29 | 清华大学 | 碗状金属纳米结构 |
| CN104979312A (zh) * | 2014-04-14 | 2015-10-14 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 半导体结构及其制备方法 |
| CN104979312B (zh) * | 2014-04-14 | 2018-07-03 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 半导体结构及其制备方法 |
| CN104078625A (zh) * | 2014-07-04 | 2014-10-01 | 宁波工程学院 | 一种提高金属纳米环结构可控出光效率的方法 |
| CN105084307A (zh) * | 2015-07-15 | 2015-11-25 | 西安交通大学 | 一种共振峰位可调的金属纳米结构的制备方法 |
| CN105350077A (zh) * | 2015-10-20 | 2016-02-24 | 同济大学 | 一种利用聚合物模板制备光子晶体闪烁体的方法 |
| CN106270534A (zh) * | 2016-08-08 | 2017-01-04 | 玉环县中科应用技术成果中心 | 有序金属纳/微米环的制备方法 |
| CN106270534B (zh) * | 2016-08-08 | 2018-02-06 | 玉环县中科应用技术成果中心 | 有序金属纳/微米环的制备方法 |
| CN107620038B (zh) * | 2017-09-14 | 2019-12-31 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 纳米金属颗粒阵列结构的制备方法 |
| CN107620038A (zh) * | 2017-09-14 | 2018-01-23 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 纳米金属颗粒阵列结构的制备方法 |
| CN109671826A (zh) * | 2017-10-17 | 2019-04-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发光二极管及其制作方法以及显示装置 |
| CN109671826B (zh) * | 2017-10-17 | 2021-01-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发光二极管及其制作方法以及显示装置 |
| CN107739612A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-02-27 | 五邑大学 | 一种十字锥形量子点及其制备方法、应用 |
| CN107739612B (zh) * | 2017-10-18 | 2023-09-19 | 五邑大学 | 一种十字锥形量子点及其制备方法、应用 |
| CN108169171A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-06-15 | 苏州大学 | 一种基于表面等离子激元共振的折射率测试及其制作方法 |
| CN108169171B (zh) * | 2017-12-08 | 2020-12-25 | 苏州大学 | 一种基于表面等离子激元共振的折射率测试及其制作方法 |
| CN108455522A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-08-28 | 肇庆市华师大光电产业研究院 | 一种六边形有序垂直耦合等离子体阵列及其制备方法和应用 |
| CN108982464A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-12-11 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种高分布密度纳米间隙有序阵列及其制备方法与应用 |
| CN108996462A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-14 | 广东工业大学 | 一种纳米阵列复合材料的制备方法 |
| CN109545553A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-29 | 武汉大学 | 一种高品质因子的透明柔性电容器的制备方法 |
| CN109504994A (zh) * | 2018-12-13 | 2019-03-22 | 上海科技大学 | 一种新型阳极氧化铝模板以及纳米阵列的制备方法 |
| CN109504994B (zh) * | 2018-12-13 | 2020-08-21 | 上海科技大学 | 一种新型阳极氧化铝模板以及纳米阵列的制备方法 |
| CN109648096A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-04-19 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种任意纳米锥阵列原位转化为银纳米片构筑的微/纳米结构阵列的方法 |
| CN109648096B (zh) * | 2019-01-09 | 2021-12-10 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种任意纳米锥阵列原位转化为银纳米片构筑的微/纳米结构阵列的方法 |
| CN109592635B (zh) * | 2019-01-22 | 2020-08-11 | 杭州电子科技大学 | 一种可控制备复合型纳米图纹阵列的方法 |
| CN109592635A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-04-09 | 杭州电子科技大学 | 一种可控制备复合型纳米图纹阵列的方法 |
| US11984546B2 (en) | 2019-04-10 | 2024-05-14 | Beijing Boe Display Technology Co., Ltd. | Method for manufacturing side wire for substrate and substrate structure |
