MXG1200-60S 真空管式炉

设备途

本设备是专为高等院﹑科研院所的实验室及工矿企业在可控多种气氛及真空状态下对金属，非金属及它化合物进行真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、气氛还原烧结、CVD实验、真空退火﹑化﹑物质分测量分析研制的专理想设备。

应领域

半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、稀土制备、电子照明、体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁材料、精密铸造、金属热处理等行业领域。

技术参数

设备名称：1200度微型管式炉

设备型号：MXG1200-60S

炉管材质：石英管

炉管尺寸：外径60*内径54*长度500*壁厚3mm

加热区尺寸：205

恒温区尺寸：50

高温度：1200度(1小时)

工作温度：≤1100度(连续)

工作电源：单相 220V 50/60Hz 1.6Kw

加温

加热元件：电阻丝，环形加热

升温速率：20℃/min

测温

测温元件：N型热电

控温

温控仪表：数显仪表，智能化30段PID可编程控制。

控温精度：±1℃，超温报警

保温

保温材料：多氧化铝纤维材料，保温效果好，热能损少。

充气正压：≤ 0.02MPa

可通气体：惰气体和还原气体等。

法兰（炉管两端配有不锈钢密封CF法兰，包精密针阀、指针式真空压力表、软管接头，若有特殊需求，可选配以下法兰）

1、聚四氟乙烯法兰，于有腐蚀环境。

2、水法兰，于更好防止密封圈老化。

3、KF法兰，于更好真空实验需求。

真空（根本实际需要选配以下不同效果的真空泵或真空系统）

1、标准旋片式机械真空泵，接口，极限真空可达50Pa。

2、DZK10-1低真空系统，KF接口，极限真空可达1*10-1Pa。

3、GZK10-3高真空系统，KF接口，极限真空可达1*10-3Pa。

打开方式：向上开启式，为了保证使安全，本设备设计有开启断电能。

外形尺寸：宽*深*高mm

包装尺寸：

设备净重：Kg

包装毛量：

设备包箱：木箱+珍珠棉+防尘膜

发货物流：送货上门，不含卸货。

质 保 期：一年，相关材除外，如加热元件等易件

标准配件

坩埚钳1把、刚玉舟1只、炉钩1把、管堵2只、石英管1根、304法兰1套、密封圈4只、浮子流量计1只、耐高温手套1双、产品明书1份、仪表明书1份、保修证书1份。

可选配件

1、二三四路浮子或质子流量供气系统。

2、DZK10-1低真空系统或GZK10-3高真空系统。

3、300W或500W等离子射频电源。

4、可选配移动炉架，将管式炉放置在炉架上。

注意事项

1、为了不响设备正常使寿命，请不要过快升降温。

2、请不要往管内通入超过0.02MPa的气体压力。

3、本设备使一段时间后，炉膛会出现微小裂纹，属于正常现象，不会响使，可向业务人员免费索取氧化铝涂层修补剂。

4、于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使时会更加安全。

5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

6、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免的大气流对加热石英管的冲击

7、石英管的长时间使温度≤1100℃

8、对于只对样品加热的实验（不抽真空不通气体），不建使时关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，必须时刻关注压力表的指数（气压会随温度升降变化），若压力表指数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）