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HK40013616B - Optical coupler and waveguide system - Google Patents

Optical coupler and waveguide system Download PDF

Info

Publication number
HK40013616B
HK40013616B HK62020003512.4A HK62020003512A HK40013616B HK 40013616 B HK40013616 B HK 40013616B HK 62020003512 A HK62020003512 A HK 62020003512A HK 40013616 B HK40013616 B HK 40013616B
Authority
HK
Hong Kong
Prior art keywords
waveguides
waveguide
optical
sample
integrated device
Prior art date
Application number
HK62020003512.4A
Other languages
English (en)
French (fr)
Chinese (zh)
Other versions
HK40013616A (en
Inventor
Jonathan M. Rothberg
Ali KABIRI
Gerard Schmid
Jason W. SICKLER
Paul E. Glenn
Lawrence C. West
Kyle Preston
Alexander Gondarenko
Benjamin CIPRIANY
James Beach
Keith G. Fife
Farshid GHASEMI
Original Assignee
Quantum-Si Incorporated
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Quantum-Si Incorporated filed Critical Quantum-Si Incorporated
Publication of HK40013616A publication Critical patent/HK40013616A/en
Publication of HK40013616B publication Critical patent/HK40013616B/en

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Claims (15)

  1. Integrierte Vorrichtung, Folgendes umfassend:
    mehrere Wellenleiter, die eine erste Gruppe von Wellenleitern (2-240) und eine zweite Gruppe von Wellenleitern (2-242) beinhalten, wobei die erste Gruppe weniger Wellenleiter als die zweite Gruppe aufweist,
    einen Gitterkoppler (2-200), der eine Gitterregion aufweist,
    mehrere Ausgangswellenleiter, die dafür gestaltet sind, sich optisch mit dem Gitterkoppler zu koppeln, wobei die mehreren Ausgangswellenleiter an einer Seite der Gitterregion (2-230) angeordnet sind, wobei die Ausgangswellenleiter unterschiedliche Weiten an der Seite der Gitterregion aufweisen, wobei die mehreren Ausgangswellenleiter einen ersten Ausgangswellenleiter (2-222a), der optisch mit der ersten Gruppe von Wellenleitern gekoppelt ist, und einen zweiten Ausgangswellenleiter (2-222b) beinhaltet, der optisch mit der zweiten Gruppe von Wellenleitern gekoppelt ist, und wobei der erste Ausgangswellenleiter näher an einem Rand der Seite der Gitterregion als der zweite Ausgangswellenleiter positioniert ist und an der Seite der Gitterregion eine kleinere Weite aufweist als der zweite Ausgangswellenleiter, und
    mehrere optische Splitter, die zwischen dem ersten Ausgangswellenleiter und der ersten Gruppe von Wellenleitern und zwischen dem zweiten Ausgangswellenleiter und der zweiten Gruppe von Wellenleitern angeordnet sind.
  2. Integrierte Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Gitterregion mehrere Gitter umfasst, die im Wesentlichen in einer Richtung ausgerichtet sind, die eben zu einer Oberfläche der integrierten Vorrichtung liegt.
  3. Integrierte Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die mehreren Ausgangswellenleiter einen dritten Ausgangswellenleiter beinhalten, der näher an einer Mitte der Seite der Gitterregion positioniert ist als der zweite Ausgangswellenleiter und eine kleinere Weite als der zweite Ausgangswellenleiter aufweist.
  4. Integrierte Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die mehreren optischen Splitter einen ersten optischen Splitter und einen zweiten optischen Splitter, der mit dem ersten optischen Splitter gekoppelt ist, beinhalten, und wobei der erste optische Splitter und der zweite optische Splitter optisch zwischen den Ausgangswellenleiter und die zweite Gruppe von Wellenleitern gekoppelt sind.
  5. Integrierte Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei eine Anzahl der optischen Splitter, die optisch zwischen den zweiten Ausgangswellenleiter und die zweite Gruppe von Wellenleitern gekoppelt sind, größer als eine Anzahl der optischen Splitter ist, die optisch zwischen den ersten Ausgangswellenleiter und die erste Gruppe von Wellenleitern gekoppelt sind.
  6. Integrierte Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei sich die mehreren Ausgangswellenleiter und die mehreren optischen Splitter radial von der Gitterregion verteilen.
