[go: up one dir, main page]

ATE325328T1 - Optisches verfahren zur untersuchung von reliefs einer struktur - Google Patents

Optisches verfahren zur untersuchung von reliefs einer struktur

Info

Publication number
ATE325328T1
ATE325328T1 AT03810008T AT03810008T ATE325328T1 AT E325328 T1 ATE325328 T1 AT E325328T1 AT 03810008 T AT03810008 T AT 03810008T AT 03810008 T AT03810008 T AT 03810008T AT E325328 T1 ATE325328 T1 AT E325328T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
reliefs
examining
optical method
spectra
representative
Prior art date
Application number
AT03810008T
Other languages
English (en)
Inventor
Jerome Hazart
Original Assignee
Commissariat Energie Atomique
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat Energie Atomique filed Critical Commissariat Energie Atomique
Application granted granted Critical
Publication of ATE325328T1 publication Critical patent/ATE325328T1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
    • G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
AT03810008T 2002-12-23 2003-12-22 Optisches verfahren zur untersuchung von reliefs einer struktur ATE325328T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0216526A FR2849181B1 (fr) 2002-12-23 2002-12-23 Procede d'etude des reliefs d'une structure par voie optique

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE325328T1 true ATE325328T1 (de) 2006-06-15

Family

ID=32406406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT03810008T ATE325328T1 (de) 2002-12-23 2003-12-22 Optisches verfahren zur untersuchung von reliefs einer struktur

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7158239B2 (de)
EP (1) EP1576338B1 (de)
JP (1) JP2006511799A (de)
AT (1) ATE325328T1 (de)
DE (1) DE60305072T2 (de)
FR (1) FR2849181B1 (de)
WO (1) WO2004059246A2 (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2859781B1 (fr) 2003-09-17 2007-07-06 Commissariat Energie Atomique Utilisation de la transformee de fourier optique pour le controle dimensionnel en microelectronique
FR2867588B1 (fr) * 2004-03-12 2006-04-28 Commissariat Energie Atomique Procede de caracterisation geometrique de structures et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procede
US20100036844A1 (en) * 2004-10-21 2010-02-11 Access Co., Ltd. System and method of using conflicts to maximize concurrency in a database
US7548317B2 (en) * 2006-05-05 2009-06-16 Agc Flat Glass North America, Inc. Apparatus and method for angular colorimetry
US8233155B2 (en) * 2006-10-13 2012-07-31 Asml Netherlands B.V. Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method
JP4968470B2 (ja) * 2007-10-11 2012-07-04 大日本印刷株式会社 周期構造測定方法及びその方法を用いた周期構造測定装置
NL1036098A1 (nl) * 2007-11-08 2009-05-11 Asml Netherlands Bv Inspection method and apparatus, lithographic apparatus lithographic, processing cell and device manufacturing method.
US8760649B1 (en) * 2008-01-28 2014-06-24 Kla-Tencor Corporation Model-based metrology using tesselation-based discretization
US20090296365A1 (en) * 2008-04-18 2009-12-03 Coinsecure, Inc. Calibrated and color-controlled multi-source lighting system for specimen illumination
EP2281279B1 (de) * 2008-04-18 2015-11-04 Coinsecure, Inc. Vorrichtung zur erzeugung von optischen signaturen aus münzmaterial
US8023121B2 (en) * 2008-04-18 2011-09-20 Coinsecure, Inc. Method for optically collecting numismatic data and associated algorithms for unique identification of coins
US20090295912A1 (en) * 2008-05-12 2009-12-03 Coinsecure, Inc. Coin edge imaging device
CN107924142B (zh) * 2015-07-17 2021-06-04 Asml荷兰有限公司 用于模拟辐射与结构的相互作用的方法和设备、量测方法和设备、器件制造方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5963329A (en) * 1997-10-31 1999-10-05 International Business Machines Corporation Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines
US5900633A (en) * 1997-12-15 1999-05-04 On-Line Technologies, Inc Spectrometric method for analysis of film thickness and composition on a patterned sample
US6483580B1 (en) * 1998-03-06 2002-11-19 Kla-Tencor Technologies Corporation Spectroscopic scatterometer system
AU2001234575A1 (en) * 2000-01-26 2001-08-07 Timbre Technologies, Incorporated Caching of intra-layer calculations for rapid rigorous coupled-wave analyses
US6462817B1 (en) * 2000-05-12 2002-10-08 Carlos Strocchia-Rivera Method of monitoring ion implants by examination of an overlying masking material
US7099005B1 (en) * 2000-09-27 2006-08-29 Kla-Tencor Technologies Corporation System for scatterometric measurements and applications
US6636843B2 (en) * 2000-12-14 2003-10-21 Timbre Technologies, Inc. System and method for grating profile classification
US6900892B2 (en) * 2000-12-19 2005-05-31 Kla-Tencor Technologies Corporation Parametric profiling using optical spectroscopic systems
US6775015B2 (en) * 2002-06-18 2004-08-10 Timbre Technologies, Inc. Optical metrology of single features
US6919964B2 (en) * 2002-07-09 2005-07-19 Therma-Wave, Inc. CD metrology analysis using a finite difference method
US7072049B2 (en) * 2003-02-03 2006-07-04 Timbre Technologies, Inc. Model optimization for structures with additional materials
US7064829B2 (en) * 2003-03-20 2006-06-20 Timbre Technologies, Inc. Generic interface for an optical metrology system
FR2867588B1 (fr) * 2004-03-12 2006-04-28 Commissariat Energie Atomique Procede de caracterisation geometrique de structures et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procede
US7280229B2 (en) * 2004-12-03 2007-10-09 Timbre Technologies, Inc. Examining a structure formed on a semiconductor wafer using machine learning systems

