MX2008015641A

MX2008015641A - Metodo y aparato para la remocion de fluor de una corriente de gas.

Info

Publication number: MX2008015641A
Application number: MX2008015641A
Authority: MX
Inventors: Andrew James Seeley
Original assignee: Edwards Ltd
Priority date: 2006-06-16
Filing date: 2007-05-23
Publication date: 2009-01-09
Also published as: CN101472666B; EP2029259A1; US20100290966A1; SG174807A1; JP5347183B2; WO2007144665A1; KR20090030262A; TW200806383A; EP2029259B1; TWI434729B; JP2009540126A; KR20140040862A; CN101472666A; GB0611968D0

Abstract

Se presenta un método para la remoción de un gas fluorinado a partir de una corriente de gas (1), dicho método comprende los pasos de: transportar la corriente de gas (1) que contiene el gas fluorinado hasta una región de combustión (2), descomponer el gas fluorinado en la región de combustión (2), arrastrar una sal de calcio (4) que puede reaccionar con los productos de descomposición de gas fluorinado en la corriente de gas para reaccionar con los productos de descomposición de gas fluorinado para formar fluoruro de calcio y después remover (10) la sal de fluoruro de calcio de la corriente de gas,.

Description

MÉTODO Y APARATO PARA LA REMOCIÓN DE FLÚOR DE UNA CORRIENTE DE GAS La presente invención se refiere a la remoción de flúor de una corriente de gas, y es particularmente útil en la remoción de flúor de gases que contienen flúor que se escapan de una herramienta de proceso utilizada en la industria de los semiconductores o en la industria de los paneles planos. CF4, C2F6, NF3, SF6 y flúor molecular (F2) se utilizan comúnmente como gases precursores de agente de grabado en la industria de los semiconductores y en la industria de los paneles planos para proporcionar una fuente de especie de flúor excitado para procesos como, por ejemplo, el grabado ácido de capa dieléctrica y limpieza de cámara. En la mayoría de los casos, especies de flúor excitadas tales como flúor atómico se forman in-situ, o corriente arriba de una cámara, para reaccionar con depósitos indeseados y formar compuestos fluorinados volátiles fácilmente removidos por bombeo. Sin embargo, el uso de gas en estos pasos es frecuentemente ineficiente y por consiguiente la corriente de gas efluyente proveniente de la herramienta puede tener una cantidad residual ya sea de gas precursor fluorinado o bien una gama de otros subproductos de la reacción fluorinados gaseosos . Debido a su toxicidad y/o su potencial extremadamente elevado de calentamiento global, los gases fluorinados no utilizados y los subproductos de reacción fluorinados _ deben ser removidos (reducidos) a partir de la mezcla de gas de escape de cámara antes de su liberación a la atmósfera. Actualmente, la reducción se lleva a cabo habitualmente mediante técnicas de combustión, en dispositivos tales como quemadores de combustión interna, quemadores calentados eléctricamente, quemadores de flama abierta o dispositivos de reducción de plasma. En estos dispositivos, los gases de escape provenientes de la cámara de proceso pasan hacia una zona reactiva en donde hay suficiente energía y especies reactivas, en forma de calor y gases combustibles/oxidantes, respectivamente, para efectuar la conversión de los gases fluorinados en ácido fluorhídrico (HF) . Para cumplir con las metas estrictas de emisión, el ácido fluorhídrico debe ser entonces removido de la corriente de gas lo que se efectúa frecuentemente con lavadores húmedos. Requieren de grandes volúmenes de agua para disolver el HF que es subsiguientemente removido del agua por reacción con sales de calcio en forma de un precipitado de fluoruro de calcio (CaF2) . El precipitado es separado del agua por decantación y "formación de torta" permitiendo la reutilización del agua o el pasaje del agua hacia el sistema de alcantarillado. El ácido fluorhídrico puede también ser removido pasando los gases de escape desde el dispositivo de destrucción por combustión a través de una cama de reacción seca de sales de calcio que son frecuentemente ineficientes debido a la formación de una capa de fluoruro de calcio en la superficie de la cama, lo que la vuelve infranqueable para reacción adicional. Es la intención de la presente invención descrita aquí resolver algunos de estos problemas. En el primer aspecto, la invención ofrece un método para remover un gas fluorinado de una corriente de gas, dicho método comprende los pasos de: transportar la corriente de gas que contiene el gas fluorinado hacia una región de combustión, descomponer el gas fluorinado en la región de combustión, arrastrar una sal de calcio que puede reaccionar con los productos de descomposición de gas fluorinado en la corriente