[go: up one dir, main page]

NO20093601A1 - Overflatesensor - Google Patents

Overflatesensor Download PDF

Info

Publication number
NO20093601A1
NO20093601A1 NO20093601A NO20093601A NO20093601A1 NO 20093601 A1 NO20093601 A1 NO 20093601A1 NO 20093601 A NO20093601 A NO 20093601A NO 20093601 A NO20093601 A NO 20093601A NO 20093601 A1 NO20093601 A1 NO 20093601A1
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
electrodes
layer
conductive
sensor
substrate
Prior art date
Application number
NO20093601A
Other languages
English (en)
Inventor
Ralph W Bernstein
Nicolai W Christie
Geir Ivar Bredholt
Anders Natas
Oyvind Slogedal
Original Assignee
Idex Asa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Idex Asa filed Critical Idex Asa
Priority to NO20093601A priority Critical patent/NO20093601A1/no
Priority to TW099146099A priority patent/TWI511052B/zh
Priority to JP2012546431A priority patent/JP5753857B2/ja
Priority to CN2010800616579A priority patent/CN102782700A/zh
Priority to EP10798350A priority patent/EP2519913A1/en
Priority to US13/519,679 priority patent/US9122901B2/en
Priority to PCT/EP2010/070787 priority patent/WO2011080262A1/en
Priority to EP15183328.2A priority patent/EP2975554A3/en
Publication of NO20093601A1 publication Critical patent/NO20093601A1/no
Priority to US14/608,598 priority patent/US9396379B2/en
Priority to US14/973,580 priority patent/US20160104024A1/en
Priority to US16/393,523 priority patent/US10762322B2/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V40/00Recognition of biometric, human-related or animal-related patterns in image or video data
    • G06V40/10Human or animal bodies, e.g. vehicle occupants or pedestrians; Body parts, e.g. hands
    • G06V40/12Fingerprints or palmprints
    • G06V40/13Sensors therefor
    • G06V40/1306Sensors therefor non-optical, e.g. ultrasonic or capacitive sensing
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06KGRAPHICAL DATA READING; PRESENTATION OF DATA; RECORD CARRIERS; HANDLING RECORD CARRIERS
    • G06K19/00Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings
    • G06K19/06Record carriers for use with machines and with at least a part designed to carry digital markings characterised by the kind of the digital marking, e.g. shape, nature, code
    • G06K19/067Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components
    • G06K19/07Record carriers with conductive marks, printed circuits or semiconductor circuit elements, e.g. credit or identity cards also with resonating or responding marks without active components with integrated circuit chips
    • G06K19/077Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier
    • G06K19/07701Constructional details, e.g. mounting of circuits in the carrier the record carrier comprising an interface suitable for human interaction
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V40/00Recognition of biometric, human-related or animal-related patterns in image or video data
    • G06V40/10Human or animal bodies, e.g. vehicle occupants or pedestrians; Body parts, e.g. hands
    • G06V40/12Fingerprints or palmprints
    • G06V40/13Sensors therefor
    • G06V40/1312Sensors therefor direct reading, e.g. contactless acquisition
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
    • G06V40/00Recognition of biometric, human-related or animal-related patterns in image or video data
    • G06V40/10Human or animal bodies, e.g. vehicle occupants or pedestrians; Body parts, e.g. hands
    • G06V40/12Fingerprints or palmprints
    • G06V40/13Sensors therefor
    • G06V40/1329Protecting the fingerprint sensor against damage caused by the finger
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16235Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a via metallisation of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15192Resurf arrangement of the internal vias
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1532Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate
    • H01L2924/15321Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate being a ball array, e.g. BGA

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Image Input (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

Oppfinnelsen angår en sensor for påvisning av egenskaper og strukturer av et organisk vev og dets overflate, f. eks. en fingeravtrykkssensor. Sensoren innbefatter et valgt antall sensorelektroder ved valgte posisjoner for kobling til et fingervev og dets overflate som har en størrelse mindre eller sammenlignbar med størrelsen til strukturene, karakteristikkene eller egenskapene til fingerens vev eller overflate, og en prosessorenhet som inkluderer elektroniske kretser koblet til nevnte elektroder for påvisning avspenningen ved, eller strømgjennomgangen i elektrodene, noe som derved tillater påvisning og innhenting av informasjon om relatert kapasitans, impedans, elektromagnetisk felt, fingeravtrykk, om vevet er levende eller andre biometriske, fysiske, fysiologiske, termiske eller optiske eller karakteristikker eller egenskaper til vevet eller dets overflate posisjonert over elektrodene. Prosessorenheten er montert på en side av et substrat og elektrodene er innebygd i nevnte substrat, der substratet inkluderer gjennomgående første, andre og tredje ledende baner mellom nevnte sensorelektroder og nevnte målingskrets. Substratet er laget av et polymermateriale slik som polyimid, implementert som en stiv eller et fleksibelt flerlags oppbygningssubstrat, nevnte første, andre, og tredje ledende baner er utgjort av gjennomgående substratseksjoner av en valgt størrelse og materiale.