Also Published As

Publication number Publication date
DE60305072T2 (de) 2006-11-23
FR2849181A1 (fr) 2004-06-25
US7158239B2 (en) 2007-01-02
WO2004059246A3 (fr) 2004-08-19
JP2006511799A (ja) 2006-04-06
FR2849181B1 (fr) 2005-12-23
EP1576338B1 (de) 2006-05-03
EP1576338A2 (de) 2005-09-21
DE60305072D1 (de) 2006-06-08
WO2004059246A2 (fr) 2004-07-15
US20060103855A1 (en) 2006-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE325328T1 (de) Optisches verfahren zur untersuchung von reliefs einer struktur
DE602004022862D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur sprachverbesserung bei vorhandensein von hintergrundgeräuschen
ATE275441T1 (de) Verfahren zur herstellung eines mikrostrukturierten oberflächenreliefs durch prägen thixotroper schichten und mikrostrukturiertes oberflächenrelief
DE60310785D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Übersetzung von gesprochener Sprache
DE10393231D2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Linse und danach hergestellte Linse
DE50312077D1 (de) Vorrichtung und Verfahren ZUR ERZEUGUNG ELEKTROMAGNETISCHER FELDVERTEILUNGEN
DE50203511D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum einbetten eines wasserzeichens in ein audiosignal
DE602004007743D1 (de) Verfahren zur Herstellung oder Reparatur einer Baugruppe
DE60207300D1 (de) Verfahren zur herstellung eines aerogelhaltigen isolationsgegenstandes
WO2002029886A3 (en) Method and apparatus for substrate surface inspection using spectral profiling techniques
DE60203721D1 (de) Verfahren zur herstellung einer versetzten wellenförmigen rippe
DE60205232D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der qualität eines sprachsignals
DE60311371D1 (de) Verfahren zur Erzeugung einer Abbildung einer Probe in einer teilchen-optischen Vorrichtung
ATE522881T1 (de) Verfahren zur herstellung eines artikels mit mindestens einem siliziumchip
EP4235306A3 (de) Verfahren zur bestimmung eines abtastschemas, halbleitersubstratmessvorrichtung, lithografische vorrichtung
DE602004004519D1 (de) Austraglösung, verfahren zur erzeugung von mustern sowie verfahren zur herstellung eines elektronischen gerätes unter verwendung dieser lösung, und elektronisches gerät
ATE545856T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur polarisationsabhängigen und ortsaufgelösten untersuchung einer oberfläche oder einer schicht
DE602004001564D1 (de) Werkzeug zur Qualitätserfassung
DE602004010520D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bereitstellung einer agc-funktion durch verwendung mehrerer rückkopplungsquellen
EP4176468C0 (de) Optoelektronische vorrichtung und verfahren zur herstellung einer optoelektronischen vorrichtung
DE60327729D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Holzbauteilen für Musikinstrumente, so hergestellte Holzbauteile und Musikinstrument
EP4131348A4 (de) Verfahren zur herstellung einer elektronischen vorrichtung
DE50306180D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der chromatischen Dispersion von optischen Komponenten
DE112023000745A5 (de) Optoelektronisches halbleiterbauelement und verfahren zur herstellung eines optoelektronischen halbleiterbauelements
EP4231032C0 (de) Atomare dampfzelle, integrierte atomare/photonische vorrichtung und gerät mit der atomaren dampfzelle und verfahren zur herstellung einer atomaren dampfzelle

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties