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WO2020262629A1 - 撮像装置 - Google Patents

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WO2020262629A1
WO2020262629A1 PCT/JP2020/025285 JP2020025285W WO2020262629A1 WO 2020262629 A1 WO2020262629 A1 WO 2020262629A1 JP 2020025285 W JP2020025285 W JP 2020025285W WO 2020262629 A1 WO2020262629 A1 WO 2020262629A1
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WO
WIPO (PCT)
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substrate
wiring
pixel
unit
transistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2020/025285
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
河本　健芳
正彦 中溝
俊明 小野
知憲 山下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Semiconductor Solutions Corp
Original Assignee
Sony Semiconductor Solutions Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Priority to KR1020257012662A priority patent/KR20250059540A/ko
Priority to JP2021527782A priority patent/JP7619943B2/ja
Priority to KR1020217038792A priority patent/KR102805550B1/ko
Priority to EP20830501.1A priority patent/EP3993011A4/en
Priority to US17/620,258 priority patent/US11901391B2/en
Application filed by Sony Semiconductor Solutions Corp filed Critical Sony Semiconductor Solutions Corp
Priority to CN202411500850.8A priority patent/CN119451260A/zh
Publication of WO2020262629A1 publication Critical patent/WO2020262629A1/ja
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Priority to US18/946,518 priority patent/US20250072151A1/en
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    • H10F39/813—Electronic components shared by multiple pixels, e.g. one amplifier shared by two pixels

Definitions

  • This disclosure relates to an imaging device.
  • an image pickup device having a three-dimensional structure has been developed in order to further reduce the size of the image pickup device and increase the density of pixels.
  • an imaging device having a three-dimensional structure for example, a semiconductor substrate having a plurality of sensor pixels and a semiconductor substrate having a signal processing circuit for processing a signal obtained by each sensor pixel are laminated on each other.
  • an image pickup device having a three-dimensional structure when three semiconductor chips are laminated, it is not possible to bond all the semiconductor substrates to each other on the surface side.
  • the chip size may increase or the area per pixel may be reduced due to the structure in which the semiconductor substrates are electrically connected to each other. There is sex. Therefore, it is desirable to provide an image pickup device having a three-layer structure that does not hinder the miniaturization of the area per pixel with the same chip size as before.
  • the imaging device is not limited to the three-layer structure, and the imaging device connects the floating diffusion in the pixel and the gate of the amplification transistor in the pixel circuit with a connection via as FD wiring.
  • the area of the connection via of the FD wiring is about 45%.
  • the effective area of the pixel circuit becomes small, so that the arrangement area of the amplification transistor cannot be expanded.
  • the imaging device of one form according to the present disclosure includes a first substrate, a second substrate, wiring, and a trench.
  • the first substrate has pixels having a photodiode and a floating diffusion that holds the charge converted by the photodiode.
  • the second substrate has a pixel circuit that reads out a pixel signal based on the electric charge held by the floating diffusion in the pixel, and is laminated on the first substrate.
  • the wiring penetrates the first substrate and the second substrate in the stacking direction, and electrically connects the floating diffusion in the first substrate and the amplification transistor in the pixel circuit of the second substrate. To do.
  • the trench is formed in at least the second substrate, runs parallel to the wiring, and has a depth equal to or greater than the thickness of the semiconductor layer in the second substrate.
  • the charge-voltage conversion efficiency can be improved by reducing the parasitic capacitance of the wiring.
  • FIG. 1 It is a block diagram which shows an example of the functional structure of the image pickup apparatus which concerns on one Embodiment of this disclosure. It is a plan schematic diagram which shows the schematic structure of the image pickup apparatus shown in FIG. It is a schematic diagram showing the cross-sectional structure along the line III-III'shown in FIG. It is an equivalent circuit diagram of the pixel sharing unit shown in FIG. It is a figure which shows an example of the connection mode of a plurality of pixel sharing units and a plurality of vertical signal lines. It is sectional drawing which shows an example of the specific structure of the image pickup apparatus shown in FIG. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the main part of the 1st substrate shown in FIG.
  • FIG. 7A It is a schematic diagram which shows the plane structure of the pad part together with the main part of the 1st substrate shown in FIG. 7A. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 2nd substrate (semiconductor layer) shown in FIG. It is a schematic diagram which shows an example of the planar structure of the pixel circuit and the main part of the 1st substrate together with the 1st wiring layer shown in FIG. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 1st wiring layer and the 2nd wiring layer shown in FIG. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 2nd wiring layer and the 3rd wiring layer shown in FIG.
  • FIG. 7A It is a schematic diagram which shows an example of the planar structure of the 2nd substrate (semiconductor layer) laminated on the 1st substrate shown in FIG. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 1st wiring layer together with the pixel circuit shown in FIG.
  • FIG. 6 is a schematic view showing an example of a planar configuration of a second substrate (semiconductor layer) laminated on the first substrate shown in FIG. 26.
  • FIG. 27 It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 1st wiring layer together with the pixel circuit shown in FIG. 27. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 2nd wiring layer together with the 1st wiring layer shown in FIG. 28. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 3rd wiring layer together with the 2nd wiring layer shown in FIG. It is a schematic diagram which shows an example of the plane structure of the 4th wiring layer together with the 3rd wiring layer shown in FIG. It is sectional drawing which shows the other example of the image pickup apparatus shown in FIG. It is a schematic diagram for demonstrating the path of the input signal to the image pickup apparatus shown in FIG. 32.
  • FIG. 32 It is a schematic diagram for demonstrating the signal path of the pixel signal of the image pickup apparatus shown in FIG. 32. It is sectional drawing which shows the other example of the image pickup apparatus shown in FIG. It is a figure which shows another example of the equivalent circuit shown in FIG.
  • FIG. 5 is a schematic plan view showing another example of the pixel separation portion shown in FIG. 7A and the like. It is an equivalent circuit diagram which shows an example of the structure of the pixel sharing unit in the image pickup apparatus of Embodiment 2-1. It is sectional drawing which shows an example of the laminated structure of the 1st substrate and 2nd substrate of Embodiment 2-1. It is a schematic diagram which shows an example of the laminated structure of a 1st substrate and a 2nd substrate.
  • FIG. 5 is a schematic view showing an example of a planar configuration in which an FD wiring FDL and a shield wiring SL2 are superposed on the surface of the pixel circuit shown in FIG. 52.
  • FIG. 5 is a schematic view showing an example of a planar configuration in which an FD wiring FDL and a shield wiring SL2 are superposed on the surface of the pixel circuit shown in FIG. 52.
  • FIG. 5 is a schematic view showing an example of a planar configuration in which an FD wiring FDL and a shield wiring SL2 are superposed on the surface of the pixel circuit shown in FIG. 52.
  • FIG. 52 shows an example of the laminated structure of the 1st substrate and 2nd substrate of Embodiment 3-2.
  • It is an equivalent circuit diagram which shows an example of the structure of the plurality of pixel circuits of the 2nd substrate of Embodiment 3-3.
  • Embodiment 1 imaging apparatus having a laminated structure of three substrates
  • Deformation example 1 (Example 1 of plane configuration) 3.
  • Deformation example 2 (Example 2 of plane configuration) 4.
  • Deformation example 3 (Example 3 of plane configuration) 5.
  • Modification 4 (Example of having a contact portion between substrates in the central portion of the pixel array portion) 6.
  • Modification 5 (Example having a planar type transfer transistor) 7.
  • Modification 6 Example in which one pixel is connected to one pixel circuit) 8.
  • Modification 7 (configuration example of pixel separation section) 9.
  • Embodiment 2 9.1 Issues to be solved in the second embodiment 9.2 Outline of the second embodiment 9.3 Specific examples of the 2-1 embodiment 9.3.1 Configuration of the 2-1 embodiment 9.3 .2 Action / effect of embodiment 2-1 9.3.3 Modification of embodiment 2-1 9.4 Specific example of embodiment 2-2 9.4.1 Of embodiment 2-2 Configuration 9.4.2 Action / Effect of Embodiment 2-2 9.5 Specific Example of Embodiment 2-3 9.5.1 Configuration of Embodiment 2-3 9.5.2 Embodiment 2 Action / effect of -3 10.
  • FIG. 1 is a block diagram showing an example of a functional configuration of an imaging device (imaging device 1) according to an embodiment of the present disclosure.
  • the image pickup apparatus 1 of FIG. 1 includes, for example, an input unit 510A, a row drive unit 520, a timing control unit 530, a pixel array unit 540, a column signal processing unit 550, an image signal processing unit 560, and an output unit 510B.
  • Pixels 541 are repeatedly arranged in an array in the pixel array unit 540. More specifically, a pixel sharing unit 539 including a plurality of pixels is a repeating unit, and these are repeatedly arranged in an array consisting of a row direction and a column direction. In the present specification, for convenience, the row direction may be referred to as the H direction, and the column direction orthogonal to the row direction may be referred to as the V direction. In the example of FIG. 1, one pixel sharing unit 539 includes four pixels (pixels 541A, 541B, 541C, 541D). Pixels 541A, 541B, 541C, and 541D each have a photodiode PD (shown in FIG. 6 and the like described later).
  • PD photodiode
  • the pixel sharing unit 539 is a unit that shares one pixel circuit (pixel circuit 210 in FIG. 4 described later). In other words, it has one pixel circuit (pixel circuit 210 described later) for every four pixels (pixels 541A, 541B, 541C, 541D). By operating this pixel circuit in a time division manner, the pixel signals of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D are sequentially read out. Pixels 541A, 541B, 541C, and 541D are arranged in, for example, 2 rows ⁇ 2 columns.
  • the pixel array unit 540 is provided with pixels 541A, 541B, 541C, and 541D, as well as a plurality of row drive signal lines 542 and a plurality of vertical signal lines (column readout lines) 543.
  • the row drive signal line 542 drives the pixels 541 included in each of the plurality of pixel sharing units 539 arranged side by side in the row direction in the pixel array unit 540.
  • each pixel arranged side by side in the row direction is driven.
  • the pixel sharing unit 539 is provided with a plurality of transistors.
  • a plurality of row drive signal lines 542 are connected to one pixel sharing unit 539.
  • a pixel sharing unit 539 is connected to the vertical signal line (column readout line) 543.
  • a pixel signal is read from each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D included in the pixel sharing unit 539 via the vertical signal line (column read line) 543.
  • the row drive unit 520 is, for example, a row address control unit that determines a row position for pixel drive, in other words, a row decoder unit and a row drive that generates a signal for driving pixels 541A, 541B, 541C, 541D. Includes circuit section.
  • the column signal processing unit 550 includes, for example, a load circuit unit connected to a vertical signal line 543 and forming a source follower circuit with pixels 541A, 541B, 541C, 541D (pixel sharing unit 539).
  • the column signal processing unit 550 may have an amplifier circuit unit that amplifies the signal read from the pixel sharing unit 539 via the vertical signal line 543.
  • the column signal processing unit 550 may have a noise processing unit. In the noise processing unit, for example, the noise level of the system is removed from the signal read from the pixel sharing unit 539 as a result of photoelectric conversion.
  • the column signal processing unit 550 has, for example, an analog-to-digital converter (ADC).
  • ADC analog-to-digital converter
  • the ADC includes, for example, a comparator section and a counter section.
  • the comparator section the analog signal to be converted and the reference signal to be compared with this are compared.
  • the counter unit the time until the comparison result in the comparator unit is inverted is measured.
  • the column signal processing unit 550 may include a horizontal scanning circuit unit that controls scanning the read sequence.
  • the timing control unit 530 supplies a signal for controlling the timing to the row drive unit 520 and the column signal processing unit 550 based on the reference clock signal and the timing control signal input to the apparatus.
  • the image signal processing unit 560 is a circuit that performs various signal processing on the data obtained as a result of photoelectric conversion, in other words, the data obtained as a result of the image pickup operation in the image pickup apparatus 1.
  • the image signal processing unit 560 includes, for example, an image signal processing circuit unit and a data holding unit.
  • the image signal processing unit 560 may include a processor unit.
  • An example of signal processing executed by the image signal processing unit 560 is that when the AD-converted imaging data is data obtained by photographing a dark subject, it has many gradations and is data obtained by photographing a bright subject. Is a tone curve correction process that reduces gradation. In this case, it is desirable to store the characteristic data of the tone curve in advance in the data holding unit of the image signal processing unit 560 as to what kind of tone curve the gradation of the imaging data is corrected based on.
  • the input unit 510A is for inputting, for example, the reference clock signal, timing control signal, characteristic data, and the like from outside the device to the image pickup device 1.
  • the timing control signal is, for example, a vertical synchronization signal and a horizontal synchronization signal.
  • the characteristic data is, for example, for being stored in the data holding unit of the image signal processing unit 560.
  • the input unit 510A includes, for example, an input terminal 511, an input circuit unit 512, an input amplitude changing unit 513, an input data conversion circuit unit 514, and a power supply unit (not shown).
  • the input terminal 511 is an external terminal for inputting data.
  • the input circuit unit 512 is for taking the signal input to the input terminal 511 into the image pickup apparatus 1.
  • the input amplitude changing unit 513 the amplitude of the signal captured by the input circuit unit 512 is changed to an amplitude that can be easily used inside the image pickup apparatus 1.
  • the input data conversion circuit unit 514 the arrangement of the data strings of the input data is changed.
  • the input data conversion circuit unit 514 is composed of, for example, a serial-parallel conversion circuit. In this serial-parallel conversion circuit, the serial signal received as input data is converted into a parallel signal.
  • the input amplitude changing unit 513 and the input data conversion circuit unit 514 may be omitted.
  • the power supply unit supplies power supplies set to various voltages required inside the image pickup device 1 based on the power supply supplied from the outside to the image pickup device 1.
  • the input unit 510A may be provided with a memory interface circuit that receives data from the external memory device.
  • External memory devices are, for example, flash memory, SRAM, DRAM, and the like.
  • the output unit 510B outputs the image data to the outside of the device.
  • the image data is, for example, image data taken by the image pickup apparatus 1 and image data signal-processed by the image signal processing unit 560.
  • the output unit 510B includes, for example, an output data conversion circuit unit 515, an output amplitude changing unit 516, an output circuit unit 517, and an output terminal 518.
  • the output data conversion circuit unit 515 is composed of, for example, a parallel serial conversion circuit, and the output data conversion circuit unit 515 converts the parallel signal used inside the image pickup apparatus 1 into a serial signal.
  • the output amplitude changing unit 516 changes the amplitude of the signal used inside the image pickup apparatus 1. The changed amplitude signal becomes easily available to an external device connected to the outside of the image pickup apparatus 1.
  • the output circuit unit 517 is a circuit that outputs data from the inside of the image pickup device 1 to the outside of the device, and the output circuit section 517 drives the wiring outside the image pickup device 1 connected to the output terminal 518. At the output terminal 518, data is output from the imaging device 1 to the outside of the device.
  • the output data conversion circuit unit 515 and the output amplitude changing unit 516 may be omitted.
  • the output unit 510B may be provided with a memory interface circuit that outputs data to the external memory device.
  • External memory devices are, for example, flash memory, SRAM, DRAM, and the like.
  • FIG. 2 schematically shows a planar configuration of each of the first substrate 100, the second substrate 200, and the third substrate 300
  • FIG. 3 shows the first substrate 100, the second substrate 200, and the second substrate 200 stacked on each other.
  • the cross-sectional structure of the third substrate 300 is schematically shown.
  • FIG. 3 corresponds to the cross-sectional configuration along the line III-III'shown in FIG.
  • the image pickup apparatus 1 is an image pickup apparatus having a three-dimensional structure configured by laminating three substrates (first substrate 100, second substrate 200, and third substrate 300).
  • the first substrate 100 includes a semiconductor layer 100S and a wiring layer 100T.
  • the second substrate 200 includes a semiconductor layer 200S and a wiring layer 200T.
  • the third substrate 300 includes a semiconductor layer 300S and a wiring layer 300T.
  • the wiring included in each of the first substrate 100, the second substrate 200, and the third substrate 300 and the interlayer insulating film around the wiring are combined, and the respective substrates (first substrate 100, second substrate 100, second) are used. It is called a wiring layer (100T, 200T, 300T) provided on the substrate 200 and the third substrate 300).
  • the first substrate 100, the second substrate 200, and the third substrate 300 are laminated in this order, and the semiconductor layer 100S, the wiring layer 100T, the semiconductor layer 200S, the wiring layer 200T, the wiring layer 300T, and the semiconductor are laminated in this order.
  • the layers 300S are arranged in this order.
  • the specific configurations of the first substrate 100, the second substrate 200, and the third substrate 300 will be described later.
  • the arrow shown in FIG. 3 indicates the direction of light L incident on the imaging device 1.
  • the light incident side in the image pickup apparatus 1 is referred to as "lower”, “lower side”, and “lower”, and the side opposite to the light incident side is referred to as "upper”, “upper”, and “upper”. In some cases.
  • the image pickup device 1 is, for example, a back-illuminated image pickup device in which light is incident from the back surface side of the first substrate 100 having a photodiode.
  • the pixel sharing unit 539 included in the pixel array unit 540 and the pixel array unit 540 are both configured by using both the first substrate 100 and the second substrate 200.
  • the first substrate 100 is provided with a plurality of pixels 541A, 541B, 541C, 541D included in the pixel sharing unit 539.
  • Each of these pixels 541 has a photodiode (photodiode PD described later) and a transfer transistor (transfer transistor TR described later).
  • the second substrate 200 is provided with a pixel circuit (pixel circuit 210 described later) included in the pixel sharing unit 539.
  • the pixel circuit reads out the pixel signal transferred from each of the photodiodes of pixels 541A, 541B, 541C, and 541D via the transfer transistor, or resets the photodiode.
  • the second substrate 200 has a plurality of row drive signal lines 542 extending in the row direction and a plurality of vertical signal lines 543 extending in the column direction.
  • the second substrate 200 further has a power line 544 extending in the row direction.
  • the third substrate 300 has, for example, an input unit 510A, a row drive unit 520, a timing control unit 530, a column signal processing unit 550, an image signal processing unit 560, and an output unit 510B.
  • the row drive unit 520 is provided, for example, in a region partially overlapping the pixel array unit 540 in the stacking direction of the first substrate 100, the second substrate 200, and the third substrate 300 (hereinafter, simply referred to as the stacking direction). .. More specifically, the row drive unit 520 is provided in a region overlapping the vicinity of the end portion of the pixel array unit 540 in the H direction in the stacking direction (FIG. 2).
  • the column signal processing unit 550 is provided, for example, in a region partially overlapping the pixel array unit 540 in the stacking direction. More specifically, the column signal processing unit 550 is provided in a region overlapping the vicinity of the end portion of the pixel array unit 540 in the V direction in the stacking direction (FIG. 2).
  • the input unit 510A and the output unit 510B may be arranged in a portion other than the third substrate 300, and may be arranged in, for example, the second substrate 200.
  • the input unit 510A and the output unit 510B may be provided on the back surface (light incident surface) side of the first substrate 100.
  • the pixel circuit provided on the second substrate 200 may be referred to as a pixel transistor circuit, a pixel transistor group, a pixel transistor, a pixel readout circuit or a readout circuit as another name. In this specification, the term “pixel circuit” is used.
  • the first substrate 100 and the second substrate 200 are electrically connected by, for example, through electrodes (through electrodes 120E and 121E in FIG. 6 described later).
  • the second substrate 200 and the third substrate 300 are electrically connected to each other via, for example, contact portions 201, 202, 301, 302.
  • the second substrate 200 is provided with contact portions 201 and 202
  • the third substrate 300 is provided with contact portions 301 and 302.
  • the contact portion 201 of the second substrate 200 is in contact with the contact portion 301 of the third substrate 300
  • the contact portion 202 of the second substrate 200 is in contact with the contact portion 302 of the third substrate 300.
  • the second substrate 200 has a contact region 201R provided with a plurality of contact portions 201, and a contact region 202R provided with a plurality of contact portions 202.
  • the third substrate 300 has a contact region 301R provided with a plurality of contact portions 301, and a contact region 302R provided with a plurality of contact portions 302.
  • the contact regions 201R and 301R are provided between the pixel array unit 540 and the row drive unit 520 in the stacking direction (FIG. 3). In other words, the contact regions 201R and 301R are provided, for example, in a region where the row drive unit 520 (third substrate 300) and the pixel array unit 540 (second substrate 200) overlap in the stacking direction, or in a region near the overlap.
  • the contact areas 201R and 301R are arranged, for example, at the ends of such areas in the H direction (FIG. 2).
  • the contact region 301R is provided at a position overlapping a part of the row drive unit 520, specifically, the end portion of the row drive unit 520 in the H direction (FIGS. 2 and 3).
  • the contact units 201 and 301 connect, for example, the row drive unit 520 provided on the third substrate 300 and the row drive signal line 542 provided on the second substrate 200.
  • the contact units 201 and 301 may, for example, connect the input unit 510A provided on the third substrate 300 with the power supply line 544 and the reference potential line (reference potential line VSS described later).
  • the contact regions 202R and 302R are provided between the pixel array unit 540 and the column signal processing unit 550 in the stacking direction (FIG. 3).
  • the contact regions 202R and 302R are provided, for example, in a region where the column signal processing unit 550 (third substrate 300) and the pixel array unit 540 (second substrate 200) overlap in the stacking direction, or in a region near the overlap. ing.
  • the contact regions 202R and 302R are arranged, for example, at the ends of such regions in the V direction (FIG. 2).
  • the contact region 301R is provided at a position overlapping a part of the column signal processing unit 550, specifically, the end of the column signal processing unit 550 in the V direction (FIGS. 2 and 3). ).
  • the contact units 202 and 302 use, for example, a pixel signal (a signal corresponding to the amount of electric charge generated as a result of photoelectric conversion by the photodiode) output from each of the plurality of pixel sharing units 539 included in the pixel array unit 540. 3 It is for connecting to the column signal processing unit 550 provided on the substrate 300.
  • the pixel signal is sent from the second substrate 200 to the third substrate 300.
  • FIG. 3 is an example of a cross-sectional view of the image pickup apparatus 1 as described above.
  • the first substrate 100, the second substrate 200, and the third substrate 300 are electrically connected via the wiring layers 100T, 200T, and 300T.
  • the image pickup apparatus 1 has an electrical connection portion that electrically connects the second substrate 200 and the third substrate 300.
  • the contact portions 201, 202, 301, 302 are formed by electrodes formed of a conductive material.
  • the conductive material is formed of, for example, a metal material such as copper (Cu), aluminum (Al), or gold (Au).
  • the second substrate and the third substrate are electrically connected by directly joining the wirings formed as electrodes, and the second substrate 200 and the third substrate 300 are connected. Allows input and / or output of signals with.
  • An electrical connection portion for electrically connecting the second substrate 200 and the third substrate 300 can be provided at a desired location.
  • the contact regions 201R, 202R, 301R, and 302R in FIG. 3 they may be provided in regions that overlap the pixel array portion 540 in the stacking direction.
  • the electrical connection portion may be provided in a region that does not overlap with the pixel array portion 540 in the stacking direction. Specifically, it may be provided in a region that overlaps the peripheral portion arranged outside the pixel array portion 540 in the stacking direction.
  • connection holes H1 and H2 are provided on the first substrate 100 and the second substrate 200.
  • the connection holes H1 and H2 penetrate the first substrate 100 and the second substrate 200 (FIG. 3).
  • the connection holes H1 and H2 are provided outside the pixel array unit 540 (or a portion overlapping the pixel array unit 540) (FIG. 2).
  • the connection hole portion H1 is arranged outside the pixel array portion 540 in the H direction
  • the connection hole portion H2 is arranged outside the pixel array portion 540 in the V direction.
  • the connection hole portion H1 reaches the input unit 510A provided on the third substrate 300
  • the connection hole portion H2 reaches the output unit 510B provided on the third substrate 300.
  • connection holes H1 and H2 may be hollow, and at least a part thereof may contain a conductive material.
  • a bonding wire is connected to an electrode formed as an input unit 510A and / or an output unit 510B.
  • the electrodes formed as the input unit 510A and / or the output unit 510B are connected to the conductive materials provided in the connection holes H1 and H2.
  • the conductive material provided in the connection holes H1 and H2 may be embedded in a part or all of the connection holes H1 and H2, or the conductive material may be formed on the side wall of the connection holes H1 and H2. good.
  • the structure is such that the input unit 510A and the output unit 510B are provided on the third substrate 300, but the structure is not limited to this.
  • the input unit 510A and / or the output unit 510B can be provided on the second substrate 200 by sending the signal of the third substrate 300 to the second substrate 200 via the wiring layers 200T and 300T.
  • the input unit 510A and / or the output unit 510B can be provided on the first substrate 100 by sending the signal of the second substrate 200 to the first substrate 1000 via the wiring layers 100T and 200T.
  • FIG. 4 is an equivalent circuit diagram showing an example of the configuration of the pixel sharing unit 539.
  • the pixel sharing unit 539 includes a plurality of pixels 541 (representing four pixels 541 of pixels 541A, 541B, 541C, and 541D in FIG. 4), one pixel circuit 210 connected to the plurality of pixels 541, and pixels. It includes a vertical signal line 543 connected to the circuit 210.
  • the pixel circuit 210 includes, for example, four transistors, specifically, an amplification transistor AMP, a selection transistor SEL, a reset transistor RST, and an FD conversion gain switching transistor FD.
  • the pixel sharing unit 539 operates the pixel circuit 210 of 1 in a time division manner, so that the pixel signals of the four pixels 541 (pixels 541A, 541B, 541C, 541D) included in the pixel sharing unit 539 are respectively. Is sequentially output to the vertical signal line 543.
  • a mode in which one pixel circuit 210 is connected to a plurality of pixels 541 and the pixel signal of the plurality of pixels 541 is output in a time division manner by the one pixel circuit 210 is described as "a pixel in which a plurality of pixels 541 are one pixel". It shares the circuit 210.
  • Pixels 541A, 541B, 541C, 541D have components common to each other.
  • the identification number 1 is at the end of the code of the component of the pixel 541A
  • the identification number 2 is at the end of the code of the component of the pixel 541B.
  • An identification number 3 is added to the end of the code of the component of the pixel 541C
  • an identification number 4 is added to the end of the code of the component of the pixel 541D.
  • the identification number at the end of the code of the components of the pixels 541A, 541B, 541C, 541D is omitted.
  • Pixels 541A, 541B, 541C, 541D have, for example, a photodiode PD, a transfer transistor TR electrically connected to the photodiode PD, and a floating diffusion FD electrically connected to the transfer transistor TR.
  • the cathode is electrically connected to the source of the transfer transistor TR
  • the anode is electrically connected to the reference potential line (for example, ground).
  • the photodiode PD photoelectrically converts the incident light and generates an electric charge according to the amount of received light.
  • the transfer transistor TR (transfer transistor TR1, TR2, TR3, TR4) is, for example, an n-type CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) transistor.
  • the drain is electrically connected to the floating diffusion FD and the gate is electrically connected to the drive signal line.
  • This drive signal line is a part of a plurality of line drive signal lines 542 (see FIG. 1) connected to one pixel sharing unit 539.
  • the transfer transistor TR transfers the electric charge generated by the photodiode PD to the floating diffusion FD.
  • the floating diffusion FD (floating diffusion FD1, FD2, FD3, FD4) is an n-type diffusion layer region formed in the p-type semiconductor layer.
  • the floating diffusion FD is a charge holding means that temporarily holds the charge transferred from the photodiode PD and is a charge-voltage conversion means that generates a voltage corresponding to the amount of the charge.
  • the four floating diffusion FDs (floating diffusion FD1, FD2, FD3, FD4) included in the pixel sharing unit 539 of 1 are electrically connected to each other, and the gate of the amplification transistor AMP and the source of the FD conversion gain switching transistor FDG. Is electrically connected to.
  • the drain of the FD conversion gain switching transistor FDG is connected to the source of the reset transistor RST, and the gate of the FD conversion gain switching transistor FDG is connected to the drive signal line.
  • This drive signal line is a part of a plurality of line drive signal lines 542 connected to one pixel sharing unit 539.
  • the drain of the reset transistor RST is connected to the power supply line VDD, and the gate of the reset transistor RST is connected to the drive signal line.
  • This drive signal line is a part of a plurality of line drive signal lines 542 connected to one pixel sharing unit 539.
  • the gate of the amplification transistor AMP is connected to the floating diffusion FD, the drain of the amplification transistor AMP is connected to the power line VDD, and the source of the amplification transistor AMP is connected to the drain of the selection transistor SEL.
  • the source of the selection transistor SEL is connected to the vertical signal line 543, and the gate of the selection transistor SEL is connected to the drive signal line.
  • This drive signal line is a part of a plurality of line drive signal lines 542 connected to one pixel sharing unit 539.
  • the transfer transistor TR When the transfer transistor TR is turned on, the transfer transistor TR transfers the electric charge of the photodiode PD to the floating diffusion FD.
  • the gate of the transfer transistor TR includes, for example, a so-called vertical electrode, and reaches PD from the surface of the semiconductor layer (semiconductor layer 100S in FIG. 6 described later) as shown in FIG. 6 described later. It extends to the depth.
  • the reset transistor RST resets the potential of the floating diffusion FD to a predetermined potential. When the reset transistor RST is turned on, the potential of the floating diffusion FD is reset to the potential of the power supply line VDD.
  • the selection transistor SEL controls the output timing of the pixel signal from the pixel circuit 210.
  • the amplification transistor AMP generates a signal of a voltage corresponding to the level of the electric charge held in the floating diffusion FD as a pixel signal.
  • the amplification transistor AMP is connected to the vertical signal line 543 via the selection transistor SEL.
  • This amplification transistor AMP constitutes a source follower together with a load circuit unit (see FIG. 1) connected to the vertical signal line 543 in the column signal processing unit 550.
  • the selection transistor SEL When the selection transistor SEL is turned on, the amplification transistor AMP outputs the voltage of the floating diffusion FD to the column signal processing unit 550 via the vertical signal line 543.
  • the reset transistor RST, amplification transistor AMP and selection transistor SEL are, for example, N-type MOS transistors.
  • the FD conversion gain switching transistor FDG is used when changing the gain of charge-voltage conversion in the floating diffusion FD.
  • the FD conversion gain switching transistor FDG when the FD conversion gain switching transistor FDG is turned on, the gate capacitance for the FD conversion gain switching transistor FDG increases, so that the overall FD capacitance C increases. On the other hand, when the FD conversion gain switching transistor FDG is turned off, the overall FD capacitance C becomes smaller. By switching the FD conversion gain switching transistor FDG on and off in this way, the FD capacitance C can be made variable and the conversion efficiency can be switched.
  • the FD conversion gain switching transistor FDG is, for example, an N-type MOS transistor.
  • the pixel circuit 210 is composed of three transistors, for example, an amplification transistor AMP, a selection transistor SEL, and a reset transistor RST.
  • the pixel circuit 210 has at least one of pixel transistors such as, for example, an amplification transistor AMP, a selection transistor SEL, a reset transistor RST, and an FD conversion gain switching transistor FDG.
  • the selection transistor SEL may be provided between the power supply line VDD and the amplification transistor AMP.
  • the drain of the reset transistor RST is electrically connected to the drain of the power supply line VDD and the selection transistor SEL.
  • the source of the selection transistor SEL is electrically connected to the drain of the amplification transistor AMP, and the gate of the selection transistor SEL is electrically connected to the row drive signal line 542 (see FIG. 1).
  • the source of the amplification transistor AMP (the output end of the pixel circuit 210) is electrically connected to the vertical signal line 543, and the gate of the amplification transistor AMP is electrically connected to the source of the reset transistor RST.
  • the number of pixels 541 sharing one pixel circuit 210 may be other than four. For example, two or eight pixels 541 may share one pixel circuit 210.
  • FIG. 5 shows an example of a connection mode between the plurality of pixel sharing units 539 and the vertical signal line 543.
  • four pixel sharing units 539 arranged in a column direction are divided into four groups, and a vertical signal line 543 is connected to each of the four groups.
  • FIG. 5 shows an example in which each of the four groups has one pixel sharing unit 539 for the sake of brevity, but each of the four groups may include a plurality of pixel sharing units 539. ..
  • the plurality of pixel sharing units 539 arranged in the column direction may be divided into groups including one or a plurality of pixel sharing units 539.
  • a vertical signal line 543 and a column signal processing unit 550 are connected to each of the groups, and pixel signals can be read out from each group at the same time.
  • one vertical signal line 543 may be connected to a plurality of pixel sharing units 539 arranged in the column direction. At this time, pixel signals are sequentially read out in a time-division manner from a plurality of pixel sharing units 539 connected to one vertical signal line 543.
  • FIG. 6 shows an example of a cross-sectional configuration in the direction perpendicular to the main surfaces of the first substrate 100, the second substrate 200, and the third substrate 300 of the image pickup apparatus 1.
  • FIG. 6 is a schematic representation in order to make it easy to understand the positional relationship of the components, and may differ from the actual cross section.
  • the image pickup device 1 further has a light receiving lens 401 on the back surface side (light incident surface side) of the first substrate 100.
  • a color filter layer (not shown) may be provided between the light receiving lens 401 and the first substrate 100.
  • the light receiving lens 401 is provided for each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D, for example.
  • the image pickup device 1 is, for example, a back-illuminated image pickup device.
  • the image pickup apparatus 1 has a pixel array unit 540 arranged in the central portion and a peripheral portion 540B arranged outside the pixel array unit 540.
  • the first substrate 100 has an insulating film 111, a fixed charge film 112, a semiconductor layer 100S, and a wiring layer 100T in this order from the light receiving lens 401 side.
  • the semiconductor layer 100S is composed of, for example, a silicon substrate.
  • the semiconductor layer 100S has, for example, a p-well layer 115 in a part of a surface (a surface on the wiring layer 100T side) and its vicinity, and in other regions (a region deeper than the p-well layer 115), It has an n-type semiconductor region 114.
  • the n-type semiconductor region 114 and the p-well layer 115 constitute a pn junction type photodiode PD.
  • the p-well layer 115 is a p-type semiconductor region.
  • FIG. 7A shows an example of the planar configuration of the first substrate 100.
  • FIG. 7A mainly shows the planar configuration of the pixel separation portion 117 of the first substrate 100, the photodiode PD, the floating diffusion FD, the VSS contact region 118, and the transfer transistor TR.
  • the configuration of the first substrate 100 will be described with reference to FIG. 6A.
  • a floating diffusion FD and a VSS contact region 118 are provided near the surface of the semiconductor layer 100S.
  • the floating diffusion FD is composed of an n-type semiconductor region provided in the p-well layer 115.
  • the floating diffusion FDs (floating diffusion FD1, FD2, FD3, FD4) of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D are provided close to each other, for example, in the central portion of the pixel sharing unit 539 (FIG. 7A). Although details will be described later, the four floating diffusions (floating diffusion FD1, FD2, FD3, FD4) included in the pixel sharing unit 539 are located in the first substrate 100 (more specifically, in the wiring layer 100T).
  • the floating diffusion FD is connected from the first substrate 100 to the second substrate 200 (more specifically, from the wiring layer 100T to the wiring layer 200T) via electrical means (through electrode 120E described later). There is.
  • the floating diffusion FD is electrically connected to the gate of the amplification transistor AMP and the source of the FD conversion gain switching transistor FDG by this electrical means. There is.
  • the VSS contact region 118 is a region electrically connected to the reference potential line VSS, and is arranged apart from the floating diffusion FD.
  • a floating diffusion FD is arranged at one end of each pixel in the V direction, and a VSS contact region 118 is arranged at the other end (FIG. 7A).
  • the VSS contact region 118 is composed of, for example, a p-type semiconductor region.
  • the VSS contact region 118 is connected to, for example, a ground potential or a fixed potential. As a result, the reference potential is supplied to the semiconductor layer 100S.
  • the first substrate 100 is provided with a transfer transistor TR together with a photodiode PD, a floating diffusion FD, and a VSS contact region 118.
  • the photodiode PD, floating diffusion FD, VSS contact region 118, and transfer transistor TR are provided in pixels 541A, 541B, 541C, and 541D, respectively.
  • the transfer transistor TR is provided on the surface side of the semiconductor layer 100S (the side opposite to the light incident surface side, the second substrate 200 side).
  • the transfer transistor TR has a transfer gate TG.
  • the transfer gate TG includes, for example, a horizontal portion TGb facing the surface of the semiconductor layer 100S and a vertical portion TGa provided in the semiconductor layer 100S.
  • the vertical portion TGa extends in the thickness direction of the semiconductor layer 100S. One end of the vertical portion TGa is in contact with the horizontal portion TGb, and the other end is provided in the n-type semiconductor region 114.
  • the horizontal portion TGb of the transfer gate TG extends from a position facing the vertical portion TGa, for example, toward the central portion of the pixel sharing unit 539 in the H direction (FIG. 7A).
  • the position of the through electrode (through electrode TGV described later) reaching the transfer gate TG in the H direction is changed to the H direction of the through electrode (through electrodes 120E, 121E described later) connected to the floating diffusion FD and VSS contact region 118.
  • the plurality of pixel sharing units 539 provided on the first substrate 100 have the same configuration as each other (FIG. 7A).
  • the semiconductor layer 100S is provided with a pixel separation unit 117 that separates pixels 541A, 541B, 541C, and 541D from each other.
  • the pixel separation portion 117 is formed so as to extend in the normal direction of the semiconductor layer 100S (the direction perpendicular to the surface of the semiconductor layer 100S).
  • the pixel separation unit 117 is provided so as to partition the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D from each other, and has, for example, a grid-like planar shape (FIGS. 7A and 7B).
  • the pixel separation unit 117 electrically and optically separates the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D from each other, for example.
  • the pixel separation unit 117 includes, for example, a light-shielding film 117A and an insulating film 117B.
  • a light-shielding film 117A for example, tungsten (W) or the like is used.
  • the insulating film 117B is provided between the light-shielding film 117A and the p-well layer 115 or the n-type semiconductor region 114.
  • the insulating film 117B is made of, for example, silicon oxide (SiO).
  • the pixel separation unit 117 has, for example, an FTI (Full Trench Isolation) structure and penetrates the semiconductor layer 100S. Although not shown, the pixel separation unit 117 is not limited to the FTI structure penetrating the semiconductor layer 100S.
  • the pixel separation unit 117 extends in the normal direction of the semiconductor layer 100S and is formed in a part of the semiconductor layer 100S.
  • the semiconductor layer 100S is provided with, for example, a first pinning region 113 and a second pinning region 116.
  • the first pinning region 113 is provided near the back surface of the semiconductor layer 100S, and is arranged between the n-type semiconductor region 114 and the fixed charge film 112.
  • the second pinning region 116 is provided on the side surface of the pixel separation unit 117, specifically, between the pixel separation unit 117 and the p-well layer 115 or the n-type semiconductor region 114.
  • the first pinning region 113 and the second pinning region 116 are composed of, for example, a p-type semiconductor region.
  • a fixed charge film 112 having a negative fixed charge is provided between the semiconductor layer 100S and the insulating film 111.
  • the electric field induced by the fixed charge film 112 forms the first pinning region 113 of the hole storage layer at the interface on the light receiving surface (back surface) side of the semiconductor layer 100S.
  • the fixed charge film 112 is formed of, for example, an insulating film having a negative fixed charge.
  • Examples of the material of the insulating film having a negative fixed charge include hafnium oxide, zircon oxide, aluminum oxide, titanium oxide and tantalum oxide.
  • a light-shielding film 117A is provided between the fixed charge film 112 and the insulating film 111.
  • the light-shielding film 117A may be provided continuously with the light-shielding film 117A constituting the pixel separation unit 117.
  • the light-shielding film 117A between the fixed charge film 112 and the insulating film 111 is selectively provided at a position facing the pixel separation portion 117 in the semiconductor layer 100S, for example.
  • the insulating film 111 is provided so as to cover the light-shielding film 117A.
  • the insulating film 111 is made of, for example, silicon oxide.
  • the wiring layer 100T provided between the semiconductor layer 100S and the second substrate 200 has an interlayer insulating film 119, pad portions 120 and 121, a passivation film 122, an interlayer insulating film 123 and a bonding film 124 from the semiconductor layer 100S side. It has in this order.
  • the horizontal portion TGb of the transfer gate TG is provided in the wiring layer 100T, for example.
  • the interlayer insulating film 119 is provided over the entire surface of the semiconductor layer 100S and is in contact with the semiconductor layer 100S.
  • the interlayer insulating film 119 is made of, for example, a silicon oxide film.
  • the configuration of the wiring layer 100T is not limited to the above, and may be any configuration having a wiring and an insulating film.
  • FIG. 7B shows the configurations of the pad portions 120 and 121 together with the planar configuration shown in FIG. 7A.
  • the pad portions 120 and 121 are provided in a selective region on the interlayer insulating film 119.
  • the pad portion 120 is for connecting the floating diffusion FDs (floating diffusion FD1, FD2, FD3, FD4) of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D to each other.
  • the pad unit 120 is arranged, for example, for each pixel sharing unit 539 in the central portion of the pixel sharing unit 539 in a plan view (FIG. 7B).
  • the pad portion 120 is provided so as to straddle the pixel separation portion 117, and is arranged so as to be superimposed on at least a part of each of the floating diffusion FD1, FD2, FD3, and FD4 (FIGS. 6 and 7B).
  • the pad unit 120 includes at least a part of each of a plurality of floating diffusion FDs (floating diffusion FD1, FD2, FD3, FD4) sharing the pixel circuit 210, and a plurality of photodiodes sharing the pixel circuit 210.
  • the interlayer insulating film 119 is provided with a connecting via 120C for electrically connecting the pad portion 120 and the floating diffusion FD1, FD2, FD3, and FD4.
  • the connection via 120C is provided in each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D. For example, by embedding a part of the pad portion 120 in the connecting via 120C, the pad portion 120 and the floating diffusion FD1, FD2, FD3, and FD4 are electrically connected.
  • the pad portion 121 is for connecting a plurality of VSS contact regions 118 to each other.
  • a VSS contact area 118 provided in pixels 541C and 541D of one pixel sharing unit 539 adjacent to each other in the V direction and a VSS contact area 118 provided in pixels 541A and 541B of the other pixel sharing unit 539 are pads. It is electrically connected by the unit 121.
  • the pad portion 121 is provided so as to straddle the pixel separation portion 117, for example, and is arranged so as to superimpose on at least a part of each of these four VSS contact regions 118.
  • the pad portion 121 is a semiconductor with respect to at least a part of each of the plurality of VSS contact regions 118 and at least a part of the pixel separation portion 117 formed between the plurality of VSS contact regions 118. It is formed in a region overlapping in a direction perpendicular to the surface of the layer 100S.
  • the interlayer insulating film 119 is provided with a connecting via 121C for electrically connecting the pad portion 121 and the VSS contact region 118.
  • the connection via 121C is provided in each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D.
  • the pad portion 121 and the VSS contact region 118 are electrically connected by embedding a part of the pad portion 121 in the connection via 121C.
  • the pad portions 120 and the pad portions 121 of each of the plurality of pixel sharing units 539 arranged in the V direction are arranged at substantially the same positions in the H direction (FIG. 7B).
  • the pad portion 120 By providing the pad portion 120, it is possible to reduce the wiring for connecting each floating diffusion FD to the pixel circuit 210 (for example, the gate electrode of the amplification transistor AMP) in the entire chip. Similarly, by providing the pad portion 121, it is possible to reduce the wiring that supplies the potential to each VSS contact region 118 in the entire chip. This makes it possible to reduce the area of the entire chip, suppress electrical interference between wirings in miniaturized pixels, and / or reduce costs by reducing the number of parts.
  • the pad portions 120 and 121 can be provided at desired positions on the first substrate 100 and the second substrate 200. Specifically, the pad portions 120 and 121 can be provided in either the wiring layer 100T or the insulating region 212 of the semiconductor layer 200S. When provided in the wiring layer 100T, the pad portions 120 and 121 may be brought into direct contact with the semiconductor layer 100S. Specifically, the pad portions 120 and 121 may be directly connected to at least a part of each of the floating diffusion FD and / or the VSS contact region 118.
  • connection vias 120C and 121C are provided from each of the floating diffusion FD and / or VSS contact region 118 connected to the pad portions 120 and 121, and the pad portion 120 is provided at a desired position in the insulating region 2112 of the wiring layer 100T and the semiconductor layer 200S. , 121 may be provided.
  • the wiring connected to the floating diffusion FD and / or the VSS contact region 118 in the insulating region 212 of the semiconductor layer 200S can be reduced.
  • the area of the insulating region 212 for forming the through wiring for connecting the floating diffusion FD to the pixel circuit 210 in the second substrate 200 forming the pixel circuit 210 can be reduced. Therefore, a large area of the second substrate 200 forming the pixel circuit 210 can be secured. By securing the area of the pixel circuit 210, the pixel transistor can be formed large, which can contribute to the improvement of image quality by reducing noise and the like.
  • the floating diffusion FD and / or VSS contact region 118 is preferably provided in each pixel 541. Therefore, by using the configuration of the pad units 120 and 121, the first The wiring connecting the substrate 100 and the second substrate 200 can be significantly reduced.
  • the pad portion 120 to which a plurality of floating diffusion FDs are connected and the pad portion 121 to which a plurality of VSS contact regions 118 are connected are alternately arranged linearly in the V direction. .. Further, the pad portions 120 and 121 are formed at positions surrounded by a plurality of photodiode PDs, a plurality of transfer gates TGs, and a plurality of floating diffusion FDs.
  • the pad portions 120 and 121 are formed at positions surrounded by a plurality of photodiode PDs, a plurality of transfer gates TGs, and a plurality of floating diffusion FDs.
  • the pad portions 120 and 121 are made of, for example, polysilicon (Poly Si), more specifically, doped polysilicon to which impurities are added.
  • the pad portions 120 and 121 are preferably made of a conductive material having high heat resistance such as polysilicon, tungsten (W), titanium (Ti) and titanium nitride (TiN).
  • the pixel circuit 210 can be formed after the semiconductor layer 200S of the second substrate 200 is bonded to the first substrate 100. The reason for this will be described below.
  • a method of forming the pixel circuit 210 after laminating the semiconductor layers 200S of the first substrate 100 and the second substrate 200 is referred to as a first manufacturing method.
  • the second manufacturing method it is conceivable to form the pixel circuit 210 on the second substrate 200 and then attach it to the first substrate 100 (hereinafter referred to as the second manufacturing method).
  • the second manufacturing method electrodes for electrical connection are formed in advance on the surface of the first substrate 100 (the surface of the wiring layer 100T) and the surface of the second substrate 200 (the surface of the wiring layer 200T). ..
  • the electrodes for electrical connection formed on the surface of the first substrate 100 and the surface of the second substrate 200 come into contact with each other.
  • an electrical connection is formed between the wiring included in the first substrate 100 and the wiring included in the second substrate 200. Therefore, by configuring the image pickup apparatus 1 using the second manufacturing method, for example, it can be manufactured by using an appropriate process according to the respective configurations of the first substrate 100 and the second substrate 200. It is possible to manufacture high-quality, high-performance imaging devices.
  • the first substrate 100 and the second substrate 200 when the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded together, an alignment error may occur due to the manufacturing apparatus for bonding.
  • the first substrate 100 and the second substrate 200 have a size of, for example, about several tens of centimeters in diameter, and when the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded together, the first substrate 100 and the first substrate 200 are attached. 2
  • expansion and contraction of the substrate may occur in the microscopic region of each part of the substrate 200. The expansion and contraction of the substrates is caused by a slight shift in the timing of contact between the substrates.
  • the second manufacturing method it is preferable to take measures so that the electrodes of the first substrate 100 and the second substrate 200 are in contact with each other even if such an error occurs. Specifically, at least one of the electrodes of the first substrate 100 and the second substrate 200, preferably both, is increased in consideration of the above error. Therefore, when the second manufacturing method is used, for example, the size of the electrode formed on the surface of the first substrate 100 or the second substrate 200 (the size in the plane direction of the substrate) is the size of the first substrate 100 or the second substrate 200. It is larger than the size of the internal electrode extending from the inside of the substrate 200 to the surface in the thickness direction.
  • the above-mentioned first manufacturing method can be used.
  • the first manufacturing method after forming the first substrate 100 including the photodiode PD, the transfer transistor TR, and the like, the first substrate 100 and the second substrate 200 (semiconductor layer 2000S) are bonded together.
  • the second substrate 200 is in a state in which patterns such as active elements and wiring layers constituting the pixel circuit 210 are not formed. Since the second substrate 200 is in a state before forming a pattern, even if an error occurs in the bonding position when the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded, the bonding error causes the bonding error.
  • the pattern of the second substrate 200 is formed after the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded together.
  • the pattern formed on the first substrate is formed as a target for alignment.
  • the error in the bonding position between the first substrate 100 and the second substrate 200 does not pose a problem in manufacturing the image pickup apparatus 1 in the first manufacturing method.
  • the error caused by the expansion and contraction of the substrate caused by the second manufacturing method does not pose a problem in manufacturing the image pickup apparatus 1 in the first manufacturing method.
  • the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV are formed.
  • a pattern of the through electrodes is formed from above the second substrate 200 by using reduced projection exposure by an exposure apparatus. Since the reduced exposure projection is used, even if an error occurs in the alignment between the second substrate 200 and the exposure apparatus, the magnitude of the error is the error of the second manufacturing method in the second substrate 200. It is only a fraction (the reciprocal of the reduced exposure projection magnification). Therefore, by configuring the image pickup apparatus 1 using the first manufacturing method, it becomes easy to align the elements formed on the first substrate 100 and the second substrate 200, and the quality and performance are high. Can be manufactured.
  • the image pickup device 1 manufactured by using the first manufacturing method has different characteristics from the image pickup device manufactured by the second manufacturing method.
  • the through electrodes 120E, 121E, and TGV have a substantially constant thickness (the substrate) from the second substrate 200 to the first substrate 100. The size in the plane direction).
  • the through electrodes 120E, 121E, and TGV have a tapered shape, they have a tapered shape having a constant inclination.
  • the image pickup apparatus 1 having such through electrodes 120E, 121E, and TGV tends to make the pixel 541 finer.
  • the active element is formed on the second substrate 200 after the first substrate 100 and the second substrate 200 (semiconductor layer 200S) are bonded to each other.
  • the 1 substrate 100 is also affected by the heat treatment required for forming the active element. Therefore, as described above, it is preferable to use a conductive material having high heat resistance for the pad portions 120 and 121 provided on the first substrate 100.
  • a material having a higher melting point that is, higher heat resistance
  • a conductive material having high heat resistance such as doped polysilicon, tungsten, titanium or titanium nitride is used for the pad portions 120 and 121. This makes it possible to manufacture the image pickup apparatus 1 by using the first manufacturing method.
  • the passivation film 122 is provided over the entire surface of the semiconductor layer 100S so as to cover the pad portions 120 and 121, for example (FIG. 6).
  • the passivation film 122 is made of, for example, a silicon nitride (SiN) film.
  • the interlayer insulating film 123 covers the pad portions 120 and 121 with the passivation film 122 in between.
  • the interlayer insulating film 123 is provided over the entire surface of the semiconductor layer 100S, for example.
  • the interlayer insulating film 123 is made of, for example, a silicon oxide (SiO) film.
  • the bonding film 124 is provided on the bonding surface between the first substrate 100 (specifically, the wiring layer 100T) and the second substrate 200. That is, the bonding film 124 is in contact with the second substrate 200.
  • the bonding film 124 is provided over the entire main surface of the first substrate 100.
  • the bonding film 124 is composed of, for example, a silicon nitride
  • the light receiving lens 401 faces the semiconductor layer 100S with the fixed charge film 112 and the insulating film 111 in between, for example (FIG. 6).
  • the light receiving lens 401 is provided at a position facing the photodiode PD of each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D, for example.
  • the second substrate 200 has a semiconductor layer 200S and a wiring layer 200T in this order from the first substrate 100 side.
  • the semiconductor layer 200S is made of a silicon substrate.
  • the well region 211 is provided in the thickness direction.
  • the well region 211 is, for example, a p-type semiconductor region.
  • the second substrate 20 is provided with pixel circuits 210 arranged for each pixel sharing unit 539.
  • the pixel circuit 210 is provided, for example, on the surface side (wiring layer 200T side) of the semiconductor layer 200S.
  • the second substrate 200 is attached to the first substrate 100 so that the back surface side (semiconductor layer 200S side) of the second substrate 200 faces the front surface side (wiring layer 100T side) of the first substrate 100. ing. That is, the second substrate 200 is attached to the first substrate 100 face-to-back.
  • FIGS. 8 to 12 schematically show an example of the planar configuration of the second substrate 200.
  • FIG. 8 shows the configuration of the pixel circuit 210 provided near the surface of the semiconductor layer 200S.
  • FIG. 9 schematically shows the configuration of each part of the wiring layer 200T (specifically, the first wiring layer W1 described later), the semiconductor layer 200S connected to the wiring layer 200T, and the first substrate 100.
  • 10 to 12 show an example of the planar configuration of the wiring layer 200T.
  • the configuration of the second substrate 200 will be described with reference to FIGS. 8 to 12. In FIGS.
  • the outer shape of the photodiode PD (the boundary between the pixel separation portion 117 and the photodiode PD) is represented by a broken line, and the semiconductor layer 200S and the element separation of the portion overlapping the gate electrode of each transistor constituting the pixel circuit 210 are separated.
  • the boundary with the region 213 or the insulating region 214 is represented by a dotted line.
  • a boundary between the semiconductor layer 200S and the element separation region 213 and a boundary between the element separation region 213 and the insulation region 212 are provided on one side in the channel width direction.
  • the second substrate 200 is provided with an insulating region 212 for dividing the semiconductor layer 200S and an element separation region 213 provided in a part of the semiconductor layer 200S in the thickness direction (FIG. 6).
  • an insulating region 212 for dividing the semiconductor layer 200S and an element separation region 213 provided in a part of the semiconductor layer 200S in the thickness direction (FIG. 6).
  • Through electrodes TGV1, TGV2, TGV3, TGV4 are arranged (FIG. 9).
  • the insulating region 212 has substantially the same thickness as the thickness of the semiconductor layer 200S (FIG. 6).
  • the semiconductor layer 200S is divided by the insulating region 212.
  • Through electrodes 120E and 121E and through electrodes TGV are arranged in this insulating region 212.
  • the insulating region 212 is made of, for example, silicon oxide.
  • Through electrodes 120E and 121E are provided so as to penetrate the insulating region 212 in the thickness direction.
  • the upper ends of the through electrodes 120E and 121E are connected to the wiring of the wiring layer 200T (first wiring W1, second wiring W2, third wiring W3, fourth wiring W4, which will be described later).
  • the through electrodes 120E and 121E are provided so as to penetrate the insulating region 212, the bonding film 124, the interlayer insulating film 123 and the passivation film 122, and their lower ends are connected to the pad portions 120 and 121 (FIG. 6).
  • the through silicon via 120E is for electrically connecting the pad portion 120 and the pixel circuit 210.
  • the through silicon via 120E electrically connects the floating diffusion FD of the first substrate 100 to the pixel circuit 210 of the second substrate 200.
  • the through silicon via 121E is for electrically connecting the pad portion 121 and the reference potential line VSS of the wiring layer 200T. That is, the VSS contact region 118 of the first substrate 100 is electrically connected to the reference potential line VSS of the second substrate 200 by the through electrode 121E.
  • the through electrode TGV is provided so as to penetrate the insulating region 212 in the thickness direction.
  • the upper end of the through electrode TGV is connected to the wiring of the wiring layer 200T.
  • the through electrode TGV is provided so as to penetrate the insulating region 212, the bonding film 124, the interlayer insulating film 123, the passivation film 122, and the interlayer insulating film 119, and the lower end thereof is connected to the transfer gate TG (FIG. 6).
  • Such a through electrode TGV includes the transfer gate TG (transfer gate TG1, TG2, TG3, TG4) of each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D, and the wiring of the wiring layer 200T (a part of the row drive signal line 542, specifically.
  • the transfer gate TG of the first substrate 100 is electrically connected to the wiring TRG of the second substrate 200 by the through electrode TGV, and a drive signal is sent to each of the transfer transistors TR (transfer transistors TR1, TR2, TR3, TR4). It is supposed to be.
  • the insulating region 212 is an region for providing the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV for electrically connecting the first substrate 100 and the second substrate 200 so as to be insulated from the semiconductor layer 200S.
  • through electrodes 120E and 121E and through electrodes TGV (through electrodes TGV) connected to the two pixel circuits 210 in an insulating region 212 provided between two pixel circuits 210 (pixel sharing unit 539) adjacent to each other in the H direction.
  • Electrodes TGV1, TGV2, TGV3, TGV4 are arranged.
  • the insulating region 212 is provided, for example, extending in the V direction (FIGS. 8 and 9).
  • the position of the through electrodes TGV in the H direction is closer to the position of the through electrodes 120E and 121E in the H direction than the position of the vertical portion TGa. They are arranged (FIGS. 7A, 9).
  • the through electrodes TGV are arranged at substantially the same positions as the through electrodes 120E and 120E in the H direction.
  • the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV can be provided together in the insulating region 212 extending in the V direction.
  • the through electrode TGV is formed substantially directly above the vertical portion TGa, and for example, the through electrode TGV is arranged substantially at the center of each pixel 541 in the H direction and the V direction. At this time, the positions of the through electrodes TGV in the H direction and the positions of the through electrodes 120E and 121E in the H direction are significantly deviated.
  • An insulating region 212 is provided around the through electrodes TGV and the through electrodes 120E and 121E in order to electrically insulate them from the adjacent semiconductor layers 200S.
  • the semiconductor layer 200S is finely divided.
  • the size of the semiconductor layer 200S in the H direction can be increased. Therefore, a large area of the semiconductor element forming region in the semiconductor layer 200S can be secured. This makes it possible, for example, to increase the size of the amplification transistor AMP and suppress noise.
  • the pixel sharing unit 539 electrically connects between the floating diffusion FDs provided in each of the plurality of pixels 541, and the plurality of pixels 541 are combined into one pixel circuit 210.
  • the electrical connection between the floating diffusion FDs is made by a pad portion 120 provided on the first substrate 100 (FIGS. 6 and 7B).
  • the electrical connection portion (pad portion 120) provided on the first substrate 100 and the pixel circuit 210 provided on the second substrate 200 are electrically connected via one through electrode 120E.
  • the pixel sharing unit 539 is provided with four through electrodes connected to each of the floating diffusion FD1, FD2, FD3, and FD4. Therefore, in the second substrate 200, the number of through electrodes penetrating the semiconductor layer 200S increases, and the insulating region 212 that insulates the periphery of these through electrodes becomes large.
  • the structure in which the pad portion 120 is provided on the first substrate 100 can reduce the number of through electrodes and reduce the insulating region 212. Therefore, a large area of the semiconductor element forming region in the semiconductor layer 200S can be secured. This makes it possible, for example, to increase the size of the amplification transistor AMP and suppress noise.
  • the element separation region 213 is provided on the surface side of the semiconductor layer 200S.
  • the element separation region 213 has an STI (Shallow Trench Isolation) structure.
  • the semiconductor layer 200S is dug in the thickness direction (perpendicular to the main surface of the second substrate 200), and an insulating film is embedded in the dug.
  • This insulating film is made of, for example, silicon oxide.
  • the element separation region 213 separates the elements of the plurality of transistors constituting the pixel circuit 210 according to the layout of the pixel circuit 210.
  • a semiconductor layer 200S (specifically, a well region 211) extends below the element separation region 213 (deep portion of the semiconductor layer 200S).
  • the outer shape of the pixel sharing unit 539 on the first substrate 100 (outer shape in the plane direction of the substrate) and the pixel sharing unit 539 on the second substrate 200. The difference from the outer shape will be described.
  • a pixel sharing unit 539 is provided across both the first substrate 100 and the second substrate 200.
  • the outer shape of the pixel sharing unit 539 provided on the first substrate 100 and the outer shape of the pixel sharing unit 539 provided on the second board 200 are different from each other.
  • the outlines of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D are represented by alternate long and short dash lines, and the outline shape of the pixel sharing unit 539 is represented by a thick line.
  • the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 has two pixels 541 (pixels 541A and 541B) arranged adjacent to each other in the H direction and two pixels 541 (pixels 541A and 541B) arranged adjacent to the two pixels 541 (pixels 541A and 541B) adjacent to each other in the V direction. It is composed of pixels 541C, 541D).
  • the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 is composed of four pixels 541 of two adjacent rows ⁇ 2 columns, and the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 has a substantially square outer shape. ing.
  • such a pixel sharing unit 539 has a two-pixel pitch in the H direction (a pitch corresponding to two pixels 541) and a two-pixel pitch in the V direction (two pixels 541). Corresponding pitch), are arranged adjacent to each other.
  • the outlines of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D are represented by alternate long and short dash lines, and the outline shape of the pixel sharing unit 539 is represented by a thick line.
  • the outer shape of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 is smaller than the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 in the H direction and larger than the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 in the V direction. ..
  • the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 is formed with a size (region) corresponding to one pixel in the H direction and a size corresponding to four pixels in the V direction. ing. That is, the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 is formed in a size corresponding to the pixels arranged in adjacent 1 row ⁇ 4 columns, and the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 is substantially rectangular. It has an outer shape.
  • each pixel circuit 210 the selection transistor SEL, the amplification transistor AMP, the reset transistor RST, and the FD conversion gain switching transistor FDG are arranged in this order in the V direction (FIG. 8).
  • the outer shape of each pixel circuit 210 in a substantially rectangular shape as described above, four transistors (selection transistor SEL, amplification transistor AMP, reset transistor RST and FD conversion) are provided in one direction (V direction in FIG. 8).
  • Gain switching transistors FDG) can be arranged side by side.
  • the drain of the amplification transistor AMP and the drain of the reset transistor RST can be shared by one diffusion region (diffusion region connected to the power supply line VDD).
  • each pixel circuit 210 can be provided in a substantially square shape (see FIG. 21 described later).
  • two transistors are arranged along one direction, and it becomes difficult to share the drain of the amplification transistor AMP and the drain of the reset transistor RST in one diffusion region. Therefore, by providing the formation region of the pixel circuit 210 in a substantially rectangular shape, it becomes easy to arrange the four transistors in close proximity to each other, and the formation region of the pixel circuit 210 can be reduced. That is, the pixels can be miniaturized. Further, when it is not necessary to reduce the formation region of the pixel circuit 210, it is possible to increase the formation region of the amplification transistor AMP and suppress noise.
  • a VSS contact region 218 connected to the reference potential line VSS is provided. ..
  • the VSS contact region 218 is composed of, for example, a p-type semiconductor region.
  • the VSS contact region 218 is electrically connected to the VSS contact region 118 of the first substrate 100 (semiconductor layer 100S) via the wiring of the wiring layer 200T and the through electrode 121E.
  • the VSS contact region 218 is provided at a position adjacent to the source of the FD conversion gain switching transistor FDG, for example, with the element separation region 213 in between (FIG. 8).
  • one of the pixel sharing units 539 (for example, on the upper side of the paper in FIG. 7B) is the two pixel sharing units arranged in the H direction of the second substrate 200. It is connected to the pixel sharing unit 539 of one of the 539s (for example, the left side of the paper in FIG. 8).
  • the other pixel sharing unit 539 for example, the lower side of the paper surface in FIG. 7B
  • the internal layout of one pixel sharing unit 539 sets the internal layout of the other pixel sharing unit 539 in the V direction and H. It is almost equal to the layout flipped in the direction. The effects obtained by this layout will be described below.
  • each pad portion 120 is a central portion of the outer shape of the pixel sharing unit 539, that is, a central portion in the V direction and the H direction of the pixel sharing unit 539. (Fig. 7B).
  • the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 has a substantially rectangular outer shape that is long in the V direction as described above, for example, the amplification transistor AMP connected to the pad portion 120 has pixel sharing.
  • the unit 539 is arranged at a position shifted upward from the center of the V direction.
  • the amplification transistor AMP of one pixel sharing unit 539 and the pad portion 120 (for example, the upper side of the paper in FIG. 7)
  • the distance of the pixel sharing unit 539 from the pad portion 120) is relatively short.
  • the distance between the amplification transistor AMP of the other pixel sharing unit 539 and the pad portion 120 (for example, the pad portion 120 of the pixel sharing unit 539 on the lower side of the paper surface in FIG. 7) becomes long. Therefore, the area of the wiring required for connecting the amplification transistor AMP and the pad portion 120 becomes large, and the wiring layout of the pixel sharing unit 539 may be complicated. This may affect the miniaturization of the image pickup apparatus 1.
  • the internal layouts of the two pixel sharing units 539 are inverted at least in the V direction, so that the amplification transistors AMP of both of these two pixel sharing units 539 can be used.
  • the distance from the pad portion 120 can be shortened. Therefore, the image pickup device 1 can be easily miniaturized as compared with the configuration in which the internal layouts of the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction of the second substrate 200 are the same.
  • the plane layout of each of the plurality of pixel sharing units 539 of the second substrate 200 is symmetrical in the range shown in FIG. 8, but if the layout of the first wiring layer W1 described in FIG. 9 to be described later is included, It becomes asymmetrical.
  • the internal layouts of the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction of the second substrate 200 are inverted with each other in the H direction.
  • the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction of the second substrate 200 are connected to the pad portions 120 and 121 of the first substrate 100, respectively.
  • the pad portions 120 and 121 are arranged at the center of the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction of the second substrate 200 in the H direction (between the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction).
  • the plurality of pixel sharing units 539 of the second substrate 200 and the pad unit 120 are reversing the internal layouts of the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction of the second substrate 200 in the H direction, the plurality of pixel sharing units 539 of the second substrate 200 and the pad unit 120, respectively.
  • the distance from 121 can be reduced. That is, it becomes easier to miniaturize the image pickup device 1.
  • the position of the outline of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 does not have to be aligned with the position of any of the outlines of the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100.
  • the pixel sharing unit 539 on one side has the outer shape of one side in the V direction (for example, the upper side of the paper surface in FIG. 9).
  • the line is arranged outside one outline in the V direction of the pixel sharing unit 539 (for example, the upper side of the paper surface of FIG. 7B) of the corresponding first substrate 100.
  • the other pixel sharing unit 539 (for example, the right side of the paper surface in FIG. 9) has the other pixel sharing unit 539 in the V direction (for example, the lower side of the paper surface in FIG. 9).
  • the outline is arranged outside the other outline in the V direction of the pixel sharing unit 539 (for example, the lower side of the paper surface of FIG. 7B) of the corresponding first substrate 100.
  • the positions of the outlines of the plurality of pixel sharing units 539 of the second substrate 200 do not have to be aligned with each other.
  • the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction of the second substrate 200 are arranged so that the positions of the outer lines in the V direction are deviated. This makes it possible to shorten the distance between the amplification transistor AMP and the pad portion 120. Therefore, the image pickup device 1 can be easily miniaturized.
  • the repetitive arrangement of the pixel sharing unit 539 in the pixel array unit 540 will be described with reference to FIGS. 7B and 9.
  • the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 has the size of two pixels 541 in the H direction and the size of two pixels 541 in the V direction (FIG. 7B).
  • the pixel sharing unit 539 having a size corresponding to these four pixels 541 has a two-pixel pitch in the H direction (a pitch corresponding to two pixels 541) and , 2 pixel pitches (pitches corresponding to two pixels 541) in the V direction, are arranged adjacently and repeatedly.
  • the pixel array unit 540 of the first substrate 100 may be provided with a pair of pixel sharing units 539 in which two pixel sharing units 539 are arranged adjacent to each other in the V direction.
  • the pair of pixel sharing units 539 have a 2-pixel pitch in the H direction (a pitch corresponding to two pixels 541) and a 4-pixel pitch in the V direction (a pitch corresponding to two pixels 541). Pitches corresponding to four pixels 541), which are adjacent and repeatedly arranged.
  • the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 has the size of one pixel 541 in the H direction and the size of four pixels 541 in the V direction (FIG. 9).
  • the pixel array unit 540 of the second substrate 200 is provided with a pair of pixel sharing units 539 including two pixel sharing units 539 having a size corresponding to the four pixels 541.
  • the pixel sharing unit 539 is arranged adjacent to the H direction and offset in the V direction.
  • the pair of pixel sharing units 539 have a pitch of 2 pixels in the H direction (a pitch corresponding to two pixels 541) and a pitch of 4 pixels in the V direction (a pitch corresponding to two pixels 541). (Pitch corresponding to four pixels 541), and are repeatedly arranged adjacent to each other without a gap.
  • the pixel sharing units 539 can be arranged without any gaps. Therefore, the image pickup device 1 can be easily miniaturized.
  • the amplification transistor AMP preferably has a three-dimensional structure such as a Fin type (FIG. 6). As a result, the size of the effective gate width becomes large, and noise can be suppressed.
  • the selection transistor SEL, the reset transistor RST, and the FD conversion gain switching transistor FDG have, for example, a planar structure.
  • the amplification transistor AMP may have a planar structure.
  • the selection transistor SEL, the reset transistor RST, or the FD conversion gain switching transistor FDG may have a three-dimensional structure.
  • the wiring layer 200T includes, for example, a passivation film 221 and an interlayer insulating film 222 and a plurality of wirings (first wiring layer W1, second wiring layer W2, third wiring layer W3, and fourth wiring layer W4).
  • the passivation film 221 is in contact with the surface of the semiconductor layer 200S, for example, and covers the entire surface of the semiconductor layer 200S.
  • the passivation film 221 covers the gate electrodes of the selection transistor SEL, the amplification transistor AMP, the reset transistor RST, and the FD conversion gain switching transistor FDG.
  • the interlayer insulating film 222 is provided between the passivation film 221 and the third substrate 300.
  • a plurality of wirings (first wiring layer W1, second wiring layer W2, third wiring layer W3, fourth wiring layer W4) are separated by the interlayer insulating film 222.
  • the interlayer insulating film 222 is made of, for example, silicon oxide.
  • the wiring layer 200T is provided with the first wiring layer W1, the second wiring layer W2, the third wiring layer W3, the fourth wiring layer W4, and the contact portions 201 and 202 in this order from the semiconductor layer 200S side.
  • the interlayer insulating film 222 is provided with a plurality of connecting portions for connecting the first wiring layer W1, the second wiring layer W2, the third wiring layer W3, or the fourth wiring layer W4, and their lower layers.
  • the connecting portion is a portion in which a conductive material is embedded in a connection hole provided in the interlayer insulating film 222.
  • the interlayer insulating film 222 is provided with a connecting portion 218V for connecting the first wiring layer W1 and the VSS contact region 218 of the semiconductor layer 200S.
  • the hole diameter of the connecting portion connecting the elements of the second substrate 200 is different from the hole diameters of the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV.
  • the hole diameters of the connection holes for connecting the elements of the second substrate 200 are preferably smaller than the hole diameters of the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV. The reason for this will be described below.
  • the depth of the connecting portion (connecting portion 218V, etc.) provided in the wiring layer 200T is smaller than the depth of the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV. Therefore, as compared with the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV, the connecting portion can easily fill the connecting hole with the conductive material. By making the hole diameter of the connection portion smaller than the hole diameters of the through electrodes 120E and 121E and the through electrodes TGV, the image pickup device 1 can be easily miniaturized.
  • the through electrode 120E, the gate of the amplification transistor AMP, and the source of the FD conversion gain switching transistor FDG are connected by the first wiring layer W1.
  • the first wiring layer W1 connects, for example, the through electrode 121E and the connection portion 218V, whereby the VSS contact region 218 of the semiconductor layer 200S and the VSS contact region 118 of the semiconductor layer 100S are electrically connected.
  • FIG. 10 shows an example of the planar configuration of the first wiring layer W1 and the second wiring layer W2.
  • FIG. 11 shows an example of the planar configuration of the second wiring layer W2 and the third wiring layer W3.
  • FIG. 12 shows an example of the planar configuration of the third wiring layer W3 and the fourth wiring layer W4.
  • the third wiring layer W3 includes wirings TRG1, TRG2, TRG3, TRG4, SELL, RSTL, and FDGL extending in the H direction (row direction) (FIG. 11). These wirings correspond to a plurality of line drive signal lines 542 described with reference to FIG.
  • the wirings TRG1, TRG2, TRG3, and TRG4 are for sending drive signals to the transfer gates TG1, TG2, TG3, and TG4, respectively.
  • the wirings TRG1, TRG2, TRG3, and TRG4 are connected to the transfer gates TG1, TG2, TG3, and TG4 via the second wiring layer W2, the first wiring layer W1, and the through electrode 120E, respectively.
  • the wiring SEL is for sending a drive signal to the gate of the selection transistor SEL
  • the wiring RSTL is for sending a drive signal to the gate of the reset transistor RST
  • the wiring FDGL is for sending a drive signal to the gate of the FD conversion gain switching transistor FDG.
  • the wiring SEL, RSTL, and FDGL are connected to the gates of the selection transistor SEL, the reset transistor RST, and the FD conversion gain switching transistor FDG, respectively, via the second wiring layer W2, the first wiring layer W1, and the connection portion.
  • the fourth wiring layer W4 includes a power supply line VDD, a reference potential line VSS, and a vertical signal line 543 extending in the V direction (column direction) (FIG. 12).
  • the power supply line VDD is connected to the drain of the amplification transistor AMP and the drain of the reset transistor RST via the third wiring layer W3, the second wiring layer W2, the first wiring layer W1, and the connection portion.
  • the reference potential line VSS is connected to the VSS contact region 218 via the third wiring layer W3, the second wiring layer W2, the first wiring layer W1 and the connection portion 218V.
  • the reference potential line VSS is connected to the VSS contact region 118 of the first substrate 100 via the third wiring layer W3, the second wiring layer W2, the first wiring layer W1, the through electrode 121E, and the pad portion 121. ..
  • the vertical signal line 543 is connected to the source (Vout) of the selection transistor SEL via the third wiring layer W3, the second wiring layer W2, the first wiring layer W1, and the connection portion.
  • the contact portions 201 and 202 may be provided at positions overlapping the pixel array portion 540 in a plan view (for example, FIG. 3), or may be provided on the outer peripheral portion 540B of the pixel array portion 540. (For example, FIG. 6).
  • the contact portions 201 and 202 are provided on the surface of the second substrate 200 (the surface on the wiring layer 200T side).
  • the contact portions 201 and 202 are made of, for example, metals such as Cu (copper) and Al (aluminum).
  • the contact portions 201 and 202 are exposed on the surface of the wiring layer 200T (the surface on the third substrate 300 side).
  • the contact portions 201 and 202 are used for electrical connection between the second substrate 200 and the third substrate 300 and for bonding the second substrate 200 and the third substrate 300.
  • FIG. 6 shows an example in which a peripheral circuit is provided on the peripheral portion 540B of the second substrate 200.
  • This peripheral circuit may include a part of the row drive unit 520, a part of the column signal processing unit 550, and the like. Further, as shown in FIG. 3, the peripheral circuits may not be arranged in the peripheral portion 540B of the second substrate 200, but the connection holes H1 and H2 may be arranged in the vicinity of the pixel array portion 540.
  • the third substrate 300 has, for example, the wiring layer 300T and the semiconductor layer 300S in this order from the second substrate 200 side.
  • the surface of the semiconductor layer 300S is provided on the second substrate 200 side.
  • the semiconductor layer 300S is composed of a silicon substrate.
  • a circuit is provided on the surface side portion of the semiconductor layer 300S. Specifically, on the surface side portion of the semiconductor layer 300S, for example, among the input unit 510A, the row drive unit 520, the timing control unit 530, the column signal processing unit 550, the image signal processing unit 560, and the output unit 510B. At least part of it is provided.
  • the wiring layer 300T provided between the semiconductor layer 300S and the second substrate 200 includes, for example, an interlayer insulating film, a plurality of wiring layers separated by the interlayer insulating film, and contact portions 301 and 302. There is.
  • the contact portions 301 and 302 are exposed on the surface of the wiring layer 300T (the surface on the second substrate 200 side), the contact portion 301 is on the contact portion 201 of the second substrate 200, and the contact portion 302 is on the second substrate 200. Each is in contact with the contact portion 202.
  • the contact units 301 and 302 are at least one of the circuits formed in the semiconductor layer 300S (for example, input unit 510A, row drive unit 520, timing control unit 530, column signal processing unit 550, image signal processing unit 560, and output unit 510B. Is electrically connected to.
  • the contact portions 301 and 302 are made of, for example, metals such as Cu (copper) and aluminum (Al).
  • the external terminal TA is connected to the input unit 510A via the connection hole portion H1
  • the external terminal TB is connected to the output unit 510B via the connection hole portion H2.
  • the image pickup device mainly consists of a photodiode and a pixel circuit.
  • the image pickup apparatus has better image data (image information).
  • S / N ratio signal / noise ratio
  • the image pickup apparatus has better image data (image information).
  • the size of the transistor included in the pixel circuit is increased, the noise generated in the pixel circuit is reduced, and as a result, the S / N ratio of the image pickup signal is improved, and the image pickup device has a better image.
  • Data (image information) can be output.
  • the size of the transistor provided in the pixel circuit becomes small. Can be considered. Further, if the size of the transistor provided in the pixel circuit is increased, the area of the photodiode may be reduced.
  • a plurality of pixels 541 share one pixel circuit 210, and the shared pixel circuit 210 is superimposed on the photodiode PD.
  • the S / N ratio of the pixel signal can be improved, and the image pickup apparatus 1 can output better image data (image information).
  • the floating diffusion FD of each of the plurality of pixels 541 is connected to one pixel circuit 210.
  • Multiple wires extend. In order to secure a large area of the semiconductor substrate 200 forming the pixel circuit 210, for example, it is possible to connect these extending wires to each other to form a connecting wiring to be integrated into one. Similarly, for the plurality of wirings extending from the VSS contact region 118, the plurality of wirings extending can be connected to each other to form a connection wiring to be integrated into one.
  • connection wiring for interconnecting the plurality of wirings extending from the floating diffusion FD of each of the plurality of pixels 541 is formed on the semiconductor substrate 200 forming the pixel circuit 210, the transistors included in the pixel circuit 210 are formed. It is conceivable that the area to be formed will be small. Similarly, when the connection wiring for interconnecting the plurality of wirings extending from the VSS contact area 118 of each of the plurality of pixels 541 to be united is formed on the semiconductor substrate 200 forming the pixel circuit 210, this It is conceivable that the area for forming the transistor included in the pixel circuit 210 becomes small.
  • a plurality of pixels 541 share one pixel circuit 210, and the shared pixel circuit 210 is superimposed on the photodiode PD.
  • the connection wiring that connects the floating diffusion FDs of the plurality of pixels 541 to each other and integrates them into one, and the VSS contact area 118 provided in each of the plurality of pixels 541 are mutually connected. It is possible to provide a structure in which the first substrate 100 is provided with a connection wiring that is connected and integrated into one.
  • connection wiring that connects the floating diffusion FDs of the plurality of pixels 541 to each other and integrates them into one, and the VSS contact area 118 of each of the plurality of pixels 541 are connected to each other to form one.
  • the second manufacturing method described above is used as the manufacturing method for providing the connection wiring to be summarized in the above on the first substrate 100, for example, it is appropriate according to the configuration of each of the first substrate 100 and the second substrate 200. It is possible to manufacture a high-quality, high-performance imaging device by using various processes.
  • the connection wiring of the first substrate 100 and the second substrate 200 can be formed by a simple process.
  • a floating diffusion FD is formed on the surface of the first substrate 100 and the surface of the second substrate 200, which are the bonding interface between the first substrate 100 and the second substrate 200.
  • An electrode connected to the VSS contact region 118 and an electrode connected to the VSS contact region 118 are provided respectively. Further, even if a positional deviation occurs between the electrodes provided on the surfaces of the two substrates when the first substrate 100 and the second substrate 200 are bonded together, the electrodes formed on the surfaces of the two substrates come into contact with each other. , It is preferable to enlarge the electrodes formed on the surfaces of these two substrates. In this case, it may be difficult to arrange the electrodes in the limited area of each pixel provided in the image pickup apparatus 1.
  • a pixel circuit 210 in which a plurality of pixels 541 are one is used.
  • the first manufacturing method described above can be used.
  • the elements formed on the first substrate 100 and the second substrate 200 can be easily aligned with each other, and a high-quality, high-performance image pickup apparatus can be manufactured.
  • the semiconductor layer 100S of the first substrate 100, the wiring layer 100T, the semiconductor layer 200S of the second substrate 200, and the wiring layer 200T are laminated in this order, in other words, the first substrate 100 and the second substrate 200 are face-to-face. It has a structure laminated on the back, and penetrates the semiconductor layer 200S and the wiring layer 100T of the first substrate 100 from the surface side of the semiconductor layer 200S of the second substrate 200, and the surface of the semiconductor layer 100S of the first substrate 100.
  • the through electrodes 120E and 121E are provided.
  • wiring and wiring are provided on the first substrate 100
  • this structure and the second substrate 200 are laminated by using the first manufacturing method to form a pixel circuit 210 on the second substrate 200, a pixel circuit is formed.
  • the influence of the heat treatment required for forming the active element provided on the 210 will affect the connection wiring formed on the first substrate 100.
  • the image pickup apparatus 1 of the present embodiment has the floating of each of the plurality of pixels 541.
  • the connection wiring that connects the diffusion FDs to each other and integrates them into one, and the connection wiring that connects the VSS contact regions 118 of each of the plurality of pixels 541 to each other and integrates them into one, are highly heat resistant. It is desirable to use a material. Specifically, as the conductive material having high heat resistance, a material having a melting point higher than at least a part of the wiring material contained in the wiring layer 200T of the second substrate 200 can be used.
  • the image pickup apparatus 1 of the present embodiment has a structure (1) in which the first substrate 100 and the second substrate 200 are laminated face-to-back (specifically, the semiconductor layer 100S of the first substrate 100). (Structure in which the wiring layer 100T, the semiconductor layer 200S of the second substrate 200, and the wiring layer 200T are laminated in this order), and (2) the semiconductor layer 200S and the first substrate 100 from the surface side of the semiconductor layer 200S of the second substrate 200. Between the structure provided with the through electrodes 120E and 121E that penetrates the wiring layer 100T of the first substrate 100 and reaches the surface of the semiconductor layer 100S of the first substrate 100, and (3) the floating diffusion FD provided in each of the plurality of pixels 541.
  • connection wiring that connects to each other and combines them into one and the connection wiring that connects between the VSS contact areas 118 provided in each of the plurality of pixels 541 and combines them into one, using a highly heat-resistant conductive material.
  • the first substrate 100 can be provided between the floating diffusion FDs provided in each of the plurality of pixels 541 without providing a large electrode at the interface between the first substrate 100 and the second substrate 200. It is possible to provide a connection wiring that is connected to each other and integrated into one, and a connection wiring that is connected to each other between the VSS contact regions 118 provided in each of the plurality of pixels 541 and integrated into one.
  • FIGS. 13 and 14 are the additions of arrows indicating the paths of each signal to FIG.
  • FIG. 13 shows an input signal input to the image pickup apparatus 1 from the outside and a path of a power supply potential and a reference potential indicated by arrows.
  • the signal path of the pixel signal output from the image pickup apparatus 1 to the outside is represented by an arrow.
  • the input signal for example, the pixel clock and the synchronization signal
  • the input signal for example, the pixel clock and the synchronization signal
  • the input signal for example, the pixel clock and the synchronization signal
  • the input unit 510A is transmitted to the row drive unit 520 of the third substrate 300, and the row drive signal is transmitted by the row drive unit 520. Be created.
  • This row drive signal is sent to the second substrate 200 via the contact portions 301,201. Further, the row drive signal reaches each of the pixel sharing units 539 of the pixel array unit 540 via the row drive signal line 542 in the wiring layer 200T. Of the row drive signals that have reached the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200, drive signals other than the transfer gate TG are input to the pixel circuit 210, and each transistor included in the pixel circuit 210 is driven. The drive signal of the transfer gate TG is input to the transfer gates TG1, TG2, TG3, TG4 of the first substrate 100 via the through electrode TGV, and the pixels 541A, 541B, 541C, 541D are driven (FIG. 13).
  • the power supply potential and the reference potential supplied from the outside of the image pickup apparatus 1 to the input portion 510A (input terminal 511) of the third substrate 300 are sent to the second substrate 200 via the contact portions 301 and 201, and are wired. It is supplied to the pixel circuit 210 of each of the pixel sharing units 539 via the wiring in the layer 200T.
  • the reference potential is further supplied to the pixels 541A, 541B, 541C, 541D of the first substrate 100 via the through electrode 121E.
  • the pixel signal photoelectrically converted by the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D of the first substrate 100 is sent to the pixel circuit 210 of the second substrate 200 for each pixel sharing unit 539 via the through electrode 120E.
  • the pixel signal based on this pixel signal is sent from the pixel circuit 210 to the third substrate 300 via the vertical signal line 543 and the contact portions 202 and 302.
  • This pixel signal is processed by the column signal processing unit 550 and the image signal processing unit 560 of the third substrate 300, and then output to the outside via the output unit 510B.
  • the pixels 541A, 541B, 541C, 541D (pixel sharing unit 539) and the pixel circuit 210 are provided on different substrates (first substrate 100 and second substrate 200).
  • the area of the pixels 541A, 541B, 541C, 541D and the pixel circuit 210 can be expanded as compared with the case where the pixels 541A, 541B, 541C, 541D and the pixel circuit 210 are formed on the same substrate.
  • the image pickup apparatus 1 can output better pixel data (image information). Further, the image pickup device 1 can be miniaturized (in other words, the pixel size can be reduced and the image pickup device 1 can be miniaturized). The image pickup device 1 can increase the number of pixels per unit area by reducing the pixel size, and can output a high-quality image.
  • the first substrate 100 and the second substrate 200 are electrically connected to each other by through electrodes 120E and 121E provided in the insulating region 212.
  • a method of connecting the first substrate 100 and the second substrate 200 by joining the pad electrodes to each other, or a method of connecting by a through wiring (for example, TSV (Thorough Si Via)) penetrating the semiconductor layer can be considered.
  • TSV Thirough Si Via
  • the resolution can be further increased by further miniaturizing the area per pixel.
  • the formation area of the pixels 541A, 541B, 541C, 541D and the pixel circuit 210 can be expanded. As a result, it is possible to increase the amount of pixel signals obtained by photoelectric conversion and reduce the noise of the transistor provided in the pixel circuit 210. This makes it possible for the image pickup apparatus 1 to output better pixel data (image information) by improving the signal / noise ratio of the pixel signal.
  • the pixel circuit 210, the column signal processing unit 550, and the image signal processing unit 560 are provided on different substrates (second substrate 200 and third substrate 300).
  • the area of the pixel circuit 210 and the area of the column signal processing unit 550 and the image signal processing unit 560 are compared with the case where the pixel circuit 210, the column signal processing unit 550, and the image signal processing unit 560 are formed on the same substrate. And can be expanded. This makes it possible to reduce the noise generated in the column signal processing unit 550 and to mount an advanced image processing circuit in the image signal processing unit 560. Therefore, the signal / noise ratio of the pixel signal is improved, and the image pickup apparatus 1 can output better pixel data (image information).
  • the pixel array unit 540 is provided on the first substrate 100 and the second substrate 200, and the column signal processing unit 550 and the image signal processing unit 560 are provided on the third substrate 300.
  • the contact portions 201, 202, 301, 302 connecting the second substrate 200 and the third substrate 300 are formed above the pixel array portion 540. Therefore, the contact portions 201, 202, 301, and 302 can be freely laid out without being affected by layout interference from various wirings provided in the pixel array. This makes it possible to use the contact portions 201, 202, 301, 302 for the electrical connection between the second substrate 200 and the third substrate 300.
  • the column signal processing unit 550 and the image signal processing unit 560 have a high degree of freedom in layout. This makes it possible to reduce the noise generated in the column signal processing unit 550 and to mount an advanced image processing circuit in the image signal processing unit 560. Therefore, the signal / noise ratio of the pixel signal is improved, and the image pickup apparatus 1 can output better pixel data (image information).
  • the pixel separation unit 117 penetrates the semiconductor layer 100S. As a result, even when the distance between adjacent pixels (pixels 541A, 541B, 541C, 541D) is reduced due to the miniaturization of the area per pixel, color mixing between the pixels 541A, 541B, 541C, 541D can be performed. Can be suppressed. This makes it possible for the image pickup apparatus 1 to output better pixel data (image information) by improving the signal / noise ratio of the pixel signal.
  • a pixel circuit 210 is provided for each pixel sharing unit 539.
  • the transistors (amplification transistor AMP, reset transistor RST, selection transistor SEL, FD conversion gain switching transistor FDG) constituting the pixel circuit 210 are compared with the case where the pixel circuit 210 is provided for each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D. ) Can be enlarged. For example, it is possible to suppress noise by increasing the formation region of the amplification transistor AMP. This makes it possible for the image pickup apparatus 1 to output better pixel data (image information) by improving the signal / noise ratio of the pixel signal.
  • the pad portion 120 for electrically connecting the floating diffusion FDs (floating diffusion FD1, FD2, FD3, FD4) of four pixels (pixels 541A, 541B, 541C, 541D) is the first substrate 100. It is provided in. As a result, the number of through electrodes (through electrodes 120E) connecting the first substrate 100 and the second substrate 200 can be reduced as compared with the case where such a pad portion 120 is provided on the second substrate 200. Therefore, the insulating region 212 can be made small, and the transistor forming region (semiconductor layer 200S) constituting the pixel circuit 210 can be secured with a sufficient size. As a result, it is possible to reduce the noise of the transistor provided in the pixel circuit 210, improve the signal / noise ratio of the pixel signal, and enable the image pickup apparatus 1 to output better pixel data (image information). Become.
  • Modification 1> 15 to 19 show a modification of the planar configuration of the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment.
  • FIG. 15 schematically shows a planar configuration near the surface of the semiconductor layer 200S of the second substrate 200, and corresponds to FIG. 8 described in the above embodiment.
  • FIG. 16 schematically shows the configurations of each part of the first wiring layer W1, the semiconductor layer 200S connected to the first wiring layer W1, and the first substrate 100, and is shown in FIG. 9 described in the above embodiment.
  • FIG. 17 shows an example of the planar configuration of the first wiring layer W1 and the second wiring layer W2, and corresponds to FIG. 10 described in the above embodiment.
  • FIG. 15 schematically shows a planar configuration near the surface of the semiconductor layer 200S of the second substrate 200, and corresponds to FIG. 8 described in the above embodiment.
  • FIG. 16 schematically shows the configurations of each part of the first wiring layer W1, the semiconductor layer 200S connected to the first wiring layer W1, and the first substrate 100, and is shown in FIG. 9 described in the above
  • FIG. 18 shows an example of the planar configuration of the second wiring layer W2 and the third wiring layer W3, and corresponds to FIG. 11 described in the above embodiment.
  • FIG. 19 shows an example of the planar configuration of the third wiring layer W3 and the fourth wiring layer W4, and corresponds to FIG. 12 described in the above embodiment.
  • the internal layout of one (for example, the right side of the paper) of the pixel sharing unit 539 is the other (for example).
  • the internal layout of the pixel sharing unit 539 (on the left side of the paper) is inverted only in the H direction.
  • the deviation in the V direction between the outline of one pixel sharing unit 539 and the outline of the other pixel sharing unit 539 is larger than the deviation (FIG. 9) described in the above embodiment.
  • the amplification transistor AMP of the other pixel sharing unit 539 and the pad portion 120 connected to the amplification transistor AMP (two pixel sharing units 539 arranged in the V direction shown in FIG. 7).
  • the distance between the pad portion 120) on the other side (lower side of the paper surface) can be reduced.
  • the area of the two pixel sharing units 539 arranged in the H direction is not inverted in the V direction.
  • the area can be the same as the area of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 described in the above embodiment.
  • the plane layout of the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 is the same as the plane layout (FIGS.
  • the image pickup device 1 of the present modification can obtain the same effect as the image pickup device 1 described in the above embodiment.
  • the arrangement of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 is not limited to the arrangement described in the above-described embodiment and this modification.
  • Modification 2> 20 to 25 show a modification of the planar configuration of the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment.
  • FIG. 20 schematically shows the planar configuration of the first substrate 100, and corresponds to FIG. 7A described in the above embodiment.
  • FIG. 21 schematically shows a planar configuration near the surface of the semiconductor layer 200S of the second substrate 200, and corresponds to FIG. 8 described in the above embodiment.
  • FIG. 22 schematically shows the configuration of each part of the first wiring layer W1, the semiconductor layer 200S connected to the first wiring layer W1, and the first substrate 100, and is shown in FIG. 9 described in the above embodiment.
  • FIG. 23 shows an example of the planar configuration of the first wiring layer W1 and the second wiring layer W2, and corresponds to FIG. 10 described in the above embodiment.
  • FIG. 24 shows an example of the planar configuration of the second wiring layer W2 and the third wiring layer W3, and corresponds to FIG. 11 described in the above embodiment.
  • FIG. 25 shows an example of the planar configuration of the third wiring layer W3 and the fourth wiring layer W4, and corresponds to FIG. 12 described in the above embodiment.
  • each pixel circuit 210 has a substantially square planar shape (FIG. 21 and the like).
  • the planar configuration of the imaging device 1 of the present modification is different from the planar configuration of the imaging device 1 described in the above embodiment.
  • the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 is formed over a pixel region of 2 rows ⁇ 2 columns and has a substantially square planar shape (as described in the above embodiment). FIG. 20).
  • the direction in which the horizontal portion TGb of the TG2 and TG4 is directed toward the outside of the pixel sharing unit 539 in the H direction from the position where the horizontal portion TGb is superimposed on the vertical portion TGa (more specifically, the direction toward the outer edge of the pixels 541B and 541D, and the pixel sharing unit. It extends in the outward direction of 539).
  • the pad portion 120 connected to the floating diffusion FD is provided in the central portion of the pixel sharing unit 539 (the central portion in the H direction and the V direction of the pixel sharing unit 539), and the pad portion 121 connected to the VSS contact region 118 is provided. , At least in the H direction (in the H and V directions in FIG. 20), provided at the end of the pixel sharing unit 539.
  • the semiconductor layer 200S is easily divided into small pieces, as described in the above embodiment. Therefore, it becomes difficult to form a large transistor of the pixel circuit 210.
  • the horizontal portion TGb of the transfer gates TG1, TG2, TG3, and TG4 is extended in the H direction from the position where the transfer gates TG1, TG2, TG3, and TG4 are superimposed on the vertical portion TGa as in the above modification, the same as described in the above embodiment.
  • the width of the semiconductor layer 200S can be increased.
  • the positions of the through electrodes TGV1 and TGV3 connected to the transfer gates TG1 and TG3 in the H direction were arranged close to the positions of the through electrodes 120E in the H direction and connected to the transfer gates TG2 and TG4.
  • the positions of the through electrodes TGV2 and TGV4 in the H direction can be arranged close to the positions of the through electrodes 121E in the H direction (FIG. 22).
  • the width (size in the H direction) of the semiconductor layer 200S extending in the V direction can be increased as described in the above embodiment. Therefore, it is possible to increase the size of the transistor of the pixel circuit 210, particularly the size of the amplification transistor AMP. As a result, the signal / noise ratio of the pixel signal is improved, and the image pickup apparatus 1 can output better pixel data (image information).
  • the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 has substantially the same size in the H direction and the V direction of the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100, for example, and corresponds to, for example, a pixel area of approximately 2 rows ⁇ 2 columns. It is provided over the area.
  • the selection transistor SEL and the amplification transistor AMP are arranged side by side in the V direction on one semiconductor layer 200S extending in the V direction, and the FD conversion gain switching transistor FDG and the reset transistor RST are arranged in the V direction. It is arranged side by side in the V direction on one extending semiconductor layer 200S.
  • the semiconductor layer 200S of 1 provided with the selection transistor SEL and the amplification transistor AMP and the semiconductor layer 200S of 1 provided with the FD conversion gain switching transistor FDG and the reset transistor RST are connected to each other in the H direction via the insulation region 212. They are lined up.
  • the insulating region 212 extends in the V direction (FIG. 21).
  • the outer shape of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 will be described with reference to FIGS. 21 and 22.
  • the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 shown in FIG. 20 includes an amplification transistor AMP and a selection transistor SEL provided on one side of the pad unit 120 in the H direction (left side of the paper in FIG. 22), and the pad unit 120. It is connected to the FD conversion gain switching transistor FDG and the reset transistor RST provided on the other side in the H direction (on the right side of the paper in FIG. 22).
  • the outer shape of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 including the amplification transistor AMP, the selection transistor SEL, the FD conversion gain switching transistor FDG, and the reset transistor RST is determined by the following four outer edges.
  • the first outer edge is the outer edge of one end (upper end of the paper in FIG. 22) of the semiconductor layer 200S including the selection transistor SEL and the amplification transistor AMP in the V direction.
  • the first outer edge is an amplification transistor AMP included in the pixel sharing unit 539 and a selection transistor SEL included in the pixel sharing unit 539 adjacent to one of the pixel sharing units 539 in the V direction (upper side of the paper in FIG. 22). It is provided between and. More specifically, the first outer edge is provided at the center of the element separation region 213 between the amplification transistor AMP and the selection transistor SEL in the V direction.
  • the second outer edge is the outer edge of the other end (lower end of the paper surface in FIG.
  • the second outer edge is a selection transistor SEL included in the pixel sharing unit 539 and an amplification transistor included in the pixel sharing unit 539 adjacent to the other side of the pixel sharing unit 539 in the V direction (lower side of the paper in FIG. 22). It is provided between the AMP and the AMP. More specifically, the second outer edge is provided at the center of the element separation region 213 between the selection transistor SEL and the amplification transistor AMP in the V direction.
  • the third outer edge is the outer edge of the other end (lower end on the paper surface of FIG.
  • the third outer edge is included in the FD conversion gain switching transistor FDG included in the pixel sharing unit 539 and the pixel sharing unit 539 adjacent to the other side of the pixel sharing unit 539 in the V direction (lower side of the paper in FIG. 22). It is provided between the reset transistor RST and the reset transistor RST. More specifically, the third outer edge is provided at the center of the element separation region 213 between the FD conversion gain switching transistor FDG and the reset transistor RST in the V direction.
  • the fourth outer edge is the outer edge of one end (upper end on the paper surface of FIG.
  • the fourth outer edge is the reset transistor RST included in the pixel sharing unit 539 and the FD conversion gain included in the pixel sharing unit 539 adjacent to one of the pixel sharing units 539 in the V direction (upper side of the paper in FIG. 22). It is provided between the switching transistor FDG (not shown). More specifically, the fourth outer edge is provided at the center of the element separation region 213 (not shown) in the V direction between the reset transistor RST and the FD conversion gain switching transistor FDG.
  • the third and fourth outer edges are relative to the first and second outer edges. It is arranged so as to be offset to one side in the V direction (in other words, it is offset to one side in the V direction).
  • both the gate of the amplification transistor AMP and the source of the FD conversion gain switching transistor FDG can be arranged as close as possible to the pad portion 120. Therefore, the area of the wiring connecting these is reduced, and the image pickup device 1 can be easily miniaturized.
  • the VSS contact region 218 is provided between the semiconductor layer 200S including the selection transistor SEL and the amplification transistor AMP and the semiconductor layer 200S including the reset transistor RST and the FD conversion gain switching transistor FDG.
  • the plurality of pixel circuits 210 have the same arrangement as each other.
  • the image pickup device 1 having such a second substrate 200 also has the same effect as described in the above embodiment.
  • the arrangement of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 is not limited to the arrangement described in the above-described embodiment and this modification.
  • Modification 3> 26 to 31 show a modification of the planar configuration of the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment.
  • FIG. 26 schematically shows the planar configuration of the first substrate 100, and corresponds to FIG. 7B described in the above embodiment.
  • FIG. 27 schematically shows a planar configuration near the surface of the semiconductor layer 200S of the second substrate 200, and corresponds to FIG. 8 described in the above embodiment.
  • FIG. 28 schematically shows the configuration of each part of the first wiring layer W1, the semiconductor layer 200S connected to the first wiring layer W1, and the first substrate 100, and is shown in FIG. 9 described in the above embodiment.
  • FIG. 29 shows an example of the planar configuration of the first wiring layer W1 and the second wiring layer W2, and corresponds to FIG. 10 described in the above embodiment.
  • FIG. 30 shows an example of the planar configuration of the second wiring layer W2 and the third wiring layer W3, and corresponds to FIG. 11 described in the above embodiment.
  • FIG. 31 shows an example of the planar configuration of the third wiring layer W3 and the fourth wiring layer W4, and corresponds to FIG. 12 described in the above embodiment.
  • the semiconductor layer 200S of the second substrate 200 extends in the H direction (FIG. 28). That is, it substantially corresponds to the configuration in which the planar configuration of the image pickup apparatus 1 shown in FIG. 21 and the like is rotated by 90 degrees.
  • the pixel sharing unit 539 of the first substrate 100 is formed over a pixel region of 2 rows ⁇ 2 columns and has a substantially square planar shape (as described in the above embodiment). FIG. 26).
  • the transfer gates TG1 and TG2 of the pixel 541A and the pixel 541B of one pixel row extend toward the center of the pixel sharing unit 539 in the V direction, and the other pixel row
  • the transfer gates TG3 and TG4 of the pixel 541C and the pixel 541D extend in the V direction toward the outside of the pixel sharing unit 539.
  • the pad portion 120 connected to the floating diffusion FD is provided in the central portion of the pixel sharing unit 539, and the pad portion 121 connected to the VSS contact region 118 is at least in the V direction (in the V direction and the H direction in FIG. 26). ) It is provided at the end of the pixel sharing unit 539.
  • the positions of the through electrodes TGV1 and TGV2 of the transfer gates TG1 and TG2 in the V direction approach the positions of the through electrodes 120E in the V direction, and the positions of the through electrodes TGV3 and TGV4 of the transfer gates TG3 and TG4 in the V direction are the through electrodes. It approaches the position of 121E in the V direction (FIG. 28). Therefore, for the same reason as described in the above embodiment, the width (size in the V direction) of the semiconductor layer 200S extending in the H direction can be increased. Therefore, it is possible to increase the size of the amplification transistor AMP and suppress noise.
  • each pixel circuit 210 the selection transistor SEL and the amplification transistor AMP are arranged side by side in the H direction, and the reset transistor RST is arranged at a position adjacent to each other in the V direction with the selection transistor SEL and the insulation region 212 in between. FIG. 27).
  • the FD conversion gain switching transistor FDG is arranged side by side with the reset transistor RST in the H direction.
  • the VSS contact region 218 is provided in an island shape in the insulating region 212.
  • the third wiring layer W3 extends in the H direction (FIG. 30)
  • the fourth wiring layer W4 extends in the V direction (FIG. 31).
  • the image pickup device 1 having such a second substrate 200 also has the same effect as described in the above embodiment.
  • the arrangement of the pixel sharing unit 539 of the second substrate 200 is not limited to the arrangement described in the above-described embodiment and this modification.
  • the semiconductor layer 200S described in the above embodiment and the first modification may extend in the H direction.
  • FIG. 32 schematically shows a modified example of the cross-sectional configuration of the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment.
  • FIG. 32 corresponds to FIG. 3 described in the above embodiment.
  • the image pickup apparatus 1 has contact portions 203, 204, 303, 304 at positions facing the central portion of the pixel array portion 540, in addition to the contact portions 201, 202, 301, 302.
  • the image pickup device 1 of the present modification is different from the image pickup device 1 described in the above embodiment.
  • the contact portions 203 and 204 are provided on the second substrate 200, and the joint surface with the third substrate 300 is exposed.
  • the contact portions 303 and 304 are provided on the third substrate 300 and are exposed on the joint surface with the second substrate 200.
  • the contact portion 203 is in contact with the contact portion 303, and the contact portion 204 is in contact with the contact portion 304. That is, in this image pickup apparatus 1, the second substrate 200 and the third substrate 300 are connected by contact portions 203, 204, 303, 304 in addition to the contact portions 201, 202, 301, 302.
  • FIG. 33 an input signal input to the image pickup apparatus 1 from the outside and a path of a power supply potential and a reference potential are represented by arrows.
  • FIG. 34 the signal path of the pixel signal output from the image pickup apparatus 1 to the outside is represented by an arrow.
  • the input signal input to the image pickup apparatus 1 via the input unit 510A is transmitted to the row drive unit 520 of the third substrate 300, and the row drive signal is generated by the row drive unit 520.
  • This row drive signal is sent to the second substrate 200 via the contact portions 303 and 203.
  • the row drive signal reaches each of the pixel sharing units 539 of the pixel array unit 540 via the row drive signal line 542 in the wiring layer 200T.
  • drive signals other than the transfer gate TG are input to the pixel circuit 210, and each transistor included in the pixel circuit 210 is driven.
  • the drive signal of the transfer gate TG is input to the transfer gates TG1, TG2, TG3, TG4 of the first substrate 100 via the through electrode TGV, and the pixels 541A, 541B, 541C, 541D are driven.
  • the power supply potential and the reference potential supplied from the outside of the image pickup apparatus 1 to the input portion 510A (input terminal 511) of the third substrate 300 are sent to the second substrate 200 via the contact portions 303 and 203 for wiring. It is supplied to the pixel circuit 210 of each of the pixel sharing units 539 via the wiring in the layer 200T.
  • the reference potential is further supplied to the pixels 541A, 541B, 541C, 541D of the first substrate 100 via the through electrode 121E.
  • the pixel signals photoelectrically converted by the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D of the first substrate 100 are sent to the pixel circuit 210 of the second substrate 200 for each pixel sharing unit 539.
  • the pixel signal based on this pixel signal is sent from the pixel circuit 210 to the third substrate 300 via the vertical signal line 543 and the contact portions 204 and 304.
  • This pixel signal is processed by the column signal processing unit 550 and the image signal processing unit 560 of the third substrate 300, and then output to the outside via the output unit 510B.
  • An imaging device 1 having such contact portions 203, 204, 303, 304 also has the same effect as described in the above embodiment.
  • the position and number of contact portions can be changed according to the design of the circuit or the like of the third substrate 300, which is the connection destination of the wiring via the contact portions 303, 304.
  • FIG. 35 shows a modified example of the cross-sectional configuration of the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment.
  • FIG. 35 corresponds to FIG. 6 described in the above embodiment.
  • the transfer transistor TR having a planar structure is provided on the first substrate 100.
  • the image pickup device 1 of the present modification is different from the image pickup device 1 described in the above embodiment.
  • the transfer gate TG is configured only by the horizontal portion TGb. In other words, the transfer gate TG does not have a vertical portion TGa and is provided so as to face the semiconductor layer 100S.
  • the image pickup device 1 having the transfer transistor TR having such a planar structure can also obtain the same effect as described in the above embodiment. Further, by providing the planar type transfer gate TG on the first substrate 100, the photodiode PD is formed closer to the surface of the semiconductor layer 100S as compared with the case where the vertical transfer gate TG is provided on the first substrate 100. As a result, it is possible to increase the saturation signal amount (Qs). Further, the method of forming the planar type transfer gate TG on the first substrate 100 has a smaller number of manufacturing steps than the method of forming the vertical transfer gate TG on the first substrate 100, and the photo is caused by the manufacturing process. It can be considered that the adverse effect on the diode PD is unlikely to occur.
  • FIG. 36 shows a modified example of the pixel circuit of the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment.
  • FIG. 36 corresponds to FIG. 4 described in the above embodiment.
  • a pixel circuit 210 is provided for each pixel (pixel 541A). That is, the pixel circuit 210 is not shared by a plurality of pixels.
  • the image pickup device 1 of the present modification is different from the image pickup device 1 described in the above embodiment.
  • the image pickup device 1 of this modification is the same as the image pickup device 1 described in the above embodiment in that the pixels 541A and the pixel circuit 210 are provided on different substrates (first substrate 100 and second substrate 200). .. Therefore, the image pickup apparatus 1 according to the present modification can also obtain the same effect as described in the above embodiment.
  • FIG. 37 shows a modified example of the planar configuration of the pixel separation unit 117 described in the above embodiment.
  • a gap may be provided in the pixel separation portion 117 surrounding each of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D. That is, the entire circumference of the pixels 541A, 541B, 541C, and 541D may not be surrounded by the pixel separation unit 117.
  • the gap of the pixel separation portion 117 is provided in the vicinity of the pad portions 120 and 121 (see FIG. 7B).
  • the pixel separation unit 117 may have a configuration other than the FTI structure.
  • the pixel separation unit 117 may not be provided so as to completely penetrate the semiconductor layer 100S, and may have a so-called DTI (Deep Trench Isolation) structure.
  • Embodiment 2> ⁇ Problem to be solved in 9.1 Embodiment 2>
  • the floating diffusion FD in the pixel 541 and the gate of the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210 are connected by a connection via as an FD wiring FDL.
  • the area of the connection via of the FD wiring FDL is about 45%.
  • the effective area of the pixel circuit 210 becomes small, so that the arrangement area of the amplification transistor AMP cannot be expanded.
  • the capacitance between the FD wiring FDL and the gate of the amplification transistor AMP and the capacitance between the connection via of the FD wiring FDL and other connection vias running in parallel with each other, for example, the TG wiring TGL and the VSS wiring VSS are floating diffusion. It is superimposed on the capacity of FD. Therefore, the FD capacitance becomes large, the charge-voltage conversion efficiency decreases, and the read noise cannot be reduced.
  • the image pickup apparatus has a first substrate, a second substrate, wiring, and a trench.
  • the first substrate has pixels having a photodiode and a floating diffusion that holds the charge converted by the photodiode.
  • the second substrate has a pixel circuit that reads out a pixel signal based on the electric charge held by the floating diffusion in the pixel, and is laminated on the first substrate.
  • the wiring penetrates the first substrate and the second substrate in the stacking direction, and electrically connects the floating diffusion in the first substrate and the amplification transistor in the pixel circuit of the second substrate. To do.
  • the trench is formed in at least the second substrate, runs parallel to the wiring, and has a depth equal to or greater than the thickness of the semiconductor layer in the second substrate.
  • the image pickup device runs in parallel with the wiring that electrically connects the floating diffusion in the first substrate and the amplification transistor in the pixel circuit of the second substrate, and has a depth equal to or greater than the thickness of the semiconductor layer in the second substrate.
  • a trench was formed in the second substrate.
  • FIG. 38 is an equivalent circuit diagram showing an example of the configuration of the pixel sharing unit 539 in the image pickup apparatus 1 of the second embodiment.
  • the image pickup apparatus 1 has a structure in which a first substrate 100, a second substrate 200, and a third substrate 300 are laminated.
  • the first substrate 100 has pixels 541 that perform photoelectric conversion.
  • the second substrate 200 has a pixel circuit 210A that reads out a pixel signal based on the electric charge output from the pixel 541.
  • the third substrate 300 has a processing circuit for detecting a pixel signal.
  • the pixel sharing unit 539 has a pixel 541 and a pixel circuit 210A.
  • the pixel 541 includes four photodiodes PD, four transfer transistors TR that transfer the charges converted by each photodiode PD, and a floating diffusion FD that holds the charges transferred by the transfer transistors TR. Have.
  • the pixel circuit 210A has, for example, a reset transistor RST, an amplification transistor AMP, a selection transistor SEL, a power supply line VDD, and a vertical signal line (VSL) 543.
  • the reset transistor RST resets the potential of the floating diffusion FD to a predetermined potential.
  • the amplification transistor AMP generates a signal of a voltage corresponding to the level of the electric charge held in the floating diffusion FD as a pixel signal.
  • the selection transistor SEL controls the connection between the drain of the amplification transistor AMP and the vertical signal line 543.
  • the floating diffusion FD of the first substrate 100 is electrically connected to the gate of the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210A of the second substrate 200 by the FD wiring FDL.
  • the vertical signal line 543 electrically connects each pixel circuit 210A and the column signal processing unit 550 in the processing circuit arranged on the third substrate 300. Then, the column signal processing unit 550 detects the pixel signal appearing on the vertical signal line 543 from each pixel circuit 210A.
  • the image pickup device 1 has an FD wiring FDL that connects the floating diffusion FD in the pixel 541 of the first substrate 100 and the gate of the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210A of the second substrate 200.
  • the FD wiring FDL is formed by connecting vias between the first substrate 100 and the second substrate 200.
  • the image pickup apparatus 1 has a trench T formed from the second substrate 200 to the first substrate 100 side in parallel with the FD wiring FDL.
  • the trench T is in a state in which, for example, a conductive substance is embedded therein.
  • the source of the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210A on the second substrate 200 and the shield wiring SL made of a conductive material embedded in the trench T are connected to have the same potential.
  • the capacitance of the FD wiring FDL can be reduced and the charge-voltage conversion efficiency can be improved. ..
  • FIG. 39 is a schematic cross-sectional view showing an example of a laminated structure of the first substrate 100 and the second substrate 200 according to the 2-1 embodiment.
  • the wiring layer 100T between the semiconductor layer 100S and the second substrate 200 in the first substrate 100 is composed of, for example, SiO 2 , and has a through wiring that penetrates the wiring layer 100T in the stacking direction.
  • the first substrate 100 and the second substrate 200 are electrically connected to each other by a through wiring.
  • the through wiring connects the TG wiring TGL that is electrically connected to the gate (transfer gate TG) of the transfer transistor TR in the pixel 541, the gate of the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210A, and the connection pad of the floating diffusion FD. It has an FD wiring FDL.
  • a trench T is formed between the TG wiring TGL and the FD wiring FDL in the wiring layer 100T. The depth of the trench T is set to a range that is equal to or greater than the thickness of the Si substrate of the second substrate 200 and does not affect the floating diffusion FD formed on the first substrate 100.
  • the shield wiring SL is formed of a conductive material such as Doped Polysilicon or metal embedded in the trench T.
  • FIG. 40 is a schematic view showing an example of a laminated structure of the first substrate 100 and the second substrate 200.
  • the shield wiring SL (trench T) is viewed from the surface (laminated surface) of the wiring layer 100T, the shield wiring SL is formed on the laminated surface of the wiring layer 100T in a circular shape centered on the FD wiring FDL. That is, in the trench T running in parallel with the FD wiring FDL, the FD wiring FDL is formed on the laminated surface of the wiring device 100T in a state where the FD wiring FDL and the TG wiring TGL running in parallel with the FD wiring FDL are electrically separated from each other. It was formed on the laminated surface so as to be surrounded by a circular shape.
  • the shield wiring SL is run in parallel with the FD wiring FDL that is penetratingly connected between the first substrate 100 and the second substrate 200. Further, in the image pickup apparatus 1, the source of the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210A on the second substrate 200 and the shield wiring SL are electrically connected to have the same potential. As a result, the parasitic capacitance between the FD wiring FDL and the shield wiring SL is reduced by (1- (SF gain)) times, so the capacitance of the FD wiring FDL should be reduced to improve the charge-voltage conversion efficiency. Can be done.
  • FIG. 41 is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T1 on the surface of the second substrate 200
  • FIG. 5X is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T2 on the surface of the second substrate 200.
  • the parallel flat plate-shaped trench T1 shown in FIG. 41 may be used, or the rectangular trench T2 shown in FIG. 42 may be used as appropriate. It can be changed.
  • FIG. 43 is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T3 on the surface of the second substrate 200. Further, the trench T may be arranged at a position electrically separated between the FD wiring FDL and the TG wiring TGL. For example, a trench larger than the width of the FD wiring FDL with respect to the FD wiring FDL shown in FIG. 43. T3 may be arranged.
  • FIG. 44 is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T4 on the surface of the second substrate 200. When the TG wiring TGL is arranged on the diagonal line of the FD wiring FDL shown in FIG. 44, the trench T4 may be arranged between the FD wiring FDL and the TG wiring TGL on the diagonal line of the FD wiring FDL. It is possible.
  • the shield wiring SL of the trench T in which the conductive material is embedded is formed in the wiring layer 100T is illustrated.
  • the hollow trench T may be formed in the wiring layer 100T as the shield wiring SL without embedding the conductive material in the trench T, and can be appropriately changed.
  • the selected pixel 541 for example, among one or a plurality of pixels 541 arranged in the row direction, the pixel 541 selected in row units was exemplified.
  • the non-selected pixel 541 may be any pixel 541 other than the selected pixel 541 and can be changed as appropriate.
  • the pixel 541 being selected exemplifies the pixel 541 selected in the row unit, but may be, for example, the pixel 541 selected in the column unit among one or a plurality of pixels 541 arranged in the column direction, as appropriate. It can be changed.
  • the pixel 541 is configured to include, for example, a total of four photodiode PDs of 2 ⁇ 2, but the number is not limited to four, and if it is one or more, it can be changed as appropriate.
  • FIG. 45 is a schematic cross-sectional view showing an example of a laminated structure of the first substrate 100 and the second substrate 200 of the second embodiment.
  • the wiring layer 100T includes a first FD wiring FDL1, a second FD wiring FDL2, a first TG wiring TGL1, and a second TG wiring TGL2.
  • the wiring layer 100T has a first trench T51, a second trench T52, and a third trench T53.
  • the first trench T51 is formed between the first TG wiring TGL1 and the first FD wiring FDL1 and electrically separates the first FD wiring FDL1 and the first TG wiring TGL1.
  • the second trench T52 is formed between the second TG wiring TGL2 and the second FD wiring FDL2, and electrically separates the second TG wiring TGL2 and the second FD wiring FDL2.
  • the third trench T53 is formed between the first FD wiring FDL1 and the second FD wiring FDL2, and electrically separates the first FD wiring FDL1 and the second FD wiring FDL2.
  • FIG. 46A is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T5 on the surface of the second substrate 200.
  • the trench T5 When the trench T5 is viewed from the surface (laminated surface) of the wiring layer 100T, as shown in FIG. 46A, the trench T5 has a first trench T51, a second trench T52, a third trench T53, and a second trench T5. It has a trench T54 of 4 and a trench T55 of a fifth.
  • the first trench T51 electrically separates the first FD wiring FDL1 and the first TG wiring TGL1 and electrically separates the third FD wiring FDL3 and the third TG wiring TGL3. Separated from.
  • the third trench T53 electrically separates the first FD wiring FDL1 and the second FD wiring FDL2, and electrically separates the third FD wiring FDL3 and the fourth FD wiring FDL4. Separated from.
  • the second trench T52 electrically separates the second FD wiring FDL2 and the second TG wiring TGL2, and electrically separates the fourth FD wiring FDL4 and the fourth TG wiring TGL4. Separated from.
  • FIG. 47 is a schematic view showing an example of a substantially cross-sectional shape of the trench T5. Further, as shown in FIG. 47, the trench T5 may have a hole size on the front surface (second substrate 200) side larger than the hole size on the back surface (first substrate 100) side, and can be changed as appropriate.
  • FIG. 46B is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T10 on the surface of the second substrate 200.
  • An L-shaped trench T10 may be arranged diagonally with each TG wiring TGL1 to TGL1 of the first FD wiring FDL1 shown in FIG. 46B.
  • the trench T10 is located between the first FD wiring FDL1 and the first TG wiring TGL1, between the first FD wiring FDL1 and the second TG wiring TGL2, and between the first FD wiring FDL1 and the third.
  • TG wiring TGL3 and the first FD wiring FDL1 and the fourth TG wiring TGL4 are electrically separated from each other.
  • FIG. 46C is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T11 on the surface of the second substrate 200.
  • each FD wiring FDL1 to FDL4 may be surrounded by a trench T11 in a grid pattern.
  • the FD wiring FDL and the adjacent FD wiring FDL are electrically separated from each other, and the FD wiring FDL and the adjacent TG wiring TGL are electrically separated from each other.
  • FIG. 46D is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T12 on the surface of the second substrate 200.
  • the FD wirings FDL1 to FDL1 to 4 are surrounded by trenches T12 in a grid pattern.
  • the shape is such that the shield of the cross-shaped intersection T12A of the trench T12 is omitted.
  • the FD wiring FDL and the adjacent FD wiring FDL are electrically separated from each other and the FD wiring FDL and the adjacent TG wiring TGL are electrically separated, but also the processing depth of the intersection during trench processing is performed. You can avoid the situation where the wiring becomes deep.
  • FIG. 46E is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T13 on the surface of the second substrate 200.
  • the trench T13 shown in FIG. 46E has a cross trench T131 and a diagonal trench T132.
  • the cross trench T131 electrically separates the adjacent FD wiring FDLs.
  • the diagonal trench T132 electrically separates the FD wiring FDL from the diagonal TG wiring TGL.
  • FIG. 46F is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T14 on the surface of the second substrate 200.
  • the trench T14 shown in FIG. 46F has a cross trench T141 and a diagonal trench T142.
  • the cross trench T141 electrically separates the adjacent FD wiring FDLs.
  • the diagonal trench T142 electrically separates the FD wiring FDL from the diagonal TG wiring TGL.
  • FIG. 46G is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T15 on the surface of the second substrate 200.
  • the trench T15 shown in FIG. 46G has a cross trench T151 and a diagonal trench T152.
  • the cross trench T151 electrically separates the adjacent FD wiring FDLs.
  • the diagonal trench T152 electrically separates the FD wiring FDL from the diagonal TG wiring TGL.
  • the shield of the cross-shaped intersection T151A of the cross trench T151 is omitted.
  • the processing depth of the intersection T151A during trench processing is performed. It is possible to avoid a situation where the wiring becomes deep.
  • FIG. 46H is a schematic view showing an example of the arrangement configuration of the trench T16 on the surface of the second substrate 200.
  • the trench T16 shown in FIG. 46H has a cross trench T161 and a diagonal trench T162.
  • the cross trench T161 electrically separates the adjacent FD wiring FDLs.
  • the diagonal trench T162 electrically separates the FD wiring FDL from the diagonal TG wiring TGL.
  • the shield of the cross-shaped intersection T161A of the cross trench T161 is omitted.
  • the shield wiring SL composed of the trench T in which the conductive material is embedded is arranged in the wiring layer 100T is illustrated.
  • the material to be embedded in the trench T is not limited to the conductive material, and may be, for example, a gas, and the embodiment thereof will be described below as the second embodiment.
  • FIG. 48A is an equivalent circuit diagram showing an example of the configuration of the pixel sharing unit 539 in the image pickup apparatus 1 of the embodiment 2-3
  • FIG. 49 shows the first substrate 100 and the second substrate 200 of the embodiment 2-3. It is sectional drawing which shows an example of the laminated structure with.
  • the image pickup apparatus 1 includes an FD wiring FDL for penetrating the wiring layer 100T between the semiconductor layer 100S in the first substrate 100 and the second substrate 200, and an FD formed on the first substrate 100 side from the second substrate 200. It has a trench T6 running in parallel with the wiring FDL.
  • the trench T6 forms a shielded wiring SL1 by filling and sealing a gas having a low relative permittivity ( ⁇ s) such as Air (1.00054), N2 (1.00057), He (1.00052) and Ar (1.00007). ..
  • a gas having a low relative permittivity such as Air (1.00054), N2 (1.00057), He (1.00052) and Ar (1.00007).
  • Air Gap having a low relative permittivity with respect to the relative permittivity (3.9) of SiO 2 the FD capacitance can be reduced and the charge-voltage conversion efficiency can be improved.
  • the trench T6 filled with a gas having a low relative permittivity is arranged between the FD wiring FDL and the TG wiring TGL, the parasitic capacitance of the FD wiring FDL is reduced. Improve the charge-voltage conversion efficiency.
  • the trench T6 is sealed with a low dielectric constant gas, it may be filled with a low dielectric constant (Low-k) insulating film material and can be appropriately changed.
  • Low-k low dielectric constant
  • the depth of the trench T6 is deeper than SiO 2 in the second substrate 200 and is within a range that does not affect the floating diffusion FD on the first substrate 100 is illustrated.
  • the depth is not limited to this, and the depth of the trench T6 of the shield wiring SL1 shown in FIG. 49 may be set as compared with the shield wiring SL, and can be appropriately changed.
  • the wiring layer 100T for example, SiO 2 is exemplified, but for example, an insulating film material having a dielectric constant (Low-k) lower than that of SiO 2 may be used, and the wiring layer 100T may be appropriately changed.
  • FIG. 48B is an equivalent circuit diagram showing another example of the configuration of the pixel sharing unit in the image pickup apparatus of the second embodiment.
  • the pixel sharing unit of FIG. 48B differs from the pixel sharing unit of FIG. 48A in that the back gate of the amplification transistor AMP is connected to the source of the amplification transistor AMP. According to this, since the gate-source voltage Vgs of the amplification transistor AMP becomes low, the potential of the reset level appearing in the vertical signal line (column read line) 543 becomes high.
  • the lower limit of the signal potential level of the vertical signal line (row read line) 543 is determined by the load circuit included in the column signal processing unit 550, by connecting the back gate of the amplification transistor AMP and the source, it is vertical. It is possible to increase the amplitude of the signal (pixel signal) that can be handled by the signal line (column readout line) 543, and it is possible to improve the detection accuracy.
  • Embodiment 3> ⁇ Issue to be solved in 10.1 Embodiment 3>
  • the charge obtained by photoelectric conversion of the photodiode PD is Qp
  • the FD capacitance of the floating diffusion FD is Cfd
  • the gain of the source follower circuit is Gsf.
  • the FD capacitance (Cfd) increases, the source follower output voltage (Vsf) decreases.
  • the gain (Gsf) of the source follower circuit can be increased to increase the source follower output voltage (Vsf).
  • the influence of the parasitic capacitance of the FD capacitance (Cfd) is large, and a reduction in the parasitic capacitance is required.
  • the image pickup apparatus has a first substrate, a second substrate, wiring, and shield wiring.
  • the first substrate has pixels having a photodiode and a floating diffusion that holds the charge converted by the photodiode.
  • the second substrate has a pixel circuit that reads out a pixel signal based on the electric charge held by the floating diffusion in the pixel, and is laminated on the first substrate.
  • the wiring is formed on the first substrate and the second substrate that electrically connect the floating diffusion in the first substrate and the amplification transistor in the pixel circuit of the second substrate.
  • the shield wiring electrically separates the well layer of the pixel circuit from the well layer of the amplification transistor in the pixel circuit, and electrically separates the gate of the amplification transistor from the source of the amplification transistor.
  • the wiring is shielded while running in parallel with the wiring.
  • the well layer of the pixel circuit and the well layer of the amplification transistor are electrically separated, and the wiring is wired with a shield wiring that electrically connects the gate of the amplification transistor and the source of the amplification transistor. Run in parallel and shield. That is, the substrate bias effect is eliminated by connecting the source of the amplification transistor and the well layer of the amplification transistor to the same potential, and the gain between the floating diffusion amplitude and the source amplitude of the amplification transistor is set to 1. Further, by arranging the shield wiring that draws out the source potential of the amplification transistor around the wiring, the wiring that couples to the floating diffusion moves with the same amplitude as the floating diffusion. As a result, the wiring coupling capacitance is reduced, so that the capacitance of the floating diffusion is reduced and the charge-voltage conversion efficiency is improved.
  • the charge-voltage conversion efficiency is improved by reducing the capacitance of the floating diffusion due to the parasitic resistance of the wiring.
  • the shield wiring can suppress the crosstalk with the adjacent wiring.
  • FIG. 50A is an equivalent circuit diagram showing an example of the configuration of the plurality of pixel circuits 210B of the second substrate 200 of the second substrate 200 of the embodiment 3-1.
  • the second substrate 200 is composed of a common p-well layer 250 common to all pixels and an independent p-well layer 251 of the amplification transistor AMP for each pixel 541, and between the common p-well layer 250 and the independent p-well layer 251. It is electrically separated by a full trench (FTI) T7.
  • FTI full trench
  • the common p-well layer 250 is formed with a reset transistor RST and a selection transistor SEL in each pixel circuit 210B. Since the common p-well layer 250 is connected to the GND potential, it is assumed that the back gates of the reset transistor RST and the selection transistor SEL are fixed to the GND potential.
  • the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210B is formed in the independent p-well layer 251. Since the independent p-well layer 251 is connected to the source of the amplification transistor AMP, the potential of the independent p-well layer 251 changes following the source potential of the amplification transistor AMP. That is, since the back gate of the amplification transistor AMP and the source potential have the same potential, the gain of the source follower circuit becomes 1.
  • the substrate bias effect is generated according to the fluctuation of the source potential of the amplification transistor AMP, and the gain of the source follower circuit becomes a value of around 0.85. ..
  • the gain of the source follower circuit is increased by 17%, which leads to a 17% increase in the source follower output voltage (Vsf).
  • the column signal processing unit 550 is connected to each of the vertical signal lines (column readout line) 543, and the pixel signal is read out via the vertical signal line (column readout line) 543.
  • FIG. 50B is a schematic block diagram of the column signal processing unit of the first aspect.
  • the column signal processing unit 550 includes, for example, a reference signal generation unit 551 configured as a constant voltage source, an AD converter 552 that performs AD conversion based on a reference signal input from the reference signal generation unit 551, and a current source.
  • the load circuit LD is provided, and the AD conversion output ADCOUT as pixel data corresponding to the voltage of the vertical signal line (column read line) 543 is output. According to the above configuration, the read pixel signal can be converted into digital data and output.
  • FIG. 50C is a schematic block diagram of the column signal processing unit of the second aspect.
  • the column signal processing unit 550 of the second aspect is configured by using a single slope ADC.
  • the column signal processing unit 550 compares, for example, the RAMP generation circuit 553 that generates and outputs the RAMP waveform with the voltage of the pixel signal read via the vertical signal line (column read line) 543 and the voltage of the RAMP waveform.
  • the comparison device 554 that outputs the comparison result signal, the counter 555 that counts up when the level of the comparison result signal of the comparison device 554 is, for example, "H" level, and the count value of the counter 555 are set for a predetermined time.
  • a latch 556 that is taken in every time and outputs an AD conversion output ADCOUT as pixel data corresponding to the voltage of the vertical signal line (column read line) 543. Even with the above configuration, the read pixel signal can be converted into digital data and output.
  • FIG. 50D is an explanatory diagram of a first configuration example of the comparator.
  • the comparator 554 includes P-type MOS (MOSFET) transistors PT11 and PT12, N-type MOS (MOS FET) transistors NT11 and NT12, capacitors C11 and C12, and switches SW11 and SW12.
  • MOSFET P-type MOS
  • MOS FET N-type MOS
  • the source of the MOSFET transistor PT11 and the source of the NMOS transistor PT12 are connected to the high potential side power supply VDD.
  • the drain of the MOSFET transistor PT11 is connected to the drain of the NMOS transistor NT11.
  • the drain of the NMOS transistor PT11 and the gate are connected, and the connection point is connected to the gate of the MOSFET transistor 12.
  • the drain of the NMOS transistor PT12 is connected to the drain of the NMOS transistor NT12, and the connection point thereof is the output terminal OUT1.
  • the sources of the NMOS transistor NT11 and the NMOS transistor NT12 are connected to each other, and the connection point is connected to the drain of the NMOS transistor NT13. Further, the drain of the NMOS transistor NT13 is connected to the low potential side power supply GND.
  • the gate of the NMOS transistor NT11 is connected to one terminal, and the other terminal is an input terminal into which a RAMP signal is input.
  • the gate of the NMOS transistor NT12 is connected to one terminal of the capacitor C12, and the other terminal is an input terminal into which the pixel signal VSL is input.
  • the comparator 554 operates as a differential comparison circuit in which the current mirror circuit is composed of the NMOS transistors PT11 and PT12, and the NMOS transistors NT11 and NT12 are used as the current source.
  • FIG. 50E is an explanatory diagram of a second configuration example of the comparator.
  • the comparator 554 includes MOSFET transistors PT21 to PT23, comparator transistors NT21 and NT22, capacitors C21 to C23, and switches SW21 and SW22.
  • the source of the NMOS transistor NT21 and the source of the NMOS transistor NT22 are connected to the low potential side power supply GND.
  • the drain of the NMOS transistor NT22 is connected to the gate of the NMOS transistor NT22 and the drain of the NMOS transistor PT22.
  • the drain of the NMOS transistor NT22 is connected to the drain of the NMOS transistor PT23 and the output terminal OUT1.
  • the source of the MOSFET transistor PT22 is connected to the source of the MOSFET transistor PT23 and the drain of the MOSFET transistor PT21.
  • the source of the MOSFET transistor PT21 is connected to the high potential side power supply VDD.
  • the current mirror circuit is composed of the NMOS transistor NT21 and the NMOS transistor NT22.
  • the gate of the NMOS transistor PT22 is connected to one terminal of the capacitor C21, and the other terminal is an input terminal into which the pixel signal VSL is input. Further, a gate of a MOSFET transistor PT22 is connected to one terminal of the capacitor C22, and the other terminal is an input terminal into which a RAMP signal is input.
  • these capacitors C21 and C22 function as input capacitances.
  • the MPLS transistors PT21 to PT23 constitute a differential comparison circuit, and the entire circuit functions as a comparator.
  • FIG. 50F is an explanatory diagram of a third configuration example of the comparator.
  • the comparator 554 includes a MOSFET transistor PT31, an NMOS transistors NT31 and NT32, capacitors C31 and C32, and a switch SW31.
  • the drain of the NMOS transistor NT31 is connected to the high potential side power supply VDD, and the source is connected to the source of the NMOS transistor PT31.
  • the drain of the NMOS transistor PT31 is connected to the drain of the NMOS transistor PT32 and the output terminal OUT1.
  • the source of the NMOS transistor PT32 is connected to the low potential side power supply GND. Further, a switch SW31 is connected between the gate and drain terminals of the MOSFET transistor PT31.
  • a gate of a MOSFET transistor PT31 is connected to one terminal of the capacitor C31, and the other terminal is an input terminal into which a pixel signal VSL is input.
  • a gate of a MPLS transistor PT31 is connected to one terminal of the capacitor C32, and the other terminal is an input terminal into which a RAMP signal is input.
  • capacitors C31 and C32 function as input capacitances.
  • a comparison circuit is formed by the voltage division ratios of the NMOS transistors PT31 and the NMOS transistors NT31 and NT32, and the entire circuit functions as a comparator.
  • FIG. 50G is a schematic block diagram of the column signal processing unit of the third aspect.
  • the column signal processing unit 550 of the third aspect includes, for example, a RAMP generation circuit 557 that generates and outputs a RAMP waveform, a voltage of a pixel signal read via a vertical signal line (column read line) 543, and a RAMP.
  • a comparison device 558 that compares waveform voltages and outputs a comparison result signal, and a counter 559 that counts up when the level of the comparison result signal of the comparison device 558 is "H" level, and a counter 559.
  • It includes a latch 560 that captures a count value at predetermined time intervals and outputs an AD conversion output ADC OUT as pixel data corresponding to the voltage of a vertical signal line (column read line) 543.
  • the current generated by the load circuit LD is connected to the vertical signal line (column readout line) 543 via the comparator 558, and the load circuit LD is connected. Since a bias current is simultaneously applied to the amplification transistor AMP and the comparator 558 that make up the pixel by the flowing current, the current consumption can be reduced.
  • FIG. 50H is an explanatory diagram of a configuration example of the comparator of the third aspect.
  • the comparator 558 includes a NMOS transistor PT41, a capacitor C41, a switch SW41, and a load circuit LD.
  • the source of the MOSFET transistor PT41 is an input terminal into which the pixel signal VSL is input, and the drain is connected to the load circuit LD and the output terminal OUT1.
  • a switch SW41 is connected between the gate and drain terminals of the MOSFET transistor PT41.
  • One terminal of the capacitor C41 is connected to the gate of the MOSFET transistor PT41, and the other terminal is an input terminal into which a RAMP signal is input.
  • the capacitor C41 functions as an input capacitance.
  • a comparison circuit that outputs an output signal corresponding to the gate-source voltage of the NMOS transistor PT41 is configured, and the entire circuit functions as a comparator.
  • FIG. 50I is a schematic block diagram of the column signal processing unit of the fourth aspect.
  • the column signal processing unit 550 of the fourth aspect includes a load circuit LD, a pre-circuit 561 for connecting a current generated by the load circuit LD to a vertical signal line (row read line) 543, and, for example, a constant voltage. It includes a reference signal generation unit 562 configured as a source, and an AD converter 563 that performs AD conversion based on a reference signal input from the reference signal generation unit 562.
  • FIG. 50J is an explanatory diagram of a configuration example of the pre-circuit.
  • the pre-circuit 561 includes a MOSFET transistor PT51, capacitors C51 and C52, and a load circuit LD.
  • the source of the MOSFET transistor PT51 is an input terminal into which the pixel signal VSL is input, and the drain is connected to the load circuit LD and the output terminal OUT1.
  • a capacitor C52 is connected between the gate and drain terminals of the NMOS transistor PT41. This capacitor C52 functions as a feedback capacitance. Further, the capacitor C51 functions as a reference capacitance, one terminal of the capacitor C51 is connected to the gate of the NMOS transistor PT41, and the other terminal is connected to the low potential side power supply GND.
  • This pre-circuit 561 is configured as a current reuse column amplifier (CRCA).
  • the gate-source voltage of the MOSFET transistor PT51 fluctuates according to the pixel signal VSL input to the source of the MOSFET transistor PT51, and the drain current of the MOSFET transistor PT51 changes.
  • the output voltage Vout corresponding to this drain current is output from the output terminal OUT1 via the drain of the NMOS transistor PT51.
  • the prefix circuit 561 functions as a comparison circuit that effectively outputs an output signal corresponding to the pixel signal VSL, and the circuit as a whole functions as an amplifier.
  • FIG. 51 is a schematic cross-sectional view showing an example of a laminated structure of the first substrate 100 and the second substrate 200 according to the 3-1 embodiment.
  • the first substrate 100 has a photodiode PD, a transfer transistor TR, and a floating diffusion FD.
  • the pixel circuit 210B on the second substrate 200 has a reset transistor RST, an amplification transistor AMP, a selection transistor SEL, and an FD wiring FDL.
  • the wiring layers 100T and 200T penetrate from the first substrate 100 to the second substrate 200, and the floating diffusion FD for each pixel 541 on the first substrate 100 and the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210B on the second substrate 200 are connected.
  • the FD wiring FDL to be connected is arranged.
  • the amplification transistor AMP for each pixel 541 of the independent p-well layer 251 on the second substrate 200 is electrically separated from the common p-well layer 250 by the full trench T7.
  • the gate of the amplification transistor AMP is connected to the FD wiring FDL
  • the drain of the amplification transistor AMP is connected to the independent p-well layer 251
  • the source of the amplification transistor AMP is connected to the drain of the selection transistor SEL.
  • the source of the amplification transistor AMP is electrically connected to the shield wiring SL2 which runs in parallel with the FD wiring FDL and is connected to each layer in the wiring layer 100T and the wiring layer 200T.
  • the shield wiring SL2 is arranged so as to cover the FD wiring FDL.
  • the shield wiring SL2 is arranged so that the coupling capacitance between the floating diffusion FD and the source of the amplification transistor AMP is large, and the coupling capacitance between the floating diffusion FD and the wiring other than the floating diffusion FD is as small as possible.
  • the shielded wiring SL2 extends from the wiring layer 200T to the wiring layer 100T via the joint CC between the wiring layer 100T of the first substrate 100 and the wiring layer 200T of the second substrate 200 so as to cover the FD wiring FDL.
  • the shield is arranged.
  • the potential of the independent p-well layer 251 changes following the source potential of the amplification transistor AMP. That is, since the back gate of the amplification transistor AMP and the source potential have the same potential, the gain of the source follower circuit becomes 1.
  • the gate potential amplitude of the amplification transistor AMP and the source potential amplitude become equal. That is, the potential of the shield wiring SL2 also changes according to the amount of change of the floating diffusion FD potential of the FD wiring FDL. Therefore, no charge transfer occurs between the FD wiring FDL and the shield wiring SL2, and the capacitance value between the two decreases.
  • each FD wiring FDL can be shielded by the shield wiring SL2. As a result, it is possible to suppress the occurrence of crosstalk between adjacent FD wiring FDLs.
  • this node shields the area around the FD wiring FDL, it follows with the same amplitude as the potential of the floating diffusion FD, so the capacitance between the wirings looks zero, so the FD capacitance can be reduced.
  • the source of the amplification transistor AMP and the independent p-well layer 251 were connected to have the same potential.
  • the substrate bias effect is eliminated, and the gain between the amplitude of the floating diffusion FD potential and the source potential amplitude of the amplification transistor AMP is set to 1.
  • the wiring to be coupled to the floating diffusion FD should move with the same amplitude as the floating diffusion FD.
  • the wiring coupling capacitance appears to be zero, the floating diffusion FD capacitance can be reduced to improve the charge-voltage conversion efficiency.
  • FIG. 52 is a schematic view showing an example of the planar configuration of the pixel circuit 210B.
  • the reset transistor RST and the selection transistor SEL are arranged in the common p-well layer 250 in a state where the common p-well layer 250 and the independent p-well layer 251 are electrically separated by the full trench T7, and the independent p-well layer 250 is arranged.
  • the amplification transistor AMP is arranged on the layer 251.
  • the common p-well layer 250 of the reset transistor RST and the selection transistor SEL is fixed to the GND potential.
  • FIG. 53 is a schematic view showing an example of a planar configuration in which the FD wiring FDL and the shield wiring SL2 are superposed on the surface of the pixel circuit 210B shown in FIG. 52.
  • the FD wiring FDL electrically connects the floating diffusion FD in the pixel 541, the gate of the amplification transistor AMP, and the source of the reset transistor RST.
  • the shielded wiring SL2 electrically connects the source of the amplification transistor AMP and the drain of the selection transistor SEL, and also electrically connects the independent p-well layer 251 and the source of the amplification transistor AMP.
  • the shield wiring SL2 electrically connected to the source potential of the amplification transistor AMP is arranged so as to cover the periphery of the FD wiring FDL, and is laid out so that the coupling between the two becomes large.
  • the shield wiring SL2 that electrically separates the common p-well layer 250 and the independent p-well layer 251 of the amplification transistor AMP and connects the gate of the amplification transistor AMP and the source of the amplification transistor AMP. Shield the FD wiring FDL with. That is, the substrate bias effect is eliminated by connecting the source of the amplification transistor AMP and the independent p-well layer 251 of the amplification transistor AMP to the same potential, and the gain between the floating diffusion FD amplitude and the source amplitude of the amplification transistor AMP is set to 1. And.
  • the shield wiring SL2 for drawing out the source potential of the amplification transistor AMP around the FD wiring FDL, the wiring coupled to the floating diffusion FD is made to move with the same amplitude as the floating diffusion FD. As a result, the wiring coupling capacitance is reduced, so that the FD capacitance is reduced and the charge-voltage conversion efficiency is improved.
  • the charge-voltage conversion efficiency is improved by reducing the capacitance of the FD capacitance due to the parasitic resistance of the FD wiring FDL. Further, the shield wiring SL2 can suppress crosstalk between adjacent floating diffusion FDs.
  • the shield wiring SL2 is an FD wiring that passes through the second substrate 200 and the first substrate 100 among the FD wiring FDLs that connect the amplification transistor AMP in the second substrate 200 and the floating diffusion FD in the first substrate 100.
  • the part of FDL was shielded.
  • the FD wiring FDL the portion of the FD wiring FDL that passes through the wiring layer 100T of the first substrate 100 and the wiring layer 200T of the second substrate 200 was shielded.
  • the shielded wiring SL2 may shield the portion of the FDL wiring FDL that passes through the wiring layer 200T of the second substrate 200 in the FD wiring FDL, and the embodiment is described below as the embodiment 3-2. Explain to.
  • FIG. 54 is a schematic cross-sectional view showing an example of a laminated structure of the first substrate 100 and the second substrate 200 of the third embodiment.
  • the wiring layer 100T and the wiring layer 200T have an FD wiring FDL penetrating from the first substrate 100 side to the second substrate 200.
  • the FD wiring FDL electrically connects the floating diffusion FD of the first substrate 100 and the gate of the amplification transistor AMP in the pixel circuit 210 on the second substrate 200.
  • the shield wiring SL2 shields a portion of the FD wiring FDL that passes through the wiring layer 200T in the second substrate 200.
  • the shield wiring SL2 is limited to the shield of only the FD wiring FDL in the wiring layer 200T on the second substrate 200 side.
  • the FD wiring FDL can be connected through the wiring layer 100T and the wiring layer 200T, but the source potential of the amplification transistor AMP is the wiring on the first substrate 100 side. It becomes impossible to extend to the layer 100T.
  • the shield wiring SL2 is arranged so as to cover the FD wiring FDL only with the wiring layer 200T in the second substrate 200.
  • the effect of reducing the floating diffusion FD capacity of the wiring layer 100T on the first substrate 100 side cannot be obtained, and the FD capacity becomes slightly larger than that of the 3-1 embodiment.
  • the effect of reducing the FD capacity in the wiring layer 200T on the second substrate 200 side can be obtained. It can also handle pixel reduction.
  • FIG. 55 is an equivalent circuit diagram showing an example of the configuration of the plurality of pixel circuits 210C and 210D of the second substrate 200 of the third embodiment.
  • the pixel circuit 210C has an independent p-well layer 251A for arranging amplification transistor AMP groups of a plurality of pixel circuits 541 adjacent in the column direction, and a common p-well layer for arranging reset transistor RST and selection transistor SEL group adjacent in the column direction.
  • the 250 is electrically separated by a full trench T8.
  • the pixel circuit 210D is a line different from that of the pixel circuit 210C.
  • the pixel circuit 210D has an independent p-well layer 251A in which amplification transistor AMP groups of a plurality of pixels adjacent in the column direction are arranged, and a common p-well layer in which the reset transistor RST and the selection transistor SEL group adjacent in the column direction are arranged.
  • the 250 is electrically separated by a full trench T8.
  • the amplification transistor AMP read out at the same time is an amplification transistor AMP adjacent in the row direction. Therefore, when the pixels 541 are sequentially read in row units, the pixel signals of the amplification transistors AMPs adjacent to each other in the column direction are not read out at the same time while the amplification transistor AMP is reading the pixel signals. Therefore, the independent p-well layer 251A of the amplification transistor AMP adjacent in the row direction is separated, and the independent p-well layer 251A of the amplification transistor AMP adjacent in the column direction is shared. That is, the well layer potentials of the amplification transistor AMP groups adjacent in the column direction are common, and the well layer potentials of the amplification transistor AMP groups adjacent in the column direction of the next row are also common.
  • the well layer potential of the amplification transistor AMP group of the pixel circuits 210C2 and 210C3 in this row is the same as the source potential of the amplification transistor AMP of the pixel circuit 210C1. It becomes. Further, the well layer potential of the amplification transistor AMP of the pixel circuits 210C2 and 210C3 is also the same potential as the source potential of the amplification transistor AMP of the pixel circuit 210C1.
  • the selection transistor SEL is turned off and does not operate as an amplifier circuit, so that there is no particular influence. ..
  • the amplification transistor AMP of the pixel circuit 210D1 adjacent in the row direction is read at the same time as the amplification transistor AMP of the pixel circuit 210C1. Therefore, the well layer potential of the amplification transistor AMP of the pixel circuit 210C1 and the well layer potential of the amplification transistor AMP of the pixel circuit 210D1 adjacent to each other in the row direction are different depending on the pixel signal amount, so that the well layers of both are separated. There is a need. That is, it is necessary to separate the well layers of the pixels 541 that are read at the same time, but there is no problem even if the well layers of the pixels 541 that are not read at the same time are shared.
  • the image pickup device of the third embodiment is, for example, a pixel image pickup device provided with a charge holding unit for a global shutter.
  • the global shutter method is basically a method of performing global exposure in which the exposure of all pixels is started at the same time and the exposure of all pixels is ended at the same time.
  • all the pixels mean all the pixels of the portion appearing in the image, and dummy pixels and the like are excluded.
  • the global shutter method also includes a method of performing global exposure not only on all the pixels of the portion appearing in the image but also on the pixels in a predetermined region.
  • FIG. 56 is an equivalent circuit diagram showing an example of the configuration of the pixel sharing unit 400 of the global shutter type image pickup apparatus of the third embodiment.
  • the pixel sharing unit 400 in the global shutter type image pickup apparatus has a pixel 410 and a pixel circuit 420.
  • the pixel 410 includes a photodiode 411, a charge holding unit 412, a transfer transistor TR413, and an overflow transistor 414.
  • the pixel circuit 420 includes a reset transistor RST42, an amplification transistor AMP42, a selection transistor SEL42, and a floating diffusion FD42.
  • the reset transistor RST42 has a drain connected to the power supply VDD and a source connected to the floating diffusion FD42.
  • the reset transistor RST42 initializes, that is, resets, the floating diffusion FD42 according to the drive signal applied to the gate electrode. For example, when the reset transistor RST42 is turned on by the drive signal, the potential of the floating diffusion FD42 is reset to the voltage level of the power supply VDD. That is, the floating diffusion FD42 is initialized.
  • the floating diffusion FD42 converts the electric charge transferred from the photodiode PD via the transfer transistor 413 and the electric charge holding unit 412 into an electric signal (for example, a voltage signal) and outputs the electric charge.
  • a reset transistor RST42 is connected to the floating diffusion FD42, and a vertical signal line VSL is connected via an amplification transistor AMP42 and a selection transistor SEL42.
  • the amplification transistor AMP42 outputs an electric signal corresponding to the potential of the floating diffusion FD42.
  • the amplification transistor AMP 42 constitutes, for example, a constant current source and a source follower circuit provided in the column signal processing unit.
  • the selection transistor SEL42 is turned on when the pixel is selected, and an electric signal from the floating diffusion FD 42 via the amplification transistor AMP 42 is output to the column signal processing unit through the vertical signal line VSL.
  • the pixel 410 is formed on the first substrate 100 and the pixel circuit 420 is formed on the second substrate 200, and the FD wiring FDL is connected between the pixel 410 and the pixel circuit 420. Connect with.
  • the second substrate 200 is composed of a common p-well layer common to all pixels and an independent p-well layer for each amplification transistor AMP42, and is electrically operated by a full trench (FTI) between the common p-well layer and the independent p-well layer. Separated.
  • FTI full trench
  • the reset transistor RST42 and the selection transistor SEL42 in each pixel circuit 420 are formed. Since the common p-well layer is connected to the GND potential, it is assumed that the back gates of the reset transistor RST42 and the selection transistor SEL42 are fixed to the GND potential.
  • the amplification transistor AMP42 in the pixel circuit 420 is formed in the independent p-well layer. Since the independent p-well layer is connected to the source of the amplification transistor AMP42, the potential of the independent p-well layer changes following the source potential of the amplification transistor AMP42. That is, since the back gate of the amplification transistor AMP42 and the source potential have the same potential, the gain of the source follower circuit becomes 1.
  • the gate potential amplitude of the amplification transistor AMP42 and the source potential amplitude become equal. That is, the potential of the shield wiring SL4 also changes according to the amount of change of the FD potential of the FD wiring FDL. Therefore, no charge transfer occurs between the FD wiring FDL and the shield wiring SL4, and the capacitance value between the two decreases. Therefore, even if the coupling between the FD wiring FDL and the shield wiring SL4 is large, it can be ignored as the FD capacitance during the actual read operation. Then, since the FD wiring and the coupling between the FD and the other wiring are arranged so as to be as small as possible, the FD capacitance becomes a small value. That is, since the parasitic capacitance of the FD capacitance becomes small, the source follower output voltage Vsf can be increased.
  • the pixel sharing unit 400 in the global shutter type image pickup apparatus of the third embodiment is in a state of being electrically separated between the common p-well layer and the independent p-well layer of the amplification transistor AMP42. Further, the pixel sharing unit 400 shields the FD wiring FDL with the shield wiring SL4 that connects the gate of the amplification transistor AMP42 and the source of the amplification transistor AMP42.
  • the substrate bias effect is eliminated by connecting the source of the amplification transistor AMP42 and the independent p-well layer of the amplification transistor AMP42 to the same potential, and the gain between the FD amplitude and the source amplitude of the amplification transistor AMP42 is set to 1. Further, by shielding the periphery of the FD wiring FDL with the shield wiring SL4 that draws out the source potential of the amplification transistor AMP42, the wiring coupled to the floating diffusion FD is made to move with the same amplitude as the floating diffusion FD. As a result, the wiring coupling capacitance is reduced, so that the FD capacitance is reduced and the charge-voltage conversion efficiency is improved.
  • the S / N of the pixel signal is improved by improving the charge-voltage conversion efficiency while suppressing the increase in the FD capacitance due to the parasitic resistance of the FD wiring FDL. Aim to improve the N ratio.
  • the shield wiring SL4 can suppress crosstalk between adjacent floating diffusion FDs.
  • FIG. 57 is an equivalent circuit diagram showing an example of the configuration of the pixel sharing unit 400A of the memory-holding type global shutter type image pickup apparatus according to the third to fifth embodiment.
  • the pixel sharing unit 400A has pixels PX1 and PX4 and a pixel circuit 420A.
  • the pixel PX1 includes a photodiode PD1, first to third transfer transistors TR1A to TR1C, a charge holding unit MEM1, an emission transistor OFG1, an emission unit OFD1, and a buffer BUF1.
  • the first transfer transistor TR1A includes a transfer gate TRZ1
  • the second transfer transistor TR1B includes a transfer gate TRY1 and a transfer gate TRX1
  • the third transfer transistor TR1C includes a transfer gate TRG1.
  • the pixel PX4 has a photodiode PD4, first to third transfer transistors TR4A to TR4C, a charge holding unit MEM4, an emission transistor OFG4, an emission unit OFD4, and a buffer BUF4.
  • the first transfer transistor TR4A includes a transfer gate TRZ4
  • the second transfer transistor TR4B includes a transfer gate TRY4 and a transfer gate TRX4
  • the third transfer transistor TR4C includes a transfer gate TRG4.
  • the pixel PX1 and the pixel PX4 share a pixel circuit 420A such as a power supply VDD1, VDD2, a floating diffusion FD14, a reset transistor RST14, an amplification transistor AMP14, and a selection transistor SEL14.
  • a pixel circuit 420A such as a power supply VDD1, VDD2, a floating diffusion FD14, a reset transistor RST14, an amplification transistor AMP14, and a selection transistor SEL14.
  • the first to third transfer transistors TR1A to TR1C and the first to third transfer transistors TR4A to TR4C are N-type MOS transistors.
  • the reset transistor RST14, the amplification transistor AMP14 and the selection transistor SEL14 are also N-type MOS transistors.
  • Drive signals are sent to the gate electrodes of the first to third transfer transistors TR1A to TR1C and the first to third transfer transistors TR4A to TR4C by the vertical drive unit and the horizontal drive unit based on the drive control of the system control unit. It is supposed to be supplied.
  • drive signals are supplied to the gate electrodes of the reset transistor RST14, the amplification transistor AMP14, and the selection transistor SEL14 by the vertical drive unit and the horizontal drive unit, respectively, based on the drive control of the system control unit. ..
  • These drive signals are pulse signals in which a high level state becomes an active state (on state) and a low level state becomes an inactive state (off state).
  • setting the drive signal to the active state is also referred to as turning on the drive signal
  • making the drive signal inactive is also referred to as turning off the drive signal.
  • the photodiodes PD1 and PD4 are photoelectric conversion elements composed of, for example, PN junction photodiodes, and are configured to receive light from a subject and generate and accumulate electric charges according to the amount of the received light by photoelectric conversion. ing.
  • the charge holding units MEM1 and MEM4 are provided between the photodiodes PD1 and PD4 and the floating diffusion FD14, respectively. Further, the charge holding units MEM1 and MEM4 temporarily hold the charges generated and accumulated in the photodiodes PD1 and PD4 until they are transferred to the floating diffusion FD14 in order to realize the global shutter function. The area.
  • the first transfer transistor TR1A and the second transfer transistor TR1B are arranged in order between the photodiode PD1 and the charge holding unit MEM1.
  • the third transfer transistor TR1C is arranged between the charge holding unit MEM1 and the floating diffusion FD14.
  • the first transfer transistor TR1A and the second transfer transistor TR1B are configured to transfer the electric charge stored in the photodiode PD1 to the charge holding unit MEM1 according to the drive signal applied to the gate electrode thereof. There is.
  • first transfer transistor TR4A and the second transfer transistor TR4B are sequentially arranged between the photodiode PD4 and the charge holding unit MEM4.
  • the third transfer transistor TR4C is arranged between the charge holding unit MEM4 and the floating diffusion FD14.