Description

OVERFLATESENSOR
Foreliggende oppfinnelse angår en sensor for påvisning av strukturer og egenskaper til organisk vev eller dets overflate, spesielt en fingeravtrykkssensor, som innbefatter et valgt antall sensorelektroder ved valgte posisjoner for elektrisk og mekanisk kobling til en fingeroverflate og dens vev, som har en størrelse sammenlignbar med størrelsen til strukturene, karakteristikkene, eller egenskapene til fingerens vev eller overflate.
I de senere år har biometri, og spesielt fingeravtrykksensorer, blitt vanlig for formålet å verifisere identiteten til en person, f. eks. ved immigrasjonskontroll, på flyplasser så vel som med personlige anordninger slik som bærbare datamaskiner osv. De nåværende løsningene har fortsatt et antall ulemper. Fingeravtrykkssensorer brukt på flyplasser og i immigrasjonskontroll er store og for kostbare for mange anvendelsesområder, mindre sensorer sett i portable anordninger er ofte silisiumbaserte løsninger med begrenset hardførhet og utfordrende elektroniske sammenkoblinger. Tradisjonelle silisiumproduksjonsteknikker for slike sensorer reulterer ofte i at løsninger for elektriske sammenkoblingsegenskaper forstyrrer det fysiske fingergrensesnittet til anordningen. Forsenket montering av sensoren i et forbrukerbruksområde implementeres ofte for å forbedre disse svakhetene, men trenger ikke å være den optimale løsningen både med hensyn på estetisk design og beskyttelse fra skitt og fuktighet. Sensorstørrelse, både volum og areal sammen med de rigide egenskapene til silisium, begrenser vesentlig gjennomførbarheten av å integrere
fingeravtrykksanordninger i tynne og fleksible anvendelsesområder slik som smartkort.
En fingeravtrykkssensor som kan være forsenket montert i det samme planet som overflaten til produktet det er montert inn i er beskrevet i US7251351, hvori et sett av første elektroder/sensorelementer er posisjonert på én side av et isolerende substrat tilveiebragt med via-hull gjennom substratet. Substratet kan være laget av glass, keramikk eller andre isolerende materialer. IWO 03/049012 er et substrat laget av en flerlags- eller laminat-PCB-prosess beskrevet som er basert på en subtraktiv PCB-prosess hvori, som med den ovenfornevnte US patent, er basert på fjerningen av materialer, f. eks. ved etsing, som har relativt lav oppløsning og derved ikke tilstrekkelig god for de små dimensjonene og toleransene til fingeravtrykksensorer. Dersom dimensjonene slik som tykkelsene av lagene ikke er tilstrekkelig presise kan de påvirke målingene og redusere nøyaktigheten til sensorenheten.
Dermed er det et formål med foreliggende oppfinnelse å tilby en tynn, fleksibel fingeravtrykkssensor realisert ved hjelp av godt etablerte, høyvolums-, lavkostnads-fremstillingsprosesser, mens den også tillater sensoroverflaten å bli posisjonert plant med overflaten til anordningen hvori den er montert. Dette oppnås med en fingeravtrykkssensor som fremlagt ovenfor som blirkarakterisertsom beskrevet i de individuelle kravene.
Fingeravtrykkssensoren fremstilles derved ved å bruke additive eller semi-additive oppbygningsprosesser for å legge isolatorer og ledere i lag for å danne et substrat med gjennomgående ledende baner, som har innebygde sensorelektroder for kobling til fingeroverflaten på én side og med prosessorenheten godt beskyttet på den motsatte siden. Substratet kan være fremstilt ved bruk av væske- eller tørrfilm-isolatorer alternert med lag av ledende materialer lagt inn ved sprut, spray eller annen pletteringsteknologi. Ved å starte med et ikke-ledende lag lagt på en spindel, for eksempel glass, blir det første ikke-ledende laget sikret en høy grad av planhet. Etterfølgende lag av ledende materiale og isolatorer legges til ved å bruke fotolitografi og korresponderende maskesett for å definere nødvendige seksjonsegenskaper. Å bygge laget fra fingergrensesnitt-siden av sensoren til den bakre prosessorenhet-grensesnittsiden mens det fortsatt er festet til spindelen sikrer dimensjonal stabilitet av substratet vil minimere egenskap- og innrettingstoleranser. Det ferdige substratet kan etterbehandles mens det fortsatt er festet til spindelen, eller skrelles av for å avdekke det første lagte laget. I den foretrukne utførelsesformen av oppfinnelsen brukes en væskepolymer slik som polyimid på en flat glassoverflate og derved oppnås en forbedret nøyaktighet i dimensjonene til sensorenheten, spesielt tykkelsen og derved bidraget til substratstrukturen på de tilveiebragte målingene.
Et alternativ til den ovenfornevnte prosessen er å reversere prosesseringsrekkefølgen til laget. I stedet for først å legge det øverste fingergrensesnitt-laget på en glassplate, legges ett eller flere lag på en PCB-type kjerne. Kjernen kan være laget på forhånd med et prosessorenhet-grensesnitt på baksiden og interne lag for redistribusjon av signal og skjerming. Forsiden av PCB-typekjernen kan deretter etterbehandles ved å bruke de oppbygningsprosessene beskrevet ovenfor for å produsere de små, høytoleranseegenskaper nødvendig for designen av fingeravtrykkssensoren. Det siste laget som skal legges vil i denne prosessen utgjøre fingergrensesnittet. Dette prosesseringsalternativet brukes ofte til å fremstille IC-substrater eller Flip-chip-substrater, og refereres ofte til som Mikro-PCB. En alternativ prosess er der en tørr film erstatter væskepolyimid-materialet med metalldekkede filmer slik som Kapton® der de ledende seksjonene blir prosessert ved å bruke litografi og forskjellige etsing-, laser-, og via-fyllingsteknikker som derved tilveiebringer lederne eller banene som fremlagt i de ovenfornevnte publikasjonene. Multiple lag oppnås ved å laminere slike individuelle sjikt sammen. En kombinasjon av tørre og våte prosesser, med eller uten en kjerne er også mulig.
I de følgende beskrivelsene, vil termen "påvisning av spenning eller strøm" forstås av en person øvet i faget som en fremgangsmåte for påvisning og innhenting av informasjon om den relaterte kapasitans, impedans, elektromagnetisk felt, fingeravtrykk eller andre biometriske, fysiske, fysiologiske, termiske eller optiske eller karakteristikkene eller egenskapene til vevet eller dets overflate posisjonert over elektrodene til sensoren. I tillegg, termen kobling forstås som å inkludere både direkte elektrisk kontakt mellom to deler så vel som kapasitiv eller induktiv kobling av to deler separert fysisk av et ikke-ledende materiale.
Oppfinnelsen vil fremlegges mer i detalj nedenunder med hensyn til de medfølgende tegningene, som illustrerer oppfinnelsen ved hjelp av eksempler. Figur 1 illustrerer tverrsnittet av en foretrukket utførelsesform av oppfinnelsen.
Figur 2 illustrerer en lineær fingeravtrykkssensor-layout som sett ovenfra.
Figur 3 illustrerer tverrsnittet av en andre utførelsesform av oppfinnelsen.
Figur 4 illustrerer tverrsnittet av en tredje utførelsesform av oppfinnelsen.
Figur 5 illustrerer tverrsnittet av en fjerde utførelsesform av oppfinnelsen.
Figur 6 illustrerer tverrsnittet av en femte utførelsesform av oppfinnelsen.
Figur 7 illustrerer tverrsnittet av en sjette utførelsesform av oppfinnelsen.
Figur 8 illustrerer tverrsnittet og layout av en syvende utførelsesform av
oppfinnelsen.
Figur 9 illustrerer tverrsnittet og layout av en åttende utførelsesform av oppfinnelsen. Figur 10 illustrerer tverrsnittet og layout av en niende utførelsesform av
oppfinnelsen.
Figur 11 illustrerer tverrsnittet og layout av en tiende utførelsesform av
oppfinnelsen.
Figur 12 illustrerer tverrsnittet og layout av en ellevte utførelsesform av oppfinnelsen. Figur 1 illustrerer tverrsnittet av den foretrukne utførelsesformen av fingeravtrykkssensoren 21 i henhold til oppfinnelsen. I hovedsak er sensorenheten utgjort av et ikke-ledende organisk substrat 8 med innebygde ledende seksjoner 1, 2,3, 4. Første elektroder 1 er koblet til første ledende baner 4, dannet ved å sekvensielt legge lag av ledende og ikke-ledende materialer som danner ubrutte ledende baner av ledende seksjoner fra de første elektrodene, gjennom substratet 8 og redistribuert til
koblingspunkter 31 for kobling til prosessorenhetgrensesnittene 7 på den motsatte siden. Dette tilveiebringes i en lagvis struktur fra kontaktoverflaten 9 som berøres av fingeren 10, der den lagvise strukturen er utgjort av et første ikke-ledende lag 31 som dekker de første elektrodene 1 (også kalt sensorelementer i de nevnte patentpublikasjonene) og andre (andre og tredje) elektroder 2,3 i et andre lag som blir separert av et ikke-ledende materiale 8, og et tredje lag som innbefatter lederne 4,5,6 til koblingspunktene 31. Denne strukturen er fortrinnsvis bygget i en oppbygningsprosess som nevnt ovenfor og kan inkludere atskillige ytterligere steg for å introdusere ytterligere lag, f. eks. dersom de nødvendige posisjoner av koblingspunktene til prosessorenheten er forskjellige fra posisjonene til elektrodene.
Fingergrensesnittet, koblingsarealet, av de første elektrodene 1 er valgt slik at de er mindre enn strukturer i en typisk fingeroverflate 10, noe som muliggjør evnen til å skille mellom furer og kanter i overflaten som typisk har en gradient på tilnærmelsesvis 150- 600^m. Et typisk areal av de første elektrodene kan derfor være tilnærmelsesvis 2000-20000^m<2>, elektrisk isolert fra tilstøtende elektroder av det ikke-ledende substratet i en tykkelse på l-30^m. Andre versjoner kan overveies ved å variere elektrodens størrelse, form og gradient. I en realisert utførelsesform er elektrodegradienten 67,5^m, i en rektangulær form med et areal på 6500^m . De ledende banene 4 kan variere i høy grad i størrelse og form avhengig av ruting og / eller prosessrestriksjoner så vel som krav til signalintegritet. Nåværende produksjonsmuligheter er på under 1 um for både sporvidde og tykkelser (L/S), og lag til lag-sammenkoblende ledende baner med tverrsnittsarealer på 10-2000^m<2>. En nåværende utførelsesform er realisert med L/S på 15/15 ^m og lag til lag-sammenkobling på 700^m<2>
Den foretrukne utførelsesform av oppfinnelsen involverer galvanisk isolasjon mellom fingeroverflaten og sensorelektrodene og derved er sensorelektrodene innebygd i substratet under overflaten til fingergrensesnittet, der det ikke-ledende substratet 8 tilveiebringer det nødvendige ikke-ledende medium mellom fingeroverflaten og de første elektrodene. Fortrinnsvis legges et overflatedekkende lag 9 til for forbedret mekanisk og kjemisk beskyttelse, kontrollert friksjon, forbedret bildekvalitet, fremmet kosmetikk eller andre formål. Ytelsesbelegget kan være laget av et karbonbasert materiale slik som diamantaktig karbon ("Diamond Like Carbon", (DLC)) eller amorf diamant, som beskrevet i EP0779497 og US5963679. Tykkelsen av det ikke-ledende substratet og ytelsesbelegglaget kan være valgt for å tilveiebringe egnede påvisningsforhold, for eksempel i området 500nm eller mer. Ubeskyttede elektroder uten isolatorer som tilveiebringer direkte elektrisk kontakt med fingeren kan være implementert for forbedrede påvisningsforhold, som økte signalnivåer.
På den motsatte siden av overflaten til fingergrensesnittet er
fingeravtrykkssensor-substratet på en i og for seg kjent måte tilveiebragt med elektriske signalgrensesnitt 7 for å koble sammen signalprosessorenheten 13 til de ledende banene. Disse grensesnittene kan være fremstilt ved bruk av velkjent teknologi for under - bump metallisering ("Under Bump Metallization", (UBM)) og tilveiebringer en base for lodding eller limbaserte sammenkoblingsløsninger til prosessorenheten. På samme måte er eksterne IO-tilkoblinger 15 tilveiebragt.
I henhold til den foretrukne utførelsesformen er substratet også tilveiebragt med en andre elektrode 2 koblet til en andre ledende bane 5 implementert på en lignende måte som den første elektroden og første ledende banen, men som har større elektrodedimensjoner for å kunne være vesentlig større enn egenskapene i fingeroverflaten. Dermed er ikke koblingen mellom den andre elektroden og fingeren vesentlig påvirket av strukturene i overflaten til fingeren. I dette tilfellet er prosessorenheten tilpasset til å påvise spenningen ved eller strømgjennomgangen i hver av en mengde av første elektroder 1 tilveiebragt av de første og andre elektrodene da prosessorenheten også tilfører en statisk eller varierende spenning mellom de første og andre elektrodene og påviser spenningen og strømmen på en i og for seg kjent måte, f. eks. ved å påføre en spenning mellom den andre elektroden og jord og ved å påvise strømgjennomgangen fra fingeren inn i den første elektroden, eller spenning relativt til jord ved den første elektroden. På grunn av forskjellene i størrelse vil kun strukturene av fingeren nært de første elektrodene påvirke spenningen eller strømmen følt eller påvist av sensoren. I denne utførelsesformen av oppfinnelsen er det også mulig å variere innbyggingsdybden til elektrodene, og herav forandre den ikke-ledende tykkelsen og koblingskarakteristikkene for å kunne optimalisere påvisningsforholdene, som følsomhet, kontrast, dynamisk signalområde eller andre parametere for sensorelektrodene 1,2 og 3 og/eller det gjenværende av substratet 8.
I henhold til den foretrukne utførelsesformen er substratet også tilveiebragt med en tredje elektrode 3 koblet til en tredje ledende bane 6 implementert på en lignende måte som den første elektroden og den første ledende banen. Den tredje elektroden kan variere i størrelse fra mindre enn, til vesentlig større enn kjennetegnsstørrelsen til overflaten av fingeren. Den tredje elektroden kan duplisere funksjonaliteten til de første eller andre elektrodene eller være uavhengig elektrisk eksitert, modulert, elektrisk etterlatt flytende, eller koblet til jord som fremlagt i US7606398. Den tredje elektroden kan også være implementert på en slik måte at en kapasitiv kobling til individuelle første elektroder kan tas i bruk i en kalibrasjons- eller kretstestrutine som beskrevet i US 7251351B2. Andre alternativer kan også overveies, f. eks. med en tredje leder (ikke vist) nær den første lederens ledere/ledende seksjoner og med en sammenlignbar størrelse slik som løsningen beskrevet i US 6,512,381. Fingeravtrykkssensoren er designet som en swipe-sensor der overflaten som skalmåles er forventet å krysse elektrodene i strykretningen 11.
Figur 2 illustrerer layouten av en stripeformet fingeravtrykkssensor 21 utgjort av en i all hovedsak lineær oppstilling av sensorelektroder 12 hvori hver første elektrode 1 er relatert til én første ledende bane 4. Over sensoroppstillingen 12 strekker to stimulasjons- eller drivelektroder 2 seg, relatert til tidligere nevnte andre ledende baner, noe som derved sikrer en ensartet spenningsdistribusjon over fingeren, og at varisjonen i det påviste signalet fra sensoroppstillingen hovedsakelig blir forårsaket av variasjoner i strukturen til fingeren i nærheten av oppstillingen.
I den foretrukne utførelsesformen av Figur 2 inkluderer layouten også to tredje elektroder 3, i dette tilfellet brukt til en (digital og analog) jordtilkobling, noe som derved også tilveiebringer ESD-beskyttelse. Disse elektrodene kan også være relatert til tidligere nevnte tredje ledende baner gjennom substratet. Innbyggingsdybden til disse elektrodene kan varieres på samme måte som de første og andre elektrodene for å øke sannsynligheten for at ESD-hendelser lades ut til jord. Andre løsninger for å tilveiebringe ESD-beskyttelse kan realiseres ved implementering av diodestrukturer koblet til de ledende banene til substratet. Alternativt kan en diskret komponent slik som en ESD-beskyttelsesdiode være koblet mellom drivelektroden og jord, internt innebygd i substratet eller eksternt tilkoblet for eksempel ved hjelp av flip-chip-montering.
I henhold til en alternativ utførelsesform av sensorlayouten illustrert i figur 2 kan sensoroppstillingen være utgjort av én eller flere lineære oppstillinger av elektroder, muligens forskjøvet over strykretningen, noe som tilveiebringer en vekslet struktur og forbedrer oppløsningen i målingene. Oppstillinger av flere sensorer kan også tillate rekonstruering av et fingeravtrykkbilde ved sammensying ("stitching") som beskrevet i US6289114 eller for å måle bevegelsen til fingeren over sensoren som beskrevet i US7054471.
I henhold til en alternativ utførelsesform kan den andre, tredje, eller begge elektrodene være tilveiebragt med grensesnitt til eksterne IO-tilkoblinger 15 vist i Figur 1 for implementering på utsiden av substratet, med fordelen av å redusere substratmaterialets areal som fremlagt i US 6,628,812 og US 6,683,971.
Ytterligere elektroder og kretser kan være innebygd i sensoren 21, for
