1、备名称：高真空蒸发镀
2、备品牌：昊光电
3、置：
3.1、真空抽气部分
莱粗抽+CTI 10 ON BOARD
凝
3.2、真空检测
INFICON：BPG400真空规
3.3、蒸发系控制及厚检测
1、蒸发控制器：运行+定
2、触摸屏和电位器分别控制
3、电、电显示
4、晶控仪：控制蒸发电大小，控制蒸发速率，显示厚度；MDC360或SYSCON
2000
3.4气体控制：2路质量量控制器MKS1179A
4、使用领域
1、半导体：金属化
2、TFT：金属导线
3、微结构：金属化
5、备特点
1、高置
2、高精度
3、高品质