CN107422754B - 一种微量气体流速控制装置及控制方法 - Google Patents
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Abstract
Description
| 流量(Vn/t)(mL/s) | P(mmHg) |
| 0.05 | 3 |
| 0.10 | 11 |
| 0.15 | 25 |
| 0.20 | 45 |
| 0.25 | 70 |
| 0.30 | 101 |
| 0.35 | 137 |
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| 0.45 | 227 |
| 0.50 | 280 |
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