de gas para reaccionar con los productos de descomposición de gas fluorinado para formar fluoruro de calcio y remover después la sal de fluoruro de calcio de la corriente de gas. Esto ofrece un método novedoso para la remoción de gases fluorinados tales como flúor molecular (F2) y gases perfluorinados (por ejemplo, trifluoruro de nitrógeno (NF3) , tetrafluoruro de carbono (CF4), hexafluoroetano (C2F6) , tetrafluoruro de silicio (SiF4) , y hexafluoruro de azufre (SF6) ) de una corriente de gas. El método reduce de manera provechosa el requisito de métodos de tratamiento de agua de etapas múltiples costosos o reactores de cama seca ineficientes para remover los productos de descomposición (reducción) fluorinados de la corriente de gas al salir de la región de combustión. La región de combustión es preferentemente, pero sin limitarse a esto, un región de combustión de dispositivos tales como quemadores de combustión interna, quemadores calentados eléctricamente, quemadores de flama abierta, plasmas DC y reactores de plasma de microondas. Tales dispositivos se están utilizando ya ampliamente para la destrucción (reducción) de gases fluorinados, y podrían ser provechosamente equipados con dispositivos de arrastre de fluoruro de calcio, permitiendo por consiguiente al usuario ahorrar energía sin necesidad de un gasto de capital adicional importante. Las sales de calcio pueden ser arrastradas en la corriente gaseosa que contiene el gas fluorinado antes de su ingreso a la región de combustión; cuando está adentro de la región de combustión; o bien cuando ha salido de la región de combustión. Las sales de calcio son preferentemente arrastradas en la corriente de gas ya sea dentro o cerca de la salida de la región de combustión puesto que las condiciones térmicas presentes mejoran la reacción entre la sal de calcio y los productos de descomposición de gas fluorinado . Las sales de calcio pueden ser arrastradas en la corriente de gas que contiene el gas fluorinado utilizando muchos de los métodos conocidos por las personas con conocimientos en la materia como, por ejemplo, técnicas de pulverización con aire, técnicas de rociado con atomización, técnicas de rociado simple y técnicas de vaporización. Un gas portador puede también utilizarse para arrastrar la sal de calcio en corriente de gas, incluyendo aire, nitrógeno, hidrógeno, oxigeno, metano, butano. El uso de cualquier de un gas portador reductor o gas portador oxidante puede mejorar de manera provechosa la reacción entre las sales de calcio y los productos de descomposición fluorinados . La sal de calcio o sus productos de descomposición pueden reaccionar con los productos de descomposición fluorinados formados en la región de combustión para formar fluoruro de calcio, preferentemente sin producción de cantidades sustanciales de subproductos gaseosos adicionales indeseados tales como ácidos NOx que requerirían de técnicas de lavado adicionales costosas. Por ejemplo CaO (Cal), CaC03, Ca(OH)2 (Cal Apagada) , y sales de órgano-calcio como por ejemplo Ca (CH3CH2CO2) 2 · H20. El fluoruro de calcio puede ser removido entonces de la corriente de gas mediante la utilización de uno o varios de los dispositivos siguientes: filtro, ciclón y precipitador electroestático . En aparatos en los cuales se favorecen la técnica de atomización o técnica de rociado simple, es preferible utilizar acetato de calcio, Ca (CH3CH2CO2) 2 · H20, puesto que forma fácilmente una solución acuosa concentrada, optimizando por consiguiente la cantidad de calcio ilimitando la cantidad de agua alimentada al aparato y asegurando que la sal de fluoruro de calcio formada por reacción con los productos de descomposición de gas fluorinado permanece sustancialmente seca. La remoción de fluoruro de calcio de la corriente de gas puede efectuarse ya sea in-situ a través de un dispositivo local al dispositivo de combustión o bien mediante una unidad de lavador localizada a distancia del dispositivo de combustión, lo que permite remover el fluoruro de calcio de varios dispositivos de combustión en un área centralizada, reduciendo por consiguiente el riesgo de contaminación por partículas de las áreas de procesamiento de semiconductor ultra limpias. Características preferidas de la presente invención se describirán a continuación a título de ejemplo con referencia a los dibujos adjuntos en los cuales: La Figura 1 ilustra un primer esquema para la remoción de gas fluorinado de una corriente de gas; La Figura 2 muestra una modalidad del esquema ilustrado en la Figura 1; La Figura 3 muestra una modalidad adicional del esquema ilustrado en la Figura 1; La Figura 4 ilustra un segundo esquema para la remoción de gas fluorinado a partir de una corriente de gas; La Figura 5 ilustra un tercer esquema para la remoción de gas fluorinado a partir de una corriente de gas. Los dibujos no están a escala. Las mismas partes en Figuras diferentes se refieren a continuación a través del mismo número de referencia. La Figura 1 ilustra esquemáticamente un aparato para la remoción de gas fluorinado a partir de una corriente de gas. El aparato comprende una trayectoria 1 para transportar una corriente de gas o corrientes de gas que contiene (n) gas fluorinado, por ejemplo, bombeado a partir de una herramienta de procesamiento de semiconductor o pantalla de panel plano a través de un sistema de bombeo de vacio (no ilustrado) hacia una región de combustión 2. La región de combustión 2 puede ser, por ejemplo, la región de combustión de un quemador de combustión interna, quemador calentado eléctricamente, quemador de flama abierta, reactor de plasma DC o reactor de plasma de microonda, en donde el gas fluorinado es convertido (reducido) a HF. La región de combustión 2 comprende también una entrada 4 para arrastrar una sal de calcio, por ejemplo, uno de los siguientes: oxido de calcio, cal apagada, carbonato de calcio y acetato de calcio, en la corriente de gas dentro de la región de combustión 2. La sal de calcio según su composición particular, puede ser arrastrada en la corriente de gas en la región de combustión 2 en forma de una solución, polvo o vapor por métodos bien conocidos en la técnica, como por ejemplo métodos de polvo soplado por aire, métodos de rociado por atomización y métodos de vaporización. La sal de calcio puede ser directamente arrastrada a la corriente de gas en la región de combustión o alternativamente puede ser arrastrada primero en una corriente de gas portador adicional que se alimenta después a la corriente de gas en la región de combustión 2 a través de la entrada 4. La sal de calcio, o sus productos de descomposición, reacciona con el HF en la región de combustión para formar fluoruro de calcio. La trayectoria 6 lleva la corriente de gas rica en fluoruro de calcio que sale de la región de combustión 2 al dispositivo de remoción de fluoruro de calcio 10 o a los dispositivos de remoción de fluoruro de calcio 10 en donde el fluoruro de calcio es removido de la corriente de gas, con una corriente de gas pobre en fluoruro de calcio saliendo del dispositivo de remoción 10 a través de la trayectoria 12. El dispositivo de remoción 10 puede ser, por ejemplo, un ciclón, filtro y precipitador electrostático, o combinaciones de ellos . Para remover el calor de la corriente de gas que sale de la región de combustión 2 asi como para asegurar que el fluoruro de calcio permanece portado en aire y por consiguiente se evita que se acumule en las superficies del aparato corriente arriba del dispositivo de remoción 10, se puede suministrar a la trayectoria 6, a través de la entrada 8, un gas de flujo opcional como por ejemplo aire, oxigeno o nitrógeno. La Figura 2 muestra una modalidad preferida de la sección de reducción del aparato esquemático ilustrado en la Figura 1. El aparato comprende una o varias entradas 14 para recibir una corriente de gas efluyente o varias corrientes de gas efluyentes que contiene (n) gas fluorinado. La corriente de gas efluyente o las varias corrientes de gas efluyentes que contiene (n) el gas fluorinado es transportada (son transportadas) a lo largo de las trayectorias 1 hacia las boquillas 16 a partir de las cuales la corriente efluyente es inyectada en una región de combustión 2. En la modalidad ilustrada, se muestran dos entradas 14 para recibir dos corrientes de gas efluyentes que contienen gas fluorinado proveniente de dos sistemas de bombeo conectados, por ejemplo, a dos cámaras de procesamiento. Alternativamente, la corriente de gas efluyente proveniente de una cámara puede ser "dividida" y transportada a cada una de las entradas 14. La modalidad preferida comprende 4 entradas 14. Cada boquilla 16 esta colocada dentro de una perforación respectiva 18 formada en una placa superior 20 de cerámica que define la superficie superior (como se muestra) de la región de combustión 2. La región de combustión 2 esta dentro de los límites de la superficie de salida de un elemento de quemador 22 foraminoso tal como lo descrito en el documento EP-A-0 694 735. Un volumen de pleno 24 se forma entre el quemador y una envoltura externa cilindrica 3. Una mezcla de gas combustible como por ejemplo gas natural, o hidrocarburo, y aire es introducida en el volumen 24 a través de una o varias boquillas de entrada (no ilustrada) de tal manera que, en uso, la mezcla de gas combustible y aire se queme sin flama visible en la superficie de salida del elemento de quemador 22. Con el objeto de optimizar las condiciones de combustión para íograr una reducción del gas fluorinado particular contenido dentro de la corriente de gas efluyente, es preferible suministrar gas combustible adicional y/u oxígeno con el objeto de enriquecer la corriente efluyente antes de su ingreso a la región de combustión 2. Por consiguiente, el aparato incluye medios, por ejemplo, una lanza 28 colocado de manera sustancialmente concéntrica con la boquilla 16 para introducir oxígeno a la corriente efluyente corriente arriba de la región de combustión 2, de manera similar a lo descrito en el documento EP 0 802 370 A2. Gas combustible adicional puede ser agregado a través de cualquier medio adecuado (no ilustrado) a la corriente de gas efluyente en cualquier punto conveniente corriente arriba de la región de combustión. Sin embargo, por razones de flamabilidad, el oxígeno y el gas combustible no deben estar presentes en la corriente efluyente durante un periodo apreciable de tiempo antes de su inyección a la zona de combustión, y por consiguiente la abertura de la lanza 28 en la boquilla 16 termina entre 0.07 y 3 diámetros de tubo antes del punto de inyección del efluyente en la región de combustión. Las proporciones relativas entre gas combustible y/u oxidante pueden variar según el tipo de compuestos fluorinados presentes en la corriente efluyente. Al ser inyectada en la región 2, la mezcla de gas efluyente enriquecida se enciende para formar una flama que se extiende desde la boquilla 16 hacia la cámara 2 efectuando la reducción de los gases fluorinados a través de la formula general: Gas Fluorinado + Combustible + Oxigeno—?HF +CO/C02 y H20 (1) El aparato comprende también uno o varios dispositivos de arrastre de fluoruro de calcio 30, preferentemente un dispositivo de rociado por atomización aún cuando otros dispositivos de arrastre son adecuados también, localizados dentro de la placa superior 20 de cerámica. El fluoruro de calcio es arrastrado en la corriente de gas en la región de combustión a través de cualquiera de los medios mencionados arriba, por la entrada 4. El dispositivo de arrastre o los dispositivos de arrastre 30 y sus entradas correspondientes 4 están colocados de tal manera que ocurra un mezclado suficiente del fluoruro de calcio arrastrado y corriente de gas efluyente en la región de combustión 2 sin inhibir la extensión de la flama desde la boquilla 16 en la región 2. Al ser arrastrada en la corriente de gas en la región 2, la sal de calcio, o sus productos de descomposición, reacciona con ácido fluorhídrico proveniente de la reducción de los gases fluorinados para formar fluoruro de calcio a través de la formula general: HF + Sal de Calcio —? CaF2 (2) La corriente de gas y el fluoruro de calcio salen entonces del aparato de reducción a través de la salida 32 y son transportados a uno del dispositivo mencionado arriba o de los dispositivos mencionados arriba 10 para la remoción del fluoruro de calcio de la corriente de gas. La Figura 3 muestra una modalidad preferida adicional de la sección de reducción del aparato esquemático ilustrado en la Figura 1. El aparato comprende una o varias boquillas de combustión 34 conectadas a una región de combustión 2, similares en construcción y uso a las descritas en el documento EP-A-0 819 887. Cada boquilla de combustión 34 tiene una entrada 36 para recibir gas efluyente que contiene gas fluorinado, y una salida 38 a partir de la cual el gas de escape ingresa a la región de combustión 2. Mientras que la Figura 3 ilustra una sola boquilla de combustión 34 para recibir el gas efluyente que. contiene un gas fluorinado, el aparato puede comprender cualquier número adecuado, por ejemplo, cuatro, seis o más boquillas 34 para recibir el efluyente de una sola herramienta de procesamiento o múltiples herramientas de procesamiento. En las modalidades preferidas, el aparato comprende cuatro boquillas 34. Como se ilustra en la Figura 3, cada boquilla 34 está montada en una primera cámara de pleno anular 40 que tiene una entrada 42 para recibir una primera mezcla de gas de combustible y oxidante, por ejemplo, una mezcla de metano y aire, proporcionando un gas de combustión para formar flamas de combustión dentro de la región de combustión 2, y varias salidas 46 a partir de las cuales el gas de combustión sale del pleno 40 en la cámara de combustión 2. Como se ilustra en la Figura 3, la boquilla de combustión 34 está montada en la primera cámara de pleno 40 de tal manera que la boquilla 34 pase sustancialmente coaxialmente a través de una salida respectiva 46 y de tal manera que la primera mezcla de gas de combustión este transportada en la cámara de combustión 2 alrededor de las boquillas de combustión 34. Como se ilustra también en la Figura 3, la primera cámara de pleno 40 se localiza arriba de una segunda cámara de pleno anular 48 que tiene una entrada 50 para recibir una segunda mezcla de gas piloto de combustible y oxidante, por ejemplo, otra mezcla de metano y aire, para formar flamas piloto dentro de la cámara de combustión 2. Como se ilustra en la Figura 3, la segunda cámara de pleno 48 comprende segundas aberturas 52 que rodean las primeras aberturas 46 a partir de la primera cámara de pleno 40. Las segundas aberturas 52 permiten que la mezcla de gas piloto ingrese a la cámara de combustión 2 para formar la flama piloto para encender el gas de combustión que ingresa a la región de combustión 2 a través de aberturas 46 para formar flamas de combustión dentro de la cámara de combustión 2. La primera mezcla de gas de combustión que sale de las aberturas 46 es encendida por la flama piloto formada a partir de la segunda mezcla de gas piloto que sale de las aberturas 52 para formar una flama de combustión que se extiende en la región de combustión 2 que rodea concéntricamente la trayectoria de la corriente de gas efluyente que sale de la boquilla 34. La corriente de gas efluyente transportada a través de la boquilla 34 ingresa a la región de combustión 2 a través de la salida 38 en el centro de la flama de combustión de tal manera que los gases fluorinados son reducidos de conformidad con la formula general (1) arriba. La cámara de combustión 2 está dentro de los limites de un conducto sustancialmente cilindrico 54. El conducto 54 tiene varias aberturas 56 a través de las cuales gas puede pasar desde una cámara de pleno 58 formada entre el conducto 54 y una envoltura externa 60. Un dispositivo de arrastre de fluoruro de calcio adecuado preferentemente un dispositivo de pulverización de soplado por aire o un dispositivo de rociado de atomización (no ilustrado) , aún cuando se pueden utilizar también otros dispositivos de arrastre, se emplea para arrastrar una sal de calcio en una corriente de gas, por ejemplo aire, alimentada a la cámara de pleno 58 a través de la entrada 4. El gas enriquecido en sal de calcio ingresa a la región de combustión 2 a través de abertura 56. La sal de calcio, o sus productos de descomposición, reacciona entonces con el HF para formar fluoruro de calcio de conformidad con la formula general 2 arriba. La corriente de efluyente y el fluoruro de calcio salen entonces de la región de combustión 2 a través de la salida 62 y son transportados a partir del dispositivo de reducción hacia uno del dispositivo mencionado arriba o de los dispositivos mencionados arriba 10 para la remoción del fluoruro de calcio de la corriente de gas. La Figura 4 ilustra esquemáticamente un segundo aparato para la remoción de gas fluorinado a partir de una corriente de gas. El aparato es substancialmente similar al aparato ilustrado en la Figura 1, sin embargo, la entrada 4 para arrastrar salde calcio en la corriente de gas está colocada en la trayectoria 1 de tal manera que la sal de calcio este arrastrada en la corriente de gas que contiene gas fluorinado antes de ser transportada en la cámara de combustión 2. En uso del aparato mostrado esquemáticamente en la Figura 4, una corriente de gas efluyente que contiene un gas fluorinado es transportada a lo largo de la trayectoria 1 en donde una sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas, utilizando cualquiera de los medios mencionados arriba, a través de una entrada 4. La corriente de gas que contiene el gas fluorinado y fluoruro de calcio es transportada a una región de combustión 2 en donde el gas fluorinado es reducido para formar HF que reacciona con la sal de calcio o sus productos de descomposición para formar fluoruro de calcio. La corriente de gas que contiene el fluoruro de calcio es entonces transportada desde la región de combustión 2, a lo largo de la trayectoria 6, hacia uno del dispositivo de remoción de fluoruro de calcio mencionado arriba o varios de los dispositivos de remoción de fluoruro de calcio mencionados arriba 10, en donde el fluoruro de calcio es removido de la corriente de gas que sale entonces del dispositivo de remoción de fluoruro de calcio a través de la trayectoria 12. Un gas portador, por ejemplo, aire, oxigeno y nitrógeno puede agregarse opcionalmente a través de la entrada 8 a la corriente de gas transportada a lo largo de la trayectoria 6 para fomentar que el fluoruro de calcio permanezca portado en aire hasta que llegue al dispositivo de remoción de fluoruro de calcio 10. La Figura ilustra esquemáticamente un tercer aparato para la remoción del gas fluorinado a partir de una corriente de gas. El aparato es sustancialmente similar al aparato ilustrado en la Figura 1 y4, sin embargo, la entrada 4 para arrastrar sal de calcio en la corriente de gas está colocada en la trayectoria 6 de tal manera que la sal de calcio sea arrastrada en la corriente de gas que sale de la cámara de combustión 2. En uso del aparato mostrado esquemáticamente en la Figura 3, una corriente de gas que contiene un gas fluorinado es transportada a lo largo de la trayectoria 1 hacia la región de combustión 2, en donde el gas fluorinado es reducido. La corriente de gas que contiene los productos de descomposición de gas fluorinado es alejada de la región de combustión 2 a través de la trayectoria 6 en donde una sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas a través de la entrada 4, permitiendo que la sal de calcio o sus productos de descomposición reaccionen con los productos de descomposición de gas fluorinado para formar fluoruro de calcio. La corriente de gas que contiene el fluoruro de calcio es entonces transportada adicionalmente a lo largo de la trayectoria 6, hacia el dispositivo de remoción de fluoruro de calcio o dispositivos de remoción de fluoruro de calcio 10, en donde el fluoruro de calcio es removido de la corriente de gas que sale entonces del dispositivo de remoción de fluoruro de calcio a través de la trayectoria 12. Un gas portador, por ejemplo aire, oxigeno y nitrógeno puede agregarse opcionalmente a la corriente de gas transportada a lo largo de la trayectoria 6 a través de la entrada 8, corriente abajo de la entrada 4, para fomentar que el fluoruro de calcio permanezca portado en aire hasta que alcance el dispositivo de remoción de fluoruro de calcio 10. El gas portador puede también ser agregado con el fluoruro de calcio a través de la entrada 4.

Claims

REIVINDICACIONES 1. Un método para la remoción de un gas fluorinado a partir de una corriente de gas, dicho método comprende los pasos de: transportar la corriente de gas que contiene el gas fluorinado hacia una región de combustión, descomponer el gas fluorinado en la región de combustión, arrastrar una sal de calcio que puede reaccionar con los productos de descomposición de gas fluorinado en la corriente de gas para reaccionar con los productos de descomposición de gas fluorinado para formar fluoruro de calcio y después remover la sal de fluoruro de calcio de la corriente de gas. 2. Un método de conformidad con la reivindicación 1, en donde el gas fluorinado es uno de los siguientes o una mezcla de ellos: flúor molecular (F2) y gases perfluorinados . 3. El método de conformidad con la reivindicación 2, en donde los gases perfluorinados son uno de los siguientes o una mezcla de ellos: trifluoruro de nitrógeno (NF3) , tetrafluoruro de carbono (CF4) , hexafluoroetano (C2F6) , tetrafluoruro de silicio (SiF4), hexafluoruro de azufre (SF6) . . Un método de conformidad con la reivindicación 1, en donde la sal de calcio es uno de los siguientes o una mezcla de ellos: CaO, CaC03, Ca(OH)2, Cal, Cal Apagada y Ca (CH3CH2C02) 2.H20. 5. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas corriente abajo de la región de combustión. 6. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas dentro de la zona de combustión . 7. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas corriente arriba de la zona de combustión. 8. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas por una técnica de pulverización soplada por aire. 9. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, en donde la sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas por una técnica de rociado simple . 10. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1 a 7, en donde la sal de calcio es arrastrada en la corriente de gas por una técnica de rociado por atomización. 11. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la región de combustión es la región de combustión de un quemador de combustión interna . 12. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10, en donde la región de combustión es la región de combustión de un quemador calentado eléctricamente. 13. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10, en donde la región de combustión es la región de combustión de un quemador de flama abierta. 14. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10, en donde la región de combustión es la región de combustión de un reactor de plasma. 15. Un método de conformidad con cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la sal de fluoruro de calcio es removida de la corriente de gas por uno de los siguientes: filtro, ciclón y precipitador electrostático.