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ATE276397T1 - Reinigungsvorrichtung und verfahren zum reinigen mit verflüssigten und/oder überkritischen gasen - Google Patents

Reinigungsvorrichtung und verfahren zum reinigen mit verflüssigten und/oder überkritischen gasen

Info

Publication number
ATE276397T1
ATE276397T1 AT00931206T AT00931206T ATE276397T1 AT E276397 T1 ATE276397 T1 AT E276397T1 AT 00931206 T AT00931206 T AT 00931206T AT 00931206 T AT00931206 T AT 00931206T AT E276397 T1 ATE276397 T1 AT E276397T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
cleaning
liquefied
tank
supercritical gases
cleaning device
Prior art date
Application number
AT00931206T
Other languages
English (en)
Inventor
Ernst Wandke
Reinhard Strigl
Original Assignee
Linde Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Linde Ag filed Critical Linde Ag
Application granted granted Critical
Publication of ATE276397T1 publication Critical patent/ATE276397T1/de

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
    • B08B7/0021—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by liquid gases or supercritical fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/044—Cleaning involving contact with liquid using agitated containers in which the liquid and articles or material are placed

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
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  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
AT00931206T 1999-05-12 2000-05-12 Reinigungsvorrichtung und verfahren zum reinigen mit verflüssigten und/oder überkritischen gasen ATE276397T1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19922195A DE19922195A1 (de) 1999-05-12 1999-05-12 Reinigungsvorrichtung
PCT/EP2000/004315 WO2000070140A1 (de) 1999-05-12 2000-05-12 Reinigungsvorrichtung und verfahren zum reinigen mit verflüssigten und/oder überkritischen gasen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE276397T1 true ATE276397T1 (de) 2004-10-15

Family

ID=7908030

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT00931206T ATE276397T1 (de) 1999-05-12 2000-05-12 Reinigungsvorrichtung und verfahren zum reinigen mit verflüssigten und/oder überkritischen gasen

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US (1) US6821356B1 (de)
EP (1) EP1183417B1 (de)
AT (1) ATE276397T1 (de)
AU (1) AU4921300A (de)
DE (2) DE19922195A1 (de)
WO (1) WO2000070140A1 (de)

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