eksempel for å måle den relative bevegelsen av fingeren over overflaten, som beskrevet i US7251351 og US7110577, eller for å navigere eller drive en peker på en skjerm, som beskrevet i US7129926 og US7308121 eller for å måle andre biometriske egenskaper til fingeren, som livspåvisning.
I henhold til en alternativ utførelsesform i Figur 3 er et ytterligere internt lag av ledende seksjoner 14 inkludert for skjermingsformål. Det skjermende laget er posisjonert mellom elektrodene og en hvilken som helst ledende seksjon brukt til lateral signalredistribusjon til prosessorenhetens grensesnitt. Kobling av hele eller seksjoner av dette skjermingslaget til jord vil beskytte prosessorenhetens grensesnitt og signalredistribusjonsseksjoner fra elektromagnetisk interferens eller induktiv eller kapasitiv elektrisk kobling fra elektrodene og fingeroverflaten, og vice versa.
I henhold til en alternativ utførelsesform i Figur 4, kan ett eller flere ytterligere interne lag av ledende seksjoner være inkludert for å tilpasse forskjellige innebygde egenskaper.
Et ytterligere lag kan være inkludert for å tilpasse forbedret signalredistribusjon med ytterligere frihetsgrad for å rute ledende baner 17.
Ett eller flere ytterligere interne lag av ledende seksjoner kan være inkludert for å tilpasse forskjellige innebygde komponenter 18. En diskret komponent kan være plassert på det siste lagte laget, tilkoblingsterminal(er) opp, fiksert med lim eller på andre måter før det neste ikke-ledende laget legges. Den etterfølgende leggingen av ledende seksjonslag forberedes med en maske som inkluderer åpninger ved de nødvendige tilkoblingsposisj onene av den diskrete komponenten. Leggingsprosessen av ledende materiale vil smelte sammen med de egnede diskrete komponentterminalene og koble til de egnede ledende banene.
Den alternative utførelsesformen i Figur 4 illustrerer også hvordan organiske eller trykkbare elektroniske kretser 19 kan være implementert. Det mønsterbare ikke-ledende laget kan brukes som et basemedium for en slik leggingsprosess. Disse spesielle kretsene er koblet til underliggende ledende seksjoner direkte gjennom sine leggingsprosesser, eller ved å smeltes sammen med det etterfølgende ledende laget av sine leggingsprosesser.
Ved å ta i bruk den mønsterbare isolatoren for å skape et ønsket hulrom, kan et gassfylt volum mellom to ledende seksjoner brukes som en gnistbane 20 for å tilveiebringe en høyspennings utladningsbane, og å dissipere elektrisk ladning til jord. ESD-beskyttelse kan derav forbedres når det inkorporeres inn i de ledende banene mellom elektrodene og prosessorenheten.
Den alternative utførelsesformen i Figur 5 er et spesielt tilfelle av tidligere beskrevet innebygde diskrete komponenter 18 av Figur 4.1 denne utførelsesformen er hele prosessorenheten 13 innebygd i isolatoren, i motsetning til flip chip-montert som vist i Figur 1.
I den alternative utførelsesformen i Figur 6, brukes en herdbar epoxy 22, for eksempel epoxy, til å forbedre mekanisk hardførhet av sensoren. Underfyllingsepoxyen brukes til å innkapsle elektrisk grensesnitt og prosessorenheten, noe som derav beskytter dem fra elementene slik som fuktighet og skitt, mens det også øker stivheten til sensoren. Et flak med flere sensorer kan underfylles og belegges før det kuttes inn i individuelle sensorer. Det ferdige produktet er en fingeravtrykksanordning, innkapslet og pakket med et BGA-type ballgrensesnitt 15. Et tilsvarende result kan oppnås ved å bruke plastikkstøpingsprosesser i motsetning til herdbare epoxyer.
I den alternative utførelsesformen i Figur 7, lamineres et ytterligere andre ikke-ledende materiale 23 på oppbygningssubstratet for å forbedre stivhet og mekanisk hardførhet av sensoren. Dette materialet kan være et lag av væske eller tørrfilm loddemaske der de ledende seksjonene er formet med den samme prosessen brukt til å danne de ledende seksjonene av oppbygningssubstratet. Alternativt kan det oppstivende laget være av et kretskorttype materiale med forhåndslagede via'er, kontakten og elektrisk koblet til oppbygningssubstratets ledende seksjoner.
I den alternative utførelsesformen i Figur 8, er en fleksibel flatkabel 24 integrert i oppbygningssubstratet for eksterne IO-tilkoblinger. Dette kan forenkle integrasjon inn i forskjellige anvendelsesområder med muligheten til å øke avstanden mellom fingergrensesnittet og elektronikken til vertssystemet. Flatkabelen kan for eksempel tres gjennom en slisse i bruksområdets innkapsling.
I den alternative utførelsesformen i figur 9, er en separat fleksibel flatkabel 25 koblet til det eksterne IO-tilkoblingsgrensesnittet til oppbygningssubstratet, noe som gir fordeler tilsvarende hva som er beskrevet for utførelsesformen i Figur 8.
I den alternative utførelsesformen i figur 10 er høyoppløsnings-oppbygningssubstratet 8 laminert eller på annen måte fiksert med elektriske tilkoblinger til et standard PCB eller fleksibel trykt krets 26 som utgjør en mellomkobling mellom oppbygningssensorsubstratet og signalprosessorenheten 13. Dette kan tilveiebringe fordeler i fiksering, sammenkobling, og sammensetning mens å ta i bruke et materiale med lavere kostnad for kretssystem krever et større areal. Signalprosessorenheten og eksterne IO-tilkoblinger 27 kan være plassert på den ene eller den andre siden av mellornkoblingen.
I den alternative utførelsesformen i figur 11 er høyoppløsnings-oppbygningssubstratet 8 laminert eller på annen måte fiksert med elektriske tilkoblinger til et standard PCB eller fleksibel trykt krets 28 som utgjør et hovedkort for en innebygd fingeravtrykkmodul. Å kombinere høyoppløsnings-oppbygningssubstratet med lavkost standard kretskortteknologi kan ytterligere elektroniske kretser slik som integrerte kretser, displayer, LED'er, knapper 29, og eksterne elektriske grensesnitt 30 integreres inn i fingeravtrykkmodulen. De ytterligere elektroniske kretsene kan være plassert på enten den ene eller den andre siden av hovedkortet.
I den alternative utførelsesformen i figur 12 nyttiggjøres ikke høyoppløsnings-oppbygningssubstratet 8 kun som et sensorsubstrat, men er også implementert som en bærer- og sammenkoblingsanordning for et fullt biometrisk system. 1., 2. og 3. elektrodesignaler er redistribuert (ikke vist) til signalprosessorenheten 13 plassert enten direkte under fingergrensesnittet eller forskjøvet i en hvilken som helst lateral retning. Ytterligere integrerte kretser slik som mikrokontrollere 32 og andre elektriske komponenter 33 slik som kondensatorer, motstander, knapper, displayer og antenner kan være integrert enten ved hjelp av Flip Chip, trådbånding, ledende lim eller andre. Eksterne IO-tilkoblinger 15 kan være integrert som ubeskyttede ledende padder, headere, og konnektorer eller annet. Fingergrensesnittseksjonen kan være støttet mekanisk av en laminert oppstivingsplate 34 av egnet tykkelse og materiale. Den komplette biometriske sammensetningen kan være montert inne i en egnet innkapsling, eller støpt, alternativt laminert, inne i for eksempel en ID eller et finanstransaksjonskort.
Dermed henviser oppfinnelsen spesielt til realiseringen av fingeravtrykksensorer med sensorelektroder og tilhørende ledende baner innebygd i et ikke-ledende substrat.
For å oppsummere angår oppfinnelsen en sensorenhet for å måle strukturer og egenskaper ved overflaten til et objekt av organisk vev, spesielt en fingeravtrykkssensor. Sensorenheten innbefatter
- en kontaktoverflate tilpasset til å ha mekanisk kontakt med nevnte objekt,
- et første ikke-ledende lag som har en valgt tykkelse,
- et andre lag som inkluderer et antall elektrisk ledende første elektroder 1 som har forhåndsbestemte størrelser og posisjoner, der sensorelementene er separert av et ikke-ledende materiale, - et tredje lag som inkluderer et antall ledende seksjoner, der hver har en første ende galvanisk koblet til første elektroder og en andre ende på den motsatte siden av det tredje laget som har forhåndsbestemte posisjoner, der de ledende seksjonene er separert av et ikke-ledende materiale, - og elektrisk ledende tilkoblingsmidler ved nevnte forhåndsbestemte posisjoner av nevnte andre ender av de ledende seksjonene for galvanisk tilkobling til en
signalprosessorenhet.
På denne måten er et substrat tilveiebragt for montering av prosessorenheten der substratet inneholder begge de første elektrodene i det forhåndsbestemte mønsteret, og muligens ytterligere elektroder, i et polymermateriale. Det ikke-ledende materialet er fortrinnsvis polyimid og sensoren er bygget ved å bruke en oppbygningsprosess der det første laget er lagt som en væske på en plan glassoverflate.
Dermed angår oppfinnelsen hovedsakelig en sensor for påvisning av egenskaper og strukturer av et organisk vev og dets overflate, spesielt en fingeravtrykkssensor. Den innbefatter et valgt antall av første elektroder eller sensorelementer ved valgte posisjoner for kobling til en overflate som skal måles. Størrelsen av de første elektrodene og fortrinnsvis avstandene mellom dem bør være mindre eller sammenlignbar med størrelsen til egenskapene eller strukturene i vevet eller dets overflate for å kunne være i stand til å skille mellom forskjellige typer av egenskaper slik som kanter og furer i et fingeravtrykk. En prosessorenhet kan være inkludert som har elektroniske kretser for påvisning av spenning ved eller strømgjennomgangen i elektrodene, og derved tillate påvisning og innhenting av informasjon om relatert kapasitans, impedans, elektromagnetisk felt, fingeravtrykk, struktur, om vev er levende eller andre biometriske, fysiske, fysiologiske, termiske eller optiske karakteristikker eller egenskaper til vevet eller dets overflate. Dissee kretsene er koblet til nevnte første elektroder for å tilveiebringe påvisning av nevnte karakteristikker, egenskaper eller strukturer, der prosessorenheten er montert på én side av et substrat, og de første elektrodene er posisjonert på internt innebygde lag av nevnte substrat. Substratet inkluderer derved gjennomgående første ledende baner mellom nevnte sensorelektrode og nevnte målingskrets, hvori substratet er laget av et fleksibelt singel eller multilags ikke-ledende polymermateriale slik som polyimid og nevnte første ledende baner er utgjort av gjennomgående substratseksjoner av en valgt størrelse og materiale.
Substratet inkluderer fortrinnsvis også i det minste én andre elektrode med en størrelse i det vesentligste større enn strukturene til overflaten som skal måles. Den andre elektroden kan være jordet eller koblet til nevnte prosessorenhet, med en andre ledende bane som også er utgjort av gjennomgående ledende seksjoner av substratet, og prosessorenheten er tilpasset til å påvise spenningen eller strømmen ved de første og andre elektrodene. I den foretrukne utførelsesformen av oppfinnelsen kan en varierende spenning påføres av prosessorenheten eller en ekstern oscillator mellom den andre elektroden og de første elektrodene, der prosessorenheten måler eller beregner impedansen mellom de første elektrodene og den andre elektroden.
Substratet kan også inkludere i det minste én tredje elektrode, som tilveiebringer en elektrode som er koblet til nevnte overflate og koblet til nevnte prosessorenhet, med en tredje ledende bane som også er utgjort av gjennomgående ledere av substratet. Den tredje elektroden kan være jordet eller prosessorenheten kan være tilpasset til å påvise spenningen eller strømmen ved den tredje elektroden.
De første, andre og tredje elektrodene kan være innebygd i det samme planet eller ved varierende dybde, relativt til overflaten som skal måles eller fullstendig ubeskyttet mot den nevnte overflaten, som gir individuelle ikke-ledende koblingskarakteristikker for nevnte overflatestrukturmålinger. Dermed kan det første laget inkludere områder med redusert tykkelse eller åpninger over i det minste noen av elektrodene som derved også tilveiebringer midler for å justere kapasitansen mellom fingeren og elektroden eller å tilveiebringe galvanisk kontakt mellom elektrodene og fingeren/objektet som skal måles.
For å beskytte sensorenhetens overflate er et ytre beskyttende lag laget av et karbonbasert materiale, f. eks. amorf diamant, som dekker
målingsoverflategrensesnittet til overflatesensoren.
Substratet kan også inkludere i det minste ett eksternt grensesnitt til en ekstern elektrode på utsiden av substratet som er i det vesentligste større enn strukturene til overflaten, som tilveiebringer en ekstern elektrode som er koblet til nevnte overflate som skal måles, og koblet til nevnte prosessorenhet.
Det tredje laget av sensorenheten kan også inkludere i det minste ett innebygd mønsterbart under-lag for signalredistribusjonsformål av nevnte første, andre eller tredje ledende baner ved forhåndsbestemte posisjoner av tilkoblingspunkter for kobling til prosessorenheten.. Under-laget kan også inkludere innebygde aktive og passive elektroniske anordninger, der i det minste én elektroniske anordning er implementert mellom i det minste to ledende seksjoner av nevnte første, andre eller tredje ledende baner.
Prosessorenheten med målingskrets koblet til i det minste to ledende seksjoner av nevnte første, andre eller tredje ledende baner, kan også være innebygd inn i substratstrukturen.
Substratet kan også inkludere i det minste ett innebygd organisk elektronikklag der i det minste én elektronisk anordning er implementert mellom i det minste to ledende seksjoner av nevnte første, andre eller tredje ledende baner, og eller i det minste ett innebygd mønsterbart ikke-ledende lag der i det minste ett hulrom er dannet for å danne en gnistbane mellom i det minste to ledende seksjoner av nevnte første, andre eller tredje ledende baner.
Sensorenheten i henhold til oppfinnelsen er fortrinnsvis produsert ved å bruke en fremgangsmåte som inkluderer stegene med å:
- legge væskepolyimid på en plan glassoverflate og å herde polyimidmaterialet,
- legge et andre lag på nevnte første lag ved å påføre et mønster av elektrisk ledende materiale som utgjør første elektroder på det første laget og legge et væskepolyimidlag, noe som derved tilveiebringer en isolasjon mellom de første elektrodene og herder polyimidmaterialet, og, - legge det tredje laget ved å påføre et mønster av elektrisk ledende materiale og legge et væskepolyimidlag, noe som derved tilveiebringer en isolasjon mellom de første elektrodene og herder polyimidmaterialet, og etter å herde enheten
fjerne den fra glassplaten og derved produsere en lagvis fleksibel film eller folie. Denne sekvensen kan utføres i motsatt rekkefølge, noe som derved etterlater glassplaten på den motsatte siden av folien, avhengig av den nødvendige nøyaktigheten av prosessen og posisjoneringen av sensorelektrodene.
Fremgangsmåten kan også inkludere et steg med å påføre et elektrisk ledende materiale på de andre endene av de ledende seksjonene for å tilveiebringe tilkoblingsmidler.
Overflaten av sensoren kan være behandlet på atskillige måter avhengig av bruken og driftsforhold. For eksempel kan substratet være forandret for optiske egenskaper ved mønstring og avbildning av polyimidstruktur for utseende, refleksjon osv, eller for å oppnå overflatekarakteristikker slik som hydrofobisitet, friksjon, motstand mot slitasje osv.
Substratet kan også forandres til å innrettes med en innebygd prosessorenhet, eller belegges med en herdet vulkaniserende epoxy på prosessorenhetsiden for å danne en innkapslet anordning med en ball grid-oppstillingstype eksterne IO-grensesnitt. For å kunne gjøre det mer holdbart kan det også lamineres over på en annen overflate for økt stivhet og sammenkoblingsformål slik som et kretskort.
For å forbedre koblingskarakteristikkene eller, i tilfelle overflaten som skal måles er kurvet, kan substratet være laminering på en kurvet overflate, f. eks. for å kunne oppnå en løsning tilsvarende swipe-sensoren beskrevet i US 6785407.
En fordel med foreliggende oppfinnelse er at et fleksibelt substrat kan oppnås som kan fungere som en del av en fleksibel flatkabel for sammenkoblingsformål, eller være laminert på en fleksibel flatkabel for sammenkoblingsformål. Den kan også lamineres eller på annen måte elektrisk kobles til en PCB eller fleksibel krets, som utgjør en mellomkobling mellom nevnte substrat og nevnte prosessorenhet for ytterligere grad av frihet i layout av sammensetning og sammenkoblinger eller et hovedkort for en innebygd fingeravtrykksmodul, som tilveiebringer et grensesnitt mellom nevnte sensorsubstrat og prosessorenhet, mens den tillater ytterligere elektroniske kretser og komponenter å bli integrert.

Claims (12)

1. Sensorenhet for å måle strukturer og egenskaper av overflaten til et objekt av organisk vev, spesielt en fingeravtrykkssensor, der sensoren innbefatter - en kontaktoverflate tilpasset til å ha mekanisk kontakt med nevnte objekt, - et første ikke-ledende lag som har en valgt tykkelse, - et andre lag som inkluderer et antall elektrisk ledende første elektroder som har forhåndsbestemte størrelser og posisjoner, der de første elektrodene er separert av et ikke-ledende materiale, - et tredje lag som inkluderer et antall ledende seksjoner, der hver har en første ende galvanisk koblede første elektroder og en andre ende på den motsatte siden av det tredje laget som har forhåndsbestemte posisjoner, der de ledende seksjoner er separert av et ikke-ledende materiale, - og elektrisk ledende tilkoblingsmidler ved nevnte forhåndsbestemte posisjoner av nevnte andre ender av de ledende seksjonene for galvanisk tilkobling til en signalprosessorenhet.
2. Sensorenhet i henhold til krav 1, hvori det ikke-ledende materiale er polyimid.
3. Sensorenhet i henhold til krav 1 hvori det tredje laget er utgjort av i det minste to under-lag der i det minste ett innbefatter et mønster av ledende seksjoner som tilpasser posisjonene til de andre lederendene til de nødvendige posisjoner for tilkoblingspunkter til en prosessorenhet.
4. Sensorenhet i henhold til krav 1, hvori kontaktoverflaten er tilveiebragt med et beskyttende belegg, f. eks. et karbonbasert materiale.
5. Sensorenhet i henhold til krav 1, hvori den motsatte siden relativt til kontaktoverflaten er dekket med et herdet materiale, f. eks. et epoxymateriale.
6. Sensorenhet i henhold til krav 5 hvori det herdede materialet også dekker en montert prosessorenhet.
7. Sensorenhet i henhold til krav 1 hvori nevnte andre lag inkluderer i det minste én andre elektrode som har dimensjoner som er større enn strukturene av overflaten som skal måles, der nevnte tredje lag inkluderer ledende seksjoner som strekker seg fra elektroden til den motsatte siden av sensorenheten.
8 Sensorenhet i henhold til krav 7, hvori den andre elektroden er tilveiebragt med et tilkoblingspunkt på nevnte motsatte side for kobling til prosessorenheten.
9. Sensorenhet i henhold til krav 7, hvori tykkelsen av det første laget over i det minste én andre elektrode er redusert.
10. Sensorenhet i henhold til krav 1, hvori det første laget innbefatter åpninger over i det minste én av nevnte elektroder som tilveiebringer galvanisk kontakt mellom elektroden og objektet.
11. Fremgangsmåte for å produsere en sensorenhet i henhold til krav 1, som inkluderer stegene av: - legge væskepolyimid på en plan glassoverflate og å herde polyimidmaterialet, - legge et andre lag på nevnte første lag ved å påføre et mønster av elektrisk ledende materiale som utgjør første elektroder på det første laget og legge et væske polyimidlag, noe som derved tilveiebringer en isolasjon mellom de første elektrodene og herder polyimidmaterialet, og, - legge det tredje laget ved å påføre et mønster av elektrisk ledende materiale og legge et væskepolyimidlag, noe som derved tilveiebringer en isolasjon mellom de første elektrodene og herder polyimidmaterialet.
12. Fremgangsmåte i henhold til krav 11, som inkluderer et steg med å påføre et elektrisk ledende materiale på de andre endene av de ledende seksjonene for å tilveiebringe tilkoblingsmidler.
NO20093601A 2009-12-29 2009-12-29 Overflatesensor NO20093601A1 (no)

Priority Applications (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO20093601A NO20093601A1 (no) 2009-12-29 2009-12-29 Overflatesensor
TW099146099A TWI511052B (zh) 2009-12-29 2010-12-27 表面感測器
US13/519,679 US9122901B2 (en) 2009-12-29 2010-12-28 Surface sensor
CN2010800616579A CN102782700A (zh) 2009-12-29 2010-12-28 表面传感器
EP10798350A EP2519913A1 (en) 2009-12-29 2010-12-28 Surface sensor
JP2012546431A JP5753857B2 (ja) 2009-12-29 2010-12-28 表面センサ
PCT/EP2010/070787 WO2011080262A1 (en) 2009-12-29 2010-12-28 Surface sensor
EP15183328.2A EP2975554A3 (en) 2009-12-29 2010-12-28 Surface sensor
US14/608,598 US9396379B2 (en) 2009-12-29 2015-01-29 Surface sensor
US14/973,580 US20160104024A1 (en) 2009-12-29 2015-12-17 Surface sensor
US16/393,523 US10762322B2 (en) 2009-12-29 2019-04-24 Fingerprint sensor including a substrate defining a ledge with contact points for incorporation into a smartcard

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO20093601A NO20093601A1 (no) 2009-12-29 2009-12-29 Overflatesensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NO20093601A1 true NO20093601A1 (no) 2011-06-30

Family

ID=44246927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO20093601A NO20093601A1 (no) 2009-12-29 2009-12-29 Overflatesensor

Country Status (7)

Country Link
US (4) US9122901B2 (no)
EP (2) EP2519913A1 (no)
JP (1) JP5753857B2 (no)
CN (1) CN102782700A (no)
NO (1) NO20093601A1 (no)
TW (1) TWI511052B (no)
WO (1) WO2011080262A1 (no)

Families Citing this family (121)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3441539B2 (ja) 1994-10-26 2003-09-02 日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社 無電解金めっき液によるめっき方法及びその装置
WO2007147137A2 (en) 2006-06-15 2007-12-21 Sitime Corporation Stacked die package for mems resonator system
NO20093601A1 (no) 2009-12-29 2011-06-30 Idex Asa Overflatesensor
BR122021016044B1 (pt) 2010-05-08 2022-07-19 Bruin Biometrics, Llc Aparelho para detecção de umidade subepidérmica (sem)
US10043052B2 (en) * 2011-10-27 2018-08-07 Synaptics Incorporated Electronic device packages and methods
US9695036B1 (en) * 2012-02-02 2017-07-04 Sitime Corporation Temperature insensitive resonant elements and oscillators and methods of designing and manufacturing same
US9740343B2 (en) 2012-04-13 2017-08-22 Apple Inc. Capacitive sensing array modulation
GB201208680D0 (en) 2012-05-17 2012-06-27 Origold As Method of manufacturing an electronic card
US9581628B2 (en) * 2012-05-04 2017-02-28 Apple Inc. Electronic device including device ground coupled finger coupling electrode and array shielding electrode and related methods
US9030440B2 (en) 2012-05-18 2015-05-12 Apple Inc. Capacitive sensor packaging
TWI491059B (zh) * 2012-10-04 2015-07-01 力智電子股份有限公司 接近感測器及其電路佈局方法
US9651513B2 (en) * 2012-10-14 2017-05-16 Synaptics Incorporated Fingerprint sensor and button combinations and methods of making same
GB2508959A (en) 2012-10-14 2014-06-18 Validity Sensors Inc Biometric sensor having two types of trace disposed in a multi-layer laminate
NO20131423A1 (no) 2013-02-22 2014-08-25 Idex Asa Integrert fingeravtrykksensor
USD758372S1 (en) * 2013-03-13 2016-06-07 Nagrastar Llc Smart card interface
US9888283B2 (en) 2013-03-13 2018-02-06 Nagrastar Llc Systems and methods for performing transport I/O
NL2012891B1 (en) 2013-06-05 2016-06-21 Apple Inc Biometric sensor chip having distributed sensor and control circuitry.
US9883822B2 (en) 2013-06-05 2018-02-06 Apple Inc. Biometric sensor chip having distributed sensor and control circuitry
US20150335288A1 (en) 2013-06-06 2015-11-26 Tricord Holdings, Llc Modular physiologic monitoring systems, kits, and methods
WO2014197822A2 (en) 2013-06-06 2014-12-11 Tricord Holdings, L.L.C. Modular physiologic monitoring systems, kits, and methods
NO336318B1 (no) 2013-07-12 2015-08-03 Idex Asa Overflatesensor
US9984270B2 (en) 2013-08-05 2018-05-29 Apple Inc. Fingerprint sensor in an electronic device
KR20150018350A (ko) * 2013-08-08 2015-02-23 삼성전자주식회사 지문인식장치와 그 제조방법 및 전자기기
JP6654566B2 (ja) * 2013-08-23 2020-02-26 フィンガープリント カーズ アーベー 指紋検知システムの接続パッド
US10296773B2 (en) 2013-09-09 2019-05-21 Apple Inc. Capacitive sensing array having electrical isolation
US9460332B1 (en) 2013-09-09 2016-10-04 Apple Inc. Capacitive fingerprint sensor including an electrostatic lens
US9697409B2 (en) 2013-09-10 2017-07-04 Apple Inc. Biometric sensor stack structure
EP3072083B1 (en) 2013-11-22 2018-07-18 Shenzhen Goodix Technology Co., Ltd. Secure human fingerprint sensor
CN106063158A (zh) 2013-11-27 2016-10-26 深圳市汇顶科技股份有限公司 用于安全交易和通信的可穿戴通信装置
US10128907B2 (en) * 2014-01-09 2018-11-13 Shenzhen GOODIX Technology Co., Ltd. Fingerprint sensor module-based device-to-device communication
CN103793691A (zh) * 2014-01-28 2014-05-14 深圳市汇顶科技股份有限公司 指纹识别装置及具有其的移动终端
TWI493187B (zh) * 2014-02-17 2015-07-21 茂丞科技股份有限公司 藉由信號外延結構形成之具有平坦接觸面之生物感測器及其製造方法
JP6662792B2 (ja) * 2014-02-21 2020-03-11 アイデックス バイオメトリクス エーエスエー 重なり合うグリッド線、およびセンシング面をグリッド線から伸ばすための導電性プローブを用いるセンサ
EP3117366A1 (en) * 2014-03-12 2017-01-18 Idex Asa Fingerprint detecting apparatus and driving method thereof
WO2015143011A1 (en) 2014-03-19 2015-09-24 Bidirectional Display Inc. Image sensor panel and method for capturing graphical information using same
US9122349B1 (en) 2014-03-19 2015-09-01 Bidirectional Display Inc. Image sensor panel and method for capturing graphical information using same
US9489559B2 (en) * 2014-05-28 2016-11-08 Fingerprint Cards Ab Electronic device with fingerprint sensing system and conducting housing
TWI567886B (zh) * 2014-05-28 2017-01-21 南茂科技股份有限公司 晶片封裝結構以及晶片封裝結構的製作方法
CN107040621A (zh) * 2014-06-16 2017-08-11 深圳市汇顶科技股份有限公司 一种移动终端
CN104051366B (zh) * 2014-07-01 2017-06-20 苏州晶方半导体科技股份有限公司 指纹识别芯片封装结构和封装方法
WO2016007444A1 (en) 2014-07-07 2016-01-14 Goodix Technology Inc. Integration of touch screen and fingerprint sensor assembly
US9558390B2 (en) * 2014-07-25 2017-01-31 Qualcomm Incorporated High-resolution electric field sensor in cover glass
TWM493712U (zh) * 2014-08-01 2015-01-11 Superc Touch Corp 具有遮罩功能的感應電極之生物辨識裝置
TWI640767B (zh) * 2014-08-13 2018-11-11 佳能企業股份有限公司 電子傳輸模組及電子裝置
KR102356453B1 (ko) 2014-08-29 2022-01-27 삼성전자주식회사 지문 인식 센서 및 이를 포함하는 지문 인식 시스템
US9779280B2 (en) 2014-12-24 2017-10-03 Idex Asa Fingerprint sensor employing an integrated noise rejection structure
CN107205676B (zh) * 2015-01-08 2021-06-18 美达森斯生物测定有限公司 用于生理监测的电极阵列和包括或利用电极阵列的设备
CN104657707B (zh) 2015-01-30 2018-03-20 业成光电(深圳)有限公司 指纹识别装置及其制作方法
KR102280155B1 (ko) * 2015-02-04 2021-07-22 엘지디스플레이 주식회사 센서 스크린 및 그를 구비한 표시장치
KR102339546B1 (ko) * 2015-02-06 2021-12-16 엘지디스플레이 주식회사 센서 스크린 및 그를 구비한 표시장치
KR102097179B1 (ko) * 2015-04-07 2020-04-03 앰코테크놀로지코리아(주) 지문센서 패키지 및 그 제조 방법
CN106056033B (zh) * 2015-04-14 2019-07-05 李美燕 复合基板感测装置及其制造方法
CA2982249C (en) 2015-04-24 2019-12-31 Bruin Biometrics, Llc Apparatus and methods for determining damaged tissue using sub-epidermal moisture measurements
USD864968S1 (en) 2015-04-30 2019-10-29 Echostar Technologies L.L.C. Smart card interface
KR101942141B1 (ko) 2015-05-12 2019-01-24 앰코테크놀로지코리아(주) 지문센서 패키지
USD776664S1 (en) * 2015-05-20 2017-01-17 Chaya Coleena Hendrick Smart card
TWI553563B (zh) * 2015-05-25 2016-10-11 義隆電子股份有限公司 指紋辨識裝置
KR101670894B1 (ko) 2015-05-27 2016-10-31 (주)파트론 반도체 패키지의 제조 방법
CN105447442B (zh) 2015-06-10 2017-08-04 比亚迪股份有限公司 调整指纹检测芯片激励电压的方法和装置
TWI537837B (zh) * 2015-06-11 2016-06-11 南茂科技股份有限公司 指紋辨識晶片封裝結構及其製作方法
CN108040494B (zh) 2015-06-23 2022-01-21 傲迪司威生物识别公司 双面指纹传感器
CN106356348A (zh) * 2015-07-24 2017-01-25 晨星半导体股份有限公司 电容式传感器结构、具电容式传感器的电路板结构以及电容式传感器的封装结构
US9704012B2 (en) * 2015-09-10 2017-07-11 Cypress Semiconductor Corporation Fingerprint sensor pattern
US10649572B2 (en) 2015-11-03 2020-05-12 Microsoft Technology Licensing, Llc Multi-modal sensing surface
US10955977B2 (en) 2015-11-03 2021-03-23 Microsoft Technology Licensing, Llc Extender object for multi-modal sensing
US10338753B2 (en) 2015-11-03 2019-07-02 Microsoft Technology Licensing, Llc Flexible multi-layer sensing surface
US9740908B2 (en) * 2015-11-09 2017-08-22 Contek Life Science Co., Ltd. Capacitive fingerprint sensor and package method thereof
US9898645B2 (en) 2015-11-17 2018-02-20 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Fingerprint sensor device and method
TWI597670B (zh) * 2016-01-06 2017-09-01 晨星半導體股份有限公司 指紋辨識電極結構
US9792516B2 (en) * 2016-01-26 2017-10-17 Next Biometrics Group Asa Flexible card with fingerprint sensor
KR102592972B1 (ko) * 2016-02-12 2023-10-24 삼성전자주식회사 센싱 모듈 기판 및 이를 포함하는 센싱 모듈
US9914066B2 (en) 2016-03-07 2018-03-13 Microsoft Technology Licensing, Llc Electromagnetically coupled building blocks
US9773153B1 (en) * 2016-03-24 2017-09-26 Fingerprint Cards Ab Fingerprint sensor module
SE539668C2 (en) * 2016-06-01 2017-10-24 Fingerprint Cards Ab Fingerprint sensing device and method for manufacturing a fingerprint sensing device
US10426672B2 (en) * 2016-08-26 2019-10-01 Vener8 Technologies Moisture detection and notification system
CN107844732A (zh) * 2016-09-18 2018-03-27 敦泰电子有限公司 一种指纹感测器、指纹感测模组和电子设备
US10274449B2 (en) * 2016-10-17 2019-04-30 Robert Bosch Gmbh Capacitive moisture sensor system for a surveillance camera
US9922231B1 (en) * 2016-11-17 2018-03-20 Fingerprint Cards Ab Fingerprint sensing with voltage pattern configurations
US10102412B2 (en) * 2016-11-17 2018-10-16 Fingerprint Cards Ab Fingerprint sensing with different capacitive configurations
US10852292B2 (en) * 2016-12-02 2020-12-01 Sony Semiconductor Solutions Corporation Semiconductor apparatus and potential measuring apparatus
US11610429B2 (en) 2016-12-15 2023-03-21 Fingerprint Cards Anacatum Ip Ab Fingerprint sensing module and method for manufacturing the fingerprint sensing module
US10395164B2 (en) 2016-12-15 2019-08-27 Fingerprint Cards Ab Fingerprint sensing module and method for manufacturing the fingerprint sensing module
US11023702B2 (en) 2016-12-15 2021-06-01 Fingerprint Cards Ab Fingerprint sensing module and method for manufacturing the fingerprint sensing module
US11304652B2 (en) * 2017-02-03 2022-04-19 Bbi Medical Innovations, Llc Measurement of tissue viability
DK3515306T3 (da) 2017-02-03 2025-01-27 Bbi Medical Innovations Llc Måling af modtagelighed for diabetiske fodsår
EP4162868A1 (en) 2017-02-03 2023-04-12 Bruin Biometrics, LLC Measurement of edema
KR101989457B1 (ko) * 2017-02-28 2019-06-14 동우 화인켐 주식회사 고성능 터치 센서 및 그 제조방법
US11250307B2 (en) 2017-03-23 2022-02-15 Idex Biometrics Asa Secure, remote biometric enrollment
US10282651B2 (en) 2017-03-23 2019-05-07 Idex Asa Sensor array system selectively configurable as a fingerprint sensor or data entry device
TWI634527B (zh) * 2017-05-23 2018-09-01 財團法人工業技術研究院 感測系統
FR3069081B1 (fr) 2017-07-17 2021-08-20 Safran Identity & Security Carte electronique comprenant un capteur d'empreinte et procede de fabrication d'une telle carte
TWI633480B (zh) * 2017-08-07 2018-08-21 致伸科技股份有限公司 指紋辨識觸控屏
CN111344714B (zh) 2017-09-19 2022-03-25 傲迪司威生物识别公司 适合集成到电子设备中的双面传感器模块
TWI626599B (zh) * 2017-09-26 2018-06-11 速博思股份有限公司 小曲率半徑指紋偵測器結構
AU2018368707B2 (en) 2017-11-16 2024-03-07 Bruin Biometrics, Llc Strategic treatment of pressure ulcer using sub-epidermal moisture values
WO2019116233A1 (en) 2017-12-12 2019-06-20 Idex Asa Power source for biometric enrollment with status indicators
GB2573267B (en) 2018-03-12 2023-02-15 Idex Biometrics Asa Power management
HUE066478T2 (hu) 2018-02-09 2024-08-28 Bruin Biometrics Llc Szöveti károsodás észlelése
CN112203824B (zh) * 2018-06-07 2022-04-19 指纹卡安娜卡敦知识产权有限公司 包括指纹传感器的智能卡以及用于制造智能卡的方法
DE102018118765A1 (de) * 2018-08-02 2020-02-06 Endress+Hauser SE+Co. KG Hochfrequenzbaustein
FI128364B (en) * 2018-09-28 2020-04-15 Forciot Oy Sensor connected to stretch wiring
IL319197A (en) 2018-10-11 2025-04-01 Bruin Biometrics Llc Device with a single-use component
FR3095285B1 (fr) * 2019-04-19 2022-11-11 Linxens Holding Module de capteur biométrique pour carte à puce et procédé de fabrication d’un tel module
FR3095287B1 (fr) * 2019-04-19 2022-11-04 Linxens Holding Module de capteur biométrique pour carte à puce et procédé de fabrication d’un tel module
CN110298333B (zh) * 2019-07-05 2021-08-31 京东方科技集团股份有限公司 一种指纹识别单元及设备、指纹识别方法
US20210081743A1 (en) 2019-08-12 2021-03-18 Federal Card Services, LLC Dual interface metal cards and methods of manufacturing
US12277462B2 (en) 2019-08-14 2025-04-15 Federal Card Services, LLC Metal-containing dual interface smartcards
US11113593B2 (en) 2019-08-15 2021-09-07 Federal Card Services; LLC Contactless metal cards with fingerprint sensor and display
DE102019128464A1 (de) * 2019-10-22 2021-04-22 Infineon Technologies Ag Sensoreinrichtung, Verfahren zum Bilden einer Sensoreinrichtung, Chipkarte und Verfahren zum Bilden einer Chipkarte
US11341385B2 (en) 2019-11-16 2022-05-24 Federal Card Services, LLC RFID enabled metal transaction card with shaped opening and shaped slit
US11187721B2 (en) * 2020-02-03 2021-11-30 Sunasic Technologies, Inc. Contactor for testing electronic device
FR3111215B1 (fr) * 2020-06-04 2022-08-12 Linxens Holding Module de capteur biométrique pour carte à puce et procédé de fabrication d’un tel module
MX2023009108A (es) 2021-02-03 2023-08-09 Bruin Biometrics Llc Métodos de tratamiento de daño tisular inducido por presión en estadio profundo y temprano.
TW202234627A (zh) * 2021-02-24 2022-09-01 安帝司股份有限公司 指紋辨識晶片模組的封裝結構與其製作方法
EP4352680A4 (en) 2021-05-20 2025-03-19 Idex Biometrics Asa Transaction authorization using biometric identity verification
TWI778719B (zh) * 2021-07-22 2022-09-21 王士華 指紋感測器及其製造方法
CN113642458B (zh) * 2021-08-12 2023-07-07 业成科技(成都)有限公司 指纹识别感测器
TWI767835B (zh) * 2021-09-07 2022-06-11 恆勁科技股份有限公司 智慧卡指紋辨識模組封裝結構及其製造方法
WO2023131609A1 (en) 2022-01-04 2023-07-13 Idex Biometrics Asa Antenna extender
EP4318415A1 (en) * 2022-08-03 2024-02-07 IDSpire Corporation Ltd. Fingerprint recognition module
US12321556B1 (en) 2022-08-10 2025-06-03 Apple Inc. Touch sensor panel with reduced dimensions and cross-coupling

Family Cites Families (141)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4353056A (en) * 1980-06-05 1982-10-05 Siemens Corporation Capacitive fingerprint sensor
SE425704B (sv) 1981-03-18 1982-10-25 Loefberg Bo Databerare
JPH0652206B2 (ja) 1986-03-28 1994-07-06 工業技術院長 静電容量型圧力分布測定装置
US5399898A (en) 1992-07-17 1995-03-21 Lsi Logic Corporation Multi-chip semiconductor arrangements using flip chip dies
US5108819A (en) 1990-02-14 1992-04-28 Eli Lilly And Company Thin film electrical component
DE4125270A1 (de) 1991-07-31 1993-02-04 Bayer Ag Chinolin-2-yl-methoxybenzylhydroxyharnstoffe
US5861875A (en) 1992-07-13 1999-01-19 Cirque Corporation Methods and apparatus for data input
US5559504A (en) * 1993-01-08 1996-09-24 Kabushiki Kaisha Toshiba Surface shape sensor, identification device using this sensor, and protected system using this device
US5371404A (en) 1993-02-04 1994-12-06 Motorola, Inc. Thermally conductive integrated circuit package with radio frequency shielding
DE4310390C2 (de) 1993-03-30 1995-03-16 Topping Best Ltd Ultraschallabbildungsvorrichtung zur Erfassung und/oder Identifikation von Oberflächenstrukturen und oberflächennahen Strukturen
GB9308665D0 (en) 1993-04-27 1993-06-09 Ross William L Sensor
FR2716281B1 (fr) 1994-02-14 1996-05-03 Gemplus Card Int Procédé de fabrication d'une carte sans contact.
US5509083A (en) 1994-06-15 1996-04-16 Nooral S. Abtahi Method and apparatus for confirming the identity of an individual presenting an identification card
DE59611233D1 (de) 1995-08-01 2005-07-14 Austria Card Datenträger mit einem einen bauteil aufweisenden modul und mit einer spule und verfahren zum herstellen eines solchen datenträgers
FR2739977B1 (fr) 1995-10-17 1998-01-23 France Telecom Capteur monolithique d'empreintes digitales
US6016355A (en) 1995-12-15 2000-01-18 Veridicom, Inc. Capacitive fingerprint acquisition sensor
US5956415A (en) 1996-01-26 1999-09-21 Harris Corporation Enhanced security fingerprint sensor package and related methods
US5963679A (en) 1996-01-26 1999-10-05 Harris Corporation Electric field fingerprint sensor apparatus and related methods
FR2746201A1 (fr) 1996-03-13 1997-09-19 Seagate Technology Carte de credit destinee a etre utilisee dans un systeme faisant appel a des empreintes digitales pour assurer la protection contre une manoeuvre frauduleuse, et procede d'utilisation de cette carte
FR2749955B1 (fr) * 1996-06-14 1998-09-11 Thomson Csf Systeme de lecture d'empreintes digitales
JP3434415B2 (ja) 1996-07-05 2003-08-11 アルプス電気株式会社 座標入力装置
US6020749A (en) 1996-11-12 2000-02-01 Hewlett-Packard Company Method and apparatus for performing testing of double-sided ball grid array devices
DE19710144C2 (de) 1997-03-13 1999-10-14 Orga Kartensysteme Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Chipkarte und nach dem Verfahren hergestellte Chipkarte
US5920640A (en) 1997-05-16 1999-07-06 Harris Corporation Fingerprint sensor and token reader and associated methods
US5953441A (en) 1997-05-16 1999-09-14 Harris Corporation Fingerprint sensor having spoof reduction features and related methods
NO304766B1 (no) 1997-06-16 1999-02-08 Sintef Fingeravtrykksensor
JP2959532B2 (ja) 1997-06-30 1999-10-06 日本電気株式会社 静電容量検出方式の指紋画像入力装置
US6071597A (en) * 1997-08-28 2000-06-06 3M Innovative Properties Company Flexible circuits and carriers and process for manufacture
US6483931B2 (en) 1997-09-11 2002-11-19 Stmicroelectronics, Inc. Electrostatic discharge protection of a capacitve type fingerprint sensing array
JP3102395B2 (ja) 1997-11-27 2000-10-23 日本電気株式会社 指紋検出装置
US7663607B2 (en) 2004-05-06 2010-02-16 Apple Inc. Multipoint touchscreen
DE19803020C2 (de) 1998-01-27 1999-12-02 Siemens Ag Chipkartenmodul für biometrische Sensoren
FR2774617B1 (fr) 1998-02-06 2000-05-05 St Microelectronics Sa Procede et machine d'usinage d'une cavite dans une carte a puce electronique renfermant une antenne
NO307065B1 (no) 1998-02-26 2000-01-31 Idex As Fingeravtrykksensor
EP0941696A1 (de) 1998-03-03 1999-09-15 Siemens Aktiengesellschaft Fingertippsensor mit integriertem Tastschalter
US6026564A (en) 1998-04-10 2000-02-22 Ang Technologies Inc. Method of making a high density multilayer wiring board
DE19831565C1 (de) 1998-07-14 1999-10-28 Muehlbauer Ag Verfahren zum Freilegen von Antennenanschlußflächen einer Chipkarte
JP2002523789A (ja) * 1998-08-31 2002-07-30 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 金属の微細構造の製造方法および指紋を検出するためのセンサー装置の製造における該方法の適用
DE19842835A1 (de) 1998-09-18 2000-04-20 Weidmueller Interface Funktionsmodul
US6346739B1 (en) 1998-12-30 2002-02-12 Stmicroelectronics, Inc. Static charge dissipation pads for sensors
JP2000262494A (ja) * 1999-03-19 2000-09-26 Toshiba Corp 指形状照合用半導体装置
DE19921231A1 (de) 1999-05-07 2000-11-09 Giesecke & Devrient Gmbh Fingerabdrucksensor für Chipkarte
US6683971B1 (en) 1999-05-11 2004-01-27 Authentec, Inc. Fingerprint sensor with leadframe bent pin conductive path and associated methods
US6628812B1 (en) 1999-05-11 2003-09-30 Authentec, Inc. Fingerprint sensor package having enhanced electrostatic discharge protection and associated methods
DE60032286T8 (de) 1999-06-10 2007-09-27 Nippon Telegraph And Telephone Corp. Gerät zur Erkennung von Oberflächengestalten
US6423995B1 (en) 1999-07-26 2002-07-23 Stmicroelectronics, Inc. Scratch protection for direct contact sensors
US6459424B1 (en) 1999-08-10 2002-10-01 Hewlett-Packard Company Touch-sensitive input screen having regional sensitivity and resolution properties
DE19939347C1 (de) 1999-08-19 2001-02-15 Orga Kartensysteme Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Chipkarte und nach dem Verfahren hergestellte Chipkarte
JP4253826B2 (ja) 1999-09-07 2009-04-15 カシオ計算機株式会社 画像読取装置
US7030860B1 (en) 1999-10-08 2006-04-18 Synaptics Incorporated Flexible transparent touch sensing system for electronic devices
KR200184982Y1 (ko) 1999-11-08 2000-06-15 삼성전자주식회사 지문인식기능을 가지는 디스플레이장치
US6325285B1 (en) 1999-11-12 2001-12-04 At&T Corp. Smart card with integrated fingerprint reader
US6512381B2 (en) 1999-12-30 2003-01-28 Stmicroelectronics, Inc. Enhanced fingerprint detection
JP3713418B2 (ja) 2000-05-30 2005-11-09 光正 小柳 3次元画像処理装置の製造方法
US7184581B2 (en) 2000-06-09 2007-02-27 Idex Asa System for real time finger surface pattern measurement
NO316482B1 (no) 2000-06-09 2004-01-26 Idex Asa Navigasjonsverktöy for kobling til en skjerminnretning
NO315016B1 (no) * 2000-06-09 2003-06-23 Idex Asa Miniatyrisert sensor
NO20003006L (no) 2000-06-09 2001-12-10 Idex Asa Mus
NO315017B1 (no) 2000-06-09 2003-06-23 Idex Asa Sensorbrikke, s¶rlig for måling av strukturer i en fingeroverflate
GB2371264A (en) 2001-01-18 2002-07-24 Pioneer Oriental Engineering L Smart card with embedded antenna
JP4087125B2 (ja) 2001-03-07 2008-05-21 シャープ株式会社 凹凸パターン検出素子
US6525547B2 (en) 2001-04-17 2003-02-25 Sentronics Corporation Capacitive two dimensional sensor
US6515488B1 (en) 2001-05-07 2003-02-04 Stmicroelectronics, Inc. Fingerprint detector with scratch resistant surface and embedded ESD protection grid
JP4765226B2 (ja) * 2001-08-20 2011-09-07 ソニー株式会社 指紋検出装置及びその製造方法
JP2003058872A (ja) 2001-08-21 2003-02-28 Sony Corp 指紋検出装置、その製造方法及び成膜装置
US8266451B2 (en) 2001-08-31 2012-09-11 Gemalto Sa Voice activated smart card
US6939735B2 (en) * 2001-09-13 2005-09-06 Tessera Inc. Microelectronic assembly formation with releasable leads
US6693441B2 (en) * 2001-11-30 2004-02-17 Stmicroelectronics, Inc. Capacitive fingerprint sensor with protective coating containing a conductive suspension
NO316776B1 (no) 2001-12-07 2004-05-03 Idex Asa Pakkelosning for fingeravtrykksensor
DE60214044T2 (de) 2001-12-07 2007-02-15 Idex Asa Sensor für messungen an nassen und trockenen fingern
US20050100938A1 (en) 2002-03-14 2005-05-12 Infineon Technologies Ag Vertical impedance sensor arrangement and method for producing a vertical impedance sensor arrangement
JP2003288573A (ja) 2002-03-27 2003-10-10 Seiko Epson Corp Icカード及びその製造方法
EP1351288B1 (en) 2002-04-05 2015-10-28 STMicroelectronics Srl Process for manufacturing an insulated interconnection through a body of semiconductor material and corresponding semiconductor device
DE10221214A1 (de) 2002-05-13 2003-11-27 Orga Kartensysteme Gmbh Chipmodul
US7076089B2 (en) * 2002-05-17 2006-07-11 Authentec, Inc. Fingerprint sensor having enhanced ESD protection and associated methods
JP4101801B2 (ja) 2002-06-24 2008-06-18 シーメンス アクチエンゲゼルシャフト バイオセンサーアレイおよびその使用方法
US7543156B2 (en) 2002-06-25 2009-06-02 Resilent, Llc Transaction authentication card
JP3971674B2 (ja) 2002-07-10 2007-09-05 富士通株式会社 接触型センサ内蔵半導体装置及びその製造方法
CZ2005209A3 (cs) 2002-09-10 2005-12-14 Ivi Smart Technologies, Inc. Bezpečné biometrické ověření identity
DE10248394A1 (de) 2002-10-17 2004-05-13 Giesecke & Devrient Gmbh Tragbarer elektronischer Datenträger
NO20025803D0 (no) 2002-12-03 2002-12-03 Idex Asa Levende finger
DE10257111B4 (de) 2002-12-05 2005-12-22 Mühlbauer Ag Chipkarte und Verfahren zur Herstellung einer Chipkarte
FI20030102A0 (fi) 2003-01-22 2003-01-22 Nokia Corp Henkilön varmennusjärjestely
FI115109B (fi) * 2003-01-22 2005-02-28 Nokia Corp Tunnistusjärjestely ja tunnistusjärjestelyn käsittävä matkaviestin
SE526366C3 (sv) 2003-03-21 2005-10-26 Silex Microsystems Ab Elektriska anslutningar i substrat
JP3775601B2 (ja) 2003-04-17 2006-05-17 セイコーエプソン株式会社 静電容量検出装置及びその駆動方法、指紋センサ並びにバイオメトリクス認証装置
KR20030043840A (ko) 2003-04-25 2003-06-02 (주)실리콘이미지웍스 지문인식센서를 구비한 휴대 통신단말기
JP3858864B2 (ja) 2003-08-29 2006-12-20 セイコーエプソン株式会社 静電容量検出装置
US7028893B2 (en) 2003-12-17 2006-04-18 Motorola, Inc. Fingerprint based smartcard
KR100564915B1 (ko) 2004-02-10 2006-03-30 한국과학기술원 정전용량방식 지문센서 및 이를 이용한 지문 센싱방법
EP1766547B1 (en) * 2004-06-18 2008-11-19 Fingerprint Cards AB Fingerprint sensor element
JP4443334B2 (ja) 2004-07-16 2010-03-31 Towa株式会社 半導体素子の樹脂封止成形方法
EP1800243B1 (en) 2004-10-04 2010-08-11 Validity Sensors, Inc. Fingerprint sensing assemblies comprising a substrate
WO2006071798A1 (en) 2004-12-23 2006-07-06 Touchsensor Technologies, Llc Track position sensor and method
JP2006184104A (ja) 2004-12-27 2006-07-13 Alps Electric Co Ltd 容量センサ
JP4731191B2 (ja) * 2005-03-28 2011-07-20 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置及び半導体装置の製造方法
CN100374991C (zh) 2005-03-31 2008-03-12 联想(北京)有限公司 一种便携式键盘及其指纹特征信息提取方法
DE102005020092A1 (de) 2005-04-29 2006-11-16 Giesecke & Devrient Gmbh Verfahren zur Herstellung eines tragbaren Datenträgers
JP2007010338A (ja) 2005-06-28 2007-01-18 Alps Electric Co Ltd 面圧分布センサ
CN1889103A (zh) 2005-06-29 2007-01-03 上海雷硕医疗器械有限公司 一种电子病历保密智能卡
WO2007003301A1 (en) 2005-07-01 2007-01-11 Fabrizio Borracci Universal smart card
JP2007018168A (ja) 2005-07-06 2007-01-25 Murata Mach Ltd 生体認証装置及び画像処理装置
US8899487B2 (en) 2005-08-18 2014-12-02 Ivi Holdings Ltd. Biometric identity verification system and method
EP1775674A1 (en) 2005-10-11 2007-04-18 Aimgene Technology Co., Ltd. Press-trigger fingerprint sensor module
US7868874B2 (en) 2005-11-15 2011-01-11 Synaptics Incorporated Methods and systems for detecting a position-based attribute of an object using digital codes
WO2007089207A1 (en) 2006-02-01 2007-08-09 Silex Microsystems Ab Methods for making a starting substrate wafer for semiconductor engineering having wafer through connections
CN101410877B (zh) * 2006-03-27 2012-05-23 法布里兹奥·博拉希 一种制作安全个人卡及其工作程序的方法
CN101535870A (zh) * 2006-08-01 2009-09-16 麦克罗-D有限公司 制造智能卡的方法、根据该方法制造的智能卡和特别供这样的智能卡使用的lcd
KR101270379B1 (ko) 2006-10-18 2013-06-05 삼성전자주식회사 잠금 장치를 구비한 휴대용 단말기의 기능실행 방법
JP2008134836A (ja) 2006-11-28 2008-06-12 Wacom Co Ltd タッチパネル装置
US20080185193A1 (en) 2007-01-30 2008-08-07 Jao-Ching Lin Touch pad structure
DE102007016779B4 (de) 2007-04-04 2015-03-19 Bundesdruckerei Gmbh Verfahren zur Herstellung von Kavitäten in Sicherheitsdokumenten, insbesondere Chipkarten
US8860683B2 (en) 2007-04-05 2014-10-14 Cypress Semiconductor Corporation Integrated button activation sensing and proximity sensing
EP2158607A1 (en) 2007-06-19 2010-03-03 SiliconFile Technologies Inc. Pixel array preventing the cross talk between unit pixels and image sensor using the pixel
TWI341020B (en) * 2007-08-10 2011-04-21 Egis Technology Inc Fingerprint sensing chip having a flexible circuit board serving as a signal transmission structure and method of manufacturing the same
EP2073154A1 (en) 2007-12-20 2009-06-24 Gemalto SA Biometric micro-module
US20090199004A1 (en) 2008-01-31 2009-08-06 Mark Stanley Krawczewicz System and method for self-authenticating token
TW200935320A (en) * 2008-02-01 2009-08-16 Acer Inc Method of switching operation modes of fingerprint sensor, electronic apparatus using the method and fingerprint sensor thereof
JP2009199318A (ja) 2008-02-21 2009-09-03 Alps Electric Co Ltd 入力装置
US8116540B2 (en) 2008-04-04 2012-02-14 Validity Sensors, Inc. Apparatus and method for reducing noise in fingerprint sensing circuits
CN101383704A (zh) 2008-04-23 2009-03-11 鲁东大学 基于指纹识别技术的密码模块
TW200949714A (en) * 2008-05-22 2009-12-01 Moredna Technology Co Ltd Wireless finger-print reading apparatus by pressing actuation
CN102037477B (zh) 2008-05-22 2015-11-25 卡德赖博私人有限公司 指纹读取器及其操作方法
US20100117224A1 (en) * 2008-08-29 2010-05-13 Vertical Circuits, Inc. Sensor
NO20083766L (no) * 2008-09-01 2010-03-02 Idex Asa Overflatesensor
TW201036124A (en) * 2009-03-20 2010-10-01 Advanced Semiconductor Eng Package structure and manufacturing method thereof
HK1138478A2 (zh) * 2009-06-18 2010-08-20 耀光联有限公司 一种密码输入装置
US9400911B2 (en) 2009-10-30 2016-07-26 Synaptics Incorporated Fingerprint sensor and integratable electronic display
US9274553B2 (en) 2009-10-30 2016-03-01 Synaptics Incorporated Fingerprint sensor and integratable electronic display
US9336428B2 (en) 2009-10-30 2016-05-10 Synaptics Incorporated Integrated fingerprint sensor and display
PL2341471T3 (pl) 2009-12-28 2013-08-30 Nagravision Sa Sposób wytwarzania kart elektronicznych
NO20093601A1 (no) 2009-12-29 2011-06-30 Idex Asa Overflatesensor
EP2397972B1 (en) 2010-06-08 2015-01-07 Vodafone Holding GmbH Smart card with microphone
JP5700511B2 (ja) 2010-10-07 2015-04-15 埼玉日本電気株式会社 携帯端末、認証方法、及びプログラム
US8743082B2 (en) 2010-10-18 2014-06-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller architecture for combination touch, handwriting and fingerprint sensor
JP2012227328A (ja) 2011-04-19 2012-11-15 Sony Corp 半導体装置、半導体装置の製造方法、固体撮像装置及び電子機器
US9153490B2 (en) 2011-07-19 2015-10-06 Sony Corporation Solid-state imaging device, manufacturing method of solid-state imaging device, manufacturing method of semiconductor device, semiconductor device, and electronic device
US9152838B2 (en) 2012-03-29 2015-10-06 Synaptics Incorporated Fingerprint sensor packagings and methods
US9030440B2 (en) 2012-05-18 2015-05-12 Apple Inc. Capacitive sensor packaging
NO20131423A1 (no) 2013-02-22 2014-08-25 Idex Asa Integrert fingeravtrykksensor
NO340311B1 (no) 2013-02-22 2017-03-27 Idex Asa Integrert fingeravtrykksensor

Also Published As

Publication number Publication date
WO2011080262A1 (en) 2011-07-07
TWI511052B (zh) 2015-12-01
US20150136860A1 (en) 2015-05-21
TW201140467A (en) 2011-11-16
US20130194071A1 (en) 2013-08-01
CN102782700A (zh) 2012-11-14
US20190251322A1 (en) 2019-08-15
US20160104024A1 (en) 2016-04-14
US10762322B2 (en) 2020-09-01
EP2519913A1 (en) 2012-11-07
EP2975554A3 (en) 2016-03-23
JP5753857B2 (ja) 2015-07-22
JP2013516012A (ja) 2013-05-09
EP2975554A2 (en) 2016-01-20
US9122901B2 (en) 2015-09-01
US9396379B2 (en) 2016-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO20093601A1 (no) Overflatesensor
EP2332095B1 (en) Surface sensor
US9773153B1 (en) Fingerprint sensor module
NO315017B1 (no) Sensorbrikke, s¶rlig for måling av strukturer i en fingeroverflate
US8618814B2 (en) High bandwidth passive switching current sensor
US9818014B2 (en) Surface sensor
US20200097694A1 (en) Fingerprint sensor module and method for manufacturing a fingerprint sensor module
CN108780787B (zh) 具有集成应变计的部件承载件
KR20170126336A (ko) 지문인식센서 패키지 및 그 제조 방법
WO2018218670A1 (zh) 指纹芯片封装模组、指纹识别模组和封装方法
CN204792763U (zh) 指纹传感器模块及具有该模块的便携式电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
FC2A Withdrawal, rejection or dismissal of laid open patent application