| CN109963409A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-07-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板侧面导线的制造方法和基板结构 |
| CN110441986B (zh) * | 2019-08-01 | 2022-09-06 | 肇庆市华师大光电产业研究院 | 一种纳米微球光刻模板的制备方法 |
| CN110441986A (zh) * | 2019-08-01 | 2019-11-12 | 肇庆市华师大光电产业研究院 | 一种纳米微球光刻模板的制备方法 |
| CN110540372B (zh) * | 2019-09-02 | 2021-07-23 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种非密排二氧化硅环纳米阵列及其制备方法 |
| CN110540372A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-12-06 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种非密排二氧化硅环纳米阵列及其制备方法 |
| CN110616408A (zh) * | 2019-09-18 | 2019-12-27 | 北京工业大学 | 基于二维材料的多层金属纳米结构的制备方法 |
| CN110616408B (zh) * | 2019-09-18 | 2022-05-17 | 北京工业大学 | 基于二维材料的多层金属纳米结构的制备方法 |
| CN110844876A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-02-28 | 北京工业大学 | 一种石墨烯辅助制备大面积金属纳米颗粒阵列的工艺方法 |
| CN110844876B (zh) * | 2019-11-19 | 2022-06-24 | 北京工业大学 | 一种石墨烯辅助制备大面积金属纳米颗粒阵列的工艺方法 |
| CN110931576A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-03-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种日盲紫外探测器及其制备方法 |
| CN111349892B (zh) * | 2020-03-24 | 2022-05-13 | 扬州大学 | 一种银叠加三角形纳米颗粒阵列及其制备方法 |
| CN111349892A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-06-30 | 扬州大学 | 一种银叠加三角形纳米颗粒阵列及其制备方法 |
| CN111929277B (zh) * | 2020-06-03 | 2021-06-01 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 间距可调的贵金属纳米粒子一维组装体及其在纳米传感器中的应用 |
| CN111929277A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-11-13 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 间距可调的贵金属纳米粒子一维组装体及其在纳米传感器中的应用 |
| CN112113949B (zh) * | 2020-09-07 | 2024-05-14 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 间隙可动态调控的有序聚苯乙烯@金复合微球阵列及其制备方法和用途 |
| CN112113949A (zh) * | 2020-09-07 | 2020-12-22 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 间隙可动态调控的有序聚苯乙烯@金复合微球阵列及其制备方法和用途 |
| CN112763557A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-05-07 | 西北工业大学 | 一种光寻址电位传感器蜂巢网状工作电极的制备方法 |
| CN112981324A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-06-18 | 南京大学 | 一种液相纳米红外光谱等离激元共振增强基底及其制备方法和应用 |
| CN112981324B (zh) * | 2021-02-07 | 2022-05-17 | 南京大学 | 一种液相纳米红外光谱等离激元共振增强基底及其制备方法和应用 |
| CN113652689A (zh) * | 2021-08-03 | 2021-11-16 | 杭州电子科技大学 | 一种曲面蜂巢阵列的构筑方法及其曲面蜂巢阵列的应用 |
| CN114524406A (zh) * | 2021-12-23 | 2022-05-24 | 浙江大学 | 一种通过操纵衬底宏观移动轨迹实现纳米结构书写的方法 |
| CN114524406B (zh) * | 2021-12-23 | 2024-10-29 | 浙江大学 | 一种通过操纵衬底宏观移动轨迹实现纳米结构书写的方法 |
| CN114481043B (zh) * | 2021-12-27 | 2023-09-08 | 暨南大学 | 一种大面积纳米盘的制备方法 |
| CN114481043A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-05-13 | 暨南大学 | 一种大面积纳米盘的制备方法 |
| CN116031326A (zh) * | 2022-10-25 | 2023-04-28 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种非密排贵金属纳米颗粒有序点阵及其制备方法 |
| CN116031326B (zh) * | 2022-10-25 | 2025-05-13 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种非密排贵金属纳米颗粒有序点阵及其制备方法 |
| CN115561225A (zh) * | 2022-11-02 | 2023-01-03 | 曲阜师范大学 | 一种直接在光纤端面制备有序金银复合纳米腔阵列的方法 |
| CN117268276B (zh) * | 2023-03-10 | 2024-02-27 | 暨南大学 | 一种柔性应变传感器及其制备方法和应用 |
| CN117268276A (zh) * | 2023-03-10 | 2023-12-22 | 暨南大学 | 一种柔性应变传感器及其制备方法和应用 |
| CN117165900A (zh) * | 2023-08-18 | 2023-12-05 | 合肥工业大学 | 在倾斜光纤光栅侧表面组装金纳米帽阵列的方法 |
| CN117265471A (zh) * | 2023-09-22 | 2023-12-22 | 合肥芯金点检测科技有限公司 | 基于微观复杂表面的六方非密排金颗粒阵列及其制备方法 |
| CN117265471B (zh) * | 2023-09-22 | 2025-09-16 | 合肥芯金点检测科技有限公司 | 基于微观复杂表面的六方非密排金颗粒阵列及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102747320A (zh) | 贵金属纳米颗粒阵列的制备方法 | |
| Hoogenboom et al. | Template-induced growth of close-packed and non-close-packed colloidal crystals during solvent evaporation | |
| García Núñez et al. | Large-area self-assembly of silica microspheres/nanospheres by temperature-assisted dip-coating | |
| Matsushita et al. | New mesostructured porous TiO2 surface prepared using a two-dimensional array-based template of silica particles | |
| CN103641059B (zh) | 硅柱支撑的金属膜纳米结构阵列及其制备方法 | |
| Colson et al. | Nanosphere lithography: a powerful method for the controlled manufacturing of nanomaterials | |
| Tan et al. | Fabrication of a two-dimensional periodic non-close-packed array of polystyrene particles | |
| Whitney et al. | Sub-100 nm triangular nanopores fabricated with the reactive ion etching variant of nanosphere lithography and angle-resolved nanosphere lithography | |
| CN102447011B (zh) | 用于制造太阳能电池光阳极的方法及其产品 | |
| CN102173376A (zh) | 高度有序的小尺寸硅基纳米坑阵列的制备方法 | |
| Oliveira et al. | Colloidal lithography for photovoltaics: An attractive route for light management | |
| CN102565057B (zh) | 一种基于左手材料的光镊 | |
| CN101928914B (zh) | 一种大面积二维超构材料的制备方法 | |
| CN109748238B (zh) | 一种大面积、均匀的纳米二聚体阵列的制备方法 | |
| CN102923647A (zh) | 间距与形貌可调控的金属纳米颗粒有序阵列的制备方法 | |
| CN105115958B (zh) | 基于大尺寸金属纳米粒子的表面增强拉曼基底及其制备方法 | |
| CN103253629A (zh) | 一种纳米粒子精确有序组装的方法 | |
| CN106199775A (zh) | 一种具有宽频带、全方位减反射性质的多孔半球形阵列膜及其制备方法 | |
| Zhang et al. | Recent progress in the fabrication of SERS substrates based on the arrays of polystyrene nanospheres | |
| CN100465345C (zh) | 一种表面等离激元晶体及其制备方法 | |
| CN101560663B (zh) | 基于纳米掩膜制备技术的电化学制备纳米阵列结构材料方法 | |
| Yan et al. | In-situ formation of ZnO nanobelts and metallic Zn nanobelts and nanodisks | |
| CN111426674A (zh) | 一种增强sers活性的太阳花纳米阵列结构及其制备方法 | |
| Liu et al. | Morphological and structural control of organic monolayer colloidal crystal based on plasma etching and its application in fabrication of ordered gold nanostructured arrays | |
| Lulek et al. | Simple and rapid monolayer self-assembly of nanoparticles at the air/water interface |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20121024 |