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半导体净化工程洁净度检测方法一、检测设备与核心参数光散射式尘埃粒子计数器主流设备支持 0.3–10μm 六粒径通道同步检测，实时显示动态数据，符合 GB/T 6167-2007 和 JJF 1190-2008 国家标准。http://hongshengyuan188.cn.b2b168.com
光散射式尘埃粒子计数器
主流设备支持 0.3–10μm 六粒径通道同步检测，实时显示动态数据，符合 GB/T 6167-2007 和 JJF 1190-2008 国家标准。