  7. Integrierte Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei einzelne Wellenleiter der mehreren Wellenleiter im Wesentlichen senkrecht zu Gittern in der Gitterregion angeordnet sind.
  8. Integrierte Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei mindestens einer der mehreren optischen Splitter weniger als 1 mm von dem Gitterkoppler entfernt positioniert ist.
  9. Integrierte Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei einzelne Wellenleiter der mehreren Wellenleiter in einer Richtung senkrecht zu der Richtung der Lichtausbreitung entlang eines der mehreren Wellenleiter ein sich verjüngendes Maß aufweisen, so dass das sich verjüngende Maß an einer Stelle nahe dem Gitterkoppler kleiner als an einer entfernten Stelle ist.
  10. Verfahren zum Bilden einer integrierten Vorrichtung, Folgendes umfassend:
    Bilden mehrerer Wellenleiter, die eine erste Gruppe von Wellenleitern und eine zweite Gruppe von Wellenleitern beinhalten, wobei die erste Gruppe weniger Wellenleiter als die zweite Gruppe aufweist,
    Bilden eines Gitterkopplers, der eine Gitterregion aufweist,
    Bilden mehrerer Ausgangswellenleiter, die dafür gestaltet sind, sich optisch mit dem Gitterkoppler zu koppeln, wobei die mehreren Ausgangswellenleiter an einer Seite der Gitterregion angeordnet sind und unterschiedliche Weiten an der Seite der Gitterregion (2-230) aufweisen, einen ersten Ausgangswellenleiter beinhaltend, der optisch mit der ersten Gruppe von Wellenleitern gekoppelt ist, und einen zweiten Ausgangswellenleiter, der optisch mit der zweiten Gruppe von Wellenleitern gekoppelt ist, wobei der erste Ausgangswellenleiter näher an einem Rand der Seite der Gitterregion als der zweite Ausgangswellenleiterpositioniert ist und an der Seite der Gitterregion eine kleinere Weite aufweist als der zweite Ausgangswellenleiter, und
    Bilden mehrerer optischer Splitter, die zwischen dem ersten Ausgangswellenleiter und der ersten Gruppe von Wellenleitern und zwischen dem zweiten Ausgangswellenleiter und der zweiten Gruppe von Wellenleitern angeordnet sind.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, wobei das Bilden der mehreren Ausgangswellenleiter ferner das Bilden eines dritten Ausgangswellenleiters umfasst, der näher an einer Mitte der Seite der Gitterregion positioniert ist als der zweite Ausgangswellenleiter und eine kleinere Weite als der zweite Ausgangswellenleiter aufweist.
  12. Verfahren nach Anspruch 10, wobei das Bilden der mehreren optischen Splitter ferner das Bilden eines ersten optischen Splitters und eines zweiten optischen Splitters, der mit dem ersten optischen Splitter gekoppelt ist, umfasst, und wobei der erste optische Splitter und der zweite optische Splitter optisch zwischen den Ausgangswellenleiter und die zweite Gruppe von Wellenleitern gekoppelt sind.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, wobei das Bilden der mehreren optischen Splitter ferner das Bilden einer Anzahl optischer Splitter zwischen dem zweiten Ausgangswellenleiter und einem der zweiten Gruppe von Wellenleitern umfasst, die größer als eine Anzahl optischer Splitter zwischen dem ersten Ausgangswellenleiter und der ersten Gruppe von Wellenleitern ist.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei das Bilden der mehreren Ausgangswellenleiter ferner das Bilden der mehreren Ausgangswellenleiter derart umfasst, dass sie sich radial von der Gitterregion zu verteilen.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, wobei das Bilden der mehreren Wellenleiter ferner das Bilden der mehreren Wellenleiter derart umfasst, dass sie in einer Richtung senkrecht zu der Richtung der Lichtausbreitung entlang eines der mehreren Wellenleiter ein sich verjüngendes Maß aufweisen, so dass das sich verjüngende Maß an einer Stelle nahe dem Gitterkoppler kleiner als an einer entfernten Stelle ist.
HK62020003512.4A 2016-12-16 2017-12-15 Optical coupler and waveguide system HK40013616B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US62/435693 2016-12-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
HK40013616A HK40013616A (en) 2020-08-07
HK40013616B true HK40013616B (en) 2023-02-24

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