  • the first transfer transistor TR4A and the second transfer transistor TR4B are configured to transfer the electric charge stored in the photodiode PD4 to the charge holding unit MEM4 according to the drive signal applied to the gate electrode thereof. There is.
  • the third transfer transistor TR1C and the third transfer transistor TR4C transfer the charges temporarily held by the charge holding unit MEM1 and the charge holding unit MEM4 to the floating diffusion FD14 according to the drive signal applied to the gate electrode. It will be.
  • the second transfer transistors TR1B and TR4B are turned off and the third transfer transistors TR1C and TR4C are turned on.
  • the charges held in the charge holding units MEM1 and MEM4 are transferred to the floating diffusion FD14 via the third transfer transistors TR1C and TR4C, respectively.
  • the buffers BUF1 and BUF4 are charge storage regions formed between the first transfer transistor TR1A and the second transfer transistor TR1B, respectively.
  • the reset transistor RST14 has a drain connected to the power supply VDD1 and a source connected to the floating diffusion FD14.
  • the reset transistor RST14 initializes, that is, resets the floating diffusion FD14 according to the drive signal applied to the gate electrode. For example, when the reset transistor RST14 is turned on by the drive signal, the potential of the floating diffusion FD14 is reset to the voltage level of the power supply VDD1. That is, the floating diffusion FD14 is initialized.
  • the floating diffusion FD14 transmits the electric charges (for example, voltage signals) transferred from the photodiodes PD1 and PD4 via the first to third transfer transistors TR1A to TR1C, TR4A to TR4C and the charge holding units MEM1 and MEM4, respectively. ) And output.
  • a reset transistor RST14 is connected to the floating diffusion FD14, and a vertical signal line VSL117 is connected via an amplification transistor AMP14 and a selection transistor SEL14.
  • the amplification transistor AMP14 outputs an electric signal corresponding to the potential of the floating diffusion FD14.
  • the amplification transistor AMP14 constitutes, for example, a constant current source and a source follower circuit provided in the column signal processing unit.
  • the selection transistor SEL14 is turned on when the pixel PX is selected, and outputs an electric signal from the floating diffusion FD14 via the amplification transistor AMP14 to the column signal processing unit through the vertical signal line VSL117.
  • the pixels PX1 and PX4 further include discharge units OFD1 and OFD4 in addition to the floating diffusion FD14 as charge transfer destinations of the photodiodes PD1 and PD4.
  • the discharge transistor OFG1 is arranged between the first transfer transistor TR1A and the second transfer transistor TR1B
  • the discharge transistor OFG4 is arranged between the first transfer transistor TR4A and the second transfer transistor TR4B.
  • the discharge transistor OFG1 has a drain connected to the discharge unit OFD1 and a source connected to a wiring connecting the first transfer transistor TR1A and the second transfer transistor TR1B.
  • the discharge transistor OFG4 has a drain connected to the discharge unit OFD4 and a source connected to a wiring connecting the first transfer transistor TR4A and the second transfer transistor TR4B.
  • the discharge transistors OFG1 and OFG4 initialize, that is, reset the photodiodes PD1 and PD4 according to the drive signal applied to each gate electrode. Resetting the photodiodes PD1 and PD4 means depleting the photodiodes PD1 and PD4.
  • the discharge transistors OFG1 and OFG4 form overflow paths, respectively, and the charges overflowing from the photodiodes PD1 and PD4 are discharged to the discharge units OFD1 and OFD4, respectively.
  • the emission transistors OFG1 and OFG4 can directly reset the photodiodes PD1 and PD4.
  • Pixel PX1 and pixel PX4 and floating diffusion FD14 are arranged on the first substrate 100, and pixel circuits 420A such as reset transistor RST14, amplification transistor AMP14 and selection transistor SEL14 are arranged on the second substrate 200. Further, the floating diffusion FD of the first substrate 100 and the gate of the amplification transistor AMP14 of the second substrate 200 are connected by an FD wiring FDL.
  • the second substrate 200 is composed of a common p-well layer common to all pixels and an independent p-well layer for each pixel amplification transistor AMP14, and a full trench (FTI) is formed between the common p-well layer and the independent p-well layer. It is electrically separated by.
  • the reset transistor RST14 and the selection transistor SEL14 in each pixel circuit 420 are formed. Since the common p-well layer is connected to the GND potential, it is assumed that the back gates of the reset transistor RST14 and the selection transistor SEL14 are fixed to the GND potential.
  • the amplification transistor AMP14 in the pixel circuit 420 is formed in the independent p-well layer. Since the independent p-well layer is connected to the source of the amplification transistor AMP14, the potential of the independent p-well layer changes following the source potential of the amplification transistor AMP14. That is, since the back gate of the amplification transistor AMP14 and the source potential have the same potential, the gain of the source follower circuit becomes 1.
  • the gate potential amplitude of the amplification transistor AMP14 and the source potential amplitude become equal. That is, the potential of the shield wiring SL5 also changes according to the amount of change of the FD potential of the FD wiring FDL. Therefore, no charge transfer occurs between the FD wiring FDL and the shield wiring SL5, and the capacitance value between the two decreases. Therefore, even if the coupling between the FD wiring FDL and the shield wiring SL5 is large, it can be ignored as the FD capacitance during the actual read operation. Then, since the FD wiring and the coupling between the FD and the other wiring are arranged so as to be as small as possible, the FD capacitance becomes a small value. That is, since the parasitic capacitance of the FD capacitance becomes small, the source follower output voltage Vsf can be increased.
  • the pixel sharing unit 400A in the memory-holding type global shutter type image pickup apparatus of the third embodiment is in a state where the common p-well layer and the independent p-well layer of the amplification transistor AMP are electrically separated. ..
  • the pixel sharing unit 400A shields the FD wiring FDL with the shield wiring SL5 that connects the gate of the amplification transistor AMP14 and the source of the amplification transistor AMP14.
  • the substrate bias effect is eliminated by connecting the source of the amplification transistor AMP14 and the independent p-well layer of the amplification transistor AMP14 to the same potential, and the gain between the FD amplitude and the source amplitude of the amplification transistor AMP14 is set to 1.
  • the wiring coupled to the floating diffusion FD14 is made to move with the same amplitude as the floating diffusion FD14.
  • the wiring coupling capacitance is reduced, so that the FD capacitance is reduced and the charge-voltage conversion efficiency is improved.
  • the S / N ratio of the pixel signal is improved by improving the charge-voltage conversion efficiency while suppressing the increase in the FD capacitance due to the parasitic resistance of the FD wiring FDL. Can be improved.
  • the shield wiring SL5 can suppress crosstalk between adjacent floating diffusion FD14s.
  • examples of the above-mentioned methods for forming each layer, each film, each element, etc. include a physical vapor deposition method (PVD method) and a CVD method. ..
  • the PVD method includes a vacuum vapor deposition method using resistance heating or high frequency heating, an EB (electron beam) deposition method, various sputtering methods (magnetron sputtering method, RF-DC coupled bias sputtering method, ECR (Electron Cyclotron Resonance) sputtering method).
  • CVD method examples include a plasma CVD method, a thermal CVD method, a MOCVD method, an optical CVD method, and the like.
  • electrolytic plating method, electroless plating method spin coating method; immersion method; casting method; microcontact printing method; drop casting method; screen printing method, inkjet printing method, offset printing method, gravure printing.
  • Various printing methods such as method and flexo printing method; stamp method; spray method; air doctor coater method, blade coater method, rod coater method, knife coater method, squeeze coater method, reverse roll coater method, transfer roll coater method, gravure coater method. , Kiss coater method, cast coater method, spray coater method, slit orifice coater method, calendar coater method and various other coating methods can be mentioned.
  • the patterning method for each layer include chemical etching such as shadow mask, laser transfer, and photolithography, and physical etching by ultraviolet rays, laser, and the like.
  • examples of the flattening technique include a CMP method, a laser flattening method, and a reflow method. That is, the image pickup apparatus 1 according to the embodiment and the modification of the present disclosure can be easily and inexpensively manufactured by using the manufacturing process of the existing semiconductor device.
  • the amplification transistor AMP, the selection transistor SEL, and the reset transistor RST constituting the pixel circuit 210 of the second substrate 211 are formed on the same semiconductor substrate, but a plurality of second substrates 211 are used. It is also possible to configure the semiconductor substrate of the above.
  • the amplification transistor AMP is arranged at a position far from the floating diffusion, a capacitance is formed between the amplification transistor AMP and the floating diffusion, which may cause a decrease in conversion efficiency.
  • the amplification transistor AMP is formed on the same semiconductor substrate as the floating diffusion, and the remaining transistors are formed on another semiconductor substrate.
  • the channel width W of the amplification transistor AMP can be increased, noise can be reduced. Therefore, by adopting the above configuration in which the second substrate is composed of a plurality of semiconductors, the area that can be allocated to the amplification transistor AMP. Can be increased, noise can be reduced, and performance can be improved.
  • FIG. 58 shows an example of a schematic configuration of an imaging system 7 including an imaging device 1 according to the above embodiment and a modified example thereof.
  • the imaging system 7 is, for example, an imaging device such as a digital still camera or a video camera, or an electronic device such as a mobile terminal device such as a smartphone or a tablet terminal.
  • the image pickup system 7 includes, for example, an image pickup device 1, a DSP circuit 243, a frame memory 244, a display unit 245, a storage unit 246, an operation unit 247, and a power supply unit 248 according to the above embodiment and its modification.
  • the image pickup device 1, the DSP circuit 243, the frame memory 244, the display unit 245, the storage unit 246, the operation unit 247, and the power supply unit 248 according to the above-described embodiment and its modification are via the bus line 249. They are interconnected.
  • the image pickup apparatus 1 outputs image data according to the incident light.
  • the DSP circuit 243 is a signal processing circuit that processes a signal (image data) output from the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment and its modification.
  • the frame memory 244 temporarily holds the image data processed by the DSP circuit 243 in frame units.
  • the display unit 245 comprises a panel-type display device such as a liquid crystal panel or an organic EL (Electro Luminescence) panel, and displays a moving image or a still image captured by the image pickup device 1 according to the above embodiment and its modified example. ..
  • the storage unit 246 records image data of a moving image or a still image captured by the imaging device 1 according to the above embodiment and a modified example thereof on a recording medium such as a semiconductor memory or a hard disk.
  • the operation unit 247 issues operation commands for various functions of the image pickup system 7 according to the operation by the user.
  • the power supply unit 248 supplies various power sources that serve as operating power sources for the image pickup device 1, the DSP circuit 243, the frame memory 244, the display unit 245, the storage unit 246, and the operation unit 247 according to the above embodiment and its modification. Supply to the subject as appropriate.
  • FIG. 59 shows an example of a flowchart of an imaging operation in the imaging system 7.
  • the user instructs the start of imaging by operating the operation unit 247 (step S101).
  • the operation unit 247 transmits an imaging command to the imaging device 1 (step S102).
  • the imaging device 1 Upon receiving an imaging command, the imaging device 1 (specifically, the system control circuit 36) executes imaging by a predetermined imaging method (step S103).
  • the image pickup device 1 outputs the image data obtained by the image pickup to the DSP circuit 243.
  • the image data is data for all pixels of the pixel signal generated based on the electric charge temporarily held in the floating diffusion FD.
  • the DSP circuit 243 performs predetermined signal processing (for example, noise reduction processing) based on the image data input from the image pickup apparatus 1 (step S104).
  • the DSP circuit 243 stores the image data subjected to the predetermined signal processing in the frame memory 244, and the frame memory 244 stores the image data in the storage unit 246 (step S105). In this way, the imaging in the imaging system 7 is performed.
  • the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment and its modification is applied to the image pickup system 7.
  • the image pickup device 1 can be miniaturized or high-definition, so that a small-sized or high-definition image pickup system 7 can be provided.
  • the technology according to the present disclosure can be applied to various products.
  • the technology according to the present disclosure is realized as a device mounted on a moving body of any kind such as an automobile, an electric vehicle, a hybrid electric vehicle, a motorcycle, a bicycle, a personal mobility, an airplane, a drone, a ship, and a robot. You may.
  • FIG. 60 is a block diagram showing a schematic configuration example of a vehicle control system, which is an example of a mobile control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via the communication network 12001.
  • the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside information detection unit 12030, an in-vehicle information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
  • a microcomputer 12051, an audio image output unit 12052, and an in-vehicle network I / F (interface) 12053 are shown as a functional configuration of the integrated control unit 12050.
  • the drive system control unit 12010 controls the operation of the device related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the drive system control unit 12010 provides a driving force generator for generating the driving force of the vehicle such as an internal combustion engine or a driving motor, a driving force transmission mechanism for transmitting the driving force to the wheels, and a steering angle of the vehicle. It functions as a control device such as a steering mechanism for adjusting and a braking device for generating a braking force of a vehicle.
  • the body system control unit 12020 controls the operation of various devices mounted on the vehicle body according to various programs.
  • the body system control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as headlamps, back lamps, brake lamps, blinkers or fog lamps.
  • the body system control unit 12020 may be input with radio waves transmitted from a portable device that substitutes for the key or signals of various switches.
  • the body system control unit 12020 receives inputs of these radio waves or signals and controls a vehicle door lock device, a power window device, a lamp, and the like.
  • the vehicle outside information detection unit 12030 detects information outside the vehicle equipped with the vehicle control system 12000.
  • the image pickup unit 12031 is connected to the vehicle exterior information detection unit 12030.
  • the vehicle outside information detection unit 12030 causes the image pickup unit 12031 to capture an image of the outside of the vehicle and receives the captured image.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 may perform object detection processing or distance detection processing such as a person, a vehicle, an obstacle, a sign, or characters on the road surface based on the received image.
  • the image pickup unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electric signal according to the amount of the light received.
  • the imaging unit 12031 can output an electric signal as an image or can output it as distance measurement information. Further, the light received by the imaging unit 12031 may be visible light or invisible light such as infrared light.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 detects the in-vehicle information.
  • a driver state detection unit 12041 that detects the driver's state is connected to the in-vehicle information detection unit 12040.
  • the driver state detection unit 12041 includes, for example, a camera that images the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 determines the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver state detection unit 12041. It may be calculated, or it may be determined whether the driver is dozing.
  • the microcomputer 12051 calculates the control target value of the driving force generator, the steering mechanism, or the braking device based on the information inside and outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, and the drive system control unit.
  • a control command can be output to 12010.
  • the microcomputer 12051 realizes ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions including vehicle collision avoidance or impact mitigation, follow-up driving based on inter-vehicle distance, vehicle speed maintenance driving, vehicle collision warning, vehicle lane deviation warning, and the like. It is possible to perform cooperative control for the purpose of.
  • ADAS Advanced Driver Assistance System
  • the microcomputer 12051 controls the driving force generating device, the steering mechanism, the braking device, and the like based on the information around the vehicle acquired by the outside information detection unit 12030 or the inside information detection unit 12040, so that the driver can control the driver. It is possible to perform coordinated control for the purpose of automatic driving that runs autonomously without depending on the operation.
  • the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12020 based on the information outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030.
  • the microcomputer 12051 controls the headlamps according to the position of the preceding vehicle or the oncoming vehicle detected by the external information detection unit 12030, and performs cooperative control for the purpose of antiglare such as switching the high beam to the low beam. It can be carried out.
  • the audio image output unit 12052 transmits the output signal of at least one of the audio and the image to the output device capable of visually or audibly notifying the passenger or the outside of the vehicle of the information.
  • an audio speaker 12061, a display unit 12062, and an instrument panel 12063 are exemplified as output devices.
  • the display unit 12062 may include, for example, at least one of an onboard display and a heads-up display.
  • FIG. 61 is a diagram showing an example of the installation position of the imaging unit 12031.
  • the vehicle 12100 has image pickup units 12101, 12102, 12103, 12104, 12105 as the image pickup unit 12031.
  • the imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, 12105 are provided at positions such as the front nose, side mirrors, rear bumpers, back doors, and the upper part of the windshield in the vehicle interior of the vehicle 12100, for example.
  • the imaging unit 12101 provided on the front nose and the imaging unit 12105 provided on the upper part of the windshield in the vehicle interior mainly acquire an image in front of the vehicle 12100.
  • the imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirrors mainly acquire images of the side of the vehicle 12100.
  • the imaging unit 12104 provided on the rear bumper or the back door mainly acquires an image of the rear of the vehicle 12100.
  • the images in front acquired by the imaging units 12101 and 12105 are mainly used for detecting a preceding vehicle or a pedestrian, an obstacle, a traffic light, a traffic sign, a lane, or the like.
  • FIG. 61 shows an example of the photographing range of the imaging units 12101 to 12104.
  • the imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose
  • the imaging ranges 12112 and 12113 indicate the imaging ranges of the imaging units 12102 and 12103 provided on the side mirrors, respectively
  • the imaging range 12114 indicates the imaging range of the imaging units 12102 and 12103.
  • the imaging range of the imaging unit 12104 provided on the rear bumper or the back door is shown. For example, by superimposing the image data captured by the imaging units 12101 to 12104, a bird's-eye view image of the vehicle 12100 as viewed from above can be obtained.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
  • at least one of the image pickup units 12101 to 12104 may be a stereo camera composed of a plurality of image pickup elements, or may be an image pickup element having pixels for phase difference detection.
  • the microcomputer 12051 has a distance to each three-dimensional object within the imaging range 12111 to 12114 based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104, and a temporal change of this distance (relative velocity with respect to the vehicle 12100).
  • a predetermined speed for example, 0 km / h or more.
  • the microcomputer 12051 can set an inter-vehicle distance to be secured in front of the preceding vehicle in advance, and can perform automatic braking control (including follow-up stop control), automatic acceleration control (including follow-up start control), and the like. In this way, it is possible to perform cooperative control for the purpose of automatic driving or the like in which the vehicle travels autonomously without depending on the operation of the driver.
  • the microcomputer 12051 converts three-dimensional object data related to a three-dimensional object into two-wheeled vehicles, ordinary vehicles, large vehicles, pedestrians, utility poles, and other three-dimensional objects based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. It can be classified and extracted and used for automatic avoidance of obstacles. For example, the microcomputer 12051 distinguishes obstacles around the vehicle 12100 into obstacles that can be seen by the driver of the vehicle 12100 and obstacles that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 determines the collision risk indicating the risk of collision with each obstacle, and when the collision risk is equal to or higher than the set value and there is a possibility of collision, the microcomputer 12051 via the audio speaker 12061 or the display unit 12062. By outputting an alarm to the driver and performing forced deceleration and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving support for collision avoidance can be provided.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared rays.
  • the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether or not a pedestrian is present in the captured image of the imaging units 12101 to 12104.
  • pedestrian recognition includes, for example, a procedure for extracting feature points in an image captured by an imaging unit 12101 to 12104 as an infrared camera, and pattern matching processing for a series of feature points indicating the outline of an object to determine whether or not the pedestrian is a pedestrian. It is done by the procedure to determine.
  • the audio image output unit 12052 When the microcomputer 12051 determines that a pedestrian is present in the captured images of the imaging units 12101 to 12104 and recognizes the pedestrian, the audio image output unit 12052 outputs a square contour line for emphasizing the recognized pedestrian.
  • the display unit 12062 is controlled so as to superimpose and display. Further, the audio image output unit 12052 may control the display unit 12062 so as to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
  • the above is an example of a mobile control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the technique according to the present disclosure can be applied to the imaging unit 12031 among the configurations described above.
  • the image pickup apparatus 1 according to the above embodiment and its modified example can be applied to the image pickup unit 12031.
  • the technique according to the present disclosure to the image pickup unit 12031, a high-definition photographed image with less noise can be obtained, so that highly accurate control using the photographed image can be performed in the moving body control system.
  • FIG. 62 is a diagram showing an example of a schematic configuration of an endoscopic surgery system to which the technique according to the present disclosure (the present technique) can be applied.
  • FIG. 62 illustrates how the surgeon (doctor) 11131 is performing surgery on patient 11132 on patient bed 11133 using the endoscopic surgery system 11000.
  • the endoscopic surgery system 11000 includes an endoscope 11100, other surgical tools 11110 such as an abdominal tube 11111 and an energy treatment tool 11112, and a support arm device 11120 that supports the endoscope 11100.
  • a cart 11200 equipped with various devices for endoscopic surgery.
  • the endoscope 11100 is composed of a lens barrel 11101 in which a region having a predetermined length from the tip is inserted into the body cavity of the patient 11132, and a camera head 11102 connected to the base end of the lens barrel 11101.
  • the endoscope 11100 configured as a so-called rigid mirror having a rigid barrel 11101 is illustrated, but the endoscope 11100 may be configured as a so-called flexible mirror having a flexible barrel. Good.
  • An opening in which an objective lens is fitted is provided at the tip of the lens barrel 11101.
  • a light source device 11203 is connected to the endoscope 11100, and the light generated by the light source device 11203 is guided to the tip of the lens barrel by a light guide extending inside the lens barrel 11101 to be an objective. It is irradiated toward the observation target in the body cavity of the patient 11132 through the lens.
  • the endoscope 11100 may be a direct endoscope, a perspective mirror, or a side endoscope.
  • An optical system and an image sensor are provided inside the camera head 11102, and the reflected light (observation light) from the observation target is focused on the image sensor by the optical system.
  • the observation light is photoelectrically converted by the image sensor, and an electric signal corresponding to the observation light, that is, an image signal corresponding to the observation image is generated.
  • the image signal is transmitted as RAW data to the camera control unit (CCU: Camera Control Unit) 11201.
  • CCU Camera Control Unit
  • the CCU11201 is composed of a CPU (Central Processing Unit), a GPU (Graphics Processing Unit), and the like, and comprehensively controls the operations of the endoscope 11100 and the display device 11202. Further, the CCU 11201 receives an image signal from the camera head 11102, and performs various image processes on the image signal for displaying an image based on the image signal, such as development processing (demosaic processing).
  • a CPU Central Processing Unit
  • GPU Graphics Processing Unit
  • the display device 11202 displays an image based on the image signal processed by the CCU 11201 under the control of the CCU 11201.
  • the light source device 11203 is composed of, for example, a light source such as an LED (Light Emitting Diode), and supplies irradiation light to the endoscope 11100 when photographing an operating part or the like.
  • a light source such as an LED (Light Emitting Diode)
  • LED Light Emitting Diode
  • the input device 11204 is an input interface for the endoscopic surgery system 11000.
  • the user can input various information and input instructions to the endoscopic surgery system 11000 via the input device 11204.
  • the user inputs an instruction to change the imaging conditions (type of irradiation light, magnification, focal length, etc.) by the endoscope 11100.
  • the treatment tool control device 11205 controls the drive of the energy treatment tool 11112 for cauterizing, incising, sealing a blood vessel, or the like of a tissue.
  • the pneumoperitoneum device 11206 uses a gas in the pneumoperitoneum tube 11111 to inflate the body cavity of the patient 11132 for the purpose of securing the field of view by the endoscope 11100 and securing the work space of the operator.
  • the recorder 11207 is a device capable of recording various information related to surgery.
  • the printer 11208 is a device capable of printing various information related to surgery in various formats such as text, images, and graphs.
  • the light source device 11203 that supplies the irradiation light to the endoscope 11100 when photographing the surgical site can be composed of, for example, an LED, a laser light source, or a white light source composed of a combination thereof.
  • a white light source is configured by combining RGB laser light sources, the output intensity and output timing of each color (each wavelength) can be controlled with high accuracy. Therefore, the light source device 11203 adjusts the white balance of the captured image. It can be carried out.
  • the laser light from each of the RGB laser light sources is irradiated to the observation target in a time-divided manner, and the drive of the image sensor of the camera head 11102 is controlled in synchronization with the irradiation timing to support each of RGB. It is also possible to capture the image in a time-divided manner. According to this method, a color image can be obtained without providing a color filter on the image sensor.
  • the drive of the light source device 11203 may be controlled so as to change the intensity of the output light at predetermined time intervals.
  • the drive of the image sensor of the camera head 11102 in synchronization with the timing of the change of the light intensity to acquire an image in time division and synthesizing the image, so-called high dynamic without blackout and overexposure. Range images can be generated.
  • the light source device 11203 may be configured to be able to supply light in a predetermined wavelength band corresponding to special light observation.
  • special light observation for example, by utilizing the wavelength dependence of light absorption in body tissue to irradiate light in a narrow band as compared with the irradiation light (that is, white light) in normal observation, the mucosal surface layer.
  • a so-called narrow band imaging is performed in which a predetermined tissue such as a blood vessel is photographed with high contrast.
  • fluorescence observation in which an image is obtained by fluorescence generated by irradiating with excitation light may be performed.
  • the body tissue is irradiated with excitation light to observe the fluorescence from the body tissue (autofluorescence observation), or a reagent such as indocyanine green (ICG) is locally injected into the body tissue and the body tissue is injected. It is possible to obtain a fluorescence image by irradiating excitation light corresponding to the fluorescence wavelength of the reagent.
  • the light source device 11203 may be configured to be capable of supplying narrow band light and / or excitation light corresponding to such special light observation.
  • FIG. 63 is a block diagram showing an example of the functional configuration of the camera head 11102 and CCU11201 shown in FIG. 62.
  • the camera head 11102 includes a lens unit 11401, an imaging unit 11402, a driving unit 11403, a communication unit 11404, and a camera head control unit 11405.
  • CCU11201 has a communication unit 11411, an image processing unit 11412, and a control unit 11413.
  • the camera head 11102 and CCU11201 are communicably connected to each other by a transmission cable 11400.
  • the lens unit 11401 is an optical system provided at a connection portion with the lens barrel 11101.
  • the observation light taken in from the tip of the lens barrel 11101 is guided to the camera head 11102 and incident on the lens unit 11401.
  • the lens unit 11401 is configured by combining a plurality of lenses including a zoom lens and a focus lens.
  • the image pickup unit 11402 is composed of an image pickup element.
  • the image sensor constituting the image pickup unit 11402 may be one (so-called single plate type) or a plurality (so-called multi-plate type).
  • each image pickup element may generate an image signal corresponding to each of RGB, and a color image may be obtained by synthesizing them.
  • the image pickup unit 11402 may be configured to have a pair of image pickup elements for acquiring image signals for the right eye and the left eye corresponding to 3D (Dimensional) display, respectively.
  • the 3D display enables the operator 11131 to more accurately grasp the depth of the biological tissue in the surgical site.
  • a plurality of lens units 11401 may be provided corresponding to each image pickup element.
  • the imaging unit 11402 does not necessarily have to be provided on the camera head 11102.
  • the image pickup unit 11402 may be provided inside the lens barrel 11101 immediately after the objective lens.
  • the drive unit 11403 is composed of an actuator, and the zoom lens and the focus lens of the lens unit 11401 are moved by a predetermined distance along the optical axis under the control of the camera head control unit 11405. As a result, the magnification and focus of the image captured by the imaging unit 11402 can be adjusted as appropriate.
  • the communication unit 11404 is composed of a communication device for transmitting and receiving various information to and from the CCU11201.
  • the communication unit 11404 transmits the image signal obtained from the image pickup unit 11402 as RAW data to the CCU 11201 via the transmission cable 11400.
  • the communication unit 11404 receives a control signal for controlling the drive of the camera head 11102 from the CCU 11201 and supplies the control signal to the camera head control unit 11405.
  • the control signal includes, for example, information to specify the frame rate of the captured image, information to specify the exposure value at the time of imaging, and / or information to specify the magnification and focus of the captured image. Contains information about the condition.
  • the imaging conditions such as the frame rate, exposure value, magnification, and focus may be appropriately specified by the user, or may be automatically set by the control unit 11413 of the CCU 11201 based on the acquired image signal. Good. In the latter case, the so-called AE (Auto Exposure) function, AF (Auto Focus) function, and AWB (Auto White Balance) function are mounted on the endoscope 11100.
  • AE Auto Exposure
  • AF Automatic Focus
  • AWB Auto White Balance
  • the camera head control unit 11405 controls the drive of the camera head 11102 based on the control signal from the CCU 11201 received via the communication unit 11404.
  • the communication unit 11411 is composed of a communication device for transmitting and receiving various information to and from the camera head 11102.
  • the communication unit 11411 receives an image signal transmitted from the camera head 11102 via the transmission cable 11400.
  • the communication unit 11411 transmits a control signal for controlling the drive of the camera head 11102 to the camera head 11102.
  • Image signals and control signals can be transmitted by telecommunications, optical communication, or the like.
  • the image processing unit 11412 performs various image processing on the image signal which is the RAW data transmitted from the camera head 11102.
  • the control unit 11413 performs various controls related to the imaging of the surgical site and the like by the endoscope 11100 and the display of the captured image obtained by the imaging of the surgical site and the like. For example, the control unit 11413 generates a control signal for controlling the drive of the camera head 11102.
  • control unit 11413 causes the display device 11202 to display an image captured by the surgical unit or the like based on the image signal processed by the image processing unit 11412.
  • the control unit 11413 may recognize various objects in the captured image by using various image recognition techniques. For example, the control unit 11413 detects the shape and color of the edge of an object included in the captured image to remove surgical tools such as forceps, a specific biological part, bleeding, and mist when using the energy treatment tool 11112. Can be recognized.
  • the control unit 11413 may superimpose and display various surgical support information on the image of the surgical unit by using the recognition result. By superimposing and displaying the operation support information and presenting it to the operator 11131, it is possible to reduce the burden on the operator 11131 and to allow the operator 11131 to proceed with the operation reliably.
  • the transmission cable 11400 that connects the camera head 11102 and CCU11201 is an electric signal cable that supports electrical signal communication, an optical fiber that supports optical communication, or a composite cable thereof.
  • the communication was performed by wire using the transmission cable 11400, but the communication between the camera head 11102 and the CCU11201 may be performed wirelessly.
  • the above is an example of an endoscopic surgery system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the technique according to the present disclosure can be suitably applied to the imaging unit 11402 provided on the camera head 11102 of the endoscope 11100 among the configurations described above.
  • the imaging unit 11402 can be miniaturized or have high definition, so that a compact or high-definition endoscope 11100 can be provided.
  • the present disclosure may have the following structure.
  • a first substrate having pixels having a photodiode and a floating diffusion that holds the charge converted by the photodiode.
  • a second substrate having a pixel circuit for reading a pixel signal based on the electric charge held in the floating diffusion in the pixel and laminated on the first substrate, and a second substrate.
  • a wiring that penetrates the first substrate and the second substrate in the stacking direction and electrically connects the floating diffusion in the first substrate and the amplification transistor in the pixel circuit of the second substrate.
  • An imaging device characterized by having.
  • the imaging apparatus according to (1) further comprising a shielded wiring that electrically connects a conductive substance embedded in the trench and a source of the amplification transistor.
  • the imaging device according to (1) which has a structure in which a gas having a low dielectric constant is sealed in the trench.
  • the first substrate is With the semiconductor layer A wiring layer laminated on the semiconductor layer and formed of SiO 2 and The imaging device according to (1) or (2).
  • the first substrate is With the semiconductor layer The imaging apparatus according to (1) or (2), further comprising a wiring layer laminated on the semiconductor layer and formed of an insulating material having a dielectric constant lower than SiO 2 .
  • a second substrate having a pixel circuit for reading a pixel signal based on the electric charge held in the floating diffusion in the pixel and laminated on the first substrate, and a second substrate.
  • the wiring formed on the first substrate and the second substrate which electrically connects the floating diffusion in the first substrate and the amplification transistor in the pixel circuit of the second substrate, In a state where the well layer of the pixel circuit and the well layer of the amplification transistor in the pixel circuit are electrically separated, the gate of the amplification transistor and the source of the amplification transistor are electrically connected.
  • Shielded wiring that shields the wiring while running in parallel with the wiring.
  • the shield wiring is Among the wirings connecting the amplification transistor in the second substrate and the floating diffusion in the first substrate, at least the wiring portion passing through the second substrate is shielded (9).
  • the imaging apparatus according to. (11) The shield wiring is Among the wirings connecting the amplification transistor in the second substrate and the floating diffusion in the first substrate, the wiring portion passing through the second substrate and the first substrate is shielded.
  • the imaging device according to (9). (12) The imaging apparatus according to (9), wherein at least a part of the shielded wiring has a shorter distance from the wiring than the other wiring.
  • (13) The imaging apparatus according to (9), wherein the coupling capacitance between the wiring and the shield wiring is larger than the coupling capacitance between the wiring and other wiring.
  • the signal processing unit has a column signal processing unit connected to the plurality of pixel circuits via a plurality of vertical signal lines.
  • the signal processing unit includes an AD converter that performs AD conversion based on a reference signal and a load circuit, and outputs pixel data corresponding to the voltage of a vertical signal line.
  • the imaging device has a column signal processing unit connected to the plurality of pixel circuits via a plurality of vertical signal lines.
  • the signal processing unit includes a RAMP generation circuit that generates and outputs a RAMP waveform, and a RAMP generation circuit.
  • a comparator that compares the voltage of the pixel signal read through the vertical signal line with the voltage of the RAMP waveform, and A counter that counts based on the comparison result signal of the comparator and A latch that outputs pixel data based on the count value of the counter,
  • the imaging device according to (9).
  • the comparator is configured as a single-slope ADC.
  • the imaging device 17.
  • the comparator is a transistor in which a pixel signal read through the vertical signal line is applied to a source terminal, the RAMP waveform is applied to a gate terminal, and a comparison result signal based on a gate-source voltage is output. Prepare, prepare (15) The imaging device.
  • the signal processing unit has a column signal processing unit connected to the plurality of pixel circuits via a plurality of vertical signal lines.
  • the signal processing unit includes a load circuit and A pre-circuit in which a current generated by the load circuit is connected to the vertical signal line and configured as a current reuse circuit, An AD converter that performs AD conversion based on a predetermined reference signal, and an AD converter that outputs pixel data corresponding to the voltage of the vertical signal line.
  • Imaging device 100 1st substrate 100T wiring layer 200 2nd substrate 200T wiring layer 210A Pixel circuit 250 Common p-well layer 251 Independent p-well layer 541 Pixel 554 Comparator 558 Comparator 561 Pre-circuit PD Photodiode FD Floating diffusion FD Wiring T trench SL shield wiring

Landscapes

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Abstract

実施形態の撮像装置は、第１基板と、第２基板と、配線と、トレンチとを有する。第１基板は、フォトダイオードと、フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する。第２基板は、画素内のフローティングディフュージョンに保持された電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、第１基板に積層されている。配線は、第１基板と第２基板とを積層方向に貫通して、第１基板内のフローティングディフュージョンと第２基板の画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する。トレンチは、少なくとも第２基板に形成されて、配線と並走し、第２基板内の半導体層の厚さ以上の深さである。

Description

撮像装置
　本開示は、撮像装置に関する。
　従来、２次元構造の撮像装置の１画素あたりの面積の微細化は、微細プロセスの導入と実装密度の向上によって実現されてきた。近年、撮像装置の更なる小型化および画素の高密度化を実現するため、３次元構造の撮像装置が開発されている。３次元構造の撮像装置では、例えば、複数のセンサ画素を有する半導体基板と、各センサ画素で得られた信号を処理する信号処理回路を有する半導体基板とが互いに積層されている。
特開２０１０－２４５５０６号公報
　ところで、３次元構造の撮像装置において、半導体チップを３層積層する場合には、全ての半導体基板を表面側の面同士で貼り合わせることができない。漫然と半導体基板を３層積層した場合には、半導体基板同士を電気的に接続する構造に起因して、チップサイズが大きくなったり、１画素あたりの面積の微細化を阻害したりしてしまう可能性がある。従って、今までと同等のチップサイズで、１画素あたりの面積の微細化を阻害することのない３層構造の撮像装置を提供することが望ましい。
　また、３層構造に限定されるものではなく、撮像装置は、画素内のフローティングディフュージョンと画素回路内の増幅トランジスタのゲートとの間をＦＤ配線として接続ビアで接続する。微細画素では、ＦＤ配線の接続ビアの領域面積が４５％程度になる。その結果、画素回路の有効領域が小さくなるため、増幅トランジスタの配置面積を拡張できない。
　上記の課題を解決するために、本開示に係る一形態の撮像装置は、第１基板と、第２基板と、配線と、トレンチとを有する。第１基板は、フォトダイオードと、前記フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する。第２基板は、前記画素内の前記フローティングディフュージョンに保持された前記電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、前記第１基板に積層されている。配線は、前記第１基板と前記第２基板とを積層方向に貫通して、前記第１基板内のフローティングディフュージョンと前記第２基板の前記画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する。トレンチは、少なくとも前記第２基板に形成されて、前記配線と並走し、前記第２基板内の半導体層の厚さ以上の深さである。
　配線の寄生容量を小さくすることで電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。
本開示の一実施の形態に係る撮像装置の機能構成の一例を表すブロック図である。 図１に示した撮像装置の概略構成を表す平面模式図である。 図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ’線に沿った断面構成を表す模式図である。 図１に示した画素共有ユニットの等価回路図である。 複数の画素共有ユニットと複数の垂直信号線との接続態様の一例を表す図である。 図３に示した撮像装置の具体的な構成の一例を表す断面模式図である。 図６に示した第１基板の要部の平面構成の一例を表す模式図である。 図７Ａに示した第１基板の要部とともにパッド部の平面構成を表す模式図である。 図６に示した第２基板（半導体層）の平面構成の一例を表す模式図である。 図６に示した第１配線層とともに、画素回路および第１基板の要部の平面構成の一例を表す模式図である。 図６に示した第１配線層および第２配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図６に示した第２配線層および第３配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図６に示した第３配線層および第４配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図３に示した撮像装置への入力信号の経路について説明するための模式図である。 図３に示した撮像装置の画素信号の信号経路について説明するための模式図である。 図８に示した第２基板（半導体層）の平面構成の一変形例を表す模式図である。 図１５に示した画素回路とともに、第１配線層および第１基板の要部の平面構成を表す模式図である。 図１６に示した第１配線層とともに、第２配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図１７に示した第２配線層とともに、第３配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図１８に示した第３配線層とともに、第４配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図７Ａに示した第１基板の平面構成の一変形例を表す模式図である。 図２０に示した第１基板に積層される第２基板（半導体層）の平面構成の一例を表す模式図である。 図２１に示した画素回路とともに、第１配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図２２に示した第１配線層とともに、第２配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図２３に示した第２配線層とともに、第３配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図２４に示した第３配線層とともに、第４配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図２０に示した第１基板の平面構成の他の例を表す模式図である。 図２６に示した第１基板に積層される第２基板（半導体層）の平面構成の一例を表す模式図である。 図２７に示した画素回路とともに、第１配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図２８に示した第１配線層とともに、第２配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図２９に示した第２配線層とともに、第３配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図３０に示した第３配線層とともに、第４配線層の平面構成の一例を表す模式図である。 図３に示した撮像装置の他の例を表す断面模式図である。 図３２に示した撮像装置への入力信号の経路について説明するための模式図である。 図３２に示した撮像装置の画素信号の信号経路について説明するための模式図である。 図６に示した撮像装置の他の例を表す断面模式図である。 図４に示した等価回路の他の例を表す図である。 図７Ａ等に示した画素分離部の他の例を表す平面模式図である。 実施の形態２－１の撮像装置内の画素共有ユニットの構成の一例を示す等価回路図である。 実施の形態２－１の第１基板と第２基板との積層構造の一例を示す断面模式図である。 第１基板と第２基板との積層構造の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ２の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ３の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ４の配置構成の一例を示す模式図である。 実施の形態２－２の第１基板と第２基板との積層構造の一例を示す断面模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ５の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１０の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１１の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１２の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１３の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１４の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１５の配置構成の一例を示す模式図である。 第２基板の面上のトレンチＴ１６の配置構成の一例を示す模式図である。 トレンチＴ５の略断面形状の一例を示す模式図である。 実施の形態２－３の撮像装置内の画素共有ユニットの構成の一例を示す等価回路図である。 実施の形態２－３の撮像装置内の画素共有ユニットの構成の他の一例を示す等価回路図である。 実施の形態２－３の第１基板と第２基板との積層構造の一例を示す断面模式図である。 実施の形態３－１の第２基板の複数の画素回路の構成の一例を示す等価回路図である。 第１態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。 第２態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。 比較器の第１構成例の説明図である。 比較器の第２構成例の説明図である。 比較器の第３構成例の説明図である。 第３態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。 第３態様の比較器の構成例の説明図である。 第４態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。 前置回路の構成例の説明図である。 実施の形態３－１の第１基板と第２基板との積層構造の一例を示す断面模式図である。 画素回路の平面構成の一例を示す模式図である。 図５２に示した画素回路の表面にＦＤ配線ＦＤＬ及びシールド配線ＳＬ２を重ねた平面構成の一例を示す模式図である。 実施の形態３－２の第１基板と第２基板との積層構造の一例を示す断面模式図である。 実施の形態３－３の第２基板の複数の画素回路の構成の一例を示す等価回路図である。 実施の形態３－４のグローバルシャッタ方式の撮像装置の画素共有ユニットの構成の一例を示す等価回路図である。 実施の形態３－５のメモリ保持型のグローバルシャッタ方式の撮像装置の画素共有ユニットの構成の一例を示す等価回路図である。 上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置を備えた撮像システムの概略構成の一例を表す図である。 図５８に示した撮像システムの撮像手順の一例を表す図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。 内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。 カメラヘッド及びＣＣＵの機能構成の一例を示すブロック図である。
　以下に、本開示の一実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態において、同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。
　以下、本開示を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．　実施の形態１（３つの基板の積層構造を有する撮像装置）
２．　変形例１(平面構成の例１)
３．　変形例２（平面構成の例２）
４．　変形例３（平面構成の例３）
５．　変形例４（画素アレイ部の中央部に基板間のコンタクト部を有する例）
６．　変形例５（プレーナー型の転送トランジスタを有する例）
７．　変形例６（一つの画素回路に一つの画素が接続される例）
８．　変形例７（画素分離部の構成例）
９．　実施の形態２
９．１　実施の形態２で解決しようとする課題
９．２　実施の形態２の概要
９．３　実施の形態２－１の具体例
９．３．１　実施の形態２－１の構成
９．３．２　実施の形態２－１の作用・効果
９．３．３　実施の形態２－１の変形例
９．４　実施の形態２－２の具体例
９．４．１　実施の形態２－２の構成
９．４．２　実施の形態２－２の作用・効果
９．５　実施の形態２－３の具体例
９．５．１　実施の形態２－３の構成
９．５．２　実施の形態２－３の作用・効果
１０．　実施の形態３
１０．１　実施の形態３で解決しようとする課題
１０．２　実施の形態３の概要
１０．３　実施の形態３－１の具体例
１０．３．１　実施の形態３－１の構成
１０．３．２　実施の形態３－１の作用・効果
１０．４　実施の形態３－２の具体例
１０．４．１　実施の形態３－２の構成
１０．４．２　実施の形態３－２の作用・効果
１０．５　実施の形態３－３の具体例
１０．５．１　実施の形態３－３の構成
１０．５．２　実施の形態３－３の作用・効果
１０．６　実施の形態３－４の具体例
１０．６．１　実施の形態３－４の構成
１０．６．２　実施の形態３－４の作用・効果
１０．７　実施の形態３－５の具体例
１０．７．１　実施の形態３－５の構成
１０．７．２　実施の形態３－５の作用・効果
１１．　適用例（撮像システム）
１２．　応用例
＜１．実施の形態１＞
[撮像装置１の機能構成]
　図１は、本開示の一実施の形態に係る撮像装置（撮像装置１）の機能構成の一例を示すブロック図である。
　図１の撮像装置１は、例えば、入力部５１０Ａ、行駆動部５２０、タイミング制御部５３０、画素アレイ部５４０、列信号処理部５５０、画像信号処理部５６０および出力部５１０Ｂを含んでいる。
　画素アレイ部５４０には、画素５４１がアレイ状に繰り返し配置されている。より具体的には、複数の画素を含んだ画素共有ユニット５３９が繰り返し単位となり、これが、行方向と列方向とからなるアレイ状に繰り返し配置されている。なお、本明細書では、便宜上、行方向をＨ方向、行方向と直交する列方向をＶ方向、と呼ぶ場合がある。図１の例において、一つの画素共有ユニット５３９が、４つの画素（画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ）を含んでいる。画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄは各々、フォトダイオードＰＤ（後述の図６等に図示）を有している。画素共有ユニット５３９は、一つの画素回路（後述の図４の画素回路２１０）を共有する単位である。換言すれば、４つの画素（画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ）毎に、一つの画素回路（後述の画素回路２１０）を有している。この画素回路を時分割で動作させることにより、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々の画素信号が順次読み出されるようになっている。画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄは、例えば２行×２列で配置されている。画素アレイ部５４０には、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄとともに、複数の行駆動信号線５４２および複数の垂直信号線（列読出し線）５４３が設けられている。行駆動信号線５４２は、画素アレイ部５４０において行方向に並んで配列された、複数の画素共有ユニット５３９各々に含まれる画素５４１を駆動する。画素共有ユニット５３９のうち、行方向に並んで配列された各画素を駆動する。後に図４を参照して詳しく説明するが、画素共有ユニット５３９には、複数のトランジスタが設けられている。これら複数のトランジスタをそれぞれ駆動するために、一つの画素共有ユニット５３９には複数の行駆動信号線５４２が接続されている。垂直信号線（列読出し線）５４３には、画素共有ユニット５３９が接続されている。画素共有ユニット５３９に含まれる画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々から、垂直信号線（列読出し線）５４３を介して画素信号が読み出される。
　行駆動部５２０は、例えば、画素駆動するための行の位置を決める行アドレス制御部、言い換えれば、行デコーダ部と、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄを駆動するための信号を発生させる行駆動回路部とを含んでいる。
　列信号処理部５５０は、例えば、垂直信号線５４３に接続され、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ（画素共有ユニット５３９）とソースフォロア回路を形成する負荷回路部を備える。列信号処理部５５０は、垂直信号線５４３を介して画素共有ユニット５３９から読み出された信号を増幅する増幅回路部を有していてもよい。列信号処理部５５０は、ノイズ処理部を有していてもよい。ノイズ処理部では、例えば、光電変換の結果として画素共有ユニット５３９から読み出された信号から、系のノイズレベルが取り除かれる。
　列信号処理部５５０は、例えば、アナログデジタルコンバータ（ＡＤＣ）を有している。アナログデジタルコンバータでは、画素共有ユニット５３９から読み出された信号もしくは上記ノイズ処理されたアナログ信号がデジタル信号に変換される。ＡＤＣは、例えば、コンパレータ部およびカウンタ部を含んでいる。コンパレータ部では、変換対象となるアナログ信号と、これと比較対象となる参照信号とが比較される。カウンタ部では、コンパレータ部での比較結果が反転するまでの時間が計測されるようになっている。列信号処理部５５０は、読出し列を走査する制御を行う水平走査回路部を含んでいてもよい。
　タイミング制御部５３０は、装置へ入力された基準クロック信号やタイミング制御信号を基にして、行駆動部５２０および列信号処理部５５０へ、タイミングを制御する信号を供給する。
　画像信号処理部５６０は、光電変換の結果得られたデータ、言い換えれば、撮像装置１における撮像動作の結果得られたデータに対して、各種の信号処理を施す回路である。画像信号処理部５６０は、例えば、画像信号処理回路部およびデータ保持部を含んでいる。画像信号処理部５６０は、プロセッサ部を含んでいてもよい。
　画像信号処理部５６０において実行される信号処理の一例は、ＡＤ変換された撮像データが、暗い被写体を撮影したデータである場合には階調を多く持たせ、明るい被写体を撮影したデータである場合には階調を少なくするトーンカーブ補正処理である。この場合、撮像データの階調をどのようなトーンカーブに基づいて補正するか、トーンカーブの特性データを予め画像信号処理部５６０のデータ保持部に記憶させておくことが望ましい。
　入力部５１０Ａは、例えば、上記基準クロック信号、タイミング制御信号および特性データなどを装置外部から撮像装置１へ入力するためのものである。タイミング制御信号は、例えば、垂直同期信号および水平同期信号などである。特性データは、例えば、画像信号処理部５６０のデータ保持部へ記憶させるためのものである。入力部５１０Ａは、例えば、入力端子５１１、入力回路部５１２、入力振幅変更部５１３、入力データ変換回路部５１４および電源供給部（不図示）を含んでいる。
　入力端子５１１は、データを入力するための外部端子である。入力回路部５１２は、入力端子５１１へ入力された信号を撮像装置１の内部へと取り込むためのものである。入力振幅変更部５１３では、入力回路部５１２で取り込まれた信号の振幅が、撮像装置１の内部で利用しやすい振幅へと変更される。入力データ変換回路部５１４では、入力データのデータ列の並びが変更される。入力データ変換回路部５１４は、例えば、シリアルパラレル変換回路により構成されている。このシリアルパラレル変換回路では、入力データとして受け取ったシリアル信号がパラレル信号へと変換される。なお、入力部５１０Ａでは、入力振幅変更部５１３および入力データ変換回路部５１４が、省略されていてもよい。電源供給部は、外部から撮像装置１へ供給された電源をもとにして、撮像装置１の内部で必要となる各種の電圧に設定された電源を供給する。
　撮像装置１が外部のメモリデバイスと接続されるとき、入力部５１０Ａには、外部のメモリデバイスからのデータを受け取るメモリインタフェース回路が設けられていてもよい。外部のメモリデバイスは、例えば、フラッシュメモリ、ＳＲＡＭおよびＤＲＡＭ等である。
　出力部５１０Ｂは、画像データを装置外部へと出力する。この画像データは、例えば、撮像装置１で撮影された画像データ、および、画像信号処理部５６０で信号処理された画像データ等である。出力部５１０Ｂは、例えば、出力データ変換回路部５１５、出力振幅変更部５１６、出力回路部５１７および出力端子５１８を含んでいる。
　出力データ変換回路部５１５は、例えば、パラレルシリアル変換回路により構成されており、出力データ変換回路部５１５では、撮像装置１内部で使用したパラレル信号がシリアル信号へと変換される。出力振幅変更部５１６は、撮像装置１の内部で用いた信号の振幅を変更する。変更された振幅の信号は、撮像装置１の外部に接続される外部デバイスで利用しやすくなる。出力回路部５１７は、撮像装置１の内部から装置外部へとデータを出力する回路であり、出力回路部５１７により、出力端子５１８に接続された撮像装置１外部の配線が駆動される。出力端子５１８では、撮像装置１から装置外部へとデータが出力される。出力部５１０Ｂでは、出力データ変換回路部５１５および出力振幅変更部５１６が、省略されていてもよい。
　撮像装置１が外部のメモリデバイスと接続されるとき、出力部５１０Ｂには、外部のメモリデバイスへとデータを出力するメモリインタフェース回路が設けられていてもよい。外部のメモリデバイスは、例えば、フラッシュメモリ、ＳＲＡＭおよびＤＲＡＭ等である。
　[撮像装置１の概略構成]
　図２および図３は、撮像装置１の概略構成の一例を表したものである。撮像装置１は、３つの基板（第１基板１００、第２基板２００、第３基板３００）を備えている。図２は、第１基板１００、第２基板２００、第３基板３００各々の平面構成を模式的に表したものであり、図３は、互いに積層された第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００の断面構成を模式的に表している。図３は、図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ’線に沿った断面構成に対応する。撮像装置１は、３つの基板（第１基板１００、第２基板２００、第３基板３００）を貼り合わせて構成された３次元構造の撮像装置である。第１基板１００は、半導体層１００Ｓおよび配線層１００Ｔを含む。第２基板２００は、半導体層２００Ｓおよび配線層２００Ｔを含む。第３基板３００は、半導体層３００Ｓおよび配線層３００Ｔを含む。ここで、第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００の各基板に含まれる配線とその周囲の層間絶縁膜を合せたものを、便宜上、それぞれの基板（第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００）に設けられた配線層（１００Ｔ、２００Ｔ、３００Ｔ）と呼ぶ。第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００は、この順に積層されており、積層方向に沿って、半導体層１００Ｓ、配線層１００Ｔ、半導体層２００Ｓ、配線層２００Ｔ、配線層３００Ｔおよび半導体層３００Ｓの順に配置されている。第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００の具体的な構成については後述する。図３に示した矢印は、撮像装置１への光Ｌの入射方向を表す。本明細書では、便宜上、以降の断面図で、撮像装置１における光入射側を「下」「下側」「下方」、光入射側と反対側を「上」「上側」「上方」と呼ぶ場合がある。また、本明細書では、便宜上、半導体層と配線層を備えた基板に関して、配線層の側を表面、半導体層の側を裏面と呼ぶ場合がある。なお、明細書の記載は、上記の呼び方に限定されない。撮像装置１は、例えば、フォトダイオードを有する第１基板１００の裏面側から光が入射する、裏面照射型撮像装置となっている。
　画素アレイ部５４０および画素アレイ部５４０に含まれる画素共有ユニット５３９は、ともに、第１基板１００および第２基板２００の双方を用いて構成されている。第１基板１００には、画素共有ユニット５３９が有する複数の画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄが設けられている。これらの画素５４１のそれぞれが、フォトダイオード（後述のフォトダイオードＰＤ）および転送トランジスタ（後述の転送トランジスタＴＲ）を有している。第２基板２００には、画素共有ユニット５３９が有する画素回路（後述の画素回路２１０）が設けられている。画素回路は、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々のフォトダイオードから転送トランジスタを介して転送された画素信号を読み出し、あるいは、フォトダイオードをリセットする。この第２基板２００は、このような画素回路に加えて、行方向に延在する複数の行駆動信号線５４２および列方向に延在する複数の垂直信号線５４３を有している。第２基板２００は、更に、行方向に延在する電源線５４４を有している。第３基板３００は、例えば、入力部５１０Ａ，行駆動部５２０、タイミング制御部５３０、列信号処理部５５０、画像信号処理部５６０および出力部５１０Ｂを有している。行駆動部５２０は、例えば、第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００の積層方向（以下、単に積層方向という）において、一部が画素アレイ部５４０に重なる領域に設けられている。より具体的には、行駆動部５２０は、積層方向において、画素アレイ部５４０のＨ方向の端部近傍に重なる領域に設けられている（図２）。列信号処理部５５０は、例えば、積層方向において、一部が画素アレイ部５４０に重なる領域に設けられている。より具体的には、列信号処理部５５０は、積層方向において、画素アレイ部５４０のＶ方向の端部近傍に重なる領域に設けられている（図２）。図示は省略するが、入力部５１０Ａおよび出力部５１０Ｂは、第３基板３００以外の部分に配置されていてもよく、例えば、第２基板２００に配置されていてもよい。あるいは、第１基板１００の裏面（光入射面）側に入力部５１０Ａおよび出力部５１０Ｂを設けるようにしてもよい。なお、上記第２基板２００に設けられた画素回路は、別の呼称として、画素トランジスタ回路、画素トランジスタ群、画素トランジスタ、画素読み出し回路または読出回路と呼ばれることもある。本明細書では、画素回路との呼称を用いる。
　第１基板１００と第２基板２００とは、例えば、貫通電極（後述の図６の貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅ）により電気的に接続されている。第２基板２００と第３基板３００とは、例えば、コンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２を介して電気的に接続されている。第２基板２００にコンタクト部２０１，２０２が設けられ、第３基板３００にコンタクト部３０１，３０２が設けられている。第２基板２００のコンタクト部２０１が第３基板３００のコンタクト部３０１に接し、第２基板２００のコンタクト部２０２が第３基板３００のコンタクト部３０２に接している。第２基板２００は、複数のコンタクト部２０１が設けられたコンタクト領域２０１Ｒと、複数のコンタクト部２０２が設けられたコンタクト領域２０２Ｒとを有している。第３基板３００は、複数のコンタクト部３０１が設けられたコンタクト領域３０１Ｒと、複数のコンタクト部３０２が設けられたコンタクト領域３０２Ｒとを有している。コンタクト領域２０１Ｒ，３０１Ｒは、積層方向において、画素アレイ部５４０と行駆動部５２０との間に設けられている（図３）。換言すれば、コンタクト領域２０１Ｒ，３０１Ｒは、例えば、行駆動部５２０（第３基板３００）と、画素アレイ部５４０（第２基板２００）とが積層方向に重なる領域、もしくはこの近傍領域に設けられている。コンタクト領域２０１Ｒ，３０１Ｒは、例えば、このような領域のうち、Ｈ方向の端部に配置されている（図２）。第３基板３００では、例えば、行駆動部５２０の一部、具体的には行駆動部５２０のＨ方向の端部に重なる位置にコンタクト領域３０１Ｒが設けられている（図２，図３）。コンタクト部２０１，３０１は、例えば、第３基板３００に設けられた行駆動部５２０と、第２基板２００に設けられた行駆動信号線５４２とを接続するものである。コンタクト部２０１，３０１は、例えば、第３基板３００に設けられた入力部５１０Ａと電源線５４４および基準電位線（後述の基準電位線ＶＳＳ）とを接続していてもよい。コンタクト領域２０２Ｒ，３０２Ｒは、積層方向において、画素アレイ部５４０と列信号処理部５５０との間に設けられている（図３）。換言すれば、コンタクト領域２０２Ｒ，３０２Ｒは、例えば、列信号処理部５５０（第３基板３００）と画素アレイ部５４０（第２基板２００）とが積層方向に重なる領域、もしくはこの近傍領域に設けられている。コンタクト領域２０２Ｒ，３０２Ｒは、例えば、このような領域のうち、Ｖ方向の端部に配置されている（図２）。第３基板３００では、例えば、列信号処理部５５０の一部、具体的には列信号処理部５５０のＶ方向の端部に重なる位置にコンタクト領域３０１Ｒが設けられている（図２，図３）。コンタクト部２０２，３０２は、例えば、画素アレイ部５４０が有する複数の画素共有ユニット５３９各々から出力された画素信号（フォトダイオードでの光電変換の結果発生した電荷の量に対応した信号）を、第３基板３００に設けられた列信号処理部５５０へと接続するためのものである。画素信号は、第２基板２００から第３基板３００に送られるようになっている。
　図３は、上記のように、撮像装置１の断面図の一例である。第１基板１００、第２基板２００、第３基板３００は、配線層１００Ｔ、２００Ｔ、３００Ｔを介して電気的に接続される。例えば、撮像装置１は、第２基板２００と第３基板３００とを電気的に接続する電気的接続部を有する。具体的には、導電材料で形成された電極でコンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２を形成する。導電材料は、例えば、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、などの金属材料で形成される。コンタクト領域２０１Ｒ、２０２Ｒ、３０１Ｒ、３０２Ｒは、例えば電極として形成された配線同士を直接接合することで、第２基板と第３基板とを電気的に接続し、第２基板２００と第３基板３００との信号の入力及び／又は出力を可能にする。
　第２基板２００と第３基板３００とを電気的に接続する電気的接続部は、所望の箇所に設けることができる。例えば、図３においてコンタクト領域２０１Ｒ、２０２Ｒ、３０１Ｒ、３０２Ｒとして述べたように、画素アレイ部５４０と積層方向に重なる領域に設けても良い。また、電気的接続部を画素アレイ部５４０と積層方向に重ならない領域に設けても良い。具体的には、画素アレイ部５４０の外側に配置された周辺部と、積層方向に重なる領域に設けても良い。
　第１基板１００および第２基板２００には、例えば、接続孔部Ｈ１，Ｈ２が設けられている。接続孔部Ｈ１，Ｈ２は、第１基板１００および第２基板２００を貫通している（図３）。接続孔部Ｈ１，Ｈ２は、画素アレイ部５４０（または画素アレイ部５４０に重なる部分）の外側に設けられている（図２）。例えば、接続孔部Ｈ１は、Ｈ方向において画素アレイ部５４０より外側に配置されており、接続孔部Ｈ２は、Ｖ方向において画素アレイ部５４０よりも外側に配置されている。例えば、接続孔部Ｈ１は、第３基板３００に設けられた入力部５１０Ａに達しており、接続孔部Ｈ２は、第３基板３００に設けられた出力部５１０Ｂに達している。接続孔部Ｈ１，Ｈ２は、空洞でもよく、少なくとも一部に導電材料を含んでいても良い。例えば、入力部５１０Ａ及び／又は出力部５１０Ｂとして形成された電極に、ボンディングワイヤを接続する構成がある。または、入力部５１０Ａ及び／又は出力部５１０Ｂとして形成された電極と、接続孔部Ｈ１，Ｈ２に設けられた導電材料とを接続する構成がある。接続孔部Ｈ１，Ｈ２に設けられた導電材料は、接続孔部Ｈ１，Ｈ２の一部または全部に埋め込まれていても良く、導電材料が接続孔部Ｈ１，Ｈ２の側壁に形成されていても良い。
　なお、図３では第３基板３００に入力部５１０Ａ、出力部５１０Ｂを設ける構造としたが、これに限定されない。例えば、配線層２００Ｔ、３００Ｔを介して第３基板３００の信号を第２基板２００へ送ることで、入力部５１０Ａ及び／又は出力部５１０Ｂを第２基板２００に設けることもできる。同様に、配線層１００Ｔ、２００Ｔを介して、第２基板２００の信号を第１基板１０００へ送ることで、入力部５１０Ａ及び／又は出力部５１０Ｂを第１基板１００に設けることもできる。
　図４は、画素共有ユニット５３９の構成の一例を表す等価回路図である。画素共有ユニット５３９は、複数の画素５４１（図４では、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの４つの画素５４１を表す）と、この複数の画素５４１に接続された一つの画素回路２１０と、画素回路２１０に接続された垂直信号線５４３とを含んでいる。画素回路２１０は、例えば、４つのトランジスタ、具体的には、増幅トランジスタＡＭＰ、選択トランジスタＳＥＬ、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤを含んでいる。上述のように、画素共有ユニット５３９は、１の画素回路２１０を時分割で動作させることにより、画素共有ユニット５３９に含まれる４つの画素５４１（画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ）それぞれの画素信号を順次垂直信号線５４３へ出力するようになっている。複数の画素５４１に１の画素回路２１０が接続されており、この複数の画素５４１の画素信号が、１の画素回路２１０により時分割で出力される態様を、「複数の画素５４１が１の画素回路２１０を共有する」という。
　画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄは、互いに共通の構成要素を有している。以降、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの構成要素を互いに区別するために、画素５４１Ａの構成要素の符号の末尾には識別番号１、画素５４１Ｂの構成要素の符号の末尾には識別番号２、画素５４１Ｃの構成要素の符号の末尾には識別番号３、画素５４１Ｄの構成要素の符号の末尾には識別番号４を付与する。画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの構成要素を互いに区別する必要のない場合には、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの構成要素の符号の末尾の識別番号を省略する。
　画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄは、例えば、フォトダイオードＰＤと、フォトダイオードＰＤと電気的に接続された転送トランジスタＴＲと、転送トランジスタＴＲに電気的に接続されたフローティングディフュージョンＦＤとを有している。フォトダイオードＰＤ（ＰＤ１，ＰＤ２，ＰＤ３，ＰＤ４）では、カソードが転送トランジスタＴＲのソースに電気的に接続されており、アノードが基準電位線（例えばグラウンド）に電気的に接続されている。フォトダイオードＰＤは、入射した光を光電変換し、その受光量に応じた電荷を発生する。転送トランジスタＴＲ（転送トランジスタＴＲ１，ＴＲ２，ＴＲ３，ＴＲ４）は、例えば、ｎ型のＣＭＯＳ（Complementary　Metal　Oxide　Semiconductor）トランジスタである。転送トランジスタＴＲでは、ドレインがフローティングディフュージョンＦＤに電気的に接続され、ゲートが駆動信号線に電気的に接続されている。この駆動信号線は、１の画素共有ユニット５３９に接続された複数の行駆動信号線５４２（図１参照）のうちの一部である。転送トランジスタＴＲは、フォトダイオードＰＤで発生した電荷をフローティングディフュージョンＦＤへと転送する。フローティングディフュージョンＦＤ（フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４）は、ｐ型半導体層中に形成されたｎ型拡散層領域である。フローティングディフュージョンＦＤは、フォトダイオードＰＤから転送された電荷を一時的に保持する電荷保持手段であり、かつ、その電荷量に応じた電圧を発生させる、電荷―電圧変換手段である。
　１の画素共有ユニット５３９に含まれる４つのフローティングディフュージョンＦＤ（フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４）は、互いに電気的に接続されるとともに、増幅トランジスタＡＭＰのゲートおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのソースに電気的に接続されている。ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのドレインはリセットトランジスタＲＳＴのソースに接続され、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのゲートは駆動信号線に接続されている。この駆動信号線は、１の画素共有ユニット５３９に接続された複数の行駆動信号線５４２のうちの一部である。リセットトランジスタＲＳＴのドレインは電源線ＶＤＤに接続され、リセットトランジスタＲＳＴのゲートは駆動信号線に接続されている。この駆動信号線は、１の画素共有ユニット５３９に接続された複数の行駆動信号線５４２のうちの一部である。増幅トランジスタＡＭＰのゲートはフローティングディフュージョンＦＤに接続され、増幅トランジスタＡＭＰのドレインは電源線ＶＤＤに接続され、増幅トランジスタＡＭＰのソースは選択トランジスタＳＥＬのドレインに接続されている。選択トランジスタＳＥＬのソースは垂直信号線５４３に接続され、選択トランジスタＳＥＬのゲートは駆動信号線に接続されている。この駆動信号線は、１の画素共有ユニット５３９に接続された複数の行駆動信号線５４２のうちの一部である。
　転送トランジスタＴＲは、転送トランジスタＴＲがオン状態となると、フォトダイオードＰＤの電荷をフローティングディフュージョンＦＤに転送する。転送トランジスタＴＲのゲート（転送ゲートＴＧ）は、例えば、いわゆる縦型電極を含んでおり、後述の図６に示すように、半導体層（後述の図６の半導体層１００Ｓ）の表面からＰＤに達する深さまで延在して設けられている。リセットトランジスタＲＳＴは、フローティングディフュージョンＦＤの電位を所定の電位にリセットする。リセットトランジスタＲＳＴがオン状態となると、フローティングディフュージョンＦＤの電位を電源線ＶＤＤの電位にリセットする。選択トランジスタＳＥＬは、画素回路２１０からの画素信号の出力タイミングを制御する。増幅トランジスタＡＭＰは、画素信号として、フローティングディフュージョンＦＤに保持された電荷のレベルに応じた電圧の信号を生成する。増幅トランジスタＡＭＰは、選択トランジスタＳＥＬを介して垂直信号線５４３に接続されている。この増幅トランジスタＡＭＰは、列信号処理部５５０において、垂直信号線５４３に接続された負荷回路部（図１参照）とともにソースフォロアを構成している。増幅トランジスタＡＭＰは、選択トランジスタＳＥＬがオン状態となると、フローティングディフュージョンＦＤの電圧を、垂直信号線５４３を介して列信号処理部５５０に出力する。リセットトランジスタＲＳＴ、増幅トランジスタＡＭＰおよび選択トランジスタＳＥＬは、例えば、Ｎ型のＭＯＳトランジスタである。
　ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧは、フローティングディフュージョンＦＤでの電荷―電圧変換のゲインを変更する際に用いられる。一般に、暗い場所での撮影時には画素信号が小さい。Ｑ＝ＣＶに基づき、電荷電圧変換を行う際に、フローティングディフュージョンＦＤの容量（ＦＤ容量Ｃ）が大きければ、増幅トランジスタＡＭＰで電圧に変換した際のＶが小さくなってしまう。一方、明るい場所では、画素信号が大きくなるので、ＦＤ容量Ｃが大きくなければ、フローティングディフュージョンＦＤで、フォトダイオードＰＤの電荷を受けきれない。さらに、増幅トランジスタＡＭＰで電圧に変換した際のＶが大きくなりすぎないように（言い換えると、小さくなるように）、ＦＤ容量Ｃが大きくなっている必要がある。これらを踏まえると、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧをオンにしたときには、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧ分のゲート容量が増えるので、全体のＦＤ容量Ｃが大きくなる。一方、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧをオフにしたときには、全体のＦＤ容量Ｃが小さくなる。このように、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧをオンオフ切り替えることで、ＦＤ容量Ｃを可変にし、変換効率を切り替えることができる。ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧは、例えば、Ｎ型のＭＯＳトランジスタである。
　なお、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧを設けない構成も可能である。このとき、例えば、画素回路２１０は、例えば増幅トランジスタＡＭＰ、選択トランジスタＳＥＬおよびリセットトランジスタＲＳＴの３つのトランジスタで構成される。画素回路２１０は、例えば、増幅トランジスタＡＭＰ、選択トランジスタＳＥＬ、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧなどの画素トランジスタの少なくとも一つを有する。
　選択トランジスタＳＥＬは、電源線ＶＤＤと増幅トランジスタＡＭＰとの間に設けられていてもよい。この場合、リセットトランジスタＲＳＴのドレインが電源線ＶＤＤおよび選択トランジスタＳＥＬのドレインに電気的に接続されている。選択トランジスタＳＥＬのソースが増幅トランジスタＡＭＰのドレインに電気的に接続されており、選択トランジスタＳＥＬのゲートが行駆動信号線５４２（図１参照）に電気的に接続されている。増幅トランジスタＡＭＰのソース（画素回路２１０の出力端）が垂直信号線５４３に電気的に接続されており、増幅トランジスタＡＭＰのゲートがリセットトランジスタＲＳＴのソースに電気的に接続されている。なお、図示は省略するが、１の画素回路２１０を共有する画素５４１の数は、４以外であってもよい。例えば、２つまたは８つの画素５４１が１の画素回路２１０を共有してもよい。
　図５は、複数の画素共有ユニット５３９と、垂直信号線５４３との接続態様の一例を表したものである。例えば、列方向に並ぶ４つの画素共有ユニット５３９が４つのグループに分けられており、この４つのグループ各々に垂直信号線５４３が接続されている。図５には、説明を簡単にするため、４つのグループが各々、一つの画素共有ユニット５３９を有する例を示したが、４つのグループが各々、複数の画素共有ユニット５３９を含んでいてもよい。このように、撮像装置１では、列方向に並ぶ複数の画素共有ユニット５３９が、一つまたは複数の画素共有ユニット５３９を含むグループに分けられていてもよい。例えば、このグループそれぞれに、垂直信号線５４３および列信号処理部５５０が接続されており、それぞれのグループから画素信号を同時に読み出すことができるようになっている。あるいは、撮像装置１では、列方向に並ぶ複数の画素共有ユニット５３９に一つの垂直信号線５４３が接続されていてもよい。このとき、一つの垂直信号線５４３に接続された複数の画素共有ユニット５３９から、時分割で順次画素信号が読み出されるようになっている。
　[撮像装置１の具体的構成]
　図６は、撮像装置１の第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００の主面に対して垂直方向の断面構成の一例を表したものである。図６は、構成要素の位置関係を分かりやすくするため、模式的に表したものであり、実際の断面と異なっていてもよい。撮像装置１では、第１基板１００、第２基板２００および第３基板３００がこの順に積層されている。撮像装置１は、さらに、第１基板１００の裏面側（光入射面側）に受光レンズ４０１を有している。受光レンズ４０１と第１基板１００との間に、カラーフィルタ層（図示せず）が設けられていてもよい。受光レンズ４０１は、例えば、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々に設けられている。撮像装置１は、例えば、裏面照射型の撮像装置である。撮像装置１は、中央部に配置された画素アレイ部５４０と、画素アレイ部５４０の外側に配置された周辺部５４０Ｂとを有している。
　第１基板１００は、受光レンズ４０１側から順に、絶縁膜１１１、固定電荷膜１１２、半導体層１００Ｓおよび配線層１００Ｔを有している。半導体層１００Ｓは、例えばシリコン基板により構成されている。半導体層１００Ｓは、例えば、表面（配線層１００Ｔ側の面）の一部およびその近傍に、ｐウェル層１１５を有しており、それ以外の領域（ｐウェル層１１５よりも深い領域）に、ｎ型半導体領域１１４を有している。例えば、このｎ型半導体領域１１４およびｐウェル層１１５によりｐｎ接合型のフォトダイオードＰＤが構成されている。ｐウェル層１１５は、ｐ型半導体領域である。
　図７Ａは、第１基板１００の平面構成の一例を表したものである。図７Ａは、主に、第１基板１００の画素分離部１１７、フォトダイオードＰＤ、フローティングディフュージョンＦＤ、ＶＳＳコンタクト領域１１８および転送トランジスタＴＲの平面構成を表している。図６とともに、図７Ａを用いて第１基板１００の構成について説明する。
　半導体層１００Ｓの表面近傍には、フローティングディフュージョンＦＤおよびＶＳＳコンタクト領域１１８が設けられている。フローティングディフュージョンＦＤは、ｐウェル層１１５内に設けられたｎ型半導体領域により構成されている。画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々のフローティングディフュージョンＦＤ（フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４）は、例えば、画素共有ユニット５３９の中央部に互いに近接して設けられている（図７Ａ）。詳細は後述するが、この画素共有ユニット５３９に含まれる４つのフローティングディフュージョン（フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４）は、第１基板１００内（より具体的には配線層１００Ｔの内）で、電気的接続手段（後述のパッド部１２０）を介して互いに電気的に接続されている。更に、フローティングディフュージョンＦＤは、第１基板１００から第２基板２００へ（より具体的には、配線層１００Ｔから配線層２００Ｔへ）と電気的手段（後述の貫通電極１２０Ｅ）を介して接続されている。第２基板２００（より具体的には配線層２００Ｔの内部）では、この電気的手段により、フローティングディフュージョンＦＤが、増幅トランジスタＡＭＰのゲートおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのソースに電気的に接続されている。
　ＶＳＳコンタクト領域１１８は、基準電位線ＶＳＳに電気的に接続される領域であり、フローティングディフュージョンＦＤと離間して配置されている。例えば、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄでは、各画素のＶ方向の一端にフローティングディフュージョンＦＤが配置され、他端にＶＳＳコンタクト領域１１８が配置されている（図７Ａ）。ＶＳＳコンタクト領域１１８は、例えば、ｐ型半導体領域により構成されている。ＶＳＳコンタクト領域１１８は、例えば接地電位や固定電位に接続されている。これにより、半導体層１００Ｓに基準電位が供給される。
　第１基板１００には、フォトダイオードＰＤ、フローティングディフュージョンＦＤおよびＶＳＳコンタクト領域１１８とともに、転送トランジスタＴＲが設けられている。このフォトダイオードＰＤ、フローティングディフュージョンＦＤ、ＶＳＳコンタクト領域１１８および転送トランジスタＴＲは、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々に設けられている。転送トランジスタＴＲは、半導体層１００Ｓの表面側（光入射面側とは反対側、第２基板２００側）に設けられている。転送トランジスタＴＲは、転送ゲートＴＧを有している。転送ゲートＴＧは、例えば、半導体層１００Ｓの表面に対向する水平部分ＴＧｂと、半導体層１００Ｓ内に設けられた垂直部分ＴＧａとを含んでいる。垂直部分ＴＧａは、半導体層１００Ｓの厚み方向に延在している。垂直部分ＴＧａの一端は水平部分ＴＧｂに接し、他端はｎ型半導体領域１１４内に設けられている。転送トランジスタＴＲを、このような縦型トランジスタにより構成することにより、画素信号の転送不良が生じにくくなり、画素信号の読み出し効率を向上させることができる。
　転送ゲートＴＧの水平部分ＴＧｂは、垂直部分ＴＧａに対向する位置から例えば、Ｈ方向において画素共有ユニット５３９の中央部に向かって延在している（図７Ａ）。これにより、転送ゲートＴＧに達する貫通電極（後述の貫通電極ＴＧＶ）のＨ方向の位置を、フローティングディフュージョンＦＤ、ＶＳＳコンタクト領域１１８に接続される貫通電極（後述の貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅ）のＨ方向の位置に近づけることができる。例えば、第１基板１００に設けられた複数の画素共有ユニット５３９は、互いに同じ構成を有している（図７Ａ）。
　半導体層１００Ｓには、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄを互いに分離する画素分離部１１７が設けられている。画素分離部１１７は、半導体層１００Ｓの法線方向（半導体層１００Ｓの表面に対して垂直な方向）に延在して形成されている。画素分離部１１７は、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄを互いに仕切るように設けられており、例えば格子状の平面形状を有している（図７Ａ，図７Ｂ）。画素分離部１１７は、例えば、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄを互いに電気的および光学的に分離する。画素分離部１１７は、例えば、遮光膜１１７Ａおよび絶縁膜１１７Ｂを含んでいる。遮光膜１１７Ａには、例えば、タングステン（Ｗ）等が用いられる。絶縁膜１１７Ｂは、遮光膜１１７Ａとｐウェル層１１５またはｎ型半導体領域１１４との間に設けられている。絶縁膜１１７Ｂは、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ）によって構成されている。画素分離部１１７は、例えば、ＦＴＩ（Full　Trench　Isolation）構造を有しており、半導体層１００Ｓを貫通している。図示しないが、画素分離部１１７は半導体層１００Ｓを貫通するＦＴＩ構造に限定されない。例えば、半導体層１００Ｓを貫通しないＤＴＩ（Deep　Trench　Isolation）構造であっても良い。画素分離部１１７は、半導体層１００Ｓの法線方向に延在して、半導体層１００Ｓの一部の領域に形成される。
　半導体層１００Ｓには、例えば、第１ピニング領域１１３および第２ピニング領域１１６が設けられている。第１ピニング領域１１３は、半導体層１００Ｓの裏面近傍に設けられており、ｎ型半導体領域１１４と固定電荷膜１１２との間に配置されている。第２ピニング領域１１６は、画素分離部１１７の側面、具体的には、画素分離部１１７とｐウェル層１１５またはｎ型半導体領域１１４との間に設けられている。第１ピニング領域１１３および第２ピニング領域１１６は、例えば、ｐ型半導体領域により構成されている。
　半導体層１００Ｓと絶縁膜１１１との間には、負の固定電荷を有する固定電荷膜１１２が設けられている。固定電荷膜１１２が誘起する電界により、半導体層１００Ｓの受光面（裏面）側の界面に、ホール蓄積層の第１ピニング領域１１３が形成される。これにより、半導体層１００Ｓの受光面側の界面準位に起因した暗電流の発生が抑えられる。固定電荷膜１１２は、例えば、負の固定電荷を有する絶縁膜によって形成されている。この負の固定電荷を有する絶縁膜の材料としては、例えば、酸化ハフニウム、酸化ジルコン、酸化アルミニウム、酸化チタンまたは酸化タンタルが挙げられる。
　固定電荷膜１１２と絶縁膜１１１との間には、遮光膜１１７Ａが設けられている。この遮光膜１１７Ａは、画素分離部１１７を構成する遮光膜１１７Ａと連続して設けられていてもよい。この固定電荷膜１１２と絶縁膜１１１との間の遮光膜１１７Ａは、例えば、半導体層１００Ｓ内の画素分離部１１７に対向する位置に選択的に設けられている。絶縁膜１１１は、この遮光膜１１７Ａを覆うように設けられている。絶縁膜１１１は、例えば、酸化シリコンにより構成されている。
　半導体層１００Ｓと第２基板２００との間に設けられた配線層１００Ｔは、半導体層１００Ｓ側から、層間絶縁膜１１９、パッド部１２０，１２１、パッシベーション膜１２２、層間絶縁膜１２３および接合膜１２４をこの順に有している。転送ゲートＴＧの水平部分ＴＧｂは、例えば、この配線層１００Ｔに設けられている。層間絶縁膜１１９は、半導体層１００Ｓの表面全面にわたって設けられており、半導体層１００Ｓに接している。層間絶縁膜１１９は、例えば酸化シリコン膜により構成されている。なお、配線層１００Ｔの構成は上述の限りでなく、配線と絶縁膜とを有する構成であれば良い。
　図７Ｂは、図７Ａに示した平面構成とともに、パッド部１２０，１２１の構成を表している。パッド部１２０，１２１は、層間絶縁膜１１９上の選択的な領域に設けられている。パッド部１２０は、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々のフローティングディフュージョンＦＤ（フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４）を互いに接続するためのものである。パッド部１２０は、例えば、画素共有ユニット５３９毎に、平面視で画素共有ユニット５３９の中央部に配置されている（図７Ｂ）。このパッド部１２０は、画素分離部１１７を跨ぐように設けられており、フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４各々の少なくとも一部に重畳して配置されている（図６，図７Ｂ）。具体的には、パッド部１２０は、画素回路２１０を共有する複数のフローティングディフュージョンＦＤ（フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４）各々の少なくとも一部と、その画素回路２１０を共有する複数のフォトダイオードＰＤ（フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ２，ＰＤ３，ＰＤ４）の間に形成された画素分離部１１７の少なくとも一部とに対して、半導体層１００Ｓの表面に対して垂直な方向に重なる領域に形成される。層間絶縁膜１１９には、パッド部１２０とフローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４とを電気的に接続するための接続ビア１２０Ｃが設けられている。接続ビア１２０Ｃは、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々に設けられている。例えば、接続ビア１２０Ｃにパッド部１２０の一部が埋め込まれることにより、パッド部１２０とフローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４とが電気的に接続されている。
　パッド部１２１は、複数のＶＳＳコンタクト領域１１８を互いに接続するためのものである。例えば、Ｖ方向に隣り合う一方の画素共有ユニット５３９の画素５４１Ｃ，５４１Ｄに設けられたＶＳＳコンタクト領域１１８と、他方の画素共有ユニット５３９の画素５４１Ａ，５４１Ｂに設けられたＶＳＳコンタクト領域１１８とがパッド部１２１により電気的に接続されている。パッド部１２１は、例えば、画素分離部１１７を跨ぐように設けられており、これら４つのＶＳＳコンタクト領域１１８各々の少なくとも一部に重畳して配置されている。具体的には、パッド部１２１は、複数のＶＳＳコンタクト領域１１８各々の少なくとも一部と、その複数のＶＳＳコンタクト領域１１８の間に形成された画素分離部１１７の少なくとも一部とに対して、半導体層１００Ｓの表面に対して垂直な方向に重なる領域に形成される。層間絶縁膜１１９には、パッド部１２１とＶＳＳコンタクト領域１１８とを電気的に接続するための接続ビア１２１Ｃが設けられている。接続ビア１２１Ｃは、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々に設けられている。例えば、接続ビア１２１Ｃにパッド部１２１の一部が埋め込まれることにより、パッド部１２１とＶＳＳコンタクト領域１１８とが電気的に接続されている。例えば、Ｖ方向に並ぶ複数の画素共有ユニット５３９各々のパッド部１２０およびパッド部１２１は、Ｈ方向において略同じ位置に配置されている（図７Ｂ）。
　パッド部１２０を設けることで、チップ全体において、各フローティングディフュージョンＦＤから画素回路２１０（例えば増幅トランジスタＡＭＰのゲート電極）へ接続するための配線を減らすことができる。同様に、パッド部１２１を設けることで、チップ全体において、各ＶＳＳコンタクト領域１１８への電位を供給する配線を減らすことができる。これにより、チップ全体の面積の縮小、微細化された画素における配線間の電気的干渉の抑制、及び／又は部品点数の削減によるコスト削減などが可能になる。
　パッド部１２０、１２１は、第１基板１００、第２基板２００の所望の位置に設けることができる。具体的には、パッド部１２０、１２１を配線層１００Ｔ、半導体層２００Ｓの絶縁領域２１２のいずれかに設けることができる。配線層１００Ｔに設ける場合には、パッド部１２０、１２１を半導体層１００Ｓに直接接触させても良い。具体的には、パッド部１２０、１２１が、フローティングディフュージョンＦＤ及び／又はＶＳＳコンタクト領域１１８の各々の少なくとも一部と直接接続される構成でも良い。また、パッド部１２０、１２１に接続するフローティングディフュージョンＦＤ及び／又はＶＳＳコンタクト領域１１８の各々から接続ビア１２０Ｃ，１２１Ｃを設け、配線層１００Ｔ、半導体層２００Ｓの絶縁領域２１１２の所望の位置にパッド部１２０、１２１を設ける構成でも良い。
　特に、パッド部１２０、１２１を配線層１００Ｔに設ける場合には、半導体層２００Ｓの絶縁領域２１２におけるフローティングディフュージョンＦＤ及び／又はＶＳＳコンタクト領域１１８に接続される配線を減らすことができる。これにより、画素回路２１０を形成する第２基板２００のうち、フローティングディフュージョンＦＤから画素回路２１０に接続するための貫通配線を形成するための絶縁領域２１２の面積を削減することができる。よって、画素回路２１０を形成する第２基板２００の面積を大きく確保することができる。画素回路２１０の面積を確保することで、画素トランジスタを大きく形成することができ、ノイズ低減などによる画質向上に寄与することができる。
　特に、画素分離部１１７にＦＴＩ構造を用いた場合、フローティングディフュージョンＦＤ及び／又はＶＳＳコンタクト領域１１８は、各画素５４１に設けることが好ましいため、パッド部１２０、１２１の構成を用いることで、第１基板１００と第２基板２００とを接続する配線を大幅に削減することができる。
　また、図７Ｂのように、例えば複数のフローティングディフュージョンＦＤが接続されるパッド部１２０と、複数のＶＳＳコンタクト領域１１８が接続されるパッド部１２１とは、Ｖ方向において直線状に交互に配置される。また、パッド部１２０、１２１は、複数のフォトダイオードＰＤや、複数の転送ゲートＴＧや、複数のフローティングディフュージョンＦＤに囲まれる位置に形成される。これにより、複数の素子を形成する第１基板１００において、フローティングディフュージョンＦＤとＶＳＳコンタクト領域１１８以外の素子を自由に配置することができ、チップ全体のレイアウトの効率化を図ることができる。また、各画素共有ユニット５３９に形成される素子のレイアウトにおける対称性が確保され、各画素５４１の特性のばらつきを抑えることができる。
　パッド部１２０，１２１は、例えば、ポリシリコン（Poly　Si）、より具体的には、不純物が添加されたドープドポリシリコンにより構成されている。パッド部１２０，１２１はポリシリコン、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）および窒化チタン（ＴｉＮ）等の耐熱性の高い導電性材料により構成されていることが好ましい。これにより、第１基板１００に第２基板２００の半導体層２００Ｓを貼り合わせた後に、画素回路２１０を形成することが可能となる。以下、この理由について説明する。なお、以下の説明において、第１基板１００と第２基板２００の半導体層２００Ｓを貼り合わせた後に、画素回路２１０を形成する方法を、第１の製造方法と呼ぶ。
　ここで、第２基板２００に画素回路２１０を形成した後に、これを第１基板１００に貼り合わせることも考え得る（以下第２の製造方法という）。この第２の製造方法では、第１基板１００の表面（配線層１００Ｔの表面）および第２基板２００の表面（配線層２００Ｔの表面）それぞれに、電気的接続用の電極を予め形成しておく。第１基板１００と第２基板２００を貼り合わせると、これと同時に、第１基板１００の表面と第２基板２００の表面のそれぞれに形成された電気的接続用の電極同士が接触する。これにより、第１基板１００に含まれる配線と第２基板２００に含まれる配線との間で電気的接続が形成される。よって、第２の製造方法を用いた撮像装置１の構成とすることで、例えば第１基板１００と第２基板２００の各々の構成に応じて適切なプロセスを用いて製造することができ、高品質、高性能な撮像装置を製造することができる。
　このような第２の製造方法では、第１基板１００と第２基板２００とを貼り合わせる際に、貼り合せ用の製造装置に起因して、位置合わせの誤差が生じることがある。また、第１基板１００および第２基板２００は、例えば、直径数十ｃｍ程度の大きさを有するが、第１基板１００と第２基板２００とを貼り合わせる際に、この第１基板１００、第２基板２００各部の微視的領域で、基板の伸び縮みが発生するおそれがある。この基板の伸び縮みは、基板同士が接触するタイミングが多少ずれることに起因する。このような第１基板１００および第２基板２００の伸び縮みに起因して、第１基板１００の表面および第２基板２００の表面それぞれに形成された電気的接続用の電極の位置に、誤差が生じることがある。第２の製造方法では、このような誤差が生じても、第１基板１００および第２基板２００それぞれの電極同士が接触するように対処しておくことが好ましい。具体的には、第１基板１００および第２基板２００の電極の少なくとも一方、好ましくは両方を、上記誤差を考慮して大きくしておく。このため、第２の製造方法を用いると、例えば、第１基板１００または第２基板２００の表面に形成された電極の大きさ（基板平面方向の大きさ）が、第１基板１００または第２基板２００の内部から表面に厚み方向へ延在する内部電極の大きさよりも大きくなる。
　一方、パッド部１２０，１２１を耐熱性の導電材料により構成することで、上記第１の製造方法を用いることが可能となる。第１の製造方法では、フォトダイオードＰＤおよび転送トランジスタＴＲなどを含む第１基板１００を形成した後、この第１基板１００と第２基板２００（半導体層２０００Ｓ）とを貼り合わせる。このとき、第２基板２００は、画素回路２１０を構成する能動素子および配線層などのパターンは未形成の状態である。第２基板２００はパターンを形成する前の状態であるため、仮に、第１基板１００と第２基板２００を貼り合わせる際、その貼り合せ位置に誤差が生じたとしても、この貼り合せ誤差によって、第１基板１００のパターンと第２基板２００のパターンとの間の位置合わせに誤差が生じることはない。なぜならば、第２基板２００のパターンは、第１基板１００と第２基板２００を貼り合わせた後に、形成するからである。なお、第２基板にパターンを形成する際には、例えば、パターン形成のための露光装置において、第１基板に形成されたパターンを位置合わせの対象としながらパターン形成する。上記理由により、第１基板１００と第２基板２００との貼り合せ位置の誤差は、第１の製造方法においては、撮像装置１を製造する上で問題とならない。同様の理由で、第２の製造方法で生じる基板の伸び縮みに起因した誤差も、第１の製造方法においては、撮像装置１を製造する上で問題とならない。
　第１の製造方法では、このようにして第１基板１００と第２基板２００（半導体層２００Ｓ）とを貼り合せた後、第２基板２００上に能動素子を形成する。この後、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶ（図６）を形成する。この貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅ，ＴＧＶの形成では、例えば、第２基板２００の上方から、露光装置による縮小投影露光を用いて貫通電極のパターンを形成する。縮小露光投影を用いるため、仮に、第２基板２００と露光装置との位置合わせに誤差が生じても、その誤差の大きさは、第２基板２００においては、上記第２の製造方法の誤差の数分の一（縮小露光投影倍率の逆数）にしかならない。よって、第１の製造方法を用いた撮像装置１の構成とすることで、第１基板１００と第２基板２００の各々に形成される素子同士の位置合わせが容易になり、高品質、高性能な撮像装置を製造することができる。
　このような第１の製造方法を用いて製造された撮像装置１は、第２の製造方法で製造された撮像装置と異なる特徴を有する。具体的には、第１の製造方法により製造された撮像装置１では、例えば、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅ，ＴＧＶが、第２基板２００から第１基板１００に至るまで、略一定の太さ（基板平面方向の大きさ）となっている。あるいは、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅ，ＴＧＶがテーパー形状を有するときには、一定の傾きのテーパー形状を有している。このような貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅ，ＴＧＶを有する撮像装置１は、画素５４１を微細化しやすい。
　ここで、第１の製造方法により撮像装置１を製造すると、第１基板１００と第２基板２００（半導体層２００Ｓ）とを貼り合わせた後に、第２基板２００に能動素子を形成するので、第１基板１００にも、能動素子の形成の際に必要な加熱処理の影響が及ぶことになる。このため、上記のように、第１基板１００に設けられたパッド部１２０，１２１には、耐熱性の高い導電材料を用いることが好ましい。例えば、パッド部１２０，１２１には、第２基板２００の配線層２００Ｔに含まれる配線材の少なくとも一部よりも、融点の高い（すなわち耐熱性の高い）材料を用いていることが好ましい。例えば、パッド部１２０，１２１にドープトポリシリコン、タングステン、チタンあるいは窒化チタン等の耐熱性の高い導電材を用いる。これにより、上記第１の製造方法を用いて撮像装置１を製造することが可能となる。
　パッシベーション膜１２２は、例えば、パッド部１２０，１２１を覆うように、半導体層１００Ｓの表面全面にわたって設けられている（図６）。パッシベーション膜１２２は、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）膜により構成されている。層間絶縁膜１２３は、パッシベーション膜１２２を間にしてパッド部１２０，１２１を覆っている。この層間絶縁膜１２３は、例えば、半導体層１００Ｓの表面全面にわたって設けられている。層間絶縁膜１２３は、例えば酸化シリコン（ＳｉＯ）膜により構成されている。接合膜１２４は、第１基板１００（具体的には配線層１００Ｔ）と第２基板２００との接合面に設けられている。即ち、接合膜１２４は、第２基板２００に接している。この接合膜１２４は、第１基板１００の主面全面にわたって設けられている。接合膜１２４は、例えば、窒化シリコン膜により構成されている。
　受光レンズ４０１は、例えば、固定電荷膜１１２および絶縁膜１１１を間にして半導体層１００Ｓに対向している（図６）。受光レンズ４０１は、例えば画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々のフォトダイオードＰＤに対向する位置に設けられている。
　第２基板２００は、第１基板１００側から、半導体層２００Ｓおよび配線層２００Ｔをこの順に有している。半導体層２００Ｓは、シリコン基板で構成されている。半導体層２００Ｓでは、厚み方向にわたって、ウェル領域２１１が設けられている。ウェル領域２１１は、例えば、ｐ型半導体領域である。第２基板２０には、画素共有ユニット５３９毎に配置された画素回路２１０が設けられている。この画素回路２１０は、例えば、半導体層２００Ｓの表面側（配線層２００Ｔ側）に設けられている。撮像装置１では、第１基板１００の表面側（配線層１００Ｔ側）に第２基板２００の裏面側（半導体層２００Ｓ側）が向かうようにして、第２基板２００が第１基板１００に貼り合わされている。つまり、第２基板２００は、第１基板１００に、フェイストゥーバックで貼り合わされている。
　図８～図１２は、第２基板２００の平面構成の一例を模式的に表している。図８には、半導体層２００Ｓの表面近傍に設けられた画素回路２１０の構成を表す。図９は、配線層２００Ｔ（具体的には後述の第１配線層Ｗ１）と、配線層２００Ｔに接続された半導体層２００Ｓおよび第１基板１００の各部の構成を模式的に表している。図１０～図１２は、配線層２００Ｔの平面構成の一例を表している。以下、図６とともに、図８～図１２を用いて第２基板２００の構成について説明する。図８および図９ではフォトダイオードＰＤの外形（画素分離部１１７とフォトダイオードＰＤとの境界）を破線で表し、画素回路２１０を構成する各トランジスタのゲート電極に重なる部分の半導体層２００Ｓと素子分離領域２１３または絶縁領域２１４との境界を点線で表す。増幅トランジスタＡＭＰのゲート電極に重なる部分では、チャネル幅方向の一方に、半導体層２００Ｓと素子分離領域２１３との境界、および素子分離領域２１３と絶縁領域２１２との境界が設けられている。
　第２基板２００には、半導体層２００Ｓを分断する絶縁領域２１２と、半導体層２００Ｓの厚み方向の一部に設けられた素子分離領域２１３とが設けられている(図６)。例えば、Ｈ方向に隣り合う２つの画素回路２１０の間に設けられた絶縁領域２１２に、この２つの画素回路２１０に接続された２つの画素共有ユニット５３９の貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶ（貫通電極ＴＧＶ１，ＴＧＶ２，ＴＧＶ３，ＴＧＶ４）が配置されている（図９）。
　絶縁領域２１２は、半導体層２００Ｓの厚みと略同じ厚みを有している（図６）。半導体層２００Ｓは、この絶縁領域２１２により分断されている。この絶縁領域２１２に、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶが配置されている。絶縁領域２１２は、例えば酸化シリコンにより構成されている。
　貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅは、絶縁領域２１２を厚み方向に貫通して設けられている。貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅの上端は、配線層２００Ｔの配線（後述の第１配線Ｗ１，第２配線Ｗ２，第３配線Ｗ３，第４配線Ｗ４）に接続されている。この貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅは、絶縁領域２１２、接合膜１２４、層間絶縁膜１２３およびパッシベーション膜１２２を貫通して設けられ、その下端はパッド部１２０，１２１に接続されている（図６）。貫通電極１２０Ｅは、パッド部１２０と画素回路２１０とを電気的に接続するためのものである。即ち、貫通電極１２０Ｅにより、第１基板１００のフローティングディフュージョンＦＤが第２基板２００の画素回路２１０に電気的に接続される。貫通電極１２１Ｅは、パッド部１２１と配線層２００Ｔの基準電位線ＶＳＳとを電気的に接続するためのものである。即ち、貫通電極１２１Ｅにより、第１基板１００のＶＳＳコンタクト領域１１８が第２基板２００の基準電位線ＶＳＳに電気的に接続される。
　貫通電極ＴＧＶは、絶縁領域２１２を厚み方向に貫通して設けられている。貫通電極ＴＧＶの上端は、配線層２００Ｔの配線に接続されている。この貫通電極ＴＧＶは、絶縁領域２１２、接合膜１２４、層間絶縁膜１２３、パッシベーション膜１２２および層間絶縁膜１１９を貫通して設けられ、その下端は転送ゲートＴＧに接続されている（図６）。このような貫通電極ＴＧＶは、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々の転送ゲートＴＧ（転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２，ＴＧ３，ＴＧ４）と、配線層２００Ｔの配線（行駆動信号線５４２の一部、具体的には、後述の図１１の配線ＴＲＧ１，ＴＲＧ２，ＴＲＧ３，ＴＲＧ４）とを電気的に接続するためのものである。即ち、貫通電極ＴＧＶにより、第１基板１００の転送ゲートＴＧが第２基板２００の配線ＴＲＧに電気的に接続され、転送トランジスタＴＲ（転送トランジスタＴＲ１，ＴＲ２，ＴＲ３，ＴＲ４）各々に駆動信号が送られるようになっている。
　絶縁領域２１２は、第１基板１００と第２基板２００とを電気的に接続するための前記貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶを、半導体層２００Ｓと絶縁して設けるための領域である。例えば、Ｈ方向に隣り合う２つの画素回路２１０（画素共有ユニット５３９）の間に設けられた絶縁領域２１２に、この２つの画素回路２１０に接続された貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶ（貫通電極ＴＧＶ１，ＴＧＶ２，ＴＧＶ３，ＴＧＶ４）が配置されている。絶縁領域２１２は、例えば、Ｖ方向に延在して設けられている（図８，図９）。ここでは、転送ゲートＴＧの水平部分ＴＧｂの配置を工夫することにより、垂直部分ＴＧａの位置に比べて、貫通電極ＴＧＶのＨ方向の位置が貫通電極１２０Ｅ，１２１ＥのＨ方向の位置に近づくように配置されている（図７Ａ，図９）。例えば、貫通電極ＴＧＶは、Ｈ方向において、貫通電極１２０Ｅ，１２０Ｅと略同じ位置に配置されている。これにより、Ｖ方向に延在する絶縁領域２１２に、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶをまとめて設けることができる。別の配置例として、垂直部分ＴＧａに重畳する領域のみに水平部分ＴＧｂを設けることも考え得る。この場合には、垂直部分ＴＧａの略直上に貫通電極ＴＧＶが形成され、例えば、各画素５４１のＨ方向およびＶ方向の略中央部に貫通電極ＴＧＶが配置される。このとき、貫通電極ＴＧＶのＨ方向の位置と貫通電極１２０Ｅ，１２１ＥのＨ方向の位置とが大きくずれる。貫通電極ＴＧＶおよび貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅの周囲には、近接する半導体層２００Ｓから電気的に絶縁するため、例えば、絶縁領域２１２を設ける。貫通電極ＴＧＶのＨ方向の位置と貫通電極１２０Ｅ，１２１ＥのＨ方向の位置とが大きく離れる場合には、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅ，ＴＧＶ各々の周囲に絶縁領域２１２を独立して設けることが必要となる。これにより、半導体層２００Ｓが細かく分断されることになる。これに比べ、Ｖ方向に延在する絶縁領域２１２に、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶをまとめて配置するレイアウトは、半導体層２００ＳのＨ方向の大きさを大きくすることができる。よって、半導体層２００Ｓにおける半導体素子形成領域の面積を大きく確保することができる。これにより、例えば、増幅トランジスタＡＭＰのサイズを大きくし、ノイズを抑えることが可能となる。
　画素共有ユニット５３９は、図４を参照して説明したように、複数の画素５４１のそれぞれに設けられたフローティングディフュージョンＦＤの間を電気的に接続し、これら複数の画素５４１が一つの画素回路２１０を共有する構造を有している。そして、前記フローティングディフュージョンＦＤ間の電気的接続は、第１基板１００に設けられたパッド部１２０によってなされている（図６、図７Ｂ）。第１基板１００に設けられた電気的接続部（パッド部１２０）と第２基板２００に設けられた画素回路２１０は、一つの貫通電極１２０Ｅを介して電気的に接続されている。別の構造例として、フローティングディフュージョンＦＤ間の電気的接続部を第２基板２００に設けることも考え得る。この場合、画素共有ユニット５３９には、フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４各々に接続される４つの貫通電極が設けられる。したがって、第２基板２００において、半導体層２００Ｓを貫通する貫通電極の数が増え、これら貫通電極の周囲を絶縁する絶縁領域２１２が大きくなる。これに比べ、第１基板１００にパッド部１２０を設ける構造（図６，図７Ｂ）は、貫通電極の数を減らし、絶縁領域２１２を小さくすることができる。よって、半導体層２００Ｓにおける半導体素子形成領域の面積を大きく確保することができる。これにより、例えば、増幅トランジスタＡＭＰのサイズを大きくし、ノイズを抑えることが可能となる。
　素子分離領域２１３は、半導体層２００Ｓの表面側に設けられている。素子分離領域２１３は、ＳＴＩ（Shallow　Trench　Isolation）構造を有している。この素子分離領域２１３では、半導体層２００Ｓが厚み方向（第２基板２００の主面に対して垂直方向）に掘り込まれており、この掘り込みに絶縁膜が埋め込まれている。この絶縁膜は、例えば、酸化シリコンにより構成されている。素子分離領域２１３は、画素回路２１０を構成する複数のトランジスタ間を、画素回路２１０のレイアウトに応じて素子分離するものである。素子分離領域２１３の下方（半導体層２００Ｓの深部）には、半導体層２００Ｓ（具体的には、ウエル領域２１１）が延在している。
　ここで、図７Ａ，図７Ｂおよび図８を参照して、第１基板１００での画素共有ユニット５３９の外形形状（基板平面方向の外形形状）と、第２基板２００での画素共有ユニット５３９の外形形状との違いを説明する。
　撮像装置１では、第１基板１００および第２基板２００の両方にわたり、画素共有ユニット５３９が設けられている。例えば、第１基板１００に設けられた画素共有ユニット５３９の外形形状と、第２基板２００に設けられた画素共有ユニット５３９の外形形状とは互いに異なっている。
　図７Ａ，図７Ｂでは、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの外形線を一点鎖線で表し、画素共有ユニット５３９の外形形状を太線で表している。例えば、第１基板１００の画素共有ユニット５３９は、Ｈ方向に隣接して配置された２つの画素５４１（画素５４１Ａ，５４１Ｂ）と、これにＶ方向に隣接して配置された２つの画素５４１（画素５４１Ｃ，５４１Ｄ）により構成されている。即ち、第１基板１００の画素共有ユニット５３９は、隣接する２行×２列の４つの画素５４１により構成されており、第１基板１００の画素共有ユニット５３９は、略正方形の外形形状を有している。画素アレイ部５４０では、このような画素共有ユニット５３９が、Ｈ方向へ２画素ピッチ（画素５４１の２個分に相当するピッチ）、かつ、Ｖ方向へ２画素ピッチ（画素５４１の２個分に相当するピッチ）、で隣接して配列されている。
　図８および図９では、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの外形線を一点鎖線で表し、画素共有ユニット５３９の外形形状を太線で表している。例えば、第２基板２００の画素共有ユニット５３９の外形形状は、Ｈ方向において第１基板１００の画素共有ユニット５３９よりも小さく、Ｖ方向において第１基板１００の画素共有ユニット５３９よりも大きくなっている。例えば、第２基板２００の画素共有ユニット５３９は、Ｈ方向には画素１個分に相当する大きさ（領域）で形成され、Ｖ方向には、画素４個分に相当する大きさで形成されている。即ち、第２基板２００の画素共有ユニット５３９は、隣接する１行×４列に配列された画素に相当する大きさで形成されており、第２基板２００の画素共有ユニット５３９は、略長方形の外形形状を有している。
　例えば、各画素回路２１０では、選択トランジスタＳＥＬ、増幅トランジスタＡＭＰ、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧがこの順にＶ方向に並んで配置されている（図８）。各画素回路２１０の外形形状を、上記のように、略長方形状に設けることにより、一方向（図８ではＶ方向）に４つのトランジスタ（選択トランジスタＳＥＬ、増幅トランジスタＡＭＰ、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧ）を並べて配置することができる。これにより、増幅トランジスタＡＭＰのドレインと、リセットトランジスタＲＳＴのドレインとを一の拡散領域（電源線ＶＤＤに接続される拡散領域）で共有することができる。例えば、各画素回路２１０の形成領域を略正方形状に設けることも可能である（後述の図２１参照）。この場合には、一方向に沿って２つのトランジスタが配置され、増幅トランジスタＡＭＰのドレインと、リセットトランジスタＲＳＴのドレインとを一の拡散領域で共有することが困難となる。よって、画素回路２１０の形成領域を略長方形状に設けることにより、４つのトランジスタを近接して配置しやすくなり、画素回路２１０の形成領域を小さくすることができる。即ち、画素の微細化を行うことができる。また、画素回路２１０の形成領域を小さくすることが不要であるときには、増幅トランジスタＡＭＰの形成領域を大きくし、ノイズを抑えることが可能となる。
　例えば、半導体層２００Ｓの表面近傍には、選択トランジスタＳＥＬ、増幅トランジスタＡＭＰ、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧに加えて、基準電位線ＶＳＳに接続されるＶＳＳコンタクト領域２１８が設けられている。ＶＳＳコンタクト領域２１８は、例えば、ｐ型半導体領域により構成されている。ＶＳＳコンタクト領域２１８は、配線層２００Ｔの配線および貫通電極１２１Ｅを介して第１基板１００（半導体層１００Ｓ）のＶＳＳコンタクト領域１１８に電気的に接続されている。このＶＳＳコンタクト領域２１８は、例えば、素子分離領域２１３を間にして、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのソースと隣り合う位置に設けられている（図８）。
　次に、図７Ｂおよび図８を参照して、第１基板１００に設けられた画素共有ユニット５３９と第２基板２００に設けられた画素共有ユニット５３９との位置関係を説明する。例えば、第１基板１００のＶ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうち、一方（例えば図７Ｂの紙面上側）の画素共有ユニット５３９は、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうちの一方（例えば、図８の紙面左側）の画素共有ユニット５３９に接続されている。例えば、第１基板１００のＶ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうち、他方（例えば図７Ｂの紙面下側）の画素共有ユニット５３９は、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうちの他方（例えば、図８の紙面右側）の画素共有ユニット５３９に接続されている。
　例えば、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９では、一方の画素共有ユニット５３９の内部レイアウト（トランジスタ等の配置）が、他方の画素共有ユニット５３９の内部レイアウトをＶ方向およびＨ方向に反転させたレイアウトに略等しくなっている。以下、このレイアウトによって得られる効果を説明する。
　第１基板１００のＶ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９では、各々のパッド部１２０が、画素共有ユニット５３９の外形形状の中央部、即ち、画素共有ユニット５３９のＶ方向およびＨ方向の中央部に配置される（図７Ｂ）。一方、第２基板２００の画素共有ユニット５３９は、上記のように、Ｖ方向に長い略長方形の外形形状を有しているので、例えば、パッド部１２０に接続される増幅トランジスタＡＭＰは、画素共有ユニット５３９のＶ方向の中央から紙面上方にずれた位置に配置されている。例えば、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９の内部レイアウトが同じであるとき、一方の画素共有ユニット５３９の増幅トランジスタＡＭＰと、パッド部１２０（例えば、図７の紙面上側の画素共有ユニット５３９のパッド部１２０）との距離は比較的短くなる。しかし、他方の画素共有ユニット５３９の増幅トランジスタＡＭＰと、パッド部１２０（例えば、図７の紙面下側の画素共有ユニット５３９のパッド部１２０）との距離が長くなる。このため、この増幅トランジスタＡＭＰとパッド部１２０との接続に要する配線の面積が大きくなり、画素共有ユニット５３９の配線レイアウトが複雑になるおそれがある。このことは、撮像装置１の微細化に影響を及ぼす可能性がある。
　これに対して、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９で、互いの内部レイアウトを少なくともＶ方向に反転させることにより、これら２つの画素共有ユニット５３９の両方の増幅トランジスタＡＭＰとパッド部１２０との距離を短くすることができる。したがって、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９の内部レイアウトを同じにした構成と比べて、撮像装置１の微細化を行いやすくなる。なお、第２基板２００の複数の画素共有ユニット５３９各々の平面レイアウトは、図８に記載の範囲では左右対称であるが、後述する図９に記載の第１配線層Ｗ１のレイアウトまで含めると、左右非対称のものとなる。
　また、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９の内部レイアウトは、互いに、Ｈ方向にも反転されていることが好ましい。以下、この理由について説明する。図９に示したように、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９はそれぞれ、第１基板１００のパッド部１２０，１２１に接続されている。例えば、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のＨ方向の中央部（Ｈ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９の間）にパッド部１２０，１２１が配置されている。したがって、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９の内部レイアウトを、互いに、Ｈ方向にも反転させることにより、第２基板２００の複数の画素共有ユニット５３９それぞれとパッド部１２０，１２１との距離を小さくすることができる。即ち、撮像装置１の微細化を更に行いやすくなる。
　また、第２基板２００の画素共有ユニット５３９の外形線の位置は、第１基板１００の画素共有ユニット５３９のいずれかの外形線の位置に揃っていなくてもよい。例えば、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうち、一方（例えば図９の紙面左側）の画素共有ユニット５３９では、Ｖ方向の一方（例えば図９の紙面上側）の外形線が、対応する第１基板１００の画素共有ユニット５３９（例えば図７Ｂの紙面上側）のＶ方向の一方の外形線の外側に配置されている。また、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうち、他方（例えば図９の紙面右側）の画素共有ユニット５３９では、Ｖ方向の他方（例えば図９の紙面下側）の外形線が、対応する第１基板１００の画素共有ユニット５３９（例えば図７Ｂの紙面下側）のＶ方向の他方の外形線の外側に配置されている。このように、第２基板２００の画素共有ユニット５３９と、第１基板１００の画素共有ユニット５３９とを互いに配置することにより、増幅トランジスタＡＭＰとパッド部１２０との距離を短くすることが可能となる。したがって、撮像装置１の微細化を行いやすくなる。
　また、第２基板２００の複数の画素共有ユニット５３９の間で、互いの外形線の位置は揃っていなくてもよい。例えば、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９は、Ｖ方向の外形線の位置がずれて配置されている。これにより、増幅トランジスタＡＭＰとパッド部１２０との距離を短くすることが可能となる。したがって、撮像装置１の微細化を行いやすくなる。
　図７Ｂおよび図９を参照して、画素アレイ部５４０での画素共有ユニット５３９の繰り返し配置について説明する。第１基板１００の画素共有ユニット５３９は、Ｈ方向に２つ分の画素５４１の大きさ、およびＶ方向に２つ分の画素５４１の大きさを有している（図７Ｂ）。例えば、第１基板１００の画素アレイ部５４０では、この４つの画素５４１に相当する大きさの画素共有ユニット５３９が、Ｈ方向へ２画素ピッチ（画素５４１の２つ分に相当するピッチ）、かつ、Ｖ方向へ２画素ピッチ（画素５４１の２つ分に相当するピッチ）、で隣接して繰り返し配列されている。あるいは、第１基板１００の画素アレイ部５４０に、画素共有ユニット５３９がＶ方向に２つ隣接して配置された一対の画素共有ユニット５３９が設けられていてもよい。第１基板１００の画素アレイ部５４０では、例えば、この一対の画素共有ユニット５３９が、Ｈ方向へ２画素ピッチ（画素５４１の２つ分に相当するピッチ）、かつ、Ｖ方向へ４画素ピッチ（画素５４１の４つ分に相当するピッチ）、で隣接して繰り返し配列している。第２基板２００の画素共有ユニット５３９は、Ｈ方向に一つ分の画素５４１の大きさ、およびＶ方向に４つ分の画素５４１の大きさを有している（図９）。例えば、第２基板２００の画素アレイ部５４０には、この４つの画素５４１に相当する大きさの画素共有ユニット５３９を２つ含む、一対の画素共有ユニット５３９が設けられている。この画素共有ユニット５３９は、Ｈ方向に隣接して配置され、かつ、Ｖ方向にはずらして配置されている。第２基板２００の画素アレイ部５４０では、例えば、この一対の画素共有ユニット５３９が、Ｈ方向へ２画素ピッチ（画素５４１の２個分に相当するピッチ）、かつ、Ｖ方向へ４画素ピッチ（画素５４１の４個分に相当するピッチ）、で隙間なく隣接して繰り返し配列されている。このような画素共有ユニット５３９の繰り返し配置により、画素共有ユニット５３９を隙間なく配置することが可能となる。したがって、撮像装置１の微細化を行いやすくなる。
　増幅トランジスタＡＭＰは、例えば、Ｆｉｎ型等の三次元構造を有していることが好ましい（図６）。これにより、実効のゲート幅の大きさが大きくなり、ノイズを抑えることが可能となる。選択トランジスタＳＥＬ、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧは、例えば、プレーナー構造を有している。増幅トランジスタＡＭＰがプレーナー構造を有していてもよい。あるいは、選択トランジスタＳＥＬ、リセットトランジスタＲＳＴまたはＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧが、三次元構造を有していてもよい。
　配線層２００Ｔは、例えば、パッシベーション膜２２１、層間絶縁膜２２２および複数の配線（第１配線層Ｗ１，第２配線層Ｗ２，第３配線層Ｗ３，第４配線層Ｗ４）を含んでいる。パッシベーション膜２２１は、例えば、半導体層２００Ｓの表面に接しており、半導体層２００Ｓの表面全面を覆っている。このパッシベーション膜２２１は、選択トランジスタＳＥＬ、増幅トランジスタＡＭＰ、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧ各々のゲート電極を覆っている。層間絶縁膜２２２は、パッシベーション膜２２１と第３基板３００との間に設けられている。この層間絶縁膜２２２により、複数の配線（第１配線層Ｗ１，第２配線層Ｗ２，第３配線層Ｗ３，第４配線層Ｗ４）が分離されている。層間絶縁膜２２２は、例えば、酸化シリコンにより構成されている。
　配線層２００Ｔには、例えば、半導体層２００Ｓ側から、第１配線層Ｗ１、第２配線層Ｗ２、第３配線層Ｗ３、第４配線層Ｗ４およびコンタクト部２０１，２０２がこの順に設けられ、これらが互いに層間絶縁膜２２２により絶縁されている。層間絶縁膜２２２には、第１配線層Ｗ１、第２配線層Ｗ２、第３配線層Ｗ３または第４配線層Ｗ４と、これらの下層とを接続する接続部が複数設けられている。接続部は、層間絶縁膜２２２に設けた接続孔に、導電材料を埋設した部分である。例えば、層間絶縁膜２２２には、第１配線層Ｗ１と半導体層２００ＳのＶＳＳコンタクト領域２１８とを接続する接続部２１８Ｖが設けられている。例えば、このような第２基板２００の素子同士を接続する接続部の孔径は、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶの孔径と異なっている。具体的には、第２基板２００の素子同士を接続する接続孔の孔径は、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶの孔径よりも小さくなっていることが好ましい。以下、この理由について説明する。配線層２００Ｔ内に設けられた接続部（接続部２１８Ｖ等）の深さは、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶの深さよりも小さい。このため接続部は、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶに比べて、容易に接続孔へ導電材を埋めることができる。この接続部の孔径を、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅおよび貫通電極ＴＧＶの孔径よりも小さくすることにより、撮像装置１の微細化を行いやすくなる。
　例えば、第１配線層Ｗ１により、貫通電極１２０Ｅと増幅トランジスタＡＭＰのゲートおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのソース（具体的にはＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのソースに達する接続孔）とが接続されている。第１配線層Ｗ１は、例えば、貫通電極１２１Ｅと接続部２１８Ｖとを接続しており、これにより、半導体層２００ＳのＶＳＳコンタクト領域２１８と半導体層１００ＳのＶＳＳコンタクト領域１１８とが電気的に接続される。
　次に、図１０～図１２を用いて、配線層２００Ｔの平面構成について説明する。図１０は、第１配線層Ｗ１および第２配線層Ｗ２の平面構成の一例を表したものである。図１１は、第２配線層Ｗ２および第３配線層Ｗ３の平面構成の一例を表したものである。図１２は、第３配線層Ｗ３および第４配線層Ｗ４の平面構成の一例を表したものである。
　例えば、第３配線層Ｗ３は、Ｈ方向（行方向）に延在する配線ＴＲＧ１，ＴＲＧ２，ＴＲＧ３，ＴＲＧ４，ＳＥＬＬ，ＲＳＴＬ，ＦＤＧＬを含んでいる（図１１）。これらの配線は、図４を参照して説明した複数の行駆動信号線５４２に該当する。配線ＴＲＧ１，ＴＲＧ２，ＴＲＧ３，ＴＲＧ４は各々、転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２，ＴＧ３，ＴＧ４に駆動信号を送るためのものである。配線ＴＲＧ１，ＴＲＧ２，ＴＲＧ３，ＴＲＧ４は各々、第２配線層Ｗ２、第１配線層Ｗ１および貫通電極１２０Ｅを介して転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２，ＴＧ３，ＴＧ４に接続されている。配線ＳＥＬＬは選択トランジスタＳＥＬのゲートに、配線ＲＳＴＬはリセットトランジスタＲＳＴのゲートに、配線ＦＤＧＬは、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのゲートに各々駆動信号を送るためのものである。配線ＳＥＬＬ，ＲＳＴＬ，ＦＤＧＬは各々、第２配線層Ｗ２、第１配線層Ｗ１および接続部を介して、選択トランジスタＳＥＬ，リセットトランジスタＲＳＴ，ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧ各々のゲートに接続されている。
　例えば、第４配線層Ｗ４は、Ｖ方向（列方向）に延在する電源線ＶＤＤ、基準電位線ＶＳＳおよび垂直信号線５４３を含んでいる（図１２）。電源線ＶＤＤは、第３配線層Ｗ３、第２配線層Ｗ２、第１配線層Ｗ１および接続部を介して増幅トランジスタＡＭＰのドレインおよびリセットトランジスタＲＳＴのドレインに接続されている。基準電位線ＶＳＳは、第３配線層Ｗ３、第２配線層Ｗ２、第１配線層Ｗ１および接続部２１８Ｖを介してＶＳＳコンタクト領域２１８に接続されている。また、基準電位線ＶＳＳは、第３配線層Ｗ３、第２配線層Ｗ２、第１配線層Ｗ１、貫通電極１２１Ｅおよびパッド部１２１を介して第１基板１００のＶＳＳコンタクト領域１１８に接続されている。垂直信号線５４３は、第３配線層Ｗ３、第２配線層Ｗ２、第１配線層Ｗ１および接続部を介して選択トランジスタＳＥＬのソース（Ｖｏｕｔ）に接続されている。
　コンタクト部２０１，２０２は、平面視で画素アレイ部５４０に重なる位置に設けられていてもよく（例えば、図３）、あるいは、画素アレイ部５４０の外側の周辺部５４０Ｂに設けられていてもよい（例えば、図６）。コンタクト部２０１，２０２は、第２基板２００の表面（配線層２００Ｔ側の面）に設けられている。コンタクト部２０１，２０２は、例えば、Ｃｕ（銅）およびＡｌ（アルミニウム）などの金属により構成されている。コンタクト部２０１，２０２は、配線層２００Ｔの表面（第３基板３００側の面）に露出している。コンタクト部２０１，２０２は、第２基板２００と第３基板３００との電気的な接続および、第２基板２００と第３基板３００との貼り合わせに用いられる。
　図６には、第２基板２００の周辺部５４０Ｂに周辺回路を設けた例を図示した。この周辺回路は、行駆動部５２０の一部または列信号処理部５５０の一部等を含んでいてもよい。また、図３に記載のように、第２基板２００の周辺部５４０Ｂには周辺回路を配置せず、接続孔部Ｈ１，Ｈ２を画素アレイ部５４０の近傍に配置するようにしてもよい。
　第３基板３００は、例えば、第２基板２００側から配線層３００Ｔおよび半導体層３００Ｓをこの順に有している。例えば、半導体層３００Ｓの表面は、第２基板２００側に設けられている。半導体層３００Ｓは、シリコン基板で構成されている。この半導体層３００Ｓの表面側の部分には、回路が設けられている。具体的には、半導体層３００Ｓの表面側の部分には、例えば、入力部５１０Ａ、行駆動部５２０、タイミング制御部５３０、列信号処理部５５０、画像信号処理部５６０および出力部５１０Ｂのうちの少なくとも一部が設けられている。半導体層３００Ｓと第２基板２００との間に設けられた配線層３００Ｔは、例えば、層間絶縁膜と、この層間絶縁膜により分離された複数の配線層と、コンタクト部３０１，３０２とを含んでいる。コンタクト部３０１，３０２は、配線層３００Ｔの表面（第２基板２００側の面）に露出されており、コンタクト部３０１は第２基板２００のコンタクト部２０１に、コンタクト部３０２は第２基板２００のコンタクト部２０２に各々接している。コンタクト部３０１，３０２は、半導体層３００Ｓに形成された回路（例えば、入力部５１０Ａ、行駆動部５２０、タイミング制御部５３０、列信号処理部５５０、画像信号処理部５６０および出力部５１０Ｂの少なくともいずれか）に電気的に接続されている。コンタクト部３０１，３０２は、例えば、Ｃｕ（銅）およびアルミニウム（Ａｌ）等の金属により構成されている。例えば、接続孔部Ｈ１を介して外部端子ＴＡが入力部５１０Ａに接続されており、接続孔部Ｈ２を介して外部端子ＴＢが出力部５１０Ｂに接続されている。
　ここで、撮像装置１の特徴について説明する。
　一般に、撮像装置は、主な構成として、フォトダイオードと画素回路とからなる。ここで、フォトダイオードの面積を大きくすると光電変換の結果発生する電荷が増加し、その結果画素信号のシグナル／ノイズ比（Ｓ／Ｎ比）が改善し、撮像装置はよりよい画像データ（画像情報）を出力することができる。一方、画素回路に含まれるトランジスタのサイズ（特に増幅トランジスタのサイズ）を大きくすると、画素回路で発生するノイズが減少し、その結果撮像信号のＳ／Ｎ比が改善し、撮像装置はよりよい画像データ（画像情報）を出力することができる。
　しかし、フォトダイオードと画素回路とを同一の半導体基板に設けた撮像装置において、半導体基板の限られた面積の中でフォトダイオードの面積を大きくすると、画素回路に備わるトランジスタのサイズが小さくなってしまうことが考えられる。また、画素回路に備わるトランジスタのサイズを大きくすると、フォトダイオードの面積が小さくなってしまうことが考えられる。
　これらの課題を解決するために、例えば、本実施の形態の撮像装置１は、複数の画素５４１が一つの画素回路２１０を共有し、かつ、共有した画素回路２１０をフォトダイオードＰＤに重畳して配置する構造を用いる。これにより、半導体基板の限られた面積の中で、フォトダイオードＰＤの面積をできるだけ大きくすることと、画素回路２１０に備わるトランジスタのサイズをできるだけ大きくすることとを実現することができる。これにより、画素信号のＳ／Ｎ比を改善し、撮像装置１がよりよい画像データ（画像情報）を出力することができる。
　複数の画素５４１が一つの画素回路２１０を共有し、これをフォトダイオードＰＤに重畳して配置する構造を実現する際、複数の画素５４１各々のフローティングディフュージョンＦＤから一つの画素回路２１０に接続される複数の配線が延在する。画素回路２１０を形成する半導体基板２００の面積を大きく確保するためには、例えばこれらの延在する複数の配線の間を相互に接続し、一つにまとめる接続配線を形成することができる。ＶＳＳコンタクト領域１１８から延在する複数の配線についても同様に、延在する複数の配線の間を相互に接続し、一つにまとめる接続配線を形成することができる。
　例えば、複数の画素５４１各々のフローティングディフュージョンＦＤから延在する複数の配線の間を相互に接続する接続配線を、画素回路２１０を形成する半導体基板２００において形成すると、画素回路２１０に含まれるトランジスタを形成する面積が小さくなってしまうことが考えられる。同様に、複数の画素５４１各々のＶＳＳコンタクト領域１１８から延在する複数の配線の間を相互接続して一つにまとめる接続配線を、画素回路２１０を形成する半導体基板２００に形成すると、これにより画素回路２１０に含まれるトランジスタを形成する面積が小さくなってしまうことが考えられる。
　これらの課題を解決するために、例えば本実施の形態の撮像装置１は、複数の画素５４１が一つの画素回路２１０を共有し、かつ、共有した画素回路２１０をフォトダイオードＰＤに重畳して配置する構造であって、前記複数の画素５４１各々のフローティングディフュージョンＦＤの間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、前記複数の画素５４１のそれぞれに備わるＶＳＳコンタクト領域１１８の間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、を第１基板１００に設けた構造を備えることができる。
　ここで、前記複数の画素５４１各々のフローティングディフュージョンＦＤの間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、前記複数の画素５４１各々のＶＳＳコンタクト領域１１８の間を相互に接続して一つにまとめる接続配線とを、第１基板１００に設けるための製造方法として、先に述べた第２の製造方法を用いると、例えば、第１基板１００および第２基板２００各々の構成に応じて適切なプロセスを用いて製造することができ、高品質、高性能な撮像装置を製造することができる。また、容易なプロセスで第１基板１００および第２基板２００の接続配線を形成することができる。具体的には、上記第２の製造方法を用いる場合、第１基板１００と第２基板２００の貼り合せ境界面となる第１基板１００の表面と第２基板２００の表面とに、フローティングディフュージョンＦＤに接続する電極とＶＳＳコンタクト領域１１８に接続する電極とをそれぞれ設ける。さらに、第１基板１００と第２基板２００を貼り合せた際にこれら２つの基板表面に設けた電極間で位置ずれが発生してもこれら２つの基板表面に形成した電極同士が接触するように、これら２つの基板表面に形成する電極を大きくすることが好ましい。この場合、撮像装置１に備わる各画素の限られた面積の中に上記電極を配置することが難しくなってしまうことが考えられる。
　第１基板１００と第２基板２００の貼り合せ境界面に大きな電極が必要となる課題を解決するために、例えば本実施の形態の撮像装置１は、複数の画素５４１が一つの画素回路２１０を共有し、かつ、共有した画素回路２１０をフォトダイオードＰＤに重畳して配置する製造方法として、先に述べた第１の製造方法を用いることができる。これにより、第１基板１００および第２基板２００各々に形成される素子同士の位置合わせが容易になり、高品質、高性能な撮像装置を製造することができる。さらに、この製造方法を用いることによって生じる固有の構造を備えることができる。すなわち、第１基板１００の半導体層１００Ｓと配線層１００Ｔと第２基板２００の半導体層２００Ｓと配線層２００Ｔをこの順で積層した構造、言い換えれば、第１基板１００と第２基板２００をフェイストゥーバックで積層した構造を備え、かつ、第２基板２００の半導体層２００Ｓの表面側から、半導体層２００Ｓと第１基板１００の配線層１００Ｔを貫通して、第１基板１００の半導体層１００Ｓの表面へと至る、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅを備える。
　前記複数の画素５４１各々のフローティングディフュージョンＦＤの間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、前記複数の画素５４１各々のＶＳＳコンタクト領域１１８の間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、を第１基板１００に設けた構造において、この構造と第２の基板２００とを前記第１の製造方法を用いて積層し第２の基板２００に画素回路２１０を形成すると、画素回路２１０に備わる能動素子を形成する際に必要となる加熱処理の影響が、第１基板１００に形成した上記接続配線に及んでしまう可能性がある。
　そこで、上記接続配線に対して、上記能動素子を形成する際の加熱処理の影響が及んでしまう課題を解決するために、本実施の形態の撮像装置１は、前記複数の画素５４１各々のフローティングディフュージョンＦＤ同士を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、前記複数の画素５４１各々のＶＳＳコンタクト領域１１８の間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、に耐熱性の高い導電材料を用いることが望ましい。具体的には、耐熱性の高い導電材料は、第２基板２００の配線層２００Ｔに含まれる配線材の少なくとも一部よりも、融点の高い材料を用いることができる。
　このように、例えば本実施の形態の撮像装置１は、（１）第１基板１００と第２基板２００をフェイストゥーバックで積層した構造（具体的には、第１基板１００の半導体層１００Ｓと配線層１００Ｔと第２基板２００の半導体層２００Ｓと配線層２００Ｔをこの順で積層する構造）と、（２）第２基板２００の半導体層２００Ｓの表面側から、半導体層２００Ｓと第１基板１００の配線層１００Ｔを貫通して、第１基板１００の半導体層１００Ｓの表面へと至る、貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅを設けた構造と、（３）複数の画素５４１のそれぞれに備わるフローティングディフュージョンＦＤの間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、複数の画素５４１のそれぞれに備わるＶＳＳコンタクト領域１１８の間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、を耐熱性の高い導電材料で形成した構造と、を備えることで、第１基板１００と第２基板２００との界面に大きな電極を備えることなく、第１基板１００に、複数の画素５４１のそれぞれに備わるフローティングディフュージョンＦＤの間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、複数の画素５４１のそれぞれに備わるＶＳＳコンタクト領域１１８の間を相互に接続して一つにまとめる接続配線と、を設けることを可能としている。
　[撮像装置１の動作]
　次に、図１３および図１４を用いて撮像装置１の動作について説明する。図１３および図１４は、図３に各信号の経路を表す矢印を追記したものである。図１３は、外部から撮像装置１に入力される入力信号と、電源電位および基準電位の経路を矢印で表したものである。図１４は、撮像装置１から外部に出力される画素信号の信号経路を矢印で表している。例えば、入力部５１０Ａを介して撮像装置１に入力された入力信号（例えば、画素クロックおよび同期信号）は、第３基板３００の行駆動部５２０へ伝送され、行駆動部５２０で行駆動信号が作り出される。この行駆動信号は、コンタクト部３０１，２０１を介して第２基板２００に送られる。更に、この行駆動信号は、配線層２００Ｔ内の行駆動信号線５４２を介して、画素アレイ部５４０の画素共有ユニット５３９各々に到達する。第２基板２００の画素共有ユニット５３９に到達した行駆動信号のうち、転送ゲートＴＧ以外の駆動信号は画素回路２１０に入力されて、画素回路２１０に含まれる各トランジスタが駆動される。転送ゲートＴＧの駆動信号は貫通電極ＴＧＶを介して第１基板１００の転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２，ＴＧ３，ＴＧ４に入力され、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄが駆動される（図１３）。また、撮像装置１の外部から、第３基板３００の入力部５１０Ａ（入力端子５１１）に供給された電源電位および基準電位は、コンタクト部３０１，２０１を介して第２基板２００に送られ、配線層２００Ｔ内の配線を介して、画素共有ユニット５３９各々の画素回路２１０に供給される。基準電位は、さらに貫通電極１２１Ｅを介して、第１基板１００の画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄへも供給される。一方、第１基板１００の画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄで光電変換された画素信号は、貫通電極１２０Ｅを介して画素共有ユニット５３９毎に第２基板２００の画素回路２１０に送られる。この画素信号に基づく画素信号は、画素回路２１０から垂直信号線５４３およびコンタクト部２０２，３０２を介して第３基板３００に送られる。この画素信号は、第３基板３００の列信号処理部５５０および画像信号処理部５６０で処理された後、出力部５１０Ｂを介して外部に出力される。
　[効果]
　本実施の形態では、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ（画素共有ユニット５３９）と画素回路２１０とが互いに異なる基板（第１基板１００および第２基板２００）に設けられている。これにより、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄおよび画素回路２１０を同一基板に形成した場合と比べて、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄおよび画素回路２１０の面積を拡大することができる。その結果、光電変換により得られる画素信号の量を増大させ、かつ、画素回路２１０のトランジスタノイズを低減することが可能となる。これらにより、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１は、よりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。また、撮像装置１の微細化（言い換えれば、画素サイズの縮小および撮像装置１の小型化）が可能となる。撮像装置１は、画素サイズの縮小により、単位面積当たりの画素数を増加させることができ、高画質の画像を出力することができる。
　また、撮像装置１では、第１基板１００および第２基板２００が、絶縁領域２１２に設けられた貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅによって互いに電気的に接続されている。例えば、第１基板１００と第２基板２００とをパッド電極同士の接合により接続する方法や、半導体層を貫通する貫通配線（例えばＴＳＶ（Thorough　Si　Via））により接続する方法も考え得る。このような方法に比べて、絶縁領域２１２に貫通電極１２０Ｅ，１２１Ｅを設けることにより、第１基板１００および第２基板２００の接続に要する面積を小さくすることができる。これにより、画素サイズを縮小し、撮像装置１をより小型化することができる。また、１画素あたりの面積の更なる微細化により、解像度をより高くすることができる。チップサイズの小型化が不要なときには、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄおよび画素回路２１０の形成領域を拡大することができる。その結果、光電変換により得られる画素信号の量を増大させ、かつ、画素回路２１０に備わるトランジスタのノイズを低減することが可能となる。これにより、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１はよりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。
　また、撮像装置１では、画素回路２１０と列信号処理部５５０および画像信号処理部５６０とが互いに異なる基板（第２基板２００および第３基板３００）に設けられている。これにより、画素回路２１０と列信号処理部５５０および画像信号処理部５６０とを同一基板に形成した場合と比べて、画素回路２１０の面積と、列信号処理部５５０および画像信号処理部５６０の面積とを拡大することができる。これにより、列信号処理部５５０で生じるノイズを低減したり、画像信号処理部５６０により高度な画像処理回路を搭載することが可能となる。よって、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１はよりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。
　また、撮像装置１では、画素アレイ部５４０が、第１基板１００および第２基板２００に設けられ、かつ、列信号処理部５５０および画像信号処理部５６０が第３基板３００に設けられている。また、第２基板２００と第３基板３００とを接続するコンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２は、画素アレイ部５４０の上方に形成されている。このため、コンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２は、画素アレイに備わる各種配線からレイアウト上の干渉を受けずに自由にレイアウトにすることが可能となる。これにより、第２基板２００と第３基板３００との電気的な接続に、コンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２を用いることが可能となる。コンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２を用いることにより、例えば、列信号処理部５５０および画像信号処理部５６０はレイアウトの自由度が高くなる。これにより、列信号処理部５５０で生じるノイズを低減したり、画像信号処理部５６０により高度な画像処理回路を搭載することが可能となる。したがって、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１はよりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。
　また、撮像装置１では、画素分離部１１７が半導体層１００Ｓを貫通している。これにより、１画素あたりの面積の微細化によって隣り合う画素（画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ）の距離が近づいた場合であっても、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの間での混色を抑制できる。これにより、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１はよりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。
　また、撮像装置１では、画素共有ユニット５３９毎に画素回路２１０が設けられている。これにより、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々に画素回路２１０を設けた場合に比べて、画素回路２１０を構成するトランジスタ（増幅トランジスタＡＭＰ，リセットトランジスタＲＳＴ，選択トランジスタＳＥＬ，ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧ）の形成領域を大きくすることが可能となる。例えば、増幅トランジスタＡＭＰの形成領域を大きくすることにより、ノイズを抑えることが可能となる。これにより、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１はよりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。
　更に、撮像装置１では、４つの画素（画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ）のフローティングディフュージョンＦＤ（フローティングディフュージョンＦＤ１，ＦＤ２，ＦＤ３，ＦＤ４）を電気的に接続するパッド部１２０が、第１基板１００に設けられている。これにより、このようなパッド部１２０を第２基板２００に設ける場合に比べて、第１基板１００と第２基板２００とを接続する貫通電極（貫通電極１２０Ｅ）の数を減らすことができる。したがって、絶縁領域２１２を小さくし、画素回路２１０を構成するトランジスタの形成領域（半導体層２００Ｓ）を十分な大きさで確保することができる。これにより、画素回路２１０に備わるトランジスタのノイズを低減することが可能となり、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１はよりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。
　以下、上記実施の形態に係る撮像装置１の変形例について説明する。以下の変形例では、上記実施の形態と共通の構成に同一の符号を付して説明する。
＜２．変形例１＞
　図１５～図１９は、上記実施の形態に係る撮像装置１の平面構成の一変形例を表したものである。図１５は、第２基板２００の半導体層２００Ｓの表面近傍の平面構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図８に対応する。図１６は、第１配線層Ｗ１と、第１配線層Ｗ１に接続された半導体層２００Ｓおよび第１基板１００の各部の構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図９に対応する。図１７は、第１配線層Ｗ１および第２配線層Ｗ２の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１０に対応する。図１８は、第２配線層Ｗ２および第３配線層Ｗ３の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１１に対応する。図１９は、第３配線層Ｗ３および第４配線層Ｗ４の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１２に対応する。
　本変形例では、図１６に示したように、第２基板２００のＨ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうち、一方（例えば紙面右側）の画素共有ユニット５３９の内部レイアウトが、他方（例えば紙面左側）の画素共有ユニット５３９の内部レイアウトをＨ方向にのみ反転させた構成となっている。また、一方の画素共有ユニット５３９の外形線と他方の画素共有ユニット５３９の外形線との間のＶ方向のずれが、上記実施の形態で説明したずれ（図９）よりも大きくなっている。このように、Ｖ方向のずれを大きくすることにより、他方の画素共有ユニット５３９の増幅トランジスタＡＭＰと、これに接続されたパッド部１２０（図７に記載のＶ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９のうちの他方（紙面下側）のパッド部１２０）との間の距離を小さくすることができる。このようなレイアウトにより、図１５～図１９に記載の撮像装置１の変形例１は、Ｈ方向に並ぶ２つの画素共有ユニット５３９の平面レイアウトを互いにＶ方向に反転させることなく、その面積を、上記実施の形態で説明した第２基板２００の画素共有ユニット５３９の面積と同じにすることができる。なお、第１基板１００の画素共有ユニット５３９の平面レイアウトは、上記実施の形態で説明した平面レイアウト（図７Ａ，図７Ｂ）と同じである。したがって、本変形例の撮像装置１は、上記実施の形態で説明した撮像装置１と同様の効果を得ることができる。第２基板２００の画素共有ユニット５３９の配置は、上記実施の形態および本変形例で説明した配置に限定されるものではない。
＜３．変形例２＞
　図２０～図２５は、上記実施の形態に係る撮像装置１の平面構成の一変形例を表したものである。図２０は、第１基板１００の平面構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図７Ａに対応する。図２１は、第２基板２００の半導体層２００Ｓの表面近傍の平面構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図８に対応する。図２２は、第１配線層Ｗ１と、第１配線層Ｗ１に接続された半導体層２００Ｓおよび第１基板１００の各部の構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図９に対応する。図２３は、第１配線層Ｗ１および第２配線層Ｗ２の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１０に対応する。図２４は、第２配線層Ｗ２および第３配線層Ｗ３の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１１に対応する。図２５は、第３配線層Ｗ３および第４配線層Ｗ４の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１２に対応する。
　本変形例では、各画素回路２１０の外形が、略正方形の平面形状を有している（図２１等）。この点において、本変形例の撮像装置１の平面構成は、上記実施の形態で説明した撮像装置１の平面構成と異なっている。
　例えば、第１基板１００の画素共有ユニット５３９は、上記実施の形態で説明したのと同様に、２行×２列の画素領域にわたって形成されており、略正方形の平面形状を有している（図２０）。例えば、各々の画素共有ユニット５３９では、一方の画素列の画素５４１Ａおよび画素５４１Ｃの転送ゲートＴＧ１，ＴＧ３の水平部分ＴＧｂが、垂直部分ＴＧａに重畳する位置からＨ方向において画素共有ユニット５３９の中央部に向かう方向（より具体的には、画素５４１Ａ，５４１Ｃの外縁に向かう方向、かつ画素共有ユニット５３９の中央部に向かう方向）に延在し、他方の画素列の画素５４１Ｂおよび画素５４１Ｄの転送ゲートＴＧ２，ＴＧ４の水平部分ＴＧｂが、垂直部分ＴＧａに重畳する位置からＨ方向において画素共有ユニット５３９の外側に向かう方向（より具体的には、画素５４１Ｂ，５４１Ｄの外縁に向かう方向、かつ画素共有ユニット５３９の外側に向かう方向）に延在している。フローティングディフュージョンＦＤに接続されたパッド部１２０は、画素共有ユニット５３９の中央部（画素共有ユニット５３９のＨ方向およびＶ方向の中央部）に設けられ、ＶＳＳコンタクト領域１１８に接続されたパッド部１２１は、少なくともＨ方向において（図２０ではＨ方向およびＶ方向において）画素共有ユニット５３９の端部に設けられている。
　別の配置例として、転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２，ＴＧ３，ＴＧ４の水平部分ＴＧｂを垂直部分ＴＧａに対向する領域のみに設けることも考え得る。このときには、上記実施の形態で説明したのと同様に、半導体層２００Ｓが細かく分断されやすい。したがって、画素回路２１０のトランジスタを大きく形成することが困難となる。一方、転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２，ＴＧ３，ＴＧ４の水平部分ＴＧｂを、上記変形例のように、垂直部分ＴＧａに重畳する位置からＨ方向に延在させると、上記実施の形態で説明したのと同様に、半導体層２００Ｓの幅を大きくすることが可能となる。具体的には、転送ゲートＴＧ１，ＴＧ３に接続された貫通電極ＴＧＶ１，ＴＧＶ３のＨ方向の位置を、貫通電極１２０ＥのＨ方向の位置に近接させて配置し、転送ゲートＴＧ２，ＴＧ４に接続された貫通電極ＴＧＶ２，ＴＧＶ４のＨ方向の位置を、貫通電極１２１ＥのＨ方向の位置に近接して配置することが可能となる（図２２）。これにより、上記実施の形態で説明したのと同様に、Ｖ方向に延在する半導体層２００Ｓの幅（Ｈ方向の大きさ）を大きくすることができる。よって、画素回路２１０のトランジスタのサイズ、特に増幅トランジスタＡＭＰのサイズを大きくすることが可能となる。その結果、画素信号のシグナル／ノイズ比を改善して、撮像装置１はよりよい画素データ（画像情報）を出力することが可能となる。
　第２基板２００の画素共有ユニット５３９は、例えば、第１基板１００の画素共有ユニット５３９のＨ方向およびＶ方向の大きさと略同じであり、例えば、略２行×２列の画素領域に対応する領域にわたって設けられている。例えば、各画素回路２１０では、Ｖ方向に延在する１の半導体層２００Ｓに選択トランジスタＳＥＬおよび増幅トランジスタＡＭＰがＶ方向に並んで配置され、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧおよびリセットトランジスタＲＳＴがＶ方向に延在する１の半導体層２００Ｓに、Ｖ方向に並んで配置されている。この選択トランジスタＳＥＬおよび増幅トランジスタＡＭＰが設けられた１の半導体層２００Ｓと、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧおよびリセットトランジスタＲＳＴが設けられた１の半導体層２００Ｓとは、絶縁領域２１２を介してＨ方向に並んでいる。この絶縁領域２１２はＶ方向に延在している（図２１）。
　ここで、第２基板２００の画素共有ユニット５３９の外形について、図２１および図２２を参照して説明する。例えば、図２０に示した第１基板１００の画素共有ユニット５３９は、パッド部１２０のＨ方向の一方（図２２の紙面左側）に設けられた増幅トランジスタＡＭＰおよび選択トランジスタＳＥＬと、パッド部１２０のＨ方向の他方（図２２の紙面右側）に設けられたＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧおよびリセットトランジスタＲＳＴとに接続されている。この増幅トランジスタＡＭＰ、選択トランジスタＳＥＬ、ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧおよびリセットトランジスタＲＳＴを含む第２基板２００の画素共有ユニット５３９の外形は、次の４つの外縁により決まる。
　第１の外縁は、選択トランジスタＳＥＬおよび増幅トランジスタＡＭＰを含む半導体層２００ＳのＶ方向の一端（図２２の紙面上側の端）の外縁である。この第１の外縁は、当該画素共有ユニット５３９に含まれる増幅トランジスタＡＭＰと、この画素共有ユニット５３９のＶ方向の一方（図２２の紙面上側）に隣り合う画素共有ユニット５３９に含まれる選択トランジスタＳＥＬとの間に設けられている。より具体的には、第１の外縁は、これら増幅トランジスタＡＭＰと選択トランジスタＳＥＬとの間の素子分離領域２１３のＶ方向の中央部に設けられている。第２の外縁は、選択トランジスタＳＥＬおよび増幅トランジスタＡＭＰを含む半導体層２００ＳのＶ方向の他端（図２２の紙面下側の端）の外縁である。この第２の外縁は、当該画素共有ユニット５３９に含まれる選択トランジスタＳＥＬと、この画素共有ユニット５３９のＶ方向の他方（図２２の紙面下側）に隣り合う画素共有ユニット５３９に含まれる増幅トランジスタＡＭＰとの間に設けられている。より具体的には、第２の外縁は、これら選択トランジスタＳＥＬと増幅トランジスタＡＭＰとの間の素子分離領域２１３のＶ方向の中央部に設けられている。第３の外縁は、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧを含む半導体層２００ＳのＶ方向の他端（図２２の紙面下側の端）の外縁である。この第３の外縁は、当該画素共有ユニット５３９に含まれるＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧと、この画素共有ユニット５３９のＶ方向の他方（図２２の紙面下側）に隣り合う画素共有ユニット５３９に含まれるリセットトランジスタＲＳＴとの間に設けられている。より具体的には、第３の外縁は、これらＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧとリセットトランジスタＲＳＴとの間の素子分離領域２１３のＶ方向の中央部に設けられている。第４の外縁は、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧを含む半導体層２００ＳのＶ方向の一端（図２２の紙面上側の端）の外縁である。この第４の外縁は、当該画素共有ユニット５３９に含まれるリセットトランジスタＲＳＴと、この画素共有ユニット５３９のＶ方向の一方（図２２の紙面上側）に隣り合う画素共有ユニット５３９に含まれるＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧ（不図示）との間に設けられている。より具体的には、第４の外縁は、これらリセットトランジスタＲＳＴとＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧとの間の素子分離領域２１３（不図示）のＶ方向の中央部に設けられている。
　このような第１，第２，第３，第４の外縁を含む第２基板２００の画素共有ユニット５３９の外形では、第１，第２の外縁に対して、第３，第４の外縁がＶ方向の一方側にずれて配置されている（言い換えればＶ方向の一方側にオフセットされている）。このようなレイアウトを用いることにより、増幅トランジスタＡＭＰのゲートおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧのソースをともに、パッド部１２０にできるだけ近接して配置することが可能となる。したがって、これらを接続する配線の面積を小さくし、撮像装置１の微細化を行いやすくなる。なおＶＳＳコンタクト領域２１８は、選択トランジスタＳＥＬおよび増幅トランジスタＡＭＰを含む半導体層２００Ｓと、リセットトランジスタＲＳＴおよびＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧを含む半導体層２００Ｓとの間に設けられている。例えば、複数の画素回路２１０は、互いに同じ配置を有している。
　このような第２基板２００を有する撮像装置１も、上記実施の形態で説明したのと同様の効果が得られる。第２基板２００の画素共有ユニット５３９の配置は、上記実施の形態および本変形例で説明した配置に限定されるものではない。
＜４．変形例３＞
　図２６～図３１は、上記実施の形態に係る撮像装置１の平面構成の一変形例を表したものである。図２６は、第１基板１００の平面構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図７Ｂに対応する。図２７は、第２基板２００の半導体層２００Ｓの表面近傍の平面構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図８に対応する。図２８は、第１配線層Ｗ１と、第１配線層Ｗ１に接続された半導体層２００Ｓおよび第１基板１００の各部の構成を模式的に表しており、上記実施の形態で説明した図９に対応する。図２９は、第１配線層Ｗ１および第２配線層Ｗ２の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１０に対応する。図３０は、第２配線層Ｗ２および第３配線層Ｗ３の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１１に対応する。図３１は、第３配線層Ｗ３および第４配線層Ｗ４の平面構成の一例を表しており、上記実施の形態で説明した図１２に対応する。
　本変形例では、第２基板２００の半導体層２００Ｓが、Ｈ方向に延在している（図２８）。即ち、上記図２１等に示した撮像装置１の平面構成を９０度回転させた構成に略対応している。
　例えば、第１基板１００の画素共有ユニット５３９は、上記実施の形態で説明したのと同様に、２行×２列の画素領域にわたって形成されており、略正方形の平面形状を有している（図２６）。例えば、各々の画素共有ユニット５３９では、一方の画素行の画素５４１Ａおよび画素５４１Ｂの転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２が、Ｖ方向において画素共有ユニット５３９の中央部に向かって延在し、他方の画素行の画素５４１Ｃおよび画素５４１Ｄの転送ゲートＴＧ３，ＴＧ４が、Ｖ方向において画素共有ユニット５３９の外側方向に延在している。フローティングディフュージョンＦＤに接続されたパッド部１２０は、画素共有ユニット５３９の中央部に設けられ、ＶＳＳコンタクト領域１１８に接続されたパッド部１２１は、少なくともＶ方向において（図２６ではＶ方向およびＨ方向において）画素共有ユニット５３９の端部に設けられている。このとき、転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２の貫通電極ＴＧＶ１，ＴＧＶ２のＶ方向の位置が貫通電極１２０ＥのＶ方向の位置に近づき、転送ゲートＴＧ３，ＴＧ４の貫通電極ＴＧＶ３，ＴＧＶ４のＶ方向の位置が貫通電極１２１ＥのＶ方向の位置に近づく（図２８）。したがって、上記実施の形態で説明したのと同様の理由により、Ｈ方向に延在する半導体層２００Ｓの幅（Ｖ方向の大きさ）を大きくすることができる。よって、増幅トランジスタＡＭＰのサイズを大きくし、ノイズを抑えることが可能となる。
　各々の画素回路２１０では、選択トランジスタＳＥＬおよび増幅トランジスタＡＭＰがＨ方向に並んで配置され、選択トランジスタＳＥＬと絶縁領域２１２を間にしてＶ方向に隣り合う位置にリセットトランジスタＲＳＴが配置されている（図２７）。ＦＤ変換ゲイン切替トランジスタＦＤＧは、リセットトランジスタＲＳＴとＨ方向に並んで配置されている。ＶＳＳコンタクト領域２１８は、絶縁領域２１２に島状に設けられている。例えば、第３配線層Ｗ３はＨ方向に延在し（図３０）、第４配線層Ｗ４はＶ方向に延在している（図３１）。
　このような第２基板２００を有する撮像装置１も、上記実施の形態で説明したのと同様の効果が得られる。第２基板２００の画素共有ユニット５３９の配置は、上記実施の形態および本変形例で説明した配置に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態および変形例１で説明した半導体層２００Ｓが、Ｈ方向に延在していてもよい。
＜５．変形例４＞
　図３２は、上記実施の形態に係る撮像装置１の断面構成の一変形例を模式的に表したものである。図３２は、上記実施の形態で説明した図３に対応する。本変形例では、撮像装置１が、コンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２に加えて、画素アレイ部５４０の中央部に対向する位置にコンタクト部２０３，２０４，３０３，３０４を有している。この点において、本変形例の撮像装置１は、上記実施の形態で説明した撮像装置１と異なっている。
　コンタクト部２０３，２０４は、第２基板２００に設けられており、第３基板３００との接合面の露出されている。コンタクト部３０３，３０４は、第３基板３００に設けられており、第２基板２００との接合面に露出されている。コンタクト部２０３は、コンタクト部３０３と接しており、コンタクト部２０４は、コンタクト部３０４と接している。即ち、この撮像装置１では、第２基板２００と第３基板３００とが、コンタクト部２０１，２０２，３０１，３０２に加えてコンタクト部２０３，２０４，３０３，３０４により接続されている。
　次に、図３３および図３４を用いてこの撮像装置１の動作について説明する。図３３には、外部から撮像装置１に入力される入力信号と、電源電位および基準電位の経路を矢印で表す。図３４には、撮像装置１から外部に出力される画素信号の信号経路を矢印で表している。例えば、入力部５１０Ａを介して撮像装置１に入力された入力信号は、第３基板３００の行駆動部５２０へ伝送され、行駆動部５２０で行駆動信号が作り出される。この行駆動信号は、コンタクト部３０３，２０３を介して第２基板２００に送られる。更に、この行駆動信号は、配線層２００Ｔ内の行駆動信号線５４２を介して、画素アレイ部５４０の画素共有ユニット５３９各々に到達する。第２基板２００の画素共有ユニット５３９に到達した行駆動信号のうち、転送ゲートＴＧ以外の駆動信号は画素回路２１０に入力されて、画素回路２１０に含まれる各トランジスタが駆動される。転送ゲートＴＧの駆動信号は貫通電極ＴＧＶを介して第１基板１００の転送ゲートＴＧ１，ＴＧ２，ＴＧ３，ＴＧ４に入力され、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄが駆動される。また、撮像装置１の外部から、第３基板３００の入力部５１０Ａ（入力端子５１１）に供給された電源電位および基準電位は、コンタクト部３０３，２０３を介して第２基板２００に送られ、配線層２００Ｔ内の配線を介して、画素共有ユニット５３９各々の画素回路２１０に供給される。基準電位は、さらに貫通電極１２１Ｅを介して、第１基板１００の画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄへも供給される。一方、第１基板１００の画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄで光電変換された画素信号は、画素共有ユニット５３９毎に第２基板２００の画素回路２１０に送られる。この画素信号に基づく画素信号は、画素回路２１０から垂直信号線５４３およびコンタクト部２０４，３０４を介して第３基板３００に送られる。この画素信号は、第３基板３００の列信号処理部５５０および画像信号処理部５６０で処理された後、出力部５１０Ｂを介して外部に出力される。
　このようなコンタクト部２０３，２０４，３０３，３０４を有する撮像装置１も、上記実施の形態で説明したのと同様の効果が得られる。コンタクト部３０３,３０４を介した配線の接続先である、第３基板３００の回路等の設計に応じてコンタクト部の位置および数等を変えることができる。
＜６．変形例５＞
　図３５は、上記実施の形態に係る撮像装置１の断面構成の一変形例を表したものである。図３５は、上記実施の形態で説明した図６に対応する。本変形例では、第１基板１００にプレーナー構造を有する転送トランジスタＴＲが設けられている。この点において、本変形例の撮像装置１は、上記実施の形態で説明した撮像装置１と異なっている。
　この転送トランジスタＴＲは、水平部分ＴＧｂのみにより転送ゲートＴＧが構成されている。換言すれば、転送ゲートＴＧは、垂直部分ＴＧａを有しておらず、半導体層１００Ｓに対向して設けられている。
　このようなプレーナー構造の転送トランジスタＴＲを有する撮像装置１も、上記実施の形態で説明したのと同様の効果が得られる。更に、第１基板１００にプレーナー型の転送ゲートＴＧを設けることにより、縦型の転送ゲートＴＧを第１基板１００に設ける場合に比べて、より半導体層１００Ｓの表面近くまでフォトダイオードＰＤを形成し、これにより、飽和信号量（Ｑｓ）を増加させることも考え得る。また、第１基板１００にプレーナー型の転送ゲートＴＧを形成する方法は、第１基板１００に縦型の転送ゲートＴＧを形成する方法に比べて、製造工程数が少なく、製造工程に起因したフォトダイオードＰＤへの悪影響が生じにくい、とも考え得る。
＜７．変形例６＞
　図３６は、上記実施の形態に係る撮像装置１の画素回路の一変形例を表したものである。図３６は、上記実施の形態で説明した図４に対応する。本変形例では、一つの画素（画素５４１Ａ）毎に画素回路２１０が設けられている。即ち、画素回路２１０は、複数の画素で共有されていない。この点において、本変形例の撮像装置１は、上記実施の形態で説明した撮像装置１と異なっている。
　本変形例の撮像装置１は、画素５４１Ａと画素回路２１０とを互いに異なる基板（第１基板１００および第２基板２００）に設ける点では、上記実施の形態で説明した撮像装置１と同じである。このため、本変形例に係る撮像装置１も、上記実施の形態で説明したのと同様の効果を得ることができる。
＜８．変形例７＞
　図３７は、上記実施の形態で説明した画素分離部１１７の平面構成の一変形例を表したものである。画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄ各々を囲む画素分離部１１７に、隙間が設けられていてもよい。即ち、画素５４１Ａ，５４１Ｂ，５４１Ｃ，５４１Ｄの全周が画素分離部１１７に囲まれていなくてもよい。例えば、画素分離部１１７の隙間は、パッド部１２０，１２１近傍に設けられている（図７Ｂ参照）。
　上記実施の形態では、画素分離部１１７が半導体層１００Ｓを貫通するＦＴＩ構造を有する例（図６参照）を説明したが、画素分離部１１７はＦＴＩ構造以外の構成を有していてもよい。例えば、画素分離部１１７は、半導体層１００Ｓを完全に貫通するように設けられていなくてもよく、いわゆる、ＤＴＩ（Deep　Trench　Isolation）構造を有していてもよい。
＜９．実施の形態２＞
＜９．１　実施の形態２で解決しようとする課題＞
　しかしながら、画素５４１内のフローティングディフュージョンＦＤと画素回路２１０内の増幅トランジスタＡＭＰのゲートとの間をＦＤ配線ＦＤＬとして接続ビアで接続する。微細画素では、ＦＤ配線ＦＤＬの接続ビアの領域面積が４５％程度になる。その結果、画素回路２１０の有効領域が小さくなるため、増幅トランジスタＡＭＰの配置面積を拡張できない。
　また、ＦＤ配線ＦＤＬと増幅トランジスタＡＭＰのゲートとの間の容量や、ＦＤ配線ＦＤＬの接続ビアと並走する他の接続ビア、例えば、ＴＧ配線ＴＧＬやＶＳＳ配線ＶＳＳとの間の容量がフローティングディフュージョンＦＤの容量に重畳する。従って、ＦＤ容量が大きくなって、電荷－電圧の変換効率が低下して読出しノイズが低下できなくなる。
＜９．２　実施の形態２の概要＞
　そこで、撮像装置では、第１基板と、第２基板と、配線と、トレンチとを有する。第１基板は、フォトダイオードと、前記フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する。第２基板は、前記画素内の前記フローティングディフュージョンに保持された前記電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、前記第１基板に積層されている。配線は、前記第１基板と前記第２基板とを積層方向に貫通して、前記第１基板内のフローティングディフュージョンと前記第２基板の前記画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する。トレンチは、少なくとも前記第２基板に形成されて、前記配線と並走し、前記第２基板内の半導体層の厚さ以上の深さである。
　撮像装置では、第１基板内のフローティングディフュージョンと第２基板の画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する配線と並走し、第２基板内の半導体層の厚さ以上の深さにトレンチを第２基板内に形成した。その結果、配線の寄生容量を小さくして電荷－電圧の変換効率の向上を図る。
＜９．３　実施の形態２－１の具体例＞
＜９．３．１　実施の形態２－１の構成＞
　図３８は、実施の形態２－１の撮像装置１内の画素共有ユニット５３９の構成の一例を示す等価回路図である。撮像装置１は、第１基板１００と、第２基板２００と、第３基板３００とを積層する構造である。第１基板１００は、光電変換を行う画素５４１を有する。第２基板２００は、画素５４１から出力された電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路２１０Ａを有する。第３基板３００は、画素信号を検出する処理回路を有する。画素共有ユニット５３９は、画素５４１と、画素回路２１０Ａとを有する。画素５４１は、４個のフォトダイオードＰＤと、各フォトダイオードＰＤにて変換された電荷を転送する４個の転送トランジスタＴＲと、転送トランジスタＴＲにて転送された電荷を保持するフローティングディフュージョンＦＤとを有する。
　画素回路２１０Ａは、例えば、リセットトランジスタＲＳＴと、増幅トランジスタＡＭＰと、選択トランジスタＳＥＬと、電源線ＶＤＤと、垂直信号線（ＶＳＬ）５４３とを有する。リセットトランジスタＲＳＴは、フローティングディフュージョンＦＤの電位を所定の電位にリセットする。増幅トランジスタＡＭＰは、画素信号として、フローティングディフュージョンＦＤに保持された電荷のレベルに応じた電圧の信号を生成する。選択トランジスタＳＥＬは、増幅トランジスタＡＭＰのドレインと垂直信号線５４３との接続を制御する。第１基板１００のフローティングディフュージョンＦＤは、ＦＤ配線ＦＤＬで第２基板２００の画素回路２１０Ａ内の増幅トランジスタＡＭＰのゲートと電気的に接続する。
　垂直信号線５４３は、各画素回路２１０Ａと、第３基板３００に配置した処理回路内の列信号処理部５５０とを電気的に接続する。そして、列信号処理部５５０は、各画素回路２１０Ａから垂直信号線５４３に出現した画素信号を検出する。
　撮像装置１は、第１基板１００の画素５４１内のフローティングディフュージョンＦＤと第２基板２００の画素回路２１０Ａ内の増幅トランジスタＡＭＰのゲートとを接続するＦＤ配線ＦＤＬを有する。ＦＤ配線ＦＤＬは、第１基板１００と第２基板２００との間の接続ビアで形成する。撮像装置１は、ＦＤ配線ＦＤＬに並走して、第２基板２００から第１基板１００側に形成されたトレンチＴを有する。トレンチＴは、その内部に、例えば、導電性物質が埋め込まれた状態である。
　第２基板２００上の画素回路２１０Ａ内の増幅トランジスタＡＭＰのソースと、トレンチＴ内に埋め込まれた導電性物質から成るシールド配線ＳＬとを接続して同電位とする。ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬとの寄生容量は、(1-　(SF　gain)）倍に低減することで、ＦＤ配線ＦＤＬの容量を小さくして電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。
　図３９は、実施の形態２－１の第１基板１００と第２基板２００との積層構造の一例を示す断面模式図である。第１基板１００内の半導体層１００Ｓと第２基板２００との間の配線層１００Ｔは、例えば、ＳｉＯ２等で構成し、配線層１００Ｔを積層方向に貫通する貫通配線を有する。第１基板１００及び第２基板２００は、貫通配線によって互いに電気的に接続されている。
　貫通配線は、画素５４１内の転送トランジスタＴＲのゲート（転送ゲートＴＧ）と電気的に接続するＴＧ配線ＴＧＬと、画素回路２１０Ａ内の増幅トランジスタＡＭＰのゲートとフローティングディフュージョンＦＤの接続パッドとを接続するＦＤ配線ＦＤＬとを有する。配線層１００Ｔ内のＴＧ配線ＴＧＬとＦＤ配線ＦＤＬとの間にはトレンチＴが形成されている。尚、トレンチＴの深さは、第２基板２００のＳｉ基板の厚さ以上、かつ、第１基板１００に形成されたフローティングディフュージョンＦＤに影響を与えない範囲とする。トレンチＴ内に埋め込まれた、例えば、ドープポリシリコン（Doped　Polysilicon）や金属等の導電性材料でシールド配線ＳＬを形成する。
　図４０は、第１基板１００と第２基板２００との積層構造の一例を示す模式図である。配線層１００Ｔの表面(積層面)からシールド配線ＳＬ（トレンチＴ）を見た場合、シールド配線ＳＬは、ＦＤ配線ＦＤＬを中心に円状に配線層１００Ｔの積層面上に形成されている。つまり、ＦＤ配線ＦＤＬと並走するトレンチＴは、ＦＤ配線ＦＤＬと、ＦＤ配線ＦＤＬに並走するＴＧ配線ＴＧＬとが電気的に離間した状態で、配線装置１００Ｔの積層面上でＦＤ配線ＦＤＬが円形状で囲まれるように当該積層面に形成された。
＜９．３．２　実施の形態２－１の作用・効果＞
　実施の形態２－１の撮像装置１は、第１基板１００と第２基板２００との間を貫通接続するＦＤ配線ＦＤＬにシールド配線ＳＬを並走させた。更に、撮像装置１では、第２基板２００上の画素回路２１０Ａ内の増幅トランジスタＡＭＰのソースとシールド配線ＳＬとを電気的に接続して同電位とする。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬとの寄生容量は、(1-　(SF　gain)）倍に低減するため、ＦＤ配線ＦＤＬの容量を小さくして電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。また、１本のＦＤ配線ＦＤＬを２本のＴＧ配線ＴＧＬに並走させた場合でも、各ＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間、ＦＤ配線ＦＤＬと他のＦＤ配線ＦＤＬとの間にシールド配線ＳＬを配置した。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬの寄生容量を小さくすることで電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。
＜９．３．３　実施の形態２－１の変形例＞
　また、配線層１００Ｔの表面（積層面）からシールド配線ＳＬを見た場合に、シールド配線ＳＬは、ＦＤ配線ＦＤＬを中心にて円形状に構成する場合を例示したが、これに限定されるものではなく、適宜変更可能である。図４１は、第２基板２００の面上のトレンチＴ１の配置構成の一例を示す模式図、図５Ｘは、第２基板２００の面上のトレンチＴ２の配置構成の一例を示す模式図である。例えば、配線層１００Ｔの表面（積層面）からシールド配線ＳＬを見た場合に図４１に示す平行平板状のトレンチＴ１でも良く、また、図４２に示す矩形形状のトレンチＴ２にしても良く、適宜変更可能である。
　図４３は、第２基板２００の面上のトレンチＴ３の配置構成の一例を示す模式図である。また、ＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間に電気的に離間する位置にトレンチＴを配置すればよく、例えば、図４３に示すＦＤ配線ＦＤＬに対してＦＤ配線ＦＤＬの幅長よりも大きいトレンチＴ３を配置しても良い。図４４は、第２基板２００の面上のトレンチＴ４の配置構成の一例を示す模式図である。図４４に示すＦＤ配線ＦＤＬの対角線上にＴＧ配線ＴＧＬが配置された場合にＦＤ配線ＦＤＬの対角線上にあるＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間にトレンチＴ４を配置しても良く、適宜変更可能である。
　実施の形態２－１の撮像装置１では、導電性材料を埋め込んだトレンチＴのシールド配線ＳＬを配線層１００Ｔに形成する場合を例示した。しかしながら、トレンチＴ内に導電性材料を埋め込むことなく、空洞のトレンチＴをシールド配線ＳＬとして配線層１００Ｔに形成しても良く、適宜変更可能である。
　尚、選択中の画素５４１は、例えば、行方向に配置された１乃至複数個の画素５４１の内、行単位で選択された画素５４１を例示した。しかしながら、非選択中の画素５４１は、選択中の画素５４１以外の画素５４１であれば良く、適宜変更可能である。
　選択中の画素５４１は、行単位で選択された画素５４１を例示したが、例えば、列方向に配置された１乃至複数個の画素５４１の内、列単位で選択された画素５４１でも良く、適宜変更可能である。
　画素５４１は、例えば、２×２の計４個のフォトダイオードＰＤを含む構成としたが、４個に限定されるものではなく、１個以上であれば、適宜変更可能である。
＜９．４　実施の形態２－２の具体例＞
＜９．４．１　実施の形態２－２の構成＞
　実施の形態２－２の撮像装置１では、１本のＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間にトレンチＴを配置した場合を例示した。しかしながら、４本のＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間にトレンチＴを配置しても良く、その実施の形態につき、実施の形態２－２として以下に説明する。尚、実施の形態２－１と同一の構成には同一符号を付すことで、その重複する構成及び動作の説明については省略する。
　図４５は、実施の形態２－２の第１基板１００と第２基板２００との積層構造の一例を示す断面模式図である。配線層１００Ｔには、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と、第２のＦＤ配線ＦＤＬ２と、第１のＴＧ配線ＴＧＬ１と、第２のＴＧ配線ＴＧＬ２とを有する。
　配線層１００Ｔには、第１のトレンチＴ５１と、第２のトレンチＴ５２と、第３のトレンチＴ５３とを有する。第１のトレンチＴ５１は、第１のＴＧ配線ＴＧＬ１と第１のＦＤ配線ＦＤＬ１との間に形成され、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第１のＴＧ配線ＴＧＬ１とを電気的に離間する。第２のトレンチＴ５２は、第２のＴＧ配線ＴＧＬ２と第２のＦＤ配線ＦＤＬ２との間に形成され、第２のＴＧ配線ＴＧＬ２と第２のＦＤ配線ＦＤＬ２とを電気的に離間する。第３のトレンチＴ５３は、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第２のＦＤ配線ＦＤＬ２との間に形成され、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第２のＦＤ配線ＦＤＬ２とを電気的に離間する。
　図４６Ａは、第２基板２００の面上のトレンチＴ５の配置構成の一例を示す模式図である。配線層１００Ｔの表面（積層面）からトレンチＴ５を見た場合、図４６Ａに示すように、トレンチＴ５は、第１のトレンチＴ５１と、第２のトレンチＴ５２と、第３のトレンチＴ５３と、第４のトレンチＴ５４と、第５のトレンチＴ５５とを有する。第１のトレンチＴ５１は、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第１のＴＧ配線ＴＧＬ１との間を電気的に離間すると共に、第３のＦＤ配線ＦＤＬ３と第３のＴＧ配線ＴＧＬ３との間を電気的に離間する。第３のトレンチＴ５３は、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第２のＦＤ配線ＦＤＬ２との間を電気的に離間すると共に、第３のＦＤ配線ＦＤＬ３と第４のＦＤ配線ＦＤＬ４との間を電気的に離間する。第２のトレンチＴ５２は、第２のＦＤ配線ＦＤＬ２と第２のＴＧ配線ＴＧＬ２との間を電気的に離間すると共に、第４のＦＤ配線ＦＤＬ４と第４のＴＧ配線ＴＧＬ４との間を電気的に離間する。図４７は、トレンチＴ５の略断面形状の一例を示す模式図である。また、トレンチＴ５は、図４７に示すように、表面（第２基板２００）側の穴サイズを裏面（第１基板１００）側の穴サイズよりも大きくしても良く、適宜変更可能である。
　トレンチＴの配置構成は適宜変更可能であるが、図４６Ｂ～図４６Ｈのようにしても良い。図４６Ｂは、第２基板２００の面上のトレンチＴ１０の配置構成の一例を示す模式図である。図４６Ｂに示す第１のＦＤ配線ＦＤＬ１の各ＴＧ配線ＴＧＬ１～４との対角線上にＬ字状のトレンチＴ１０を配置しても良い。この場合、トレンチＴ１０は、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第１のＴＧ配線ＴＧＬ１との間、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第２のＴＧ配線ＴＧＬ２との間、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第３のＴＧ配線ＴＧＬ３との間、第１のＦＤ配線ＦＤＬ１と第４のＴＧ配線ＴＧＬ４との間を電気的に離間する。
　また、図４６Ｃは、第２基板２００の面上のトレンチＴ１１の配置構成の一例を示す模式図である。図４６Ｃに示すように各ＦＤ配線ＦＤＬ１～４を格子状にトレンチＴ１１で囲んでも良い。ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＦＤ配線ＦＤＬとの間、ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間する。また、図４６Ｄは、第２基板２００の面上のトレンチＴ１２の配置構成の一例を示す模式図である。図４６Ｄに示すようにＦＤ配線ＦＤＬ１～４を格子状にトレンチＴ１２で囲む。この際、トレンチＴ１２の十字状の交差部Ｔ１２Ａのシールドを省略した形状とする。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＦＤ配線ＦＤＬとの間、ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間することは勿論のこと、トレンチ加工時の交差部の加工深さが深くなるような事態を回避できる。
　図４６Ｅは、第２基板２００の面上のトレンチＴ１３の配置構成の一例を示す模式図である。図４６Ｅに示すトレンチＴ１３は、十字トレンチＴ１３１と、対角トレンチＴ１３２とを有する。十字トレンチＴ１３１は、隣接するＦＤ配線ＦＤＬ間を電気的に離間する。対角トレンチＴ１３２は、ＦＤ配線ＦＤＬと対角線上のＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間する。図４６Ｆは、第２基板２００の面上のトレンチＴ１４の配置構成の一例を示す模式図である。図４６Ｆに示すトレンチＴ１４は、十字トレンチＴ１４１と、対角トレンチＴ１４２とを有する。十字トレンチＴ１４１は、隣接するＦＤ配線ＦＤＬ間を電気的に離間する。対角トレンチＴ１４２は、ＦＤ配線ＦＤＬと対角線上のＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間する。
　図４６Ｇは、第２基板２００の面上のトレンチＴ１５の配置構成の一例を示す模式図である。図４６Ｇに示すトレンチＴ１５は、十字トレンチＴ１５１と、対角トレンチＴ１５２とを有する。十字トレンチＴ１５１は、隣接するＦＤ配線ＦＤＬ間を電気的に離間する。対角トレンチＴ１５２は、ＦＤ配線ＦＤＬと対角線上のＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間する。この際、十字トレンチＴ１５１の十字状の交差部Ｔ１５１Ａのシールドを省略した形状とする。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＦＤ配線ＦＤＬとの間、ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間することは勿論のこと、トレンチ加工時の交差部Ｔ１５１Ａの加工深さが深くなるような事態を回避できる。
　図４６Ｈは、第２基板２００の面上のトレンチＴ１６の配置構成の一例を示す模式図である。図４６Ｈに示すトレンチＴ１６は、十字トレンチＴ１６１と、対角トレンチＴ１６２とを有する。十字トレンチＴ１６１は、隣接するＦＤ配線ＦＤＬ間を電気的に離間する。対角トレンチＴ１６２は、ＦＤ配線ＦＤＬと対角線上のＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間する。この際、十字トレンチＴ１６１の十字状の交差部Ｔ１６１Ａのシールドを省略した形状とする。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＦＤ配線ＦＤＬとの間、ＦＤ配線ＦＤＬと隣接するＴＧ配線ＴＧＬとの間を電気的に離間することは勿論のこと、トレンチ加工時の交差部Ｔ１６１Ａの加工深さが深くなるような事態を回避できる。
＜９．４．２　実施の形態２－２の作用・効果＞
　４本のＦＤ配線ＦＤＬ１～ＦＤＬ４が４本のＴＧ配線ＴＧＬ１～ＴＧＬ４と並走した場合でも、各ＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間、ＦＤ配線ＦＤＬと他のＦＤ配線ＦＤＬとの間を電気的に離間するトレンチＴ５を配置した。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬの容量を小さくして電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。
　実施の形態２－１の撮像装置１では、導電性材料を埋め込んだトレンチＴで構成するシールド配線ＳＬを配線層１００Ｔに配置する場合を例示した。しかしながら、トレンチＴ内に埋め込む材料として導電性材料に限定されるものではなく、例えば、気体でも良く、その実施の形態につき、実施の形態２－３として以下に説明する。
＜９．５　実施の形態２－３の具体例＞
＜９．５．１　実施の形態２－３の構成＞
　図４８Ａは、実施の形態２－３の撮像装置１内の画素共有ユニット５３９の構成の一例を示す等価回路図、図４９は、実施の形態２－３の第１基板１００と第２基板２００との積層構造の一例を示す断面模式図である。撮像装置１は、第１基板１００内の半導体層１００Ｓと第２基板２００との間の配線層１００Ｔを貫通接続するＦＤ配線ＦＤＬと、第２基板２００から第１基板１００側に形成されたＦＤ配線ＦＤＬに並走するトレンチＴ６とを有する。
　トレンチＴ６は、例えば、Air(1.00054),　N2(1.00057)、He(1.00052)やAr(1.00007)等の比誘電率(εs)の低い気体を満たして封止することでシールド配線ＳＬ１を形成する。SiO2の比誘電率(3.9)に対し、比誘電率の低いAir　Gapを用いることでＦＤ容量を小さくして電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。
　実施の形態２－３の撮像装置１では、ＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間に比誘電率の低い気体が満たされたトレンチＴ６を配置したので、ＦＤ配線ＦＤＬの寄生容量を小さくして電荷－電圧の変換効率の向上を図る。
　尚、トレンチＴ６は、低誘電率ガスで封止する場合を例示したが、低誘電率（Low-k）の絶縁膜材料で満たしても良く、適宜変更可能である。
　また、トレンチＴ６の深さは、第２基板２００内のＳｉＯ２よりも深く、第１基板１００上のフローティングディフュージョンＦＤに影響を与えない範囲の深さとする場合を例示した。しかしながら、これに限定されるものではなく、シールド配線ＳＬに比較して、図４９に示すシールド配線ＳＬ１のトレンチＴ６の深さにしても良く、適宜変更可能である。また、配線層１００Ｔは、例えば、ＳｉＯ２を例示したが、例えば、ＳｉＯ２より低誘電率（Low-k）の絶縁膜材料でも良く、適宜変更可能である。
＜９．５．２　実施の形態２－３の作用・効果＞
　実施の形態２－３の撮像装置１では、１本のＦＤ配線ＦＤＬが２本のＴＧ配線ＴＧＬに並走した場合でも、各ＦＤ配線ＦＤＬとＴＧ配線ＴＧＬとの間、ＦＤ配線ＦＤＬと他のＦＤ配線ＦＤＬとの間を電気的に離間するシールド配線ＳＬ１を配置した。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬの寄生容量を小さくすることで電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。
　図４８Ｂは、実施の形態２－３の撮像装置内の画素共有ユニットの構成の他の一例を示す等価回路図である。
　図４８Ｂの画素共有ユニットが図４８Ａの画素共有ユニットと異なる点は、増幅トランジスタＡＭＰのバックゲートを当該増幅トランジスタＡＭＰのソースと接続した点である。
　これによれば、増幅トランジスタＡＭＰのゲート－ソース間電圧Ｖｇｓが低くなるため、垂直信号線（列読出し線）５４３に現れるリセットレベルの電位が高くなる。
　ところで、垂直信号線（列読出し線）５４３の信号電位レベルの下限は、列信号処理部５５０に含まれる負荷回路で決まるとすると、増幅トランジスタＡＭＰのバックゲートとソースとを接続することにより、垂直信号線（列読出し線）５４３において取り扱い可能な信号（画素信号）の振幅を大きくとることが可能となり、検出精度の向上を図ることが可能となる。
＜１０．実施の形態３＞
＜１０．１　実施の形態３で解決しようとする課題＞
　例えば、フォトダイオードＰＤの光電変換により得られた電荷をＱｐ、フローティングディフュージョンＦＤのＦＤ容量をＣｆｄ、ソースフォロア回路のゲインをＧｓｆとする。この場合、ソースフォロア出力電圧Ｖｓｆは、Ｖｓｆ＝Ｇｓｆ＊Ｑｐ／Ｃｆｄで算出されることになる。そこで、同じ光量で大きい出力電圧を得られた方がＳ／Ｎ（Signal/Noise）比が良くなる。しかしながら、ＦＤ容量（Ｃｆｄ）が大きくなると、ソースフォロア出力電圧（Ｖｓｆ）が小さくなる。そこで、ソースフォロア回路のゲイン（Ｇｓｆ）を高くしてソースフォロア出力電圧（Ｖｓｆ）を大きくできる。しかしながら、ＦＤ容量（Ｃｆｄ）の寄生容量の影響は大きく、寄生容量の低下が求められている。
＜１０．２　実施の形態３の概要＞
　そこで、撮像装置は、第１基板と、第２基板と、配線と、シールド配線とを有する。第１基板は、フォトダイオードと、前記フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する。第２基板は、前記画素内の前記フローティングディフュージョンに保持された前記電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、前記第１基板に積層されている。配線は、前記第１基板内のフローティングディフュージョンと前記第２基板の前記画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する、前記第１基板及び前記第２基板に形成されている。シールド配線は、前記画素回路のウェル層と前記画素回路内の増幅トランジスタのウェル層との間を電気的に分離した状態で、前記増幅トランジスタのゲートと当該増幅トランジスタのソースとの間を電気的に接続して、前記配線と並走しながら、当該配線をシールドする。
　撮像装置では、画素回路のウェル層と増幅トランジスタのウェル層との間を電気的に分離した状態で、増幅トランジスタのゲートと増幅トランジスタのソースとの間を電気的に接続するシールド配線で配線を並走してシールドする。つまり、増幅トランジスタのソースと増幅トランジスタのウェル層とを接続して同電位とすることで基板バイアス効果をなくし、フローティングディフュージョン振幅と増幅トランジスタのソース振幅とのゲインを１とする。更に、増幅トランジスタのソース電位を引き出すシールド配線を配線の周囲に配置することで、フローティングディフュージョンにカップリングする配線がフローティングディフュージョンと同振幅で動くようにする。その結果、配線カップリング容量が低下するため、フローティングディフュージョンの容量を小さくして電荷－電圧の変換効率が向上する。
　つまり、撮像装置では、配線の寄生抵抗によるフローティングディフュージョンの容量を小さくすることで電荷－電圧の変換効率の向上を図る。更に、シールド配線で隣接配線との間のクロストークを抑制できる。
＜１０．３　実施の形態３－１の具体例＞
＜１０．３．１　実施の形態３－１の構成＞
　図５０Ａは、実施の形態３－１の第２基板２００の複数の画素回路２１０Ｂの構成の一例を示す等価回路図である。第２基板２００は、全画素共通の共通ｐウェル層２５０と、画素５４１毎の増幅トランジスタＡＭＰの独立ｐウェル層２５１とで構成し、共通ｐウェル層２５０と独立ｐウェル層２５１との間をフルトレンチ（ＦＴＩ）Ｔ７で電気的に分離している。
　共通ｐウェル層２５０は、各画素回路２１０Ｂ内のリセットトランジスタＲＳＴ及び選択トランジスタＳＥＬが形成されている。共通ｐウェル層２５０は、ＧＮＤ電位に接続されているので、リセットトランジスタＲＳＴ及び選択トランジスタＳＥＬのバックゲートがＧＮＤ電位に固定されているものとする。
　これに対して、独立ｐウェル層２５１は、画素回路２１０Ｂ内の増幅トランジスタＡＭＰが形成されている。独立ｐウェル層２５１は、増幅トランジスタＡＭＰのソースに接続されているので、独立ｐウェル層２５１の電位は、増幅トランジスタＡＭＰのソース電位に追従して変化する。つまり、増幅トランジスタＡＭＰのバックゲートとソース電位とが同電位となるため、ソースフォロア回路のゲインが１となる。
　例えば、増幅トランジスタＡＭＰのバックゲートがＧＮＤ電位に固定されている場合、増幅トランジスタＡＭＰのソース電位の変動に応じて基板バイアス効果が発生し、ソースフォロア回路のゲインは０．８５付近の値となる。その結果、独立ｐウェル層２５１は、増幅トランジスタＡＭＰのソース電位と追従するため、ソースフォロア回路のゲインが１７％アップすることでソースフォロア出力電圧（Ｖｓｆ）の１７％アップにつながる。
　ところで、垂直信号線（列読出し線）５４３には、それぞれ列信号処理部５５０が接続されており、垂直信号線（列読出し線）５４３を介して画素信号が読み出されることとなっている。
　ここで、列信号処理部５５０の構成について説明する。
　図５０Ｂは、第１態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。
　列信号処理部５５０は、例えば、定電圧源として構成される基準信号発生部５５１と、基準信号発生部５５１から入力される基準信号に基づいてＡＤ変換を行うＡＤ変換器５５２と、電流源として構成される負荷回路ＬＤと、を備えており、垂直信号線（列読み出し線）５４３の電圧に応じた画素データとしてのＡＤ変換出力ＡＤＣＯＵＴを出力するようになっている。
　上記構成によれば、読み出された画素信号をデジタルデータに変換して出力することができる。
　図５０Ｃは、第２態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。
　第２態様の列信号処理部５５０は、シングルスロープＡＤＣを用いて構成されている。
　列信号処理部５５０は、例えば、ＲＡＭＰ波形を生成して出力するＲＡＭＰ発生回路５５３と、垂直信号線（列読出し線）５４３を介して読み出された画素信号の電圧とＲＡＭＰ波形の電圧を比較して比較結果信号を出力する比較器５５４と、比較器５５４の比較結果信号のレベルが、例えば、“Ｈ”レベルである場合にカウントアップを行うカウンタ５５５と、カウンタ５５５のカウント値を所定時間毎に取り込んで垂直信号線（列読み出し線）５４３の電圧に応じた画素データとしてのＡＤ変換出力ＡＤＣＯＵＴを出力するラッチ５５６と、を備えている。
　上記構成によっても、読み出された画素信号をデジタルデータに変換して出力することができる。
　ここで、上述した比較器５５４の回路構成例について説明する。
　図５０Ｄは、比較器の第１構成例の説明図である。
　比較器５５４は、図５０Ｄに示すように、Ｐ型のＭＯＳ（ＰＭＯＳ）トランジスタＰＴ１１、ＰＴ１２、Ｎ型のＭＯＳ（ＮＭＯＳ）トランジスタＮＴ１１、ＮＴ１２、キャパシタＣ１１、Ｃ１２及びスイッチＳＷ１１、ＳＷ１２を備えている。
　上記構成において、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ１１のソースおよびＰＭＯＳトランジスタＰＴ１２のソースは、高電位側電源ＶＤＤに接続されている。
　ＰＭＯＳトランジスタＰＴ１１のドレインは、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ１１のドレインに接続されている。
　また、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ１１のドレインとゲートが接続され、その接続点がＰＭＯＳトランジスタ１２のゲートに接続されている。
　ＰＭＯＳトランジスタＰＴ１２のドレインは、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ１２のドレインに接続され、その接続点が出力端子ＯＵＴ１とされている。
　ＮＭＯＳトランジスタＮＴ１１とＮＭＯＳトランジスタＮＴ１２のソース同士が接続され、その接続点がＮＭＯＳトランジスタＮＴ１３のドレインに接続されている。
　さらにＮＭＯＳトランジスタＮＴ１３のドレインは、低電位側電源ＧＮＤに接続されている。
　また、キャパシタＣ１１は、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ１１のゲートが一方の端子に接続され、他方の端子がＲＡＭＰ信号が入力される入力端子とされている。
　さらにＮＭＯＳトランジスタＮＴ１２のゲートがキャパシタＣ１２の一方の端子に接続され、他方の端子が、画素信号ＶＳＬが入力される入力端子とされている。
　これらの結果、比較器５５４は、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ１１，ＰＴ１２によりカレントミラー回路が構成され、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ１１，ＮＴ１２によりＮＭＯＳトランジスタＮＴ１３を電流源とする差動比較回路として動作することとなる。
　図５０Ｅは、比較器の第２構成例の説明図である。
　比較器５５４は、図５０Ｅに示すように、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２１～ＰＴ２３、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ２１、ＮＴ２２、キャパシタＣ２１～Ｃ２３及びスイッチＳＷ２１、ＳＷ２２を備えている。
　上記構成において、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ２１のソース及びＮＭＯＳトランジスタＮＴ２２のソースは、低電位側電源ＧＮＤに接続されている。
　ＮＭＯＳトランジスタＮＴ２２のドレインは、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ２２のゲート及びＰＭＯＳトランジスタＰＴ２２のドレインに接続されている。
　ＮＭＯＳトランジスタＮＴ２２のドレインは、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２３のドレイン及び出力端子ＯＵＴ１に接続されている。
　ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２２のソースは、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２３のソース及びＰＭＯＳトランジスタＰＴ２１のドレインに接続されている。ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２１のソースは高電位側電源ＶＤＤに接続されている。
　そして、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ２１及びＮＭＯＳトランジスタＮＴ２２によりカレントミラー回路が構成されている。
　さらにキャパシタＣ２１の一方の端子には、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２２のゲートが接続され、他方の端子が画素信号ＶＳＬが入力される入力端子とされている。
　また、キャパシタＣ２２の一方の端子には、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２２のゲートが接続され、他方の端子がＲＡＭＰ信号が入力される入力端子とされている。
　そして、これらのキャパシタＣ２１及びＣ２２は、入力容量として機能している。
　これらの結果、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ２１～ＰＴ２３により、差動比較回路が構成され、回路全体として比較器として機能している。
　図５０Ｆは、比較器の第３構成例の説明図である。
　比較器５５４は、図５０Ｆに示すように、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ３１、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ３１、ＮＴ３２、キャパシタＣ３１、Ｃ３２及びスイッチＳＷ３１を備えている。
　上記構成において、ＮＭＯＳトランジスタＮＴ３１のドレインは、高電位側電源ＶＤＤに接続され、ソースは、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ３１のソースに接続されている。
　ＰＭＯＳトランジスタＰＴ３１のドレインは、ＮＭＯＳトランジスタＰＴ３２のドレイン及び出力端子ＯＵＴ１に接続されている。
　ＮＭＯＳトランジスタＰＴ３２のソースは、低電位側電源ＧＮＤに接続されている。
　さらにＰＭＯＳトランジスタＰＴ３１のゲート－ドレイン端子間には、スイッチＳＷ３１が接続されている。
　また、キャパシタＣ３１の一方の端子には、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ３１のゲートが接続され、他方の端子が画素信号ＶＳＬが入力される入力端子とされている。
　また、キャパシタＣ３２の一方の端子には、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ３１のゲートが接続され、他方の端子がＲＡＭＰ信号が入力される入力端子とされている。
　そして、これらのキャパシタＣ３１及びＣ３２は、入力容量として機能している。
　これらの結果、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ３１及びＮＭＯＳトランジスタＮＴ３１、ＮＴ３２の分圧比により、比較回路が構成され、回路全体として比較器として機能している。
　次に第３態様の列信号処理部について説明する。
　図５０Ｇは、第３態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。
　本第３態様の列信号処理部５５０は、例えば、ＲＡＭＰ波形を生成して出力するＲＡＭＰ発生回路５５７と、垂直信号線（列読出し線）５４３を介して読み出された画素信号の電圧とＲＡＭＰ波形の電圧を比較して比較結果信号を出力する比較器５５８と、比較器５５８の比較結果信号のレベルが、例えば、“Ｈ”レベルである場合にカウントアップを行うカウンタ５５９と、カウンタ５５９のカウント値を所定時間毎に取り込んで垂直信号線（列読み出し線）５４３の電圧に応じた画素データとしてのＡＤ変換出力ＡＤＣＯＵＴを出力するラッチ５６０と、を備えている。
　本第３態様の列信号処理部５５０においては、負荷回路ＬＤに起因して発生する電流が、比較器５５８を介して垂直信号線（列読出し線）５４３に接続されており、負荷回路ＬＤを流れる電流によって画素を構成している増幅トランジスタＡＭＰ及び比較器５５８に同時にバイアス電流が与えられる構成を採っているため、消費電流の削減が図れる。
　図５０Ｈは、第３態様の比較器の構成例の説明図である。
　比較器５５８は、図５０Ｈに示すように、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ４１、キャパシタＣ４１、スイッチＳＷ４１及び負荷回路ＬＤを備えている。
　上記構成において、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ４１のソースは、画素信号ＶＳＬが入力される入力端子とされ、ドレインは、負荷回路ＬＤ及び出力端子ＯＵＴ１に接続されている。
　さらにＰＭＯＳトランジスタＰＴ４１のゲート－ドレイン端子間には、スイッチＳＷ４１が接続されている。
　キャパシタＣ４１の一方の端子は、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ４１のゲートに接続され、他方の端子は、ＲＡＭＰ信号が入力される入力端子とされている。
　そして、キャパシタＣ４１は、入力容量として機能している。
　これらの結果、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ４１のゲート－ソース間電圧に応じた出力信号を出力する比較回路が構成され、回路全体として比較器として機能することとなる。
　次に第４態様の列信号処理部について説明する。
　図５０Ｉは、第４態様の列信号処理部の概要構成ブロック図である。
　本第４態様の列信号処理部５５０は、負荷回路ＬＤと、負荷回路ＬＤに起因して発生する電流を垂直信号線（列読出し線）５４３に接続する前置回路５６１と、例えば、定電圧源として構成される基準信号発生部５６２と、基準信号発生部５６２から入力される基準信号に基づいてＡＤ変換を行うＡＤ変換器５６３と、を備えている。
　ここで、前置回路５６１の構成例について説明する。
　図５０Ｊは、前置回路の構成例の説明図である。
　前置回路５６１は、図５０Ｊに示すように、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ５１、キャパシタＣ５１、Ｃ５２及び負荷回路ＬＤを備えている。
　上記構成において、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ５１のソースは、画素信号ＶＳＬが入力される入力端子とされ、ドレインは、負荷回路ＬＤ及び出力端子ＯＵＴ１に接続されている。
　さらにＰＭＯＳトランジスタＰＴ４１のゲート－ドレイン端子間には、キャパシタＣ５２が接続されている。このキャパシタＣ５２は帰還容量として機能している。
　また、キャパシタＣ５１は、基準容量として機能し、キャパシタＣ５１の一方の端子は、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ４１のゲートに接続され、他方の端子は、低電位側電源ＧＮＤに接続されている。
　この前置回路５６１は、電流リユースカラムアンプ（ＣＲＣＡ：Current　Reuse　Column　Amp）として構成されている。
　上記構成によれば、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ５１のソースに入力される画素信号ＶＳＬに応じて、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ５１のゲート－ソース間電圧が変動し、ＰＭＯＳトランジスタＰＴ５１のドレイン電流が変化する。このドレイン電流に応じた出力電圧ＶｏｕｔがＰＭＯＳトランジスタＰＴ５１のドレインを介して、出力端子ＯＵＴ１から出力される。
　以上の説明のように、前置回路５６１は、実効的に画素信号ＶＳＬに応じた出力信号を出力する比較回路として機能し、回路全体として増幅器として機能することとなる。
　図５１は、実施の形態３－１の第１基板１００と第２基板２００との積層構造の一例を示す断面模式図である。第１基板１００は、フォトダイオードＰＤと、転送トランジスタＴＲと、フローティングディフュージョンＦＤとを有する。第２基板２００上の画素回路２１０Ｂは、リセットトランジスタＲＳＴと、増幅トランジスタＡＭＰと、選択トランジスタＳＥＬと、ＦＤ配線ＦＤＬとを有する。第１基板１００上の複数枚の層（Ｍ１～Ｍ３）を含む配線層１００Ｔと、第２基板２００上の複数枚（ＭＰ～Ｍ１）の層を含む配線層２００Ｔとの間をCupper-Cupper接合ＣＣで接続する。
　配線層１００Ｔ、２００Ｔは、第１基板１００から第２基板２００まで貫通し、第１基板１００上の画素５４１毎のフローティングディフュージョンＦＤと第２基板２００上の画素回路２１０Ｂ内の増幅トランジスタＡＭＰとを接続するＦＤ配線ＦＤＬを配置している。
　第２基板２００上の独立ｐウェル層２５１の画素５４１毎の増幅トランジスタＡＭＰは、フルトレンチＴ７で共通ｐウェル層２５０と電気的に分離している。増幅トランジスタＡＭＰのゲートは、ＦＤ配線ＦＤＬと接続し、増幅トランジスタＡＭＰのドレインは独立ｐウェル層２５１と接続し、増幅トランジスタＡＭＰのソースは選択トランジスタＳＥＬのドレインと接続することになる。また、増幅トランジスタＡＭＰのソースは、ＦＤ配線ＦＤＬと並走して配線層１００Ｔ及び配線層２００Ｔ内の各層と接続するシールド配線ＳＬ２と電気的に接続する。
　シールド配線ＳＬ２は、増幅トランジスタＡＭＰのソース電位（＝増幅トランジスタＡＭＰのバックゲート電位）の配線である。シールド配線ＳＬ２は、ＦＤ配線ＦＤＬを覆うように配置されている。シールド配線ＳＬ２は、フローティングディフュージョンＦＤと増幅トランジスタＡＭＰのソースとのカップリング容量が大きく、かつ、フローティングディフュージョンＦＤとフローティングディフュージョンＦＤ以外の配線とのカップリング容量が極力小さくなるように配置する。シールド配線ＳＬ２は、第１基板１００の配線層１００Ｔと第２基板２００の配線層２００Ｔとの間の接合部ＣＣを介して配線層２００Ｔから配線層１００Ｔまで延伸し、ＦＤ配線ＦＤＬを覆うようにシールド配置されている。
　独立ｐウェル層２５１は、増幅トランジスタＡＭＰのソースに接続されているので、独立ｐウェル層２５１の電位は、増幅トランジスタＡＭＰのソース電位に追従して変化する。つまり、増幅トランジスタＡＭＰのバックゲートとソース電位とが同電位となるため、ソースフォロア回路のゲインが１となる。増幅トランジスタＡＭＰのゲート電位振幅とソース電位振幅とが等しくなる。すなわち、ＦＤ配線ＦＤＬのフローティングディフュージョンＦＤ電位の変化量に追従してシールド配線ＳＬ２の電位も変化する。従って、ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬ２との間で電荷の異動は発生せず、両者間の容量値は低下する。その結果、ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬ２とのカップリングが大きくても、実際の読み出し動作時のフローティングディフュージョンＦＤの容量としては無視できる。そして、ＦＤ配線ＦＤＬと他の配線とのカップリングが極力小さくなるように配置したので、フローティングディフュージョンＦＤの容量は小さい値となる。すなわちフローティングディフュージョンＦＤ容量の寄生容量が小さくなるため、ソースフォロア出力電圧Ｖｓｆを大きくできる。
　また、隣接する画素５４１毎のＦＤ配線ＦＤＬ間にシールド配線ＳＬ２が配置されたので、シールド配線ＳＬ２で各ＦＤ配線ＦＤＬをシールドできる。その結果、隣接するＦＤ配線ＦＤＬ間のクロストークの発生を抑制できる。
　このノードの電位でＦＤ配線ＦＤＬの周りをシールドすれば、フローティングディフュージョンＦＤの電位と同振幅で追従するので、配線間容量が零に見えるので、ＦＤ容量が低減できる。
　画素５４１毎の増幅トランジスタＡＭＰの独立ｐウェル層２５１をフルトレンチＴ７で分離した状態で、増幅トランジスタＡＭＰのソースと独立ｐウェル層２５１とを接続して同電位とした。その結果、基板バイアス効果をなくし、フローティングディフュージョンＦＤ電位の振幅と増幅トランジスタＡＭＰのソース電位振幅とのゲインを１とする。
　増幅トランジスタＡＭＰのソース電位を引き出したシールド配線ＳＬ２でＦＤ配線ＦＤＬの周囲を覆うため、フローティングディフュージョンＦＤにカップリングする配線がフローティングディフュージョンＦＤと同振幅で動くようにする。その結果、配線カップリング容量が零に見えるので、フローティングディフュージョンＦＤ容量を小さくして電荷－電圧の変換効率の向上を図ることができる。
　図５２は、画素回路２１０Ｂの平面構成の一例を示す模式図である。画素回路２１０Ｂは、共通ｐウェル層２５０と独立ｐウェル層２５１とをフルトレンチＴ７で電気的に分離した状態で、共通ｐウェル層２５０にリセットトランジスタＲＳＴ及び選択トランジスタＳＥＬを配置し、独立ｐウェル層２５１に増幅トランジスタＡＭＰを配置する。尚、リセットトランジスタＲＳＴ及び選択トランジスタＳＥＬの共通ｐウェル層２５０はＧＮＤ電位に固定されている。
　図５３は、図５２に示した画素回路２１０Ｂの表面にＦＤ配線ＦＤＬ及びシールド配線ＳＬ２を重ねた平面構成の一例を示す模式図である。ＦＤ配線ＦＤＬは、画素５４１内のフローティングディフュージョンＦＤと、増幅トランジスタＡＭＰのゲートと、リセットトランジスタＲＳＴのソースとを電気的に接続する。更に、シールド配線ＳＬ２は、増幅トランジスタＡＭＰのソースと選択トランジスタＳＥＬのドレインとを電気的に接続すると共に、独立ｐウェル層２５１と増幅トランジスタＡＭＰのソースとを電気的に接続する。増幅トランジスタＡＭＰのソース電位に電気的に接続するシールド配線ＳＬ２は、ＦＤ配線ＦＤＬの周囲を覆うように配置され、両者のカップリングが大きくなるようにレイアウトされている。
＜１０．３．２　実施の形態３－１の作用・効果＞
　撮像装置１では、共通ｐウェル層２５０と増幅トランジスタＡＭＰの独立ｐウェル層２５１との間を電気的に分離し、増幅トランジスタＡＭＰのゲートと増幅トランジスタＡＭＰのソースとの間を接続するシールド配線ＳＬ２でＦＤ配線ＦＤＬをシールドする。つまり、増幅トランジスタＡＭＰのソースと増幅トランジスタＡＭＰの独立ｐウェル層２５１とを接続して同電位とすることで基板バイアス効果をなくし、フローティングディフュージョンＦＤ振幅と増幅トランジスタＡＭＰのソース振幅とのゲインを１とする。更に、増幅トランジスタＡＭＰのソース電位を引き出すシールド配線ＳＬ２をＦＤ配線ＦＤＬの周囲に配置することで、フローティングディフュージョンＦＤにカップリングする配線がフローティングディフュージョンＦＤと同振幅で動くようにする。その結果、配線カップリング容量が低下するため、ＦＤ容量を小さくして電荷－電圧の変換効率が向上する。
　つまり、撮像装置１では、ＦＤ配線ＦＤＬの寄生抵抗によるＦＤ容量の容量を小さくすることで電荷－電圧の変換効率の向上を図る。更に、シールド配線ＳＬ２で隣接フローティングディフュージョンＦＤ間のクロストークを抑制できる。
　尚、実施の形態３－１では、増幅トランジスタＡＭＰのｐウェル層を個別に分離するための構造として、フルトレンチ分離を利用した例を示したが、これに限らず、ｐウェル層を個別分離できれば他の手段でも構わない。
　シールド配線ＳＬ２は、第２基板２００内の増幅トランジスタＡＭＰと第１基板１００内のフローティングディフュージョンＦＤとの間を接続するＦＤ配線ＦＤＬの内、第２基板２００及び第１基板１００を通過するＦＤ配線ＦＤＬの部分をシールドした。ＦＤ配線ＦＤＬの内、第１基板１００の配線層１００Ｔ及び第２基板２００の配線層２００Ｔを通過するＦＤ配線ＦＤＬの部分をシールドした。しかしながら、シールド配線ＳＬ２は、ＦＤ配線ＦＤＬの内、第２基板２００の配線層２００Ｔを通過するＦＤＬ配線ＦＤＬの部分をシールドしても良く、その実施の形態につき、実施の形態３－２として以下に説明する。
＜１０．４　実施の形態３－２の具体例＞
＜１０．４．１　実施の形態３－２の構成＞
　図５４は、実施の形態３－２の第１基板１００と第２基板２００との積層構造の一例を示す断面模式図である。実施の形態３－２では、例えば、画素サイズが縮小した場合、配線層１００Ｔと配線層２００Ｔとの間の接合部ＣＣの配置数に制約が生まれた場合の例である。配線層１００Ｔ及び配線層２００Ｔは、第１基板１００側から第２基板２００へ貫通するＦＤ配線ＦＤＬを有する。ＦＤ配線ＦＤＬは、第１基板１００のフローティングディフュージョンＦＤと、第２基板２００上の画素回路２１０内の増幅トランジスタＡＭＰのゲートとを電気的に接続する。シールド配線ＳＬ２は、ＦＤ配線ＦＤＬの内、第２基板２００内の配線層２００Ｔを通過するＦＤＬ配線ＦＤＬの部分をシールドする。
＜１０．４．２　実施の形態３－２の作用・効果＞
　画素５４１のサイズの縮小で接合部ＣＣの配置数に制約が生じた場合、シールド配線ＳＬ２は、第２基板２００側の配線層２００ＴにあるＦＤ配線ＦＤＬのみのシールドにとどめる。例えば、１画素に１個しか接合部ＣＣを配置できない場合、ＦＤ配線ＦＤＬは配線層１００Ｔ及び配線層２００Ｔを貫通させて接続できるが、増幅トランジスタＡＭＰのソース電位は、第１基板１００側の配線層１００Ｔまで延伸させることは不可能になる。この場合、第２基板２００内の配線層２００Ｔのみで、ＦＤ配線ＦＤＬを覆うようにシールド配線ＳＬ２を配置する。その結果、第１基板１００側で配線層１００ＴのフローティングディフュージョンＦＤ容量の低減の効果は得られず、実施の形態３－１に比べると、ＦＤ容量が少し大きくなってしまう。しかしながら、第２基板２００側の配線層２００ＴでのＦＤ容量の低減効果は得ることができる。画素縮小にも対応できる。
＜１０．５　実施の形態３－３の具体例＞
＜１０．５．１　実施の形態３－３の構成＞
　図５５は、実施の形態３－３の第２基板２００の複数の画素回路２１０Ｃ及び２１０Ｄの構成の一例を示す等価回路図である。画素回路２１０Ｃは、列方向に隣接する複数の画素回路５４１の増幅トランジスタＡＭＰ群を配置する独立ｐウェル層２５１Ａと、列方向に隣接するリセットトランジスタＲＳＴ及び選択トランジスタＳＥＬ群を配置する共通ｐウェル層２５０とをフルトレンチＴ８で電気的に分離する。また、画素回路２１０Ｄは、画素回路２１０Ｃと異なる行である。そして、画素回路２１０Ｄは、列方向に隣接する複数の画素の増幅トランジスタＡＭＰ群を配置する独立ｐウェル層２５１Ａと、列方向に隣接するリセットトランジスタＲＳＴ及び選択トランジスタＳＥＬ群を配置する共通ｐウェル層２５０とをフルトレンチＴ８で電気的に分離する。
　同時に読み出す増幅トランジスタＡＭＰは行方向に隣接する増幅トランジスタＡＭＰである。従って、画素５４１を行単位で順次読み出す場合、増幅トランジスタＡＭＰが画素信号を読み出している間、同時に、列方向に隣接する増幅トランジスタＡＭＰの画素信号を読み出すことはない。従って、行方向に隣接する増幅トランジスタＡＭＰの独立ｐウェル層２５１Ａは分離した状態で、列方向に隣接する増幅トランジスタＡＭＰの独立ｐウェル層２５１Ａを共通化する。つまり、列方向に隣接する増幅トランジスタＡＭＰ群のウェル層電位は共通、次行の列方向に隣接する増幅トランジスタＡＭＰ群のウェル層電位も共通となる。
　従って、画素回路２１０Ｃ１の増幅トランジスタＡＭＰが画素信号を読み出している間は、この列の画素回路２１０Ｃ２及び２１０Ｃ３の増幅トランジスタＡＭＰ群のウェル層電位が画素回路２１０Ｃ１の増幅トランジスタＡＭＰのソース電位と同電位となる。更に、画素回路２１０Ｃ２及び２１０Ｃ３の増幅トランジスタＡＭＰのウェル層電位も画素回路２１０Ｃ１の増幅トランジスタＡＭＰのソース電位と同電位となる。しかしながら、列方向に隣接する他の画素回路２１０Ｃ２及び２１０Ｃ３の増幅トランジスタＡＭＰは、非読出し期間となるため、選択トランジスタＳＥＬがオフされており、増幅回路として動作しないので、特に影響を受けることはない。
　画素５４１を行単位で順次読み出す場合、例えば、画素回路２１０Ｃ１の増幅トランジスタＡＭＰと同時に読み出されるのは、行方向に隣接する画素回路２１０Ｄ１の増幅トランジスタＡＭＰと言える。従って、画素信号量によって画素回路２１０Ｃ１の増幅トランジスタＡＭＰのウェル層電位と、行方向に隣接する画素回路２１０Ｄ１の増幅トランジスタＡＭＰのウェル層電位とは異なる電位となるため、両者のウェル層は分離する必要がある。すなわち、同時に読み出される画素５４１同士のウェル層は分離する必要があるが、同時に読まれることがない画素５４１同士のウェル層は共通にしておいても問題ない。
＜１０．５．２　実施の形態３－３の作用・効果＞
　従って、画素５４１の縮小化等により１画素ずつ独立でｐウェル層を分離することが不可能な場合でも、行方向にだけ分離することで、実施例２－２と同様の効果を得ることができる。
＜１０．６　実施の形態３－４の具体例＞
＜１０．６．１　実施の形態３－４の構成＞
　実施の形態３－４の撮像装置は、例えば、グローバルシャッタ用に電荷保持部を備えた画素の撮像装置である。グローバルシャッタ方式とは、基本的には全画素の露光を同時に開始し、全画素の露光を同時に終了するグローバル露光を行う方式である。ここで、全画素とは、画像に現れる部分の画素の全てということであり、ダミー画素等は除外される。また、時間差や画像の歪みが問題にならない程度に十分小さければ、全画素同時ではなく、複数行（例えば、数十行）単位でグローバル露光を行いながら、グローバル露光を行う領域を移動する方式もグローバルシャッタ方式に含まれる。また、画像に表れる部分の画素の全てでなく、所定領域の画素に対してグローバル露光を行う方式もグローバルシャッタ方式に含まれる。
　図５６は、実施の形態３－４のグローバルシャッタ方式の撮像装置の画素共有ユニット４００の構成の一例を示す等価回路図である。グローバルシャッタ方式の撮像装置内の画素共有ユニット４００は、画素４１０と、画素回路４２０とを有する。画素４１０は、フォトダイオード４１１と、電荷保持部４１２と、転送トランジスタＴＲ４１３と、オーバーフロートランジスタ４１４とを有する。更に、画素回路４２０は、リセットトランジスタＲＳＴ４２と、増幅トランジスタＡＭＰ４２と、選択トランジスタＳＥＬ４２と、フローティングディフュージョンＦＤ４２とを有する。
　リセットトランジスタＲＳＴ４２は、電源ＶＤＤに接続されたドレインとフローティングディフュージョンＦＤ４２に接続されたソースとを有している。リセットトランジスタＲＳＴ４２は、そのゲート電極に印加される駆動信号に応じて、フローティングディフュージョンＦＤ４２を初期化、すなわちリセットする。例えば、駆動信号によりリセットトランジスタＲＳＴ４２がオンすると、フローティングディフュージョンＦＤ４２の電位が電源ＶＤＤの電圧レベルにリセットされる。すなわちフローティングディフュージョンＦＤ４２の初期化が行われる。
　フローティングディフュージョンＦＤ４２は、転送トランジスタ４１３及び電荷保持部４１２を介してフォトダイオードＰＤからそれぞれ転送されてきた電荷を電気信号（例えば、電圧信号）に変換して出力する。フローティングディフュージョンＦＤ４２には、リセットトランジスタＲＳＴ４２が接続されるとともに、増幅トランジスタＡＭＰ４２および選択トランジスタＳＥＬ４２を介して垂直信号線ＶＳＬが接続されている。
　増幅トランジスタＡＭＰ４２は、フローティングディフュージョンＦＤ４２の電位に応じた電気信号を出力する。増幅トランジスタＡＭＰ４２は、例えば、列信号処理部に設けられた定電流源とソースフォロワ回路を構成している。選択トランジスタＳＥＬ４２は、当該画素が選択されたときにオンされフローティングディフュージョンＦＤ４２から増幅トランジスタＡＭＰ４２を経由した電気信号を、垂直信号線ＶＳＬを通して列信号処理部へ出力するようになっている。
　このようなグローバルシャッタ方式の撮像装置内の画素共有ユニット４００は、画素４１０を第１基板１００、画素回路４２０を第２基板２００に形成し、画素４１０と画素回路４２０との間をＦＤ配線ＦＤＬで接続する。
　第２基板２００は、全画素共通の共通ｐウェル層と、増幅トランジスタＡＭＰ４２毎の独立ｐウェル層とで構成し、共通ｐウェル層と独立ｐウェル層との間をフルトレンチ（ＦＴＩ）で電気的に分離している。共通ｐウェル層では、各画素回路４２０内のリセットトランジスタＲＳＴ４２及び選択トランジスタＳＥＬ４２が形成されている。共通ｐウェル層は、ＧＮＤ電位に接続されているので、リセットトランジスタＲＳＴ４２及び選択トランジスタＳＥＬ４２のバックゲートがＧＮＤ電位に固定されているものとする。
　これに対して、独立ｐウェル層は、画素回路４２０内の増幅トランジスタＡＭＰ４２が形成されている。独立ｐウェル層は、増幅トランジスタＡＭＰ４２のソースに接続されているので、独立ｐウェル層の電位は、増幅トランジスタＡＭＰ４２のソース電位に追従して変化する。つまり、増幅トランジスタＡＭＰ４２のバックゲートとソース電位とが同電位となるため、ソースフォロア回路のゲインが１となる。
　つまり、増幅トランジスタＡＭＰ４２のゲート電位振幅とソース電位振幅とが等しくなる。すなわち、ＦＤ配線ＦＤＬのＦＤ電位の変化量に追従してシールド配線ＳＬ４の電位も変化する。従って、ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬ４との間で電荷の異動は発生せず、両者間の容量値が低下する。従って、ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬ４とのカップリングが大きくても、実際の読み出し動作時のＦＤ容量としては無視できる。そして、ＦＤ配線ＦＤＬと他の配線とのカップリングが極力小さくなるように配置したので、ＦＤ容量は小さい値となる。すなわちＦＤ容量の寄生容量が小さくなるため、ソースフォロア出力電圧Ｖｓｆを大きくできる。
＜１０．６．２　実施の形態３－４の作用・効果＞
　実施の形態３－４のグローバルシャッタ方式の撮像装置内の画素共有ユニット４００は、共通ｐウェル層と増幅トランジスタＡＭＰ４２の独立ｐウェル層との間を電気的に分離した状態とする。更に、画素共有ユニット４００は、増幅トランジスタＡＭＰ４２のゲートと増幅トランジスタＡＭＰ４２のソースとの間を接続するシールド配線ＳＬ４でＦＤ配線ＦＤＬをシールドする。つまり、増幅トランジスタＡＭＰ４２のソースと増幅トランジスタＡＭＰ４２の独立ｐウェル層とを接続して同電位とすることで基板バイアス効果をなくし、ＦＤ振幅と増幅トランジスタＡＭＰ４２のソース振幅とのゲインを１とする。更に、増幅トランジスタＡＭＰ４２のソース電位を引き出すシールド配線ＳＬ４でＦＤ配線ＦＤＬの周囲をシールドすることで、フローティングディフュージョンＦＤにカップリングする配線がフローティングディフュージョンＦＤと同振幅で動くようにする。その結果、配線カップリング容量が低下するため、ＦＤ容量を小さくして電荷－電圧の変換効率が向上する。
　つまり、グローバルシャッタ方式の撮像装置内の画素共有ユニット４００では、ＦＤ配線ＦＤＬの寄生抵抗によるＦＤ容量の増加を抑制しながら、電荷－電圧の変換効率の向上を図ることで、画素信号のＳ／Ｎ比の向上を図る。しかも、シールド配線ＳＬ４で隣接フローティングディフュージョンＦＤ間のクロストークを抑制できる。
＜１０．７　実施の形態３－５の具体例＞
＜１０．７．１　実施の形態３－５の構成＞
　図５７は、実施の形態３－５のメモリ保持型のグローバルシャッタ方式の撮像装置の画素共有ユニット４００Ａの構成の一例を示す等価回路図である。画素共有ユニット４００Ａは、画素ＰＸ１及びＰＸ４と、画素回路４２０Ａとを有する。画素ＰＸ１は、フォトダイオードＰＤ１、第１～第３の転送トランジスタＴＲ１Ａ～ＴＲ１Ｃ、電荷保持部ＭＥＭ１、排出トランジスタＯＦＧ１、排出部ＯＦＤ１およびバッファＢＵＦ１を有している。第１の転送トランジスタＴＲ１Ａは転送ゲートＴＲＺ１を含み、第２の転送トランジスタＴＲ１Ｂは転送ゲートＴＲＹ１および転送ゲートＴＲＸ１を含み、第３の転送トランジスタＴＲ１Ｃは転送ゲートＴＲＧ１を含んでいる。
　同様に、画素ＰＸ４は、フォトダイオードＰＤ４、第１～第３の転送トランジスタＴＲ４Ａ～ＴＲ４Ｃ、電荷保持部ＭＥＭ４、排出トランジスタＯＦＧ４、排出部ＯＦＤ４およびバッファＢＵＦ４を有している。第１の転送トランジスタＴＲ４Ａは転送ゲートＴＲＺ４を含み、第２の転送トランジスタＴＲ４Ｂは転送ゲートＴＲＹ４および転送ゲートＴＲＸ４を含み、第３の転送トランジスタＴＲ４Ｃは転送ゲートＴＲＧ４を含んでいる。
　さらに、画素ＰＸ１および画素ＰＸ４は、電源ＶＤＤ１，ＶＤＤ２、フローティングディフュージョンＦＤ１４、リセットトランジスタＲＳＴ１４、増幅トランジスタＡＭＰ１４、および選択トランジスタＳＥＬ１４等の画素回路４２０Ａを共有している。
　この例では、第１～第３の転送トランジスタＴＲ１Ａ～ＴＲ１Ｃ、第１～第３の転送トランジスタＴＲ４Ａ～ＴＲ４Ｃは、Ｎ型のＭＯＳトランジスタとする。また、リセットトランジスタＲＳＴ１４、増幅トランジスタＡＭＰ１４及び選択トランジスタＳＥＬ１４も、Ｎ型のＭＯＳトランジスタとする。これら第１～第３の転送トランジスタＴＲ１Ａ～ＴＲ１Ｃ、第１～第３の転送トランジスタＴＲ４Ａ～ＴＲ４Ｃの各ゲート電極には、システム制御部の駆動制御に基づき垂直駆動部および水平駆動部により駆動信号が供給されるようになっている。また、リセットトランジスタＲＳＴ１４、増幅トランジスタＡＭＰ１４、および選択トランジスタＳＥＬ１４の各ゲート電極には、それぞれ、システム制御部の駆動制御に基づき垂直駆動部および水平駆動部により駆動信号が供給されるようになっている。それらの駆動信号は、高レベルの状態がアクティブ状態（オンの状態）となり、低レベルの状態が非アクティブ状態（オフの状態）となるパルス信号である。なお、以下、駆動信号をアクティブ状態にすることを、駆動信号をオンするとも称し、駆動信号を非アクティブ状態にすることを、駆動信号をオフするとも称する。
　フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４は、例えばＰＮ接合のフォトダイオードからなる光電変換素子であり、被写体からの光を受光して、その受光量に応じた電荷を光電変換により生成し、蓄積するように構成されている。
　電荷保持部ＭＥＭ１，ＭＥＭ４は、それぞれ、フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４とフローティングディフュージョンＦＤ１４との間に設けられている。更に、電荷保持部ＭＥＭ１，ＭＥＭ４は、グローバルシャッタ機能を実現するため、フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４において生成されて蓄積された電荷をフローティングディフュージョンＦＤ１４へ転送するまでの間、一時的にその電荷を保持する領域である。
　第１の転送トランジスタＴＲ１Ａ及び第２の転送トランジスタＴＲ１Ｂは、フォトダイオードＰＤ１と電荷保持部ＭＥＭ１との間に順に配置されている。第３の転送トランジスタＴＲ１Ｃは電荷保持部ＭＥＭ１とフローティングディフュージョンＦＤ１４との間に配置されている。第１の転送トランジスタＴＲ１Ａ及び第２の転送トランジスタＴＲ１Ｂは、そのゲート電極に印加される駆動信号に応じて、フォトダイオードＰＤ１に蓄積されている電荷を電荷保持部ＭＥＭ１へ転送するように構成されている。
　同様に、第１の転送トランジスタＴＲ４Ａ及び第２の転送トランジスタＴＲ４Ｂは、フォトダイオードＰＤ４と電荷保持部ＭＥＭ４との間に順に配置されている。第３の転送トランジスタＴＲ４Ｃは電荷保持部ＭＥＭ４とフローティングディフュージョンＦＤ１４との間に配置されている。第１の転送トランジスタＴＲ４Ａ及び第２の転送トランジスタＴＲ４Ｂは、そのゲート電極に印加される駆動信号に応じて、フォトダイオードＰＤ４に蓄積されている電荷を電荷保持部ＭＥＭ４へ転送するように構成されている。
　第３の転送トランジスタＴＲ１Ｃ及び第３の転送トランジスタＴＲ４Ｃは、ゲート電極に印加される駆動信号に応じて電荷保持部ＭＥＭ１及び電荷保持部ＭＥＭ４に一時的に保持された電荷をフローティングディフュージョンＦＤ１４へ転送することになる。
　画素ＰＸ１，ＰＸ４では、例えば、第２の転送トランジスタＴＲ１Ｂ，ＴＲ４Ｂがオフし、第３の転送トランジスタＴＲ１Ｃ，ＴＲ４Ｃがオンしたとする。この場合、電荷保持部ＭＥＭ１，ＭＥＭ４にそれぞれ保持されている電荷が第３の転送トランジスタＴＲ１Ｃ，ＴＲ４Ｃを介して、フローティングディフュージョンＦＤ１４へ転送することになる。
　バッファＢＵＦ１，ＢＵＦ４は、それぞれ、第１の転送トランジスタＴＲ１Ａと第２の転送トランジスタＴＲ１Ｂとの間に形成される電荷蓄積領域である。リセットトランジスタＲＳＴ１４は、電源ＶＤＤ１に接続されたドレインとフローティングディフュージョンＦＤ１４に接続されたソースとを有している。リセットトランジスタＲＳＴ１４は、そのゲート電極に印加される駆動信号に応じて、フローティングディフュージョンＦＤ１４を初期化、すなわちリセットする。例えば、駆動信号によりリセットトランジスタＲＳＴ１４がオンすると、フローティングディフュージョンＦＤ１４の電位が電源ＶＤＤ１の電圧レベルにリセットされる。すなわちフローティングディフュージョンＦＤ１４の初期化が行われる。
　フローティングディフュージョンＦＤ１４は、第１～第３の転送トランジスタＴＲ１Ａ～ＴＲ１Ｃ，ＴＲ４Ａ～ＴＲ４Ｃおよび電荷保持部ＭＥＭ１，ＭＥＭ４を介してフォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４からそれぞれ転送されてきた電荷を電気信号（例えば、電圧信号）に変換して出力する。フローティングディフュージョンＦＤ１４には、リセットトランジスタＲＳＴ１４が接続されるとともに、増幅トランジスタＡＭＰ１４および選択トランジスタＳＥＬ１４を介して垂直信号線ＶＳＬ１１７が接続されている。
　増幅トランジスタＡＭＰ１４は、フローティングディフュージョンＦＤ１４の電位に応じた電気信号を出力する。増幅トランジスタＡＭＰ１４は、例えば、列信号処理部に設けられた定電流源とソースフォロワ回路を構成している。選択トランジスタＳＥＬ１４は、当該画素ＰＸが選択されたときにオンされフローティングディフュージョンＦＤ１４から増幅トランジスタＡＭＰ１４を経由した電気信号を、垂直信号線ＶＳＬ１１７を通して列信号処理部へ出力するようになっている。
　画素ＰＸ１，ＰＸ４は、フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４の電荷の転送先として、フローティングディフュージョンＦＤ１４のほかに排出部ＯＦＤ１，ＯＦＤ４をそれぞれさらに備えている。排出トランジスタＯＦＧ１は第１の転送トランジスタＴＲ１Ａと第２の転送トランジスタＴＲ１Ｂとの間に配置され、排出トランジスタＯＦＧ４は第１の転送トランジスタＴＲ４Ａと第２の転送トランジスタＴＲ４Ｂとの間に配置されている。
　排出トランジスタＯＦＧ１は、排出部ＯＦＤ１に接続されたドレイン、および、第１の転送トランジスタＴＲ１Ａと第２の転送トランジスタＴＲ１Ｂとを結ぶ配線に接続されたソースを有している。同様に、排出トランジスタＯＦＧ４は、排出部ＯＦＤ４に接続されたドレイン、および、第１の転送トランジスタＴＲ４Ａと第２の転送トランジスタＴＲ４Ｂとを結ぶ配線に接続されたソースを有している。排出トランジスタＯＦＧ１，ＯＦＧ４は、各々のゲート電極に印加される駆動信号に応じて、フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４を初期化、すなわちリセットする。フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４をリセットする、とは、フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４を空乏化するという意味である。
　また、排出トランジスタＯＦＧ１，ＯＦＧ４は、オーバーフローパスをそれぞれ形成し、フォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４から溢れた電荷をそれぞれ排出部ＯＦＤ１，ＯＦＤ４へ排出するようになっている。このように、本実施の形態の画素ＰＸ１，ＰＸ４では、排出トランジスタＯＦＧ１，ＯＦＧ４がフォトダイオードＰＤ１，ＰＤ４を直接リセットすることができる。
　画素ＰＸ１及び画素ＰＸ４とフローティングディフュージョンＦＤ１４は第１基板１００に配置し、リセットトランジスタＲＳＴ１４、増幅トランジスタＡＭＰ１４及び選択トランジスタＳＥＬ１４等の画素回路４２０Ａは第２基板２００に配置する。更に、第１基板１００のフローティングディフュージョンＦＤと第２基板２００の増幅トランジスタＡＭＰ１４のゲートとの間をＦＤ配線ＦＤＬで接続する。
　第２基板２００は、全画素共通の共通ｐウェル層と、画素の増幅トランジスタＡＭＰ１４毎の独立ｐウェル層とで構成し、共通ｐウェル層と独立ｐウェル層との間をフルトレンチ（ＦＴＩ）で電気的に分離している。共通ｐウェル層では、各画素回路４２０内のリセットトランジスタＲＳＴ１４及び選択トランジスタＳＥＬ１４が形成されている。共通ｐウェル層は、ＧＮＤ電位に接続されているので、リセットトランジスタＲＳＴ１４及び選択トランジスタＳＥＬ１４のバックゲートがＧＮＤ電位に固定されているものとする。
　これに対して、独立ｐウェル層は、画素回路４２０内の増幅トランジスタＡＭＰ１４が形成されている。独立ｐウェル層は、増幅トランジスタＡＭＰ１４のソースに接続されているので、独立ｐウェル層の電位は、増幅トランジスタＡＭＰ１４のソース電位に追従して変化する。つまり、増幅トランジスタＡＭＰ１４のバックゲートとソース電位とが同電位となるため、ソースフォロア回路のゲインが１となる。
　つまり、増幅トランジスタＡＭＰ１４のゲート電位振幅とソース電位振幅とが等しくなる。すなわち、ＦＤ配線ＦＤＬのＦＤ電位の変化量に追従してシールド配線ＳＬ５の電位も変化する。従って、ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬ５との間で電荷の異動は発生せず、両者間の容量値は低下する。従って、ＦＤ配線ＦＤＬとシールド配線ＳＬ５とのカップリングが大きくても、実際の読み出し動作時のＦＤ容量としては無視できる。そして、ＦＤ配線ＦＤＬと他の配線とのカップリングが極力小さくなるように配置したので、ＦＤ容量は小さい値となる。すなわちＦＤ容量の寄生容量が小さくなるため、ソースフォロア出力電圧Ｖｓｆを大きくできる。
＜１０．７．２　実施の形態３－５の作用・効果＞
　実施の形態３－５のメモリ保持型のグローバルシャッタ方式の撮像装置内の画素共有ユニット４００Ａは、共通ｐウェル層と増幅トランジスタＡＭＰの独立ｐウェル層との間を電気的に分離した状態とする。画素共有ユニット４００Ａは、増幅トランジスタＡＭＰ１４のゲートと増幅トランジスタＡＭＰ１４のソースとの間を接続するシールド配線ＳＬ５でＦＤ配線ＦＤＬをシールドする。つまり、増幅トランジスタＡＭＰ１４のソースと増幅トランジスタＡＭＰ１４の独立ｐウェル層とを接続して同電位とすることで基板バイアス効果をなくし、ＦＤ振幅と増幅トランジスタＡＭＰ１４のソース振幅とのゲインを１とする。増幅トランジスタＡＭＰ１４のソース電位を引き出すシールド配線ＳＬ５でＦＤ配線ＦＤＬの周囲をシールドすることで、フローティングディフュージョンＦＤ１４にカップリングする配線がフローティングディフュージョンＦＤ１４と同振幅で動くようにする。その結果、配線カップリング容量が低下するため、ＦＤ容量を小さくして電荷－電圧の変換効率が向上する。
　つまり、メモリ保持型のグローバルシャッタ方式の撮像装置では、ＦＤ配線ＦＤＬの寄生抵抗によるＦＤ容量の増加を抑制しながら、電荷－電圧の変換効率の向上を図ることで、画素信号のＳ／Ｎ比の向上を図ることができる。しかも、シールド配線ＳＬ５で隣接フローティングディフュージョンＦＤ１４間のクロストークを抑制できる。
　なお、本開示の実施形態及び変形例においては、上述の各層、各膜、各素子等を形成する方法としては、例えば、物理気相成長法（ＰＶＤ法）及びＣＶＤ法等を挙げることができる。ＰＶＤ法としては、抵抗加熱あるいは高周波加熱を用いた真空蒸着法、ＥＢ（電子ビーム）蒸着法、各種スパッタリング法（マグネトロンスパッタリング法、ＲＦ－ＤＣ結合形バイアススパッタリング法、ＥＣＲ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ　Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ）スパッタリング法、対向ターゲットスパッタリング法、高周波スパッタリング法等）、イオンプレーティング法、レーザーアブレーション法、分子線エピタキシー（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　Ｂｅａｍ　Ｅｐｉｔａｘｙ；ＭＢＥ）法、レーザ転写法等を挙げることができる。また、ＣＶＤ法としては、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法、光ＣＶＤ法等を挙げることができる。さらに、他の方法としては、電解メッキ法や無電解メッキ法、スピンコート法；浸漬法；キャスト法；マイクロコンタクトプリント法；ドロップキャスト法；スクリーン印刷法やインクジェット印刷法、オフセット印刷法、グラビア印刷法、フレキソ印刷法といった各種印刷法；スタンプ法；スプレー法；エアドクタコーター法、ブレードコーター法、ロッドコーター法、ナイフコーター法、スクイズコーター法、リバースロールコーター法、トランスファーロールコーター法、グラビアコーター法、キスコーター法、キャストコーター法、スプレーコーター法、スリットオリフィスコーター法、カレンダーコーター法といった各種コーティング法を挙げることができる。また、各層のパターニング法としては、シャドーマスク、レーザ転写、フォトリソグラフィー等の化学的エッチング、紫外線やレーザ等による物理的エッチング等を挙げることができる。加えて、平坦化技術としては、ＣＭＰ法、レーザ平坦化法、リフロー法等を挙げることができる。すなわち、本開示の実施形態及び変形例に係る撮像装置１は、既存の半導体装置の製造工程を用いて、容易に、且つ、安価に製造することが可能である。
　以上の説明においては、第２基板２１１の画素回路２１０を構成する増幅トランジスタＡＭＰ、選択トランジスタＳＥＬ及びリセットトランジスタＲＳＴは、同じ半導体基板上に形成される例について説明したが、第２基板２１１を複数の半導体基板で構成するようにすることも可能である。
　この場合において、増幅トランジスタＡＭＰがフローティングディフュージョンと遠い位置に配置されると増幅トランジスタＡＭＰ－フローティングディフュージョン間で容量が形成されてしまい、変換効率の低下の原因となる虞がある。
　したがって、増幅トランジスタＡＭＰ、選択トランジスタＳＥＬ及びリセットトランジスタＲＳＴのうち、少なくとも増幅トランジスタＡＭＰをフローティングディフュージョンを同一の半導体基板上に形成し、残りのトランジスタを別の半導体基板上に形成するのが好ましい。
　この場合において、増幅トランジスタＡＭＰは、チャンネル幅Wを長くできれば、ノイズの低下につながるため、第２基板を複数枚の半導体で構成する上記構成を採用することで、増幅トランジスタＡＭＰに割り当て可能な面積を大きくでき、ノイズを低減して、性能の向上を図ることができる。
＜１１．適用例＞
　図５８は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１を備えた撮像システム７の概略構成の一例を表したものである。
　撮像システム７は、例えば、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、スマートフォンやタブレット型端末等の携帯端末装置などの電子機器である。撮像システム７は、例えば、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１、ＤＳＰ回路２４３、フレームメモリ２４４、表示部２４５、記憶部２４６、操作部２４７および電源部２４８を備えている。撮像システム７において、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１、ＤＳＰ回路２４３、フレームメモリ２４４、表示部２４５、記憶部２４６、操作部２４７および電源部２４８は、バスライン２４９を介して相互に接続されている。
　上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１は、入射光に応じた画像データを出力する。ＤＳＰ回路２４３は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１から出力される信号（画像データ）を処理する信号処理回路である。フレームメモリ２４４は、ＤＳＰ回路２４３により処理された画像データを、フレーム単位で一時的に保持する。表示部２４５は、例えば、液晶パネルや有機EL（Electro　Luminescence）パネル等のパネル型表示装置からなり、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１で撮像された動画又は静止画を表示する。記憶部２４６は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１で撮像された動画又は静止画の画像データを、半導体メモリやハードディスク等の記録媒体に記録する。操作部２４７は、ユーザによる操作に従い、撮像システム７が有する各種の機能についての操作指令を発する。電源部２４８は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１、ＤＳＰ回路２４３、フレームメモリ２４４、表示部２４５、記憶部２４６および操作部２４７の動作電源となる各種の電源を、これら供給対象に対して適宜供給する。
　次に、撮像システム７における撮像手順について説明する。
　図５９は、撮像システム７における撮像動作のフローチャートの一例を表す。ユーザは、操作部２４７を操作することにより撮像開始を指示する（ステップＳ１０１）。すると、操作部２４７は、撮像指令を撮像装置１に送信する（ステップＳ１０２）。撮像装置１（具体的にはシステム制御回路３６）は、撮像指令を受けると、所定の撮像方式での撮像を実行する（ステップＳ１０３）。
　撮像装置１は、撮像により得られた画像データをＤＳＰ回路２４３に出力する。ここで、画像データとは、フローティングディフュージョンＦＤに一時的に保持された電荷に基づいて生成された画素信号の全画素分のデータである。ＤＳＰ回路２４３は、撮像装置１から入力された画像データに基づいて所定の信号処理（例えばノイズ低減処理など）を行う（ステップＳ１０４）。ＤＳＰ回路２４３は、所定の信号処理がなされた画像データをフレームメモリ２４４に保持させ、フレームメモリ２４４は、画像データを記憶部２４６に記憶させる（ステップＳ１０５）。このようにして、撮像システム７における撮像が行われる。
　本適用例では、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１が撮像システム７に適用される。これにより、撮像装置１を小型化もしくは高精細化することができるので、小型もしくは高精細な撮像システム７を提供することができる。
＜１２．応用例＞
[応用例１]
　本開示に係る技術（本技術）は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
　図６０は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
　車両制御システム１２０００は、通信ネットワーク１２００１を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図６０に示した例では、車両制御システム１２０００は、駆動系制御ユニット１２０１０、ボディ系制御ユニット１２０２０、車外情報検出ユニット１２０３０、車内情報検出ユニット１２０４０、及び統合制御ユニット１２０５０を備える。また、統合制御ユニット１２０５０の機能構成として、マイクロコンピュータ１２０５１、音声画像出力部１２０５２、及び車載ネットワークＩ／Ｆ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）１２０５３が図示されている。
　駆動系制御ユニット１２０１０は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット１２０１０は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
　ボディ系制御ユニット１２０２０は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット１２０２０は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット１２０２０には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット１２０２０は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
　車外情報検出ユニット１２０３０は、車両制御システム１２０００を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット１２０３０には、撮像部１２０３１が接続される。車外情報検出ユニット１２０３０は、撮像部１２０３１に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット１２０３０は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
　撮像部１２０３１は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部１２０３１は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部１２０３１が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
　車内情報検出ユニット１２０４０は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット１２０４０には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部１２０４１が接続される。運転者状態検出部１２０４１は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット１２０４０は、運転者状態検出部１２０４１から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
　マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット１２０１０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むＡＤＡＳ（Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｄｒｉｖｅｒ　Ａｓｓｉｓｔａｎｃｅ　Ｓｙｓｔｅｍ）の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
　また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
　また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット１２０２０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
　音声画像出力部１２０５２は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図６０の例では、出力装置として、オーディオスピーカ１２０６１、表示部１２０６２及びインストルメントパネル１２０６３が例示されている。表示部１２０６２は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
　図６１は、撮像部１２０３１の設置位置の例を示す図である。
　図６１では、車両１２１００は、撮像部１２０３１として、撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５を有する。
　撮像部１２１０１，１２１０２，１２１０３，１２１０４，１２１０５は、例えば、車両１２１００のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部１２１０１及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部１２１０５は、主として車両１２１００の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部１２１０２，１２１０３は、主として車両１２１００の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部１２１０４は、主として車両１２１００の後方の画像を取得する。撮像部１２１０１及び１２１０５で取得される前方の画像は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
　なお、図６１には、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲１２１１１は、フロントノーズに設けられた撮像部１２１０１の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１２，１２１１３は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部１２１０２，１２１０３の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１４は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部１２１０４の撮像範囲を示す。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両１２１００を上方から見た俯瞰画像が得られる。
　撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも一つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも一つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
　例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を基に、撮像範囲１２１１１ないし１２１１４内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化（車両１２１００に対する相対速度）を求めることにより、特に車両１２１００の進行路上にある最も近い立体物で、車両１２１００と略同じ方向に所定の速度（例えば、０ｋｍ／ｈ以上）で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ１２０５１は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御（追従停止制御も含む）や自動加速制御（追従発進制御も含む）等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
　例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、２輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両１２１００の周辺の障害物を、車両１２１００のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ１２０５１は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ１２０６１や表示部１２０６２を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット１２０１０を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
　撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも一つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ１２０５１が、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部１２０５２は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部１２０６２を制御する。また、音声画像出力部１２０５２は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部１２０６２を制御してもよい。
　以上、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部１２０３１に適用され得る。具体的には、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像装置１は、撮像部１２０３１に適用することができる。撮像部１２０３１に本開示に係る技術を適用することにより、ノイズの少ない高精細な撮影画像を得ることができるので、移動体制御システムにおいて撮影画像を利用した高精度な制御を行うことができる。
[応用例２]
　図６２は、本開示に係る技術（本技術）が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
　図６２では、術者（医師）１１１３１が、内視鏡手術システム１１０００を用いて、患者ベッド１１１３３上の患者１１１３２に手術を行っている様子が図示されている。図示するように、内視鏡手術システム１１０００は、内視鏡１１１００と、気腹チューブ１１１１１やエネルギー処置具１１１１２等の、その他の術具１１１１０と、内視鏡１１１００を支持する支持アーム装置１１１２０と、内視鏡下手術のための各種の装置が搭載されたカート１１２００と、から構成される。
　内視鏡１１１００は、先端から所定の長さの領域が患者１１１３２の体腔内に挿入される鏡筒１１１０１と、鏡筒１１１０１の基端に接続されるカメラヘッド１１１０２と、から構成される。図示する例では、硬性の鏡筒１１１０１を有するいわゆる硬性鏡として構成される内視鏡１１１００を図示しているが、内視鏡１１１００は、軟性の鏡筒を有するいわゆる軟性鏡として構成されてもよい。
　鏡筒１１１０１の先端には、対物レンズが嵌め込まれた開口部が設けられている。内視鏡１１１００には光源装置１１２０３が接続されており、当該光源装置１１２０３によって生成された光が、鏡筒１１１０１の内部に延設されるライトガイドによって当該鏡筒の先端まで導光され、対物レンズを介して患者１１１３２の体腔内の観察対象に向かって照射される。なお、内視鏡１１１００は、直視鏡であってもよいし、斜視鏡又は側視鏡であってもよい。
　カメラヘッド１１１０２の内部には光学系及び撮像素子が設けられており、観察対象からの反射光（観察光）は当該光学系によって当該撮像素子に集光される。当該撮像素子によって観察光が光電変換され、観察光に対応する電気信号、すなわち観察像に対応する画像信号が生成される。当該画像信号は、ＲＡＷデータとしてカメラコントロールユニット（ＣＣＵ：　Ｃａｍｅｒａ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｕｎｉｔ）１１２０１に送信される。
　ＣＣＵ１１２０１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）やＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）等によって構成され、内視鏡１１１００及び表示装置１１２０２の動作を統括的に制御する。さらに、ＣＣＵ１１２０１は、カメラヘッド１１１０２から画像信号を受け取り、その画像信号に対して、例えば現像処理（デモザイク処理）等の、当該画像信号に基づく画像を表示するための各種の画像処理を施す。
　表示装置１１２０２は、ＣＣＵ１１２０１からの制御により、当該ＣＣＵ１１２０１によって画像処理が施された画像信号に基づく画像を表示する。
　光源装置１１２０３は、例えばＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ）等の光源から構成され、術部等を撮影する際の照射光を内視鏡１１１００に供給する。
　入力装置１１２０４は、内視鏡手術システム１１０００に対する入力インタフェースである。ユーザは、入力装置１１２０４を介して、内視鏡手術システム１１０００に対して各種の情報の入力や指示入力を行うことができる。例えば、ユーザは、内視鏡１１１００による撮像条件（照射光の種類、倍率及び焦点距離等）を変更する旨の指示等を入力する。
　処置具制御装置１１２０５は、組織の焼灼、切開又は血管の封止等のためのエネルギー処置具１１１１２の駆動を制御する。気腹装置１１２０６は、内視鏡１１１００による視野の確保及び術者の作業空間の確保の目的で、患者１１１３２の体腔を膨らめるために、気腹チューブ１１１１１を介して当該体腔内にガスを送り込む。レコーダ１１２０７は、手術に関する各種の情報を記録可能な装置である。プリンタ１１２０８は、手術に関する各種の情報を、テキスト、画像又はグラフ等各種の形式で印刷可能な装置である。
　なお、内視鏡１１１００に術部を撮影する際の照射光を供給する光源装置１１２０３は、例えばＬＥＤ、レーザ光源又はこれらの組み合わせによって構成される白色光源から構成することができる。ＲＧＢレーザ光源の組み合わせにより白色光源が構成される場合には、各色（各波長）の出力強度及び出力タイミングを高精度に制御することができるため、光源装置１１２０３において撮像画像のホワイトバランスの調整を行うことができる。また、この場合には、ＲＧＢレーザ光源それぞれからのレーザ光を時分割で観察対象に照射し、その照射タイミングに同期してカメラヘッド１１１０２の撮像素子の駆動を制御することにより、ＲＧＢそれぞれに対応した画像を時分割で撮像することも可能である。当該方法によれば、当該撮像素子にカラーフィルタを設けなくても、カラー画像を得ることができる。
　また、光源装置１１２０３は、出力する光の強度を所定の時間ごとに変更するようにその駆動が制御されてもよい。その光の強度の変更のタイミングに同期してカメラヘッド１１１０２の撮像素子の駆動を制御して時分割で画像を取得し、その画像を合成することにより、いわゆる黒つぶれ及び白とびのない高ダイナミックレンジの画像を生成することができる。
　また、光源装置１１２０３は、特殊光観察に対応した所定の波長帯域の光を供給可能に構成されてもよい。特殊光観察では、例えば、体組織における光の吸収の波長依存性を利用して、通常の観察時における照射光（すなわち、白色光）に比べて狭帯域の光を照射することにより、粘膜表層の血管等の所定の組織を高コントラストで撮影する、いわゆる狭帯域光観察（Ｎａｒｒｏｗ　Ｂａｎｄ　Ｉｍａｇｉｎｇ）が行われる。あるいは、特殊光観察では、励起光を照射することにより発生する蛍光により画像を得る蛍光観察が行われてもよい。蛍光観察では、体組織に励起光を照射し当該体組織からの蛍光を観察すること（自家蛍光観察）、又はインドシアニングリーン（ＩＣＧ）等の試薬を体組織に局注するとともに当該体組織にその試薬の蛍光波長に対応した励起光を照射し蛍光像を得ること等を行うことができる。光源装置１１２０３は、このような特殊光観察に対応した狭帯域光及び／又は励起光を供給可能に構成され得る。
　図６３は、図６２に示すカメラヘッド１１１０２及びＣＣＵ１１２０１の機能構成の一例を示すブロック図である。
　カメラヘッド１１１０２は、レンズユニット１１４０１と、撮像部１１４０２と、駆動部１１４０３と、通信部１１４０４と、カメラヘッド制御部１１４０５と、を有する。ＣＣＵ１１２０１は、通信部１１４１１と、画像処理部１１４１２と、制御部１１４１３と、を有する。カメラヘッド１１１０２とＣＣＵ１１２０１とは、伝送ケーブル１１４００によって互いに通信可能に接続されている。
　レンズユニット１１４０１は、鏡筒１１１０１との接続部に設けられる光学系である。鏡筒１１１０１の先端から取り込まれた観察光は、カメラヘッド１１１０２まで導光され、当該レンズユニット１１４０１に入射する。レンズユニット１１４０１は、ズームレンズ及びフォーカスレンズを含む複数のレンズが組み合わされて構成される。
　撮像部１１４０２は、撮像素子で構成される。撮像部１１４０２を構成する撮像素子は、一つ（いわゆる単板式）であってもよいし、複数（いわゆる多板式）であってもよい。撮像部１１４０２が多板式で構成される場合には、例えば各撮像素子によってＲＧＢそれぞれに対応する画像信号が生成され、それらが合成されることによりカラー画像が得られてもよい。あるいは、撮像部１１４０２は、３Ｄ（Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ）表示に対応する右目用及び左目用の画像信号をそれぞれ取得するための１対の撮像素子を有するように構成されてもよい。３Ｄ表示が行われることにより、術者１１１３１は術部における生体組織の奥行きをより正確に把握することが可能になる。なお、撮像部１１４０２が多板式で構成される場合には、各撮像素子に対応して、レンズユニット１１４０１も複数系統設けられ得る。
　また、撮像部１１４０２は、必ずしもカメラヘッド１１１０２に設けられなくてもよい。例えば、撮像部１１４０２は、鏡筒１１１０１の内部に、対物レンズの直後に設けられてもよい。
　駆動部１１４０３は、アクチュエータによって構成され、カメラヘッド制御部１１４０５からの制御により、レンズユニット１１４０１のズームレンズ及びフォーカスレンズを光軸に沿って所定の距離だけ移動させる。これにより、撮像部１１４０２による撮像画像の倍率及び焦点が適宜調整され得る。
　通信部１１４０４は、ＣＣＵ１１２０１との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部１１４０４は、撮像部１１４０２から得た画像信号をＲＡＷデータとして伝送ケーブル１１４００を介してＣＣＵ１１２０１に送信する。
　また、通信部１１４０４は、ＣＣＵ１１２０１から、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を受信し、カメラヘッド制御部１１４０５に供給する。当該制御信号には、例えば、撮像画像のフレームレートを指定する旨の情報、撮像時の露出値を指定する旨の情報、並びに／又は撮像画像の倍率及び焦点を指定する旨の情報等、撮像条件に関する情報が含まれる。
　なお、上記のフレームレートや露出値、倍率、焦点等の撮像条件は、ユーザによって適宜指定されてもよいし、取得された画像信号に基づいてＣＣＵ１１２０１の制御部１１４１３によって自動的に設定されてもよい。後者の場合には、いわゆるＡＥ（Ａｕｔｏ　Ｅｘｐｏｓｕｒｅ）機能、ＡＦ（Ａｕｔｏ　Ｆｏｃｕｓ）機能及びＡＷＢ（Ａｕｔｏ　Ｗｈｉｔｅ　Ｂａｌａｎｃｅ）機能が内視鏡１１１００に搭載されていることになる。
　カメラヘッド制御部１１４０５は、通信部１１４０４を介して受信したＣＣＵ１１２０１からの制御信号に基づいて、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御する。
　通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２との間で各種の情報を送受信するための通信装置によって構成される。通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２から、伝送ケーブル１１４００を介して送信される画像信号を受信する。
　また、通信部１１４１１は、カメラヘッド１１１０２に対して、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を送信する。画像信号や制御信号は、電気通信や光通信等によって送信することができる。
　画像処理部１１４１２は、カメラヘッド１１１０２から送信されたＲＡＷデータである画像信号に対して各種の画像処理を施す。
　制御部１１４１３は、内視鏡１１１００による術部等の撮像、及び、術部等の撮像により得られる撮像画像の表示に関する各種の制御を行う。例えば、制御部１１４１３は、カメラヘッド１１１０２の駆動を制御するための制御信号を生成する。
　また、制御部１１４１３は、画像処理部１１４１２によって画像処理が施された画像信号に基づいて、術部等が映った撮像画像を表示装置１１２０２に表示させる。この際、制御部１１４１３は、各種の画像認識技術を用いて撮像画像内における各種の物体を認識してもよい。例えば、制御部１１４１３は、撮像画像に含まれる物体のエッジの形状や色等を検出することにより、鉗子等の術具、特定の生体部位、出血、エネルギー処置具１１１１２の使用時のミスト等を認識することができる。制御部１１４１３は、表示装置１１２０２に撮像画像を表示させる際に、その認識結果を用いて、各種の手術支援情報を当該術部の画像に重畳表示させてもよい。手術支援情報が重畳表示され、術者１１１３１に提示されることにより、術者１１１３１の負担を軽減することや、術者１１１３１が確実に手術を進めることが可能になる。
　カメラヘッド１１１０２及びＣＣＵ１１２０１を接続する伝送ケーブル１１４００は、電気信号の通信に対応した電気信号ケーブル、光通信に対応した光ファイバ、又はこれらの複合ケーブルである。
　ここで、図示する例では、伝送ケーブル１１４００を用いて有線で通信が行われていたが、カメラヘッド１１１０２とＣＣＵ１１２０１との間の通信は無線で行われてもよい。
　以上、本開示に係る技術が適用され得る内視鏡手術システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、内視鏡１１１００のカメラヘッド１１１０２に設けられた撮像部１１４０２に好適に適用され得る。撮像部１１４０２に本開示に係る技術を適用することにより、撮像部１１４０２を小型化もしくは高精細化することができるので、小型もしくは高精細な内視鏡１１１００を提供することができる。
　以上、実施の形態およびその変形例、適用例ならびに応用例を挙げて本開示を説明したが、本開示は上記実施の形態等に限定されるものではなく、種々変形が可能である。なお、本明細書中に記載された効果は、あくまで例示である。本開示の効果は、本明細書中に記載された効果に限定されるものではない。本開示が、本明細書中に記載された効果以外の効果を持っていてもよい。
　また、例えば、本開示は以下のような構成を取ることができる。
（１）
　フォトダイオードと、前記フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する第１基板と、
　前記画素内の前記フローティングディフュージョンに保持された前記電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、前記第１基板に積層された第２基板と、
　前記第１基板と前記第２基板とを積層方向に貫通して、前記第１基板内のフローティングディフュージョンと前記第２基板の前記画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する配線と、
　少なくとも前記第２基板に形成されて、前記配線と並走し、前記第２基板内の半導体層の厚さ以上の深さのトレンチと、
　を有することを特徴とする撮像装置。
（２）
　前記トレンチ内に埋め込まれた導電性物質と前記増幅トランジスタのソースとの間を電気的に接続するシールド配線を有することを特徴とする（１）に記載の撮像装置。
（３）
　前記トレンチ内に低誘電率の気体が封止された構造であることを特徴とする（１）に記載の撮像装置。
（４）
　前記第１基板は、
　半導体層と、
　前記半導体層に積層され、ＳｉＯ２で形成される配線層と、
を有することを特徴とする（１）又は（２）に記載の撮像装置。
（５）
　前記第１基板は、
　半導体層と、
　前記半導体層に積層され、ＳｉＯ２よりも低誘電率の絶縁材料で形成される配線層と、を有することを特徴とする（１）又は（２）に記載の撮像装置。
（６）
　前記トレンチは、
　前記配線と、当該配線に並走する他の配線とが電気的に離間するように前記第２基板内の半導体層に形成されたことを特徴とする（１）に記載の撮像装置。
（７）
　前記トレンチは、
　前記第２基板の積層面から見て前記配線を円形状で囲むように前記第２基板内の半導体層に形成されたことを特徴とする（６）に記載の撮像装置。
（８）
　前記トレンチは、
　前記第２基板の積層面から見て前記配線を矩形状で囲むように前記第２基板内の半導体層に形成されたことを特徴とする（６）に記載の撮像装置。
（９）
　フォトダイオードと、前記フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する第１基板と、
　前記画素内の前記フローティングディフュージョンに保持された前記電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、前記第１基板に積層された第２基板と、
　前記第１基板内のフローティングディフュージョンと前記第２基板の前記画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する、前記第１基板及び前記第２基板に形成された配線と、
　前記画素回路のウェル層と前記画素回路内の増幅トランジスタのウェル層との間を電気的に分離した状態で、前記増幅トランジスタのゲートと当該増幅トランジスタのソースとの間を電気的に接続して、前記配線と並走しながら、当該配線をシールドするシールド配線と、
　を有することを特徴とする撮像装置。
（１０）
　前記シールド配線は、
　前記第２基板内の増幅トランジスタと前記第１基板内のフローティングディフュージョンとの間を接続する前記配線の内、少なくとも前記第２基板内を通過する配線部分をシールドすることを特徴とする（９）に記載の撮像装置。
（１１）
　前記シールド配線は、
　前記第２基板内の増幅トランジスタと前記第１基板内のフローティングディフュージョンとの間を接続する前記配線の内、前記第２基板及び前記第１基板を通過する配線部分をシールドすることを特徴とする（９）に記載の撮像装置。
（１２）
　前記シールド配線の少なくとも一部は、他の配線に比較して前記配線との間隔が短くしたことを特徴とする（９）に記載の撮像装置。
（１３）
　前記配線と前記シールド配線との間のカップリング容量が、前記配線と他の配線との間のカップリング容量に比較して大きいことを特徴とする（９）に記載の撮像装置。
（１４）
　複数の前記画素回路と複数の垂直信号線を介して接続される列信号処理部を有し、
　前記信号処理部は、基準信号に基づいてＡＤ変換を行うＡＤ変換器と、負荷回路と、を備え、垂直信号線の電圧に応じた画素データを出力する、
　（９）記載の撮像装置。
（１５）
　複数の前記画素回路と複数の垂直信号線を介して接続される列信号処理部を有し、
　前記信号処理部は、ＲＡＭＰ波形を生成して出力するＲＡＭＰ発生回路と、
　前記垂直信号線を介して読み出された画素信号の電圧とＲＡＭＰ波形の電圧を比較する比較器と、
　前記比較器の比較結果信号に基づいてカウントを行うカウンタと、
　前記カウンタのカウント値に基づいて画素データを出力するラッチと、
　を備えた（９）記載の撮像装置。
（１６）
　前記比較器は、シングルスロープ型のＡＤＣとして構成されている、
　（１５）記載の撮像装置。
（１７）
　前記比較器は、前記垂直信号線を介して読み出された画素信号がソース端子に印加され、前記ＲＡＭＰ波形がゲート端子に印加され、ゲート－ソース間電圧に基づく比較結果信号を出力するトランジスタを備える、
　（１５）記載の撮像装置。
（１８）
　複数の前記画素回路と複数の垂直信号線を介して接続される列信号処理部を有し、
　前記信号処理部は、負荷回路と、
　前記負荷回路に起因して発生する電流を前記垂直信号線に接続され、電流リユース回路として構成された前置回路と、
　所定の基準信号に基づいてＡＤ変換を行うＡＤ変換器と、を備え前記垂直信号線の電圧に応じた画素データを出力する、
　請求項９記載の撮像装置。
　１　撮像装置
　１００　第１基板
　１００Ｔ　配線層
　２００　第２基板
　２００Ｔ　配線層
　２１０Ａ　画素回路
　２５０　共通ｐウェル層
　２５１　独立ｐウェル層
　５４１　画素
　５５４　比較器
　５５８　比較器
　５６１　前置回路
　ＰＤ　フォトダイオード
　ＦＤ　フローティングディフュージョン
　ＦＤＬ　ＦＤ配線
　Ｔ　トレンチ
　ＳＬ　シールド配線　

Claims (18)

  1. 　フォトダイオードと、前記フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する第１基板と、
    　前記画素内の前記フローティングディフュージョンに保持された前記電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、前記第１基板に積層された第２基板と、
    　前記第１基板と前記第２基板とを積層方向に貫通して、前記第１基板内のフローティングディフュージョンと前記第２基板の前記画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する配線と、
    　少なくとも前記第２基板に形成されて、前記配線と並走し、前記第２基板内の半導体層の厚さ以上の深さのトレンチと、
    　を有することを特徴とする撮像装置。
  2. 　前記トレンチ内に埋め込まれた導電性物質と前記増幅トランジスタのソースとの間を電気的に接続するシールド配線を有することを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
  3. 　前記トレンチ内に低誘電率の気体が封止された構造であることを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
  4. 　前記第１基板は、
    　半導体層と、
    　前記半導体層に積層され、ＳｉＯ２で形成される配線層と、
    を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
  5. 　前記第１基板は、
    　半導体層と、
    　前記半導体層に積層され、ＳｉＯ２よりも低誘電率の絶縁材料で形成される配線層と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
  6. 　前記トレンチは、
    　前記配線と、当該配線に並走する他の配線とが電気的に離間するように前記第２基板内の半導体層に形成されたことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
  7. 　前記トレンチは、
    　前記第２基板の積層面から見て前記配線を円形状で囲むように前記第２基板内の半導体層に形成されたことを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。
  8. 　前記トレンチは、
    　前記第２基板の積層面から見て前記配線を矩形状で囲むように前記第２基板内の半導体層に形成されたことを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。
  9. 　フォトダイオードと、前記フォトダイオードにて変換された電荷を保持するフローティングディフュージョンとを有する画素を有する第１基板と、
    　前記画素内の前記フローティングディフュージョンに保持された前記電荷に基づく画素信号を読み出す画素回路を有し、前記第１基板に積層された第２基板と、
    　前記第１基板内のフローティングディフュージョンと前記第２基板の前記画素回路内の増幅トランジスタとの間を電気的に接続する、前記第１基板及び前記第２基板に形成された配線と、
    　前記画素回路のウェル層と前記画素回路内の増幅トランジスタのウェル層との間を電気的に分離した状態で、前記増幅トランジスタのゲートと当該増幅トランジスタのソースとの間を電気的に接続して、前記配線と並走しながら、当該配線をシールドするシールド配線と、
    　を有することを特徴とする撮像装置。
  10. 　前記シールド配線は、
    　前記第２基板内の増幅トランジスタと前記第１基板内のフローティングディフュージョンとの間を接続する前記配線の内、少なくとも前記第２基板内を通過する配線部分をシールドすることを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
  11. 　前記シールド配線は、
    　前記第２基板内の増幅トランジスタと前記第１基板内のフローティングディフュージョンとの間を接続する前記配線の内、前記第２基板及び前記第１基板を通過する配線部分をシールドすることを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
  12. 　前記シールド配線の少なくとも一部は、他の配線に比較して前記配線との間隔が短くしたことを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
  13. 　前記配線と前記シールド配線との間のカップリング容量が、前記配線と他の配線との間のカップリング容量に比較して大きいことを特徴とする請求項９に記載の撮像装置。
  14. 　複数の前記画素回路と複数の垂直信号線を介して接続される列信号処理部を有し、
    　前記列信号処理部は、基準信号に基づいてＡＤ変換を行うＡＤ変換器と、負荷回路と、を備え、垂直信号線の電圧に応じた画素データを出力する、
    　請求項９記載の撮像装置。
  15. 　複数の前記画素回路と複数の垂直信号線を介して接続される列信号処理部を有し、
    　前記列信号処理部は、ＲＡＭＰ波形を生成して出力するＲＡＭＰ発生回路と、
    　前記垂直信号線を介して読み出された画素信号の電圧とＲＡＭＰ波形の電圧を比較する比較器と、
    　前記比較器の比較結果信号に基づいてカウントを行うカウンタと、
    　前記カウンタのカウント値に基づいて画素データを出力するラッチと、
    　を備えた請求項９記載の撮像装置。
  16. 　前記比較器は、シングルスロープ型のＡＤＣとして構成されている、
    　請求項１５記載の撮像装置。
  17. 　前記比較器は、前記垂直信号線を介して読み出された画素信号がソース端子に印加され、前記ＲＡＭＰ波形がゲート端子に印加され、ゲート－ソース間電圧に基づく比較結果信号を出力するトランジスタを備える、
    　請求項１５記載の撮像装置。
  18. 　複数の前記画素回路と複数の垂直信号線を介して接続される列信号処理部を有し、
    　前記列信号処理部は、負荷回路と、
    　前記負荷回路に起因して発生する電流を前記垂直信号線に接続され、電流リユースカラムアンプとして構成された前置回路と、
    　所定の基準信号に基づいてＡＤ変換を行うＡＤ変換器と、を備え前記垂直信号線の電圧に応じた画素データを出力する、
    　請求項９記載の撮像